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      硅片載片裝置的制作方法

      文檔序號(hào):6916818閱讀:174來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:硅片載片裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種放置硅片的工裝,尤其是一種在生產(chǎn)過(guò)程中的硅片載 片裝置。
      背景技術(shù)
      在太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過(guò)程中,生產(chǎn)線上常常會(huì)出現(xiàn)硅片的存放與轉(zhuǎn)移操 作,在生產(chǎn)中需要將擴(kuò)散后的硅片放置在硅片的放置工具中,再轉(zhuǎn)移到下道工 序,常用的方式是在凈化臺(tái)上放置一個(gè)載片盒,擴(kuò)散后的硅片放入其中,這樣 的放置效果是出現(xiàn)硅片疊得很不整齊現(xiàn)象,導(dǎo)致在后期的整理整齊過(guò)程中容易 產(chǎn)生碎片及絨面磨損等不良質(zhì)量問(wèn)題,導(dǎo)致產(chǎn)品合格率降低。

      實(shí)用新型內(nèi)容
      本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有因硅片在生產(chǎn)線中放置在載片盒的硅片不整齊現(xiàn)象 而產(chǎn)生的后期整理整齊過(guò)程中容易出現(xiàn)的碎片及絨面磨損等不良質(zhì)量問(wèn)題而提 供的一種可以整齊放置硅片的硅片載片裝置。
      本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的具體技術(shù)方案為在楔形體的斜 面上設(shè)有載片盒,楔形體的斜面在空間高度上形成1個(gè)角點(diǎn)位置最低,其它3
      個(gè)角點(diǎn)高度均高于該角點(diǎn)的斜面效果;載片盒設(shè)置在這樣的楔形體斜面上形成 載片盒的1個(gè)角在下面,其它3個(gè)角在其上方的效果,當(dāng)把擴(kuò)散后的硅片放入 到載片盒時(shí),硅片會(huì)因?yàn)橹亓Φ淖饔米詣?dòng)向下與最下面的底角靠齊。
      作為優(yōu)選,在楔形體的斜立面的低位端處設(shè)有靠體,或在楔形體的斜立面 的高位端處設(shè)有靠體。靠體的設(shè)置既為操作員工明確指導(dǎo)放置方向,又能對(duì)載片盒起到一定程度上的固定作用。
      作為優(yōu)選,載片盒由3個(gè)側(cè)立面的U形體和底面構(gòu)成,在載片盒的開口底 邊上設(shè)有支撐條,在開口底邊對(duì)面的U形體側(cè)立面及該側(cè)立面所在的底面設(shè)有 開口。支撐條的設(shè)置為載片盒與楔形體的有效配合提供一定程度上的保證同時(shí) 也為載片盒使用在其它流程工序的借用工具提供方便,開口的設(shè)置為生產(chǎn)過(guò)程 中硅片的放置與轉(zhuǎn)移操作提供方便。
      本實(shí)用新型的有益效果是通過(guò)在楔形體上設(shè)置載片盒的配合使用,使得
      載片盒在空間上形成1個(gè)角高度最低,其它3個(gè)角高度均高于該角點(diǎn)的效果,
      可以更好的保證在生產(chǎn)過(guò)程中的硅片更有效整齊放齊,減少在后期的整理整齊
      工作,降低碎片及絨面磨損等不良質(zhì)量的發(fā)生率,提高產(chǎn)品合格率;同時(shí)載片 盒作為單獨(dú)的工位器具也可以單獨(dú)使用在其它生產(chǎn)工序中,提高了生產(chǎn)工位器 具的利用率、節(jié)約資金。


      以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
      對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
      圖1是本實(shí)用新型硅片載片裝置的一種楔形體示意圖。
      圖2是本實(shí)用新型硅片載片裝置的載片盒示意圖。
      圖3是本實(shí)用新型硅片載片裝置的一種楔形體示意圖。
      圖4是本實(shí)用新型硅片載片裝置的一種使用效果示意圖。
      具體實(shí)施方式
      實(shí)施例一
      圖1、圖2所示的實(shí)施例1中,在楔形體(10)上設(shè)有載片盒(20),載片盒(20)設(shè)置在楔形體(10)的斜面(11)上,楔形體(10)的側(cè)立面(12)、 側(cè)立面(13)為楔形面,斜面(11)的角點(diǎn)(110)在高度上為斜面(11)的4 個(gè)角點(diǎn)中的最低點(diǎn),其它3個(gè)角點(diǎn)高度均高于角點(diǎn)(110)的高度;楔形體(10) 在其斜邊(ill)處設(shè)有靠體(14);載片盒(20)由3個(gè)側(cè)立面的U形體和底面 (25)構(gòu)成,在載片盒(20)的開口底邊(22)上設(shè)有支撐條(23),在開口底 邊(22)對(duì)面的U形體側(cè)立面(24)及側(cè)立面(24)所在的底面(25)處設(shè)有開 口 (21)。
      實(shí)施例二
      圖3所示的實(shí)施例2中,楔形體(10)在其斜邊(112)處設(shè)有靠體(15)。 其它同實(shí)施例l相同。
      載片裝置在使用時(shí),將楔形體(10)平放在凈化臺(tái)上,楔形體的斜面朝上, 將載片盒(20)放置在楔形體的斜面(11)上,載片盒的支撐條(23)的內(nèi)側(cè) 面與楔形體的側(cè)立面(12)相靠接,這樣載片盒可以斜靠接在楔形體上,并形 成載片盒的l個(gè)角在下面、3個(gè)角相對(duì)在其上面的效果,將硅片通過(guò)開口 (21) 和開口底邊(22)所在的敞開口放置進(jìn)載片盒中,硅片會(huì)因?yàn)橹亓ψ饔米詣?dòng)向 下與最下面的底角靠齊。避免了后期的再次整理硅片整齊工作,降低碎片及絨
      面磨損等不良質(zhì)量的發(fā)生率,提高產(chǎn)品合格率;同時(shí)載片盒也可以作為單獨(dú)的 工位器具單獨(dú)使用在其它生產(chǎn)工序中,提高了生產(chǎn)工位器具的利用率。
      權(quán)利要求1.一種硅片載片裝置,其特征在于在楔形體(10)上設(shè)有載片盒(20),載片盒(20)設(shè)置在楔形體(10)的斜面(11)上,楔形體(10)的側(cè)立面(12)、側(cè)立面(13)為楔形面,斜面(11)的角點(diǎn)(110)在高度上為斜面(11)4個(gè)角點(diǎn)中的最低點(diǎn),其它3個(gè)角點(diǎn)在高度上均高于角點(diǎn)(110)的高度。
      2. 按照權(quán)利要求1所述的硅片載片裝置,其特征在于所述的楔形體(10)在 其斜邊(111)處設(shè)有靠體(14)。
      3. 按照權(quán)利要求1所述的硅片載片裝置,其特征在于所述的楔形體(10)在 其斜邊(112)處設(shè)有靠體(15)。
      4. 按照權(quán)利要求1或2或3所述的硅片載片裝置,其特征在于所述的載片盒(20)由3個(gè)側(cè)立面的U形體和底面(25)構(gòu)成,在載片盒(20)的開口底 邊(22)上設(shè)有支撐條(23),在開口底邊(22)對(duì)面的U形體側(cè)立面(24) 及側(cè)立面(24)所在的底面(25)處設(shè)有開口 (21)。
      專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅片載片裝置,在楔形體(10)上設(shè)有載片盒(20),載片盒(20)設(shè)置在楔形體(10)的斜面(11)上,楔形體(10)的側(cè)立面(12)、側(cè)立面(13)為楔形面,斜面(11)的角點(diǎn)(110)在高度上為斜面(11)的4個(gè)角點(diǎn)中的最低點(diǎn),其它3個(gè)角點(diǎn)在高度上均高于角點(diǎn)(110)的高度;載片盒(20)設(shè)有支撐條(23)和開口(21)。這樣當(dāng)把擴(kuò)散后的硅片放入到載片盒時(shí),硅片會(huì)因?yàn)橹亓Φ淖饔米詣?dòng)向下與最下面的底角靠齊,減少在后期的整理整齊工作,降低碎片及絨面磨損等不良質(zhì)量的發(fā)生率,提高產(chǎn)品合格率。
      文檔編號(hào)H01L21/67GK201302989SQ20082016937
      公開日2009年9月2日 申請(qǐng)日期2008年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月1日
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