專利名稱：用于晶片或襯底的uv處理的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種用于晶片或襯底的紫外(UV)處理的裝置。 UV光指紫外光。
術(shù)語晶片最初指由半導(dǎo)體材料制成的薄圓盤，但是現(xiàn)在一般還包括 由例如玻璃的其它材料制成的薄圓盤。晶片的形狀是圓的。與此對比， 矩形的類似物體稱為襯底。術(shù)語襯底還包括印刷電路板。
背景技術(shù)：
用于uv處理的這種裝置例如在半導(dǎo)體工業(yè)中使用以便使粘結(jié)劑減 活，即部分地或全部地降低它們的粘結(jié)能力.氣體放電燈或uv燈管用
作UV光源。氣體放電燈需要很長的預(yù)熱時間直到它們準(zhǔn)備好用于操作，
因此產(chǎn)生很高量的廢熱。uv燈管效率低。

實用新型內(nèi)容
本實用新型基于研發(fā)具有改進(jìn)性能的這種裝置的目的。
本實用新型提出使用用于物體的uv處理的裝置，所述物體例如特 別是晶片或襯底，即本實用新型提供一種用于晶片或襯底的uv處理的
裝置，所述裝置包括UV光源，所述UV光源包括多個發(fā)光二極管(LED ) 和熱沉，其中所述LED是發(fā)射UV光或者含有UV光的光的LED,并 且其中熱沉是用于將由LED產(chǎn)生的廢熱散發(fā)到周圍環(huán)境中的熱沉。優(yōu) 選地，熱沉由陶資構(gòu)成。在優(yōu)選實施方式中，該裝置還包括用于接收物 體即晶片或襯底的玻璃板，并且UV光源以固定方式布置在玻璃板下方 并照亮玻璃板的預(yù)定表面區(qū)域。
根據(jù)本實用新型的裝置具有幾個優(yōu)點
—熱擴(kuò)散很低，這意味著金屬薄片只經(jīng)受適當(dāng)?shù)臏囟取?br> —UV光源的使用壽命非常長，這意味著維護(hù)成本因此很低?！猽v光均勻分布在整個表面區(qū)域上。
—裝置直接準(zhǔn)備好用于操作。避免了預(yù)熱時間。

包含在本說明書中并且構(gòu)成本說明書一部分的附圖圖示了本實用 新型的一個或多個實施方式，并且與詳細(xì)描述一起用于說明本實用新型
的原理和實施。附圖不是按比例繪制的。在附圖中
圖1和2示出了根據(jù)本實用新型的用于物體特別是晶片或襯底的 UV處理的裝置的第一實施方式，；
圖3和4示出了這種裝置的第二實施方式；
圖5示出了這種裝置的第三實施方式；以及
圖6示出了這種裝置的第四實施方式。
具體實施方式
下面進(jìn)行的陳述類似地應(yīng)用于晶片以及襯底。為了簡4更的原因，下 面將只使用術(shù)語晶片。圖l和圖2分別示意性地示出了用于晶片或襯底 的UV處理的裝置的第一實施方式的俯視圖和側(cè)視圖。該裝置包括底板 1，在底板l中布置有運輸系統(tǒng)2和UV光源3，其中UV光源3向上照 射UV光。運輸系統(tǒng)2包括馬達(dá)4、滾子5和傳送帶6。馬達(dá)4驅(qū)動至 少一條傳送帶6。 UV光源3布置在運輸系統(tǒng)2的中間。在示例中，運 輸系統(tǒng)2的左半部分用作裝載表面7，右半部分用作卸載表面8。在操 作過程中一個接一個的晶片被放在裝載表面7上，由運輸系統(tǒng)2在運輸 平面9中沿箭頭所指示的運輸方向10上被傳送到卸載表面8，并被從卸 載表面8取下。這種裝載和卸載能夠用手進(jìn)行或者通過全自動裝載站和 卸載站進(jìn)行。
UV光源3包括多個LED 11， LED 11在預(yù)定角度區(qū)域中發(fā)射紫外光， 所述預(yù)定角度在本示例中為大約120。。根據(jù)需要和應(yīng)用，能夠使用不同 類型的LEDll。紫外發(fā)光二極管(UVLED)是特別合適的，其主要或者 幾乎專門地發(fā)射在UV范圍中的光。能夠從Nichia公司獲得一種UV LED,該UV LED發(fā)射波長為大約365nm的光并且獲得310mW的光輸出功率。 該UV LED可以與包裝在外殼中的集成透鏡系統(tǒng)一起使用。該集成透鏡系 統(tǒng)用于在預(yù)定角度區(qū)域中發(fā)射UV光。在特定應(yīng)用中，能夠使用白光LED 作為LEDll，該白光LED發(fā)射包含相當(dāng)大量的UV射線的白光。
LED11不僅產(chǎn)生UV光，還產(chǎn)生廢熱。為了實現(xiàn)LEDll的最長可 能壽命，必需將LEDll的操作溫度保持為盡可能低。因此，UV光源3 包括熱沉12形式的被動冷卻部分或者熱沉12和風(fēng)扇13形式的主動冷 卻部分，其中風(fēng)扇13允許空氣流經(jīng)熱沉12。因此由LED ll產(chǎn)生的廢 熱能夠有效地傳遞到周圍環(huán)境中。LED 11例如安裝在印刷電路板14上， 并且印刷電路板14緊固到熱沉12。印刷電路板14選擇為使得印刷電路 板14將以最佳可能方式將由LED 11產(chǎn)生的廢熱引導(dǎo)到熱沉12。
當(dāng)使用陶瓷作為用于熱沉12的材料時，能夠?qū)崿F(xiàn)特別高的冷卻性能。 熱沉12能夠由單片陶瓷材料制成或者能夠由布置在兩個導(dǎo)軌之間的幾個 陶瓷塊制成，并且能夠單獨安裝。
LED 11以一行或者如圖所示地以多行布置在運輸平面9下方并且 是橫向偏移的，在本示例中所述多行是三行。在相對于運輸方向10的 橫向上測量的相鄰LED 11的距離A的尺寸確定為，使得所述LED的 錐形光束至少在邊緣處重疊，從而能夠照亮裝置的整個有用寬度B。在 本示例中，距離A為A-lcm。從恒流電源給LED ll供應(yīng)電流，其中 優(yōu)選地每八個LEDll (或者任意其它數(shù)量)串聯(lián)地連接。
下面的實施方式基于相同的技術(shù)，但是在實施形式上不同。因此， 上面所說的也類似地適用于下面的實施方式。
圖3和圖4示意性地示出了才艮據(jù)本實用新型的裝置的第二實施方式 的俯視圖和側(cè)視圖，其中，UV光源3布置在運輸平面9上方并且向下 照射。UV光源3緊固到底板l或者能翻開的蓋子上。傳送帶6連續(xù)地 延伸。UVLED11在本示例中以一行布置。
圖5示意性地示出了根據(jù)本實用新型的裝置的第三實施方式的俯視 圖，其中晶片安置在玻璃板15上，并且UV光源3布置在支架16上， 所述支架16能夠在布置在玻璃板15下方的引導(dǎo)裝置17上來回運動。 另一方面，在橫向于支架的驅(qū)動方向19的行中布置的LED ll向上照射。圖6示意性地示出了根據(jù)本實用新型的裝置的第四實施方式的俯視 圖，其中既沒有晶片的運輸也沒有UV光源3的任何移動。UV光源3 包括按行按列布置的并且照亮預(yù)定區(qū)域的LED 11。相鄰LED 11的錐形 光束在邊緣處在由表面區(qū)域形成的平面中重疊。與前面的示例中一樣， LED 11布置在熱沉上。
所描述的裝置適合用于任意期望物體特別是晶片或襯底的UV處 理。在半導(dǎo)體行業(yè)中，當(dāng)期望降低半導(dǎo)體芯片在金屬薄片上的粘結(jié)能力 時，應(yīng)用該裝置。半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)為彼此相鄰地布置在晶片上的多個集 成電路。晶片在端部膠合到夾在框架上的帶粘性的金屬薄片上，然后被 鋸成各個半導(dǎo)體芯片。之后，對具有各個半導(dǎo)體芯片的金屬薄片進(jìn)行 UV處理，以破壞金屬薄片的粘結(jié)能力或者以將所述粘結(jié)能力降低到期 望的程度。這樣做時，金屬薄片對著UV光源，并且半導(dǎo)體芯片位于金 屬薄片的背離UV光源的一側(cè)。
根據(jù)本實用新型的裝置還適合用于涂覆有光刻膠的晶片、襯底等的 處理，并且其中光刻膠必須用UV光處理。
當(dāng)需要使用UV光來固化粘結(jié)劑時，也能夠使用所述裝置.
雖然已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施方式和應(yīng)用，但是了解本 公開的益處的本領(lǐng)域的技術(shù)人員將很清楚，在不脫離本文的實用新型概 念的情況下可以作出不同于前面所述的許多修改。因此，本實用新型僅 受所附權(quán)利要求及其等同描述的精神的限制。
權(quán)利要求1. 一種用于晶片或襯底的UV處理的裝置，包括UV光源(3)，其特征是，所述UV光源包括多個LED(11)和熱沉(12)，其中，所述LED是能夠發(fā)射UV光或者含有UV光的光的LED，并且所述熱沉是用于將由所述LED產(chǎn)生的廢熱散發(fā)到周圍環(huán)境中的熱沉。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶片或襯底的UV處理的裝置，其特 征是，所述熱沉由陶瓷構(gòu)成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于晶片或襯底的UV處理的裝置， 其特征是，所述裝置還包括用于接收所述晶片或襯底的玻璃板(15)， 其中，所述UV光源以固定方式布置在所述玻璃板下方并照亮所述玻璃 板的預(yù)定表面區(qū)域。
專利摘要本實用新型涉及一種使用UV光對物體即晶片或襯底進(jìn)行UV處理的裝置，其包括UV光源(3)，所述UV光源包括多個LED(11)和熱沉(12)。所述LED發(fā)射UV光或者含有UV光的光。所述熱沉用于將由所述LED產(chǎn)生的廢熱散發(fā)到周圍環(huán)境中。
文檔編號H01L21/00GK201298538SQ20082011509
公開日2009年8月26日 申請日期2008年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月15日
發(fā)明者魯?shù)稀げㄌ芈?申請人:波瓦泰克有限公司