專利名稱：升降結(jié)構(gòu)改良的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種升降結(jié)構(gòu)改良，特別是涉及一種可達(dá)到易于置放 及拿取晶圓的功效的升降結(jié)構(gòu)改良。
背景技術(shù)：
一般現(xiàn)有習(xí)用的晶圓置放架，其是包含有一底框架、多數(shù)設(shè)置于底框架
各側(cè)邊的支柱、及一活動(dòng)疊設(shè)于底框架一面上且周緣設(shè)有缺口的承板；
當(dāng)使用時(shí)，可將該底框架架設(shè)于一致動(dòng)機(jī)構(gòu)上，而當(dāng)欲進(jìn)行晶圓置放 時(shí)，是利用致動(dòng)機(jī)構(gòu)的推桿通過底框架向上頂推該承板，使該承板往上升 起，待承板上升至預(yù)定高度后，則可吸附晶圓，并逐一層疊置放于承板的一 面上，再依據(jù)晶圓的放置數(shù)目逐漸降低推桿，而讓承板下降，讓各晶圓疊 設(shè)于承板的一面上，并限位于各支柱之間達(dá)到儲(chǔ)放晶圓的動(dòng)作；若各晶圓 儲(chǔ)放至欲定數(shù)量而欲取出進(jìn)行后段制程時(shí)，則以人工方式在各支柱間配合 承板周緣的各缺口，由下往上抬高承板，藉以將晶圓取出移至后段制程。
而由于該承板置放晶圓后與底框架疊設(shè)時(shí)，會(huì)因?yàn)榫A的重量而使承 板與底框架之間并無空隙，因此，當(dāng)與取出晶圓時(shí)，較不易將承板抬高，且 由于各支柱是固設(shè)于底框架的各側(cè)邊無法移動(dòng)，所以，使各支柱易形成干 涉，讓作業(yè)人員在抬高承板時(shí)較不易施力，而容易造成有施力不均使承板產(chǎn) 生歪斜，導(dǎo)致設(shè)置于承板上的晶圓在取出的過程中有磨損的情形發(fā)生。
由此可見，上述現(xiàn)有的晶圓置放架在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不 便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問題，相關(guān)廠商 莫不費(fèi)盡心思來謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來一直未見適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完 成，而一般產(chǎn)品又沒有適切結(jié)構(gòu)能夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲 解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型的升降結(jié)構(gòu)改良，實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā) 課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。
有鑒于上述現(xiàn)有的晶圓置放架存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn) 品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加 以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型的升降結(jié)構(gòu)改良，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的晶 圓置放架，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)過反復(fù)試作樣 品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本實(shí)用新型。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的晶圓置放架存在的缺陷，而提 供一種新型的升降結(jié)構(gòu)改良，所要解決的技術(shù)問題是使其可帶動(dòng)活動(dòng)座的
升降使晶圓置放于承板上，并在取用晶圓時(shí)，開啟第一、二 L型板進(jìn)行承
板與晶圓的拿取，而達(dá)到易于置放及拿取晶圓的功效，非常適于實(shí)用。 本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)
的。依據(jù)本實(shí)用新型提出的一種升降結(jié)構(gòu)改良，其包括有 一底座，其中央 處是設(shè)置一穿孔，且該底座的一側(cè)是活動(dòng)設(shè)有一固定桿； 一限位單元，是設(shè) 置于底座的一面上，其包含一結(jié)合于底座上的座體，該座體上是具有一與 穿孔對(duì)應(yīng)的對(duì)應(yīng)孔，且座體相鄰的二側(cè)是活動(dòng)設(shè)有一笫一L型板，該第一L 型板的一側(cè)緣是具有一與固定桿嵌接的嵌接部，并在該座體相鄰的另外二 側(cè)與第一 L型板外側(cè)分別設(shè)置至少二支柱，各支柱的二端是分別設(shè)置一滾 輪，該二滾輪上是環(huán)設(shè)有一傳動(dòng)件； 一活動(dòng)座，是活動(dòng)設(shè)置于限位單元一面 上，其包含一層疊于座體上的載板，該載板相鄰的二側(cè)是活動(dòng)設(shè)有一第二 L 型板，且該載板相鄰的另外二側(cè)與第二 L型板外側(cè)分別結(jié)合于傳動(dòng)件上；以 及一承板，是層疊于載板的一面上。
本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施來進(jìn)一步 實(shí)現(xiàn)。
前述的升降結(jié)構(gòu)改良，其中所述的限位單元的座體是配合多數(shù)固定組 件與底座結(jié)合。
前述的升降結(jié)構(gòu)改良，其中所述的座體相鄰的另外二側(cè)與第一 L型板外 側(cè)是分別設(shè)有置至少二缺口 ，而所述的支柱是分別配合固定組件固設(shè)于各 缺口中。
前述的升降結(jié)構(gòu)改良，其中所述的座體的一側(cè)是具有一延伸部，而所述 第一 L型板是配合一軸體與延伸部活動(dòng)結(jié)合。
前述的升降結(jié)構(gòu)改良，其中所述的傳動(dòng)件可為一履帶。
前述的升降結(jié)構(gòu)改良，其中所述的載板相鄰的另外二側(cè)與第二 L型板 外側(cè)是分別配合固定組件結(jié)合于傳動(dòng)件上。
前述的升降結(jié)構(gòu)改良，其中所述的載板的一側(cè)是具有一延伸部，而所述 第二 L型板是配合一軸體與延伸部活動(dòng)結(jié)合。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。經(jīng)由以上可 知，為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型4是供了一種升降結(jié)構(gòu)改良，包含有一中 央處具有穿孔且一側(cè)設(shè)有固定桿的底座； 一設(shè)置于底座上的限位單元，其包 含一與底座結(jié)合的座體，該座體上具有與穿孔對(duì)應(yīng)的對(duì)應(yīng)孔，且座體相鄰 的二側(cè)是活動(dòng)設(shè)有一第一 L型板,該第一 L型板的一側(cè)緣是具有一與固定桿 嵌接的嵌接部，并在座體相鄰的另外二側(cè)與第一 L型板外側(cè)分別設(shè)置至少二
支柱，各支柱的二端是分別設(shè)置一滾輪，該二滾輪上是環(huán)設(shè)有一傳動(dòng)件；一
4活動(dòng)設(shè)置于限位單元上的活動(dòng)座，其包含一層疊于座體上的載板，該載板相
鄰的二側(cè)是活動(dòng)設(shè)有一第二 L型板，且該載板相鄰的另外二側(cè)與第二 L型 板外側(cè)是分別結(jié)合于傳動(dòng)件上；以及一層疊于載板上的承板。
借由上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型升降結(jié)構(gòu)改良至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有 益效果本實(shí)用新型可以有效的改善現(xiàn)有習(xí)用升降結(jié)構(gòu)改良存在的種種缺 點(diǎn)，可以帶動(dòng)活動(dòng)座的升降使晶圓置放于承板上，并在取用晶圓時(shí)，開啟第 一、二 L型板進(jìn)行承板與晶圓的拿取，而達(dá)到易于置放以及拿取晶圓的功 效，進(jìn)而使本實(shí)用新型具有技術(shù)更進(jìn)步、更實(shí)用、更符合使用者所需的功效。
綜上所述，本實(shí)用新型是一種升降結(jié)構(gòu)改良，包含一具有穿孔及固定 桿的底座； 一設(shè)置于底座上具有座體的限位單元，該座體具有對(duì)應(yīng)穿孔的 對(duì)應(yīng)孔，且座體相鄰二側(cè)設(shè)有第一L型板，該第一L型板具有對(duì)應(yīng)固定桿 的嵌接部，而座體另外相鄰二側(cè)與第一 L型板外側(cè)設(shè)置具有滾輪與傳動(dòng)件 的支柱； 一設(shè)置于座體上具有載板的活動(dòng)座，該載板相鄰二側(cè)設(shè)有第二 L 型板，且載板另外相鄰二側(cè)與第二 L型板外側(cè)結(jié)合傳動(dòng)件；以及一設(shè)置于載 板上的承板。藉此，可帶動(dòng)活動(dòng)座的升降使晶圓置放于承板上，并在取用 晶圓時(shí)，開啟第一、二 L型板進(jìn)行承板與晶圓的拿取，而達(dá)到易于置放及 拿取晶圓的功效。本實(shí)用新型具有上述優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，其不論在產(chǎn)品結(jié) 構(gòu)或功能上皆有較大改進(jìn)，在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的 效果，且較現(xiàn)有的晶圓置放架具有增進(jìn)的突出功效，從而更加適于實(shí)用，誠(chéng) 為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí) 用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本實(shí)用 新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施 例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。


圖l是本實(shí)用新型的分解立體示意圖。 圖2是本實(shí)用新型的外觀立體示意圖。 圖3是本實(shí)用新型的剖面狀態(tài)示意圖。 圖4是本實(shí)用新型的使用狀態(tài)剖面示意圖。 圖5是本實(shí)用新型設(shè)置晶圓后的示意圖。 圖6是本實(shí)用新型欲拿取晶圓的示意圖。 1: 底座 11:穿孔
12:固定桿 2: 限位單元
21:座體 211:固定組件
212:延伸部 213:對(duì)應(yīng)孔214:缺口223:缺口
22:第一L型板221:軸體
222:嵌接部23:支柱
231:固定組件232:滾輪
233:傳動(dòng)件3:活動(dòng)座
31:載板311:延伸部
312:固定組件32:第二L型板
321:軸體4:承板
5:致動(dòng)4幾構(gòu)51:推桿
6:晶圓
具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及 功效，
以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型提出的升降結(jié)構(gòu)改良 其具體實(shí)施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
有關(guān)本實(shí)用新型的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，在以下配合參閱 圖式的較佳實(shí)施例的詳細(xì)說明中將可清楚的呈現(xiàn)。通過具體實(shí)施方式
的說
加深一入口且具體1々了解，然而所附圖式僅是提供參考與說明之用，并非用來對(duì) 本實(shí)用新型加以限制。
請(qǐng)參閱圖1、圖2及圖3所示，其中圖l是本實(shí)用新型的分解立體示意 圖、圖2是本實(shí)用新型的外觀立體示意圖及圖3是本實(shí)用新型的剖面狀態(tài) 示意圖。本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例的一種升降結(jié)構(gòu)改良，其至少是由一底座 1、 一限位單元2、 一活動(dòng)座3以及一承板4所構(gòu)成。
上述的底座1,其中央處是設(shè)置一穿孔11，且該底座1的一側(cè)是活動(dòng)設(shè) 有一固定桿12。
上述的限位單元2，是設(shè)置于底座1的一面上，其包含一配合多數(shù)固定組 件211結(jié)合于底座1上的座體21,該座體21的一側(cè)是具有一延伸部212，且 該座體21上是具有一與穿孔11對(duì)應(yīng)的對(duì)應(yīng)孔213，而座體21相鄰的二側(cè) 是活動(dòng)設(shè)有一第一 L型板22，該第一 L型板22是配合一軸體221與延伸部 212活動(dòng)結(jié)合，且該第一 L型板22的一側(cè)緣是具有一與固定桿l2嵌接的嵌 接部222，而在該座體21相鄰的另外二側(cè)與第一 L型板22外側(cè)分別設(shè)有置 至少二缺口 214、 223，各缺口 214、 223中分別配合固定組件固231設(shè)有至 少二支柱23,各支柱23的二端分別設(shè)置一滾輪232，該二滾輪232上環(huán)設(shè) 有一傳動(dòng)件233,而該傳動(dòng)件233可為一履帶。
上述的活動(dòng)座3,是活動(dòng)設(shè)置于限位單元2—面上，其包含一層疊于座體
621上的載板31，該載板31的一側(cè)具有一延伸部311,且該載板31相鄰的二 側(cè)活動(dòng)設(shè)有一第二 L型板32,該第二 L型板32是配合一軸體321與延伸部 311活動(dòng)結(jié)合，且該載板31相鄰的另外二側(cè)與第二 L型板32外側(cè)分別配合 固定組件312結(jié)合于傳動(dòng)件233上。
上述的承板4,是層疊于載板31的一面上。如此，藉由上述的結(jié)構(gòu)構(gòu)成 一全新的升降結(jié)構(gòu)改良。
請(qǐng)參閱圖4、圖5及圖6所示，其中圖4是本實(shí)用新型的使用狀態(tài)剖面 示意圖、圖5是本實(shí)用新型設(shè)置晶圓后的示意圖及圖6是本實(shí)用新型欲拿 取晶圓的示意圖。當(dāng)本實(shí)用新型在運(yùn)用時(shí)，可以配合一致動(dòng)機(jī)構(gòu)5進(jìn)行使 用，使該底座1架設(shè)于致動(dòng)機(jī)構(gòu)5上，而當(dāng)欲進(jìn)行晶圓6置放時(shí)，是利用致 動(dòng)機(jī)構(gòu)5的推桿51通過底座1與座體21的穿孔11及對(duì)應(yīng)孔213向上頂推 該活動(dòng)座3的載板31,使該活動(dòng)座3連同承板4往上升起，待活動(dòng)座3及 承板4上升至預(yù)定高度后，則可吸附晶圓6，并逐一層疊置放于承板4的一 面上，再依據(jù)晶圓6的放置數(shù)目逐漸降低推桿51，而讓活動(dòng)座3連同承板 4下降，讓各晶圓6疊設(shè)于承板4的一面上，并限位于各支柱23之間，而當(dāng) 該載板31因推桿51的作動(dòng)而上升或下降時(shí)，是可利用各支柱23的傳動(dòng)件 233配合滾輪232的連動(dòng)，而使活動(dòng)座3的上升或下降較為順暢，而讓各晶圓 6達(dá)到易于置ii的功效；
若各晶圓6儲(chǔ)放至欲定數(shù)量而欲取出進(jìn)行后段制程時(shí)，是扳動(dòng)該底座1 上的固定桿12,使該固定桿12移開第一 L型板22側(cè)緣的嵌接部"2，之后 將第一 L型板22往一側(cè)移動(dòng)，并同時(shí)使第一 L型板"上的各支柱"連動(dòng) 第二L型板32,使該第一L型板22、第二L型板32及各支柱23離開各晶 圓6的側(cè)緣不再形成限位，此時(shí)，即可配合移動(dòng)承板4進(jìn)行取出各晶圓6 的動(dòng)作，而達(dá)到易于置放及拿取晶圓6的功效。
當(dāng)然本實(shí)用新型在實(shí)際運(yùn)用時(shí)，亦可先行將第一L型板22、第二L型 板32及各支柱23往一側(cè)移開，使各晶圓6在進(jìn)行所需制程之后，分別將 各晶圓6疊設(shè)于承板4上，待承板4上疊設(shè)預(yù)定數(shù)量的晶圓6后，并將承 板4連同晶圓6置放于活動(dòng)座3的載板31上，再將第一 L型板22及第二 L 型板32往底座1與載板31的方向移動(dòng)，利用第一 L型板22的嵌接部222 與底座1的固定桿12嵌接，而使各晶圓6限位于各支柱23之間，而達(dá)到儲(chǔ) ;改的功歲文。
綜上所述，本實(shí)用新型升降結(jié)構(gòu)改良可以有效改善現(xiàn)有習(xí)用的種種缺 點(diǎn)，可以帶動(dòng)活動(dòng)座的升降使晶圓置放于承板上，并在取用晶圓時(shí)，開啟第 一及第二 L型板進(jìn)行承板與晶圓的拿取，而達(dá)到易于置放及拿取晶圓的功 效，進(jìn)而使本實(shí)用新型的產(chǎn)生能更進(jìn)步、更實(shí)用、更符合使用者的所須。
以上所述,僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以 限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方 案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化 的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新 型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬 于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種升降結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其包括有一底座，其中央處是設(shè)置一穿孔，且該底座的一側(cè)是活動(dòng)設(shè)有一固定桿；一限位單元，設(shè)置于底座的一面上，其包含一結(jié)合于底座上的座體，該座體上是具有一與穿孔對(duì)應(yīng)的對(duì)應(yīng)孔，且座體相鄰的二側(cè)是活動(dòng)設(shè)有一第一L型板，該第一L型板的一側(cè)緣是具有一與固定桿嵌接的嵌接部，并在該座體相鄰的另外二側(cè)與第一L型板外側(cè)分別設(shè)置至少二支柱，各支柱的二端是分別設(shè)置一滾輪，該二滾輪上是環(huán)設(shè)有一傳動(dòng)件；一活動(dòng)座，是活動(dòng)設(shè)置于限位單元一面上，其包含一層疊于座體上的載板，該載板相鄰的二側(cè)是活動(dòng)設(shè)有一第二L型板，且該載板相鄰的另外二側(cè)與第二L型板外側(cè)是分別結(jié)合于傳動(dòng)件上；以及一承板，是層疊于載板的一面上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所述的限位 單元的座體是配合多數(shù)固定組件與底座結(jié)合。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所述的座體 相鄰的另外二側(cè)與第一 L型板外側(cè)是分別設(shè)有至少二缺口 ，而所述的支柱是 分別配合固定組件固設(shè)于各缺口中。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所述的座體 的一側(cè)是具有一延伸部，而所述第一 L型+反是配合一軸體與延伸部活動(dòng)結(jié) 合。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所述的傳動(dòng) 件為一履帶。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所述的載板 相鄰的另外二側(cè)與第二 L型板外側(cè)是分別配合固定組件結(jié)合于傳動(dòng)件上。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降結(jié)構(gòu)改良，其特征在于其中所述的載板 的一側(cè)是具有一延伸部，而所述第二 L型板是配合一軸體與延伸部活動(dòng)結(jié) 合。
專利摘要本實(shí)用新型是有關(guān)于一種升降結(jié)構(gòu)改良，包括一底座，中央設(shè)置一穿孔，一側(cè)活動(dòng)設(shè)有一固定桿；一限位單元，設(shè)置于底座上，包含一座體，座體上具有與穿孔對(duì)應(yīng)的對(duì)應(yīng)孔，座體相鄰二側(cè)設(shè)有第一L型板，第一L型板具有與固定桿嵌接的嵌接部，座體相鄰另外二側(cè)與第一L型板外側(cè)分別設(shè)置至少二支柱，各支柱分別設(shè)置一滾輪，滾輪上設(shè)有傳動(dòng)件；一活動(dòng)座，設(shè)置于限位單元上，包含層疊于座體上的載板，載板相鄰二側(cè)設(shè)有第二L型板，載板相鄰另外二側(cè)與第二L型板外側(cè)分別結(jié)合傳動(dòng)件；以及一承板，層疊于載板上。藉此，可帶動(dòng)活動(dòng)座的升降使晶圓置放于承板上，并在取用晶圓時(shí)，開啟第一、二L型板進(jìn)行承板與晶圓的拿取，而達(dá)到易于置放及拿取晶圓的功效。
文檔編號(hào)H01L21/673GK201274288SQ20082012628
公開日2009年7月15日 申請(qǐng)日期2008年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月22日
發(fā)明者周士杰 申請(qǐng)人:可士達(dá)科技有限公司