專(zhuān)利名稱(chēng)：半導(dǎo)體后道設(shè)備基準(zhǔn)調(diào)整機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體后道設(shè)備上用來(lái)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行位置調(diào)整的一種基準(zhǔn)調(diào)整機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展后道設(shè)備的需求量與日俱增。目前后道設(shè)備的機(jī)械機(jī)構(gòu)早己實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化機(jī)構(gòu)。在一臺(tái)設(shè)備上可以做多種產(chǎn)品，廠家只要對(duì)相關(guān)機(jī)械機(jī)構(gòu)進(jìn)行更換或調(diào)整機(jī)械機(jī)構(gòu)位置基準(zhǔn)即可。現(xiàn)在實(shí)際生產(chǎn)中，現(xiàn)有的機(jī)械機(jī)構(gòu)的更換及其基準(zhǔn)調(diào)整都是通過(guò)手工直接對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行位置調(diào)整的，因此它的缺點(diǎn)是工作量大，調(diào)整麻煩，生產(chǎn)效率低。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型就是解決現(xiàn)有半導(dǎo)體后道設(shè)備的產(chǎn)品基準(zhǔn)調(diào)整時(shí)工作量大，調(diào)整麻煩，生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。
本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是半導(dǎo)體后道設(shè)備基準(zhǔn)調(diào)整機(jī)構(gòu)，它包括模塊安裝板、與模塊安裝板疊壓在一起的螺栓固定板及橫向偏移裝置，所述的橫向偏移裝置包括設(shè)置在兩板相鄰面之間、模塊安裝板上的兩個(gè)橫向滑槽和一個(gè)縱向滑槽及設(shè)置在螺栓固定板上的短軸和第二滑槽；短軸固接在螺栓固定板上，且與模塊安裝板上橫向滑槽位置對(duì)應(yīng)，使得模塊安裝板通過(guò)短軸與橫向滑槽的配合，實(shí)現(xiàn)模塊安裝板與螺栓固定板橫向能夠移動(dòng)，縱向相對(duì)固定；縱向滑槽與第二滑槽位置相對(duì)應(yīng)，螺栓固定板上的第 二滑槽與縱向滑槽縱向軸線呈小銳角傾斜；第二滑槽內(nèi)設(shè)有可沿滑槽前后 滑動(dòng)的滑塊，滑塊上固接有滑軸，滑軸置于模塊安裝板上縱向滑槽內(nèi)并與 之適配，模塊安裝板的端部固接有卡槽，卡槽內(nèi)設(shè)有帶卡口的卡板，絲桿 端部設(shè)有環(huán)形槽，環(huán)形槽置于卡口內(nèi)并適配，使得絲桿相對(duì)卡板能夠轉(zhuǎn)動(dòng) 而不能移動(dòng)，滑塊中心設(shè)有螺孔，滑塊與絲桿共同構(gòu)成絲桿機(jī)構(gòu)。
采用上述技術(shù)方案，當(dāng)產(chǎn)品固定在模塊安裝板上，當(dāng)需要橫向位置調(diào) 整時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿，絲桿在卡板的作用下只能轉(zhuǎn)動(dòng)不能移動(dòng)，而位于第二滑 槽內(nèi)的滑塊在絲桿的作用下可前移或后移，固接在滑塊上滑軸也隨之前移 或后移，由于滑軸另一端置于模塊安裝板上的縱向滑槽內(nèi)，而二滑槽呈一 定的角度，因此會(huì)推動(dòng)模塊安裝板偏移，而模塊安裝板在短軸與滑槽的配 合下只能橫向移動(dòng)，因此將推動(dòng)模塊安裝板橫向移動(dòng)。從而使固定在模塊 安裝板上的產(chǎn)品橫向位置改變時(shí)，只需轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿，即可實(shí)現(xiàn)，達(dá)到調(diào)整方 便，提高效率。
為使固定在模塊安裝板上的產(chǎn)品縱向位置也能被調(diào)整，它還包括縱向 偏移裝置，所述的縱向偏移裝置包括固定在模塊安裝板端部的固定板、與 固定板螺紋聯(lián)接的第三絲桿、導(dǎo)軌、第二絲桿及與套裝在第二絲桿上與第 二絲桿形成絲桿機(jī)構(gòu)的偏心螺柱；
螺栓固定板背面設(shè)有縱向燕尾槽，導(dǎo)軌位于燕尾槽內(nèi)并與燕尾槽適 配，第三絲桿一端擠壓在燕尾槽的端部；
導(dǎo)軌與螺栓固定板縱向接觸處設(shè)有方形凹槽，分別由導(dǎo)軌上的半方形 槽和螺栓固定板上的與之相對(duì)的半方形槽共同構(gòu)成，螺栓固定板上設(shè)有通孔，第二絲桿位于通孔內(nèi)， 一端設(shè)有環(huán)形槽并與通孔適配，使第二絲桿與 固定板只能轉(zhuǎn)動(dòng)而不能移動(dòng)，另一端與偏心螺柱聯(lián)接，偏心螺柱設(shè)在方形 凹槽內(nèi)，且偏心螺柱的最大偏心距超出兩個(gè)半方形槽的交界線。
這樣當(dāng)固定在模塊安裝板上產(chǎn)品縱向位置調(diào)整，向下移動(dòng)時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)第 三絲桿，第三絲桿的另一端將擠壓導(dǎo)軌，由于導(dǎo)軌是固定在工作臺(tái)面上的， 因此導(dǎo)軌不會(huì)移動(dòng)，這樣固定板將帶動(dòng)模塊安裝板在第三絲桿的作用下向 下移動(dòng)。當(dāng)需向上移動(dòng)時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)第二絲桿，偏心螺柱將擠壓在導(dǎo)軌上的半 方形槽的邊緣，繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，第二絲桿將使固定板和與固定板固接的模塊安 裝板一起向上稱(chēng)動(dòng)。反向轉(zhuǎn)動(dòng)第二絲桿，偏心螺柱將從半方形槽內(nèi)脫出， 整個(gè)調(diào)整機(jī)構(gòu)就能沿導(dǎo)軌拉出來(lái)。
綜上所述，本實(shí)用新型的有益效果是只需轉(zhuǎn)動(dòng)三個(gè)絲桿，即可實(shí)現(xiàn) 模塊安裝板上產(chǎn)品位置基準(zhǔn)的調(diào)整，因此本實(shí)用新型方便，調(diào)整速度快， 效率高。

圖l為本實(shí)用新型的仰視圖。
圖2為圖1的A—A向剖視圖。 圖3為圖1的B—B向剖視圖。
圖中，1、螺栓固定板，2、短軸，3、橫向滑槽，4、絲桿，5、第二 滑槽，6、縱向滑槽，7、滑軸，8、卡槽，9、第一內(nèi)螺母，10、第二絲桿， 11、第二內(nèi)螺母，12、第三內(nèi)螺母，13、壓縮彈簧，14、第三絲桿，15、 固定板，16、導(dǎo)向板，17、偏心螺柱，18、方形凹槽，19、導(dǎo)軌，20、模 塊安裝板，21、卡板，22、滑塊。
具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型如圖l所示，半導(dǎo)體后道設(shè)備基準(zhǔn)調(diào)整機(jī)構(gòu)，它包括模塊
安裝板20、與模塊安裝板20疊壓在一起的螺栓固定板1及橫向偏移裝置 和縱向偏移裝置。
橫向偏移裝置如圖1所示，它包括設(shè)置在兩板相鄰面之間、模塊安裝 板1上的兩個(gè)橫向滑槽3和一個(gè)縱向滑槽6及設(shè)置在螺栓固定板1上的短 軸2和第二滑槽5。短軸2固接在螺栓固定板1上，且與模塊安裝板20 上橫向滑槽3位置對(duì)應(yīng)，使得模塊安裝板20通過(guò)短軸2與橫向滑槽3的 配合，實(shí)現(xiàn)模塊安裝板20與螺栓固定板1橫向能夠移動(dòng)，縱向相對(duì)固定。 縱向滑槽6與第二滑槽5位置相對(duì)應(yīng)，縱向滑槽6條形方向與縱向中心軸 線平行，螺栓固定板1上的第二滑槽5縱向滑槽6中心軸線呈角度為5度 的傾斜。第二滑槽5內(nèi)設(shè)有可沿滑槽前后滑動(dòng)的滑塊22，滑塊22上固接 有滑軸7，滑軸7置于模塊安裝板20上縱向滑槽6內(nèi)并與之適配，模塊安 裝板20端部設(shè)有卡槽8，卡槽8內(nèi)設(shè)有帶卡口的卡板21，絲桿4的端部 設(shè)有環(huán)形槽，環(huán)形槽置于卡口內(nèi)并適配，使得絲桿4相對(duì)卡板21能夠轉(zhuǎn) 動(dòng)而不能移動(dòng)。為便于轉(zhuǎn)動(dòng)絲桿4，在絲桿4的端部固接有第一內(nèi)螺母9， 滑塊22中心設(shè)有螺孔，滑塊22與絲桿4共同構(gòu)成絲桿機(jī)構(gòu)。
縱向偏移裝置如圖1所示，它包括固定在模塊安裝板20端部的固定 板15、與固定板15螺紋聯(lián)接的第三絲桿14、導(dǎo)軌19、第二絲桿10及與 套裝在第二絲桿10上與第二絲桿10形成絲桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的偏心螺柱17。螺 栓固定板l背面設(shè)有縱向燕尾槽，為方便拆卸和組裝，如圖2所示，燕尾 槽一側(cè)邊由導(dǎo)向板16通過(guò)螺栓與螺栓固定板1固定共同構(gòu)成。導(dǎo)軌19位于燕尾槽內(nèi)并與燕尾槽適配。第三絲桿14一端擠壓在導(dǎo)軌19的端部。在 第三絲桿14上套裝壓縮彈簧13，為方便轉(zhuǎn)動(dòng)，第三絲桿14的端部固接第 三內(nèi)螺母12，使壓縮彈簧13擠壓在第三內(nèi)螺母12與固定板15之間，其 作用是壓緊第三絲桿14使整個(gè)機(jī)構(gòu)位置不會(huì)發(fā)生改變。導(dǎo)軌19與螺栓固 定板1縱向接觸處設(shè)有方形凹槽18，如圖1所示，分別由導(dǎo)軌19上的半 方形槽和螺栓固定板1上的與之相對(duì)的半方形槽共同構(gòu)成，螺栓固定板1 上設(shè)有穿過(guò)方形凹槽18的通孔，第二絲桿10下端設(shè)有環(huán)形槽，環(huán)形槽與 通孔適配，使第二絲桿10與固定板15只能相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)而不能相對(duì)移動(dòng)，第 三絲桿10的另一端與偏心螺柱17螺孔聯(lián)接，偏心螺柱17設(shè)在方形凹槽 18內(nèi)，且偏心螺柱17的最大偏心距超出兩個(gè)半方形槽的交界線。為方便 轉(zhuǎn)動(dòng)第二絲桿IO，在第二絲桿10的下端固接第二內(nèi)螺母11，這樣能夠輕 松轉(zhuǎn)輕轉(zhuǎn)動(dòng)第二絲桿10。
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權(quán)利要求1、半導(dǎo)體后道設(shè)備基準(zhǔn)調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征是它包括模塊安裝板[20]、與模塊安裝板疊壓在一起的螺栓固定板[1]及橫向偏移裝置，所述的橫向偏移裝置包括設(shè)置在兩板相鄰面之間、模塊安裝板[20]上的兩個(gè)橫向滑槽[3]和一個(gè)縱向滑槽[6]及設(shè)置在螺栓固定板[1]上的短軸[2]和第二滑槽[5]；短軸[2]固接在螺栓固定板[1]上，且與模塊安裝板[20]上橫向滑槽[3]位置對(duì)應(yīng)，使得模塊安裝板[20]通過(guò)短軸[2]與橫向滑槽[3]的配合，實(shí)現(xiàn)模塊安裝板[20]與螺栓固定板[1]橫向能夠移動(dòng)，縱向相對(duì)固定；縱向滑槽[6]與第二滑槽[5]位置相對(duì)應(yīng)，螺栓固定板[1]上的第二滑槽[5]與縱向滑槽[6]縱向軸線呈小銳角傾斜；第二滑槽[5]內(nèi)設(shè)有可沿第二滑槽前后滑動(dòng)的滑塊[22]，滑塊[22]上固接有滑軸[7]，滑軸[7]置于模塊安裝板[20]上縱向滑槽[6]內(nèi)并與之適配，模塊安裝板[20]的端部設(shè)有卡槽[8]，卡槽[8]內(nèi)設(shè)有帶卡口的卡板[21]，絲桿[4]端部設(shè)有環(huán)形槽，環(huán)形槽置于卡口內(nèi)并適配，使得絲桿[4]相對(duì)卡板[21]能夠轉(zhuǎn)動(dòng)而不能移動(dòng)，滑塊[22]中心設(shè)有螺孔，滑塊[22]與絲桿[4]共同構(gòu)成絲桿機(jī)構(gòu)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基準(zhǔn)調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征是它還包括縱向偏 移裝置，所述的縱向偏移裝置包括固定在模塊安裝板[20]端部的固定 板[15]、與固定板[15]螺紋聯(lián)接的第三絲桿[14]、導(dǎo)軌[19]、第二絲 桿[10]及套裝在第二絲桿[10]上與第二絲桿形成絲桿機(jī)構(gòu)的偏心螺柱[17];螺栓固定板[l]背面設(shè)有縱向燕尾槽，導(dǎo)軌[19]位于燕尾槽內(nèi)并 與燕尾槽適配，第三絲桿[14]一端擠壓在導(dǎo)軌[19]的端部；導(dǎo)軌[19]與螺栓固定板[1]縱向接觸處設(shè)有方形凹槽[18]，分別 由導(dǎo)軌上的半方形槽和螺栓固定板上的與之相對(duì)的半方形槽共同構(gòu) 成，螺栓固定板[l]上設(shè)有通孔，第二絲桿[10]位于通孔內(nèi)， 一端設(shè)有環(huán)形槽并與通孔適配，使第二絲桿[10]與固定板[15]只能轉(zhuǎn)動(dòng)而不 能移動(dòng)，另一端與偏心螺柱[17]聯(lián)接，偏心螺柱[17]設(shè)在方形凹槽[18] 內(nèi)，且偏心螺柱[18]的最大偏心距超出兩個(gè)半方形槽的交界線。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型半導(dǎo)體后道設(shè)備基準(zhǔn)調(diào)整機(jī)構(gòu)，它解決的是現(xiàn)有半導(dǎo)體后道設(shè)備調(diào)整工作量大，調(diào)整麻煩，生產(chǎn)效率低的問(wèn)題。它采用的技術(shù)方案是它包括模塊安裝板[20]、與之疊壓的螺栓固定板[1]及橫向偏移裝置和縱向偏移裝置，橫向偏移裝置通過(guò)絲桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和滑槽的配合實(shí)現(xiàn)兩板的橫向偏移，縱向偏移機(jī)構(gòu)兩個(gè)絲桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使兩板達(dá)到縱向上下偏移。本實(shí)用新型只需轉(zhuǎn)動(dòng)三個(gè)內(nèi)螺母即可達(dá)到四個(gè)方向位置調(diào)整的目的，因此調(diào)整工作量小，生產(chǎn)效率高。
文檔編號(hào)H01L21/67GK201270246SQ200820133690
公開(kāi)日2009年7月8日 申請(qǐng)日期2008年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月13日
發(fā)明者劉正龍, 吳俊山 申請(qǐng)人:銅陵三佳科技股份有限公司