專利名稱：用于硅片表面沉積反射膜的除塵刷盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型設(shè)計(jì)到一種硅片的生產(chǎn)技術(shù)，具體地說(shuō)是一種用于硅片表面沉 積反射膜的除塵刷盒。
技術(shù)背景等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積簡(jiǎn)稱PECVD，是一種化學(xué)氣相沉積方法。在生 產(chǎn)硅片時(shí)，為進(jìn)一步降低硅片表面的反射率，通常利用這種方式在硅片表面沉 積一層蘭色的可以降低反射率的薄膜。在沉積薄膜時(shí)，借助微波或射頻等手段， 使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體的化學(xué)活 性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，于是在基片上沉積出所期望的薄膜。在現(xiàn)有技術(shù)中，由于沒(méi)有在沉積設(shè)備上安裝除塵刷盒，因此，經(jīng)常出現(xiàn)如下缺陷1、吸附在石墨框上的粉塵越積越多，造成識(shí)別率降低，從而降低了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。2、由于沒(méi)有及時(shí)清除粉塵，造成卡框，從而增加卡框故障的發(fā)生。3、損失嚴(yán) 重，碎片率高。如每片成本為53元，每次要損失30片， 一天直接硅片損失就 達(dá)1500元， 一個(gè)月按25天計(jì)算，就要損失37500元， 一年就要損失45萬(wàn)元。 再者，被迫停機(jī)，若設(shè)備需要恢復(fù)正常生產(chǎn)，往往需要兩小時(shí)，間接損失也達(dá) 到兩萬(wàn)元。還影響生產(chǎn)效率。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于設(shè)計(jì)一種用于硅片表面沉積反射膜的除塵刷盒，以 提高產(chǎn)品合格率與生產(chǎn)效率。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，在盒體內(nèi)設(shè)置毛刷，該毛刷的根部被固 定在盒體內(nèi)的底部，毛刷的刷毛部分伸出盒體的外面。盒體包括底面及位于底面四周的側(cè)面，毛刷的底部位于盒體的底面及側(cè)面 圍成的空間內(nèi)。在盒體的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置用于安裝除塵刷盒的安裝孔?；蛘咴?盒體的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置向盒體外延伸的延伸部，該延伸部與該側(cè)面位于同一個(gè) 平面內(nèi)，在該延伸部上設(shè)置用于安裝除塵刷盒的安裝孔。在盒體內(nèi)、毛刷的旁 邊設(shè)置用于收集粉塵的收集腔。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是在生產(chǎn)硅片時(shí)，可以在石墨運(yùn)行路徑上安裝若干個(gè) 本實(shí)用新型的除塵刷盒，當(dāng)盛裝硅片的石墨框經(jīng)過(guò)時(shí)，利用毛刷將吸附在石墨 框上的粉塵刷除，并收集到盒體內(nèi)的收集腔內(nèi)，然后不定期的處理，從而有效 地減少了粉塵對(duì)反應(yīng)腔體的影響，提高反射膜的均勻性和電池的轉(zhuǎn)換效率。

圖l是本實(shí)用新型的立體圖。
具體實(shí)施方式
如圖所示在盒體4內(nèi)設(shè)置毛刷3，該毛刷3的根部被固定在盒體4內(nèi)的底 部，毛刷3的刷毛部分伸出盒體4的外面。使用時(shí)，將多個(gè)盒體4依次安裝于石墨框的運(yùn)行路徑上，當(dāng)盛裝硅片的石墨框經(jīng)過(guò)時(shí)，利用毛刷將吸附在石墨框 上的粉塵刷除，并收集到盒體內(nèi)的收集腔內(nèi)，然后不定期的處理，從而有效地 減少了粉塵對(duì)反應(yīng)腔體的影響。盒體4包括底面及位于底面四周的側(cè)面，毛刷3的底部位于盒體4的底面及側(cè)面圍成的空間內(nèi)。在必要時(shí)，可以在該空間內(nèi)、毛刷的旁邊設(shè)置一個(gè)用于 收集粉塵的收集腔，以便及時(shí)收集被毛刷刷落的粉塵，以免粉塵飛揚(yáng)，再次產(chǎn)生污染。在盒體4的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置用于安裝除塵刷盒的安裝孔1。具體地說(shuō)，可以 在盒體4的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置向盒體外延伸的延伸部，該延伸部與該側(cè)面位于同 一個(gè)平面內(nèi)，在該延伸部上設(shè)置用于安裝除塵刷盒的安裝孔l。使用時(shí)，螺栓插 入該安裝孔l內(nèi)，將除塵刷盒安裝于指定的部位。
權(quán)利要求1、用于硅片表面沉積反射膜的除塵刷盒，其特征是在盒體(4)內(nèi)設(shè)置毛刷(3)，該毛刷(3)的根部被固定在盒體(4)內(nèi)的底部，毛刷(3)的刷毛部分伸出盒體(4)的外面。
2、 如權(quán)利要求1所述用于硅片表面沉積反射膜的除塵刷盒，其特征是盒 體(4)包括底面及位于底面四周的側(cè)面，毛刷(3)的底部位于盒體(4)的底 面及側(cè)面圍成的空間內(nèi)。
3、 如權(quán)利要求1所述用于硅片表面沉積反射膜的除塵刷盒，其特征是在 盒體(4)的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置用于安裝除塵刷盒的安裝孔(1)。
4、 如權(quán)利要求1所述用于硅片表面沉積反射膜的除塵刷盒，其特征是在盒體(4)的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置向盒體外延伸的延伸部，該延伸部與該側(cè)面位于同 一個(gè)平面內(nèi)，在該延伸部上設(shè)置用于安裝除塵刷盒的安裝孔(1)。
5、 如權(quán)利要求1所述用于硅片表面沉積反射膜的除塵刷盒，其特征是在盒體(4)內(nèi)、毛刷(3)的旁邊設(shè)置用于收集粉塵的收集腔。
專利摘要本實(shí)用新型設(shè)計(jì)到一種硅片的生產(chǎn)技術(shù)，具體地說(shuō)是一種用于硅片表面沉積反射膜的除塵刷盒。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，在盒體內(nèi)設(shè)置毛刷，該毛刷的根部被固定在盒體內(nèi)的底部，毛刷的刷毛部分伸出盒體的外面。盒體包括底面及位于底面四周的側(cè)面，毛刷的底部位于盒體的底面及側(cè)面圍成的空間內(nèi)。在盒體的一個(gè)側(cè)面上設(shè)置用于安裝除塵刷盒的安裝孔。本實(shí)用新型可以提高產(chǎn)品合格率與生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L31/18GK201171054SQ20082003119
公開日2008年12月24日 申請(qǐng)日期2008年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月29日
發(fā)明者聶志浩, 都宏偉, 海 陳 申請(qǐng)人:江陰浚鑫科技有限公司