專利名稱：從硬件上防止工藝氣體混合的控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及防止工藝氣體混合的應(yīng)用，特別涉及快速退火爐，屬于半導(dǎo)體器件制
造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
為了適應(yīng)半導(dǎo)體器件工藝的多樣性，半導(dǎo)體工藝設(shè)備上工藝氣體的配置也越來(lái)越 多，這就給防止氣體的混合提出了更高的要求。從硬件上防止工藝氣體的混合避免了由于 軟件不可靠和人為的因素產(chǎn)生的問(wèn)題。例如軟件跑飛，操作人員操作失誤等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明即是針對(duì)現(xiàn)有軟件技術(shù)中存在的不可靠問(wèn)題而提出的一種從硬件上防止 工藝氣體混合的技術(shù)，該技術(shù)能夠較好地解決由于軟件失控和人為操作失誤產(chǎn)生的錯(cuò)誤氣 體混合的情況發(fā)生。 本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn) —種從硬件上防止工藝氣體混合的互鎖結(jié)構(gòu)，其特征在于利用多組觸點(diǎn)繼電器 的多組觸點(diǎn)串連來(lái)達(dá)到工藝氣體互鎖的目的。 所述的多組觸點(diǎn)繼電器采用六組常開(kāi)觸點(diǎn)的繼電器，可以實(shí)現(xiàn)六路不同工藝氣體 的互鎖。
本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn) (1)執(zhí)行電路與控制電路采用光電隔離技術(shù)，避免了執(zhí)行電路大電流，高電壓對(duì)弱 電電路的干擾。
(2)工藝氣體的控制電路的執(zhí)行情況可以反饋給主控制電路。
(3)某種工藝氣體用完之后，可以自動(dòng)用清潔的氮?dú)鉀_洗管道。


圖l氣體供給簡(jiǎn)圖
圖2氣體電磁閥控制電路
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)本發(fā)明新型的限 定。 退火爐是一種能在惰性或腐蝕性氣體環(huán)境中處理晶片的熱處理設(shè)備。根據(jù)處理晶 片所需工藝的不同，需要不同的工藝氣體環(huán)境。例如離子注入后的快速退火需要氮?dú)猓?化物形成需要HCL氣體等。 實(shí)施例當(dāng)快速退火爐正在使用HCL氣體做工藝時(shí)，突然由于軟件故障或其他原 因造成NH3氣體控制信號(hào)有效，硬件互鎖就會(huì)起作用防止HCL氣體和NH3氣體非法混合。
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如圖2所示，供應(yīng)HCL氣體正常的操作是，來(lái)自控制總線的信號(hào)(低電平有效)送 到U3的2腳，U3的16腳輸出高電平，U4的1腳為高電平，U4的18腳輸出低電平，繼電器 Kl得電，地信號(hào)就通過(guò)K1的12，13腳，K2的12，13腳送到J3-13，這時(shí)HCL閥即圖1的EV8 就會(huì)導(dǎo)通，HCL氣體就會(huì)作為工藝氣體來(lái)供應(yīng)。 這時(shí)如果由于軟件或其他原因?qū)е聢D2的NH3控制信號(hào)有效，那么U3的13腳為 高電平，U4的2腳為高電平，U4的17腳輸出低電平，繼電器K2得電，這樣由于K2的12和 13腳不閉合，低電平送不到J3-13腳，HCL閥即圖1的EV8就不會(huì)導(dǎo)通，HCL管道斷開(kāi)停止 供應(yīng)HCL氣體。同時(shí)由于K1得電K1的20和21腳不導(dǎo)通，低電平也送不到J3_12， NH3閥 即圖1的EV10不會(huì)導(dǎo)通，NH3氣體不能夠進(jìn)入設(shè)備，從而防止了這兩種氣體的混合。
本發(fā)明的特定實(shí)施例已對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人 員而言，在不背離本專利精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本實(shí)用 新型專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
一種從硬件上防止工藝氣體混合的控制方法，其特征在于采用六組常開(kāi)觸點(diǎn)的繼電器，控制不同工藝氣體的繼電器的常開(kāi)觸點(diǎn)串連連接。最多可以控制六路工藝氣體。
全文摘要
本發(fā)明是從硬件上防止工藝氣體混合的控制方法，防止不應(yīng)該混合的氣體混合在一起對(duì)設(shè)備和人身產(chǎn)生損害，特別適用于快速退火爐這類(lèi)具有多種工藝氣體的設(shè)備，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該技術(shù)主要是從硬件角度實(shí)現(xiàn)互鎖功能。包括氣路管道、電磁閥、以及控制電磁閥的電路。本發(fā)明可以從硬件上保證不該混合的氣體混合，避免了軟件故障和人為原因造成的氣體混合。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101728232SQ20081022464
公開(kāi)日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2008年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月22日
發(fā)明者王迪平, 胡振東, 許波濤 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司