專利名稱：一種硅片放置裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種工裝，尤其涉及一種硅片放置裝置。
背景技術(shù)：
硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是專門用于太陽能電池片和半導(dǎo)體硅片的生 產(chǎn)制造過程中對濕法腐蝕清洗后的硅片進(jìn)行千燥和潔凈化處理的一 道工序，目前國內(nèi)外的設(shè)備主要有單工位，雙工位和四工位三種，一 次只能放一個，兩個或四個硅片盒，產(chǎn)量低，結(jié)構(gòu)單薄，高速旋轉(zhuǎn)易 產(chǎn)生震動和變形，引起硅片碎裂。
實用新型內(nèi)容
本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種硅片放置裝置。 本實用新型采用的技術(shù)方案是
一種硅片放置裝置由上板、中間板、底板、前擋桿、中間擋桿和 后擋桿組成；其中上板、中間板和底板為圓形，外徑大小一致，三者 為垂直方向同軸平行放置；上板和中間板邊緣均設(shè)置有"凸"字形齒 槽，齒槽內(nèi)側(cè)邊緣的垂直方向均設(shè)置有前擋桿、中間擋桿和后擋桿， 各擋桿一端連接上板，穿過中間板后另一端與底板連接；上板、中間 板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿形成了一個中空框，框中的空間為放 置硅片盒所設(shè)置。
所述的底板中心位置設(shè)有圓孔，四周環(huán)繞平均分布有多個橢圓形孔。
本實用新型利用上板、中間板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿所形成的中空框，將硅片盒能夠放置于內(nèi)，在高速轉(zhuǎn)動過程中，硅片盒在 離心力的作用下，能夠牢牢地固定在中空框內(nèi)，五面的夾持使硅片盒 非常穩(wěn)定，硅片不會因碰撞而碎裂，整體具有結(jié)構(gòu)簡單，拆卸、清洗 方便，放置硅片多等優(yōu)點。

圖l為本實用新型結(jié)構(gòu)圖；具體實施方式
如圖1所示， 一種硅片放置裝置由上板1、中間板2、底板3、 前擋桿4、中間擋桿5和后擋桿6組成；實施時，將本裝置通過底板 3的圓孔放于加工設(shè)備的轉(zhuǎn)動軸上，并將放置有硅片的硅片盒放入由 上板l、中間板2、前擋桿4、中間擋桿5和后擋桿6形成的六個中 空框內(nèi)，在高速轉(zhuǎn)動中，硅片盒的各個面均相對固定，使硅片不會因 碰撞而產(chǎn)生碎裂，加工完成后取出硅片盒即可，利用底板3中多個橢 圓形孔可對甩干設(shè)備進(jìn)行清理。
本實用新型采用上板、中間板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿形成 六個中空框的設(shè)計，不僅提高了硅片的放置數(shù)量，也使硅片在加工過 程中更為安全，整體結(jié)構(gòu)簡單、拆卸清洗方便，安全性高，具有極大 的推廣價值。
權(quán)利要求1、一種硅片放置裝置由上板、中間板、底板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿組成；其特征在于所述的上板、中間板和底板為圓形，外徑大小一致，三者為垂直方向同軸平行放置，齒槽內(nèi)側(cè)邊緣的垂直方向均設(shè)置有前擋桿、中間擋桿和后擋桿，上板、中間板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿形成了一個中空框。
2、 根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種硅片放置裝置，其特征在于,.所 述的上板和中間板邊緣均設(shè)置有"凸"字形齒槽。
3、 根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種硅片放置裝置，其特征在于所述的底板中心位置設(shè)有圓孔，四周環(huán)繞平均分布有多個橢圓形孑L。
專利摘要本實用新型公開了一種硅片放置裝置由上板、中間板、底板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿組成；上板和中間板邊緣均設(shè)置有“凸”字形齒槽，齒槽內(nèi)側(cè)邊緣的垂直方向均設(shè)置有前擋桿、中間擋桿和后擋桿，各擋桿一端連接上板，穿過中間板后另一端與底板連接；本實用新型利用上板、中間板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿所形成的中空框，將硅片盒能夠放置于內(nèi)，在高速轉(zhuǎn)動過程中，硅片盒在離心力的作用下，能夠牢牢地固定在中空框內(nèi)，五面的夾持使硅片盒非常穩(wěn)定，硅片不會因碰撞而碎裂，整體具有結(jié)構(gòu)簡單，拆卸、清洗方便，放置硅片多等優(yōu)點。
文檔編號H01L21/687GK201421837SQ20082017959
公開日2010年3月10日 申請日期2008年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月5日
發(fā)明者陳世強(qiáng), 凌 陶 申請人:無錫市奧曼特科技有限公司