專利名稱:300mm立式氧化爐保溫桶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于一種硅片加工裝置,具體的是一種用于硅片加熱氧化工藝的氧 化爐的保溫桶。
背景技術(shù):
硅片是一種重要的半導(dǎo)體材料,它的加工處理,特別是氧化處理是一種非 常精密的工藝。目前國(guó)內(nèi)使用的硅片氧化爐大多是臥式結(jié)構(gòu)。國(guó)際上已經(jīng)普遍 采用立式氧化爐來(lái)為硅片做氧化工藝。為了提高保溫效果,過(guò)去多采用真空保 溫桶,即采用石英板焊接成圓柱型腔體,內(nèi)部填充石英棉或者其它保溫隔熱材 料,為了防止這些材料污染工藝,通常的做法是把它們密封在石英腔體內(nèi)部, 同時(shí)抽真空,以防止工藝升降溫的過(guò)程中產(chǎn)生炸裂。雖然此類保溫桶隔熱效果 比較好,但制作工藝復(fù)雜,成本比較高,而且在制作及工藝過(guò)程中容易炸裂, 對(duì)生產(chǎn)線造成巨大損失。因此,需要提出一種新結(jié)構(gòu)的立式氧化爐內(nèi)用于石英 舟的保溫和與爐門連接裝置新型保溫桶。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,提出一種300mm立式氧化爐保 溫桶,該保溫桶制作工藝簡(jiǎn)單,成本低,保溫效果好,潔凈度高,而且安全可 靠穩(wěn)定。
本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的300mm立式氧化爐保溫桶, 其特征在于設(shè)有底部石英板、中間石英片、支撐桿和頂部石英板,所述支撐 桿為數(shù)個(gè),垂直安裝在底部石英板和頂部石英板之間,所述石英片為多片,橫 向間隔均勻地固定安裝在支撐桿上;在頂部石英板的上表面設(shè)有用于固定石英
舟的固定槽。
所述底部石英板、頂部石英板為圓環(huán)形;中間石英片為圓片形,并且該中間石英片的結(jié)構(gòu)為中間層采用OP材料,上下兩層及周邊是高純透明石英板材包覆。
本發(fā)明設(shè)有數(shù)個(gè)支撐桿起支撐作用,多片中間石英片,石英片數(shù)量多于其 它同類的產(chǎn)品,可以更加有效的減少熱量的流失。起到保溫隔熱的效果。中間
石英片采用了三明治的形式,中間板材采用OP材料,上下兩面及周邊是高純
透明石英板材包覆,實(shí)驗(yàn)證明它比單一透明石英片能更加有效的減少了工藝 管熱量的散失。同時(shí)由于有高純透明石英板的包覆,阻擋了OP板材容易產(chǎn)生 顆粒及雜質(zhì)的擴(kuò)散現(xiàn)象的發(fā)生,防止了污染硅片的事件。對(duì)高端工藝有很好的 工藝適用性。底部石英板及頂部石英板分別與石英舟和石英爐門板連接,確保 連接位置的準(zhǔn)確及運(yùn)行的可靠性。本發(fā)明具有制作工藝簡(jiǎn)單,成本相對(duì)低,保 溫效果別好,潔凈度高,而且安全、可靠、穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。
圖l是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是本發(fā)明頂部和底部石英板俯視圖; 圖3是石英板的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明實(shí)施例參見(jiàn)附圖, 300mm立式氧化爐保溫桶,設(shè)有底部石英板1、中間石英片2、支撐桿3和頂 部石英板4,所述支撐桿為4個(gè),垂直固定安裝在底部石英板和頂部石英板之 間,所述石英片為19片,橫向間隔均勻地固定安裝在支撐桿上;在頂部石英板 的上表面設(shè)有用于固定石英舟的3固定槽4.1。所述底部石英板、頂部石英板為 圓環(huán)形;中間石英片為圓片形,并且該中間石英片的結(jié)構(gòu)為中間是OP材料層 2.1,上下兩層及周邊為高純透明石英板材包覆層2.2。
權(quán)利要求
1、一種300mm立式氧化爐保溫桶,其特征在于設(shè)有底部石英板(1)、中間石英片(2)、支撐桿(3)和頂部石英板(4),所述支撐桿為數(shù)個(gè),垂直固定安裝在底部石英板和頂部石英板之間,所述石英片為多片,橫向間隔均勻地固定安裝在支撐桿上;在頂部石英板的上表面設(shè)有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化爐保溫桶,其特征在于所述底部石英 板、頂部石英板為圓環(huán)形;中間石英片為圓片形,并且該中間石英片的結(jié)構(gòu) 為中間是OP材料層(2.1),上下兩層及周邊為高純透明石英板材包覆層(2.2)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種300mm立式氧化爐保溫桶,其特征在于設(shè)有底部石英板(1)、中間石英片(2)、支撐桿(3)和頂部石英板(4),所述支撐桿為數(shù)個(gè),垂直固定安裝在底部石英板和頂部石英板之間,所述石英片為多片,橫向間隔均勻地固定安裝在支撐桿上;在頂部石英板的上表面設(shè)有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、頂部石英板為圓環(huán)形;中間石英片為圓片形,并且該中間石英片的結(jié)構(gòu)為中間是OP材料層(2.1),上下兩層及周邊為高純透明石英板材包覆層(2.2)。本發(fā)明適用于立式氧化爐的石英舟的支撐和保溫,結(jié)構(gòu)完善,保溫效果好,潔凈度高,能保證加工質(zhì)量。
文檔編號(hào)H01L21/316GK101552198SQ20081024115
公開(kāi)日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2008年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月31日
發(fā)明者胡星強(qiáng), 艾倫·埃馬米, 董金衛(wèi), 趙星梅, 華 鐘 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司