專(zhuān)利名稱(chēng)：改善鏈處理準(zhǔn)確度的預(yù)測(cè)性脈沖觸發(fā)的用法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于用以處理目標(biāo)樣本的脈沖式激光技術(shù)。著作權(quán)聲明
2008年Electro Scientific Industries股份有限公司。本專(zhuān)利文件的部分揭示內(nèi)容受到著作權(quán)保護(hù)。著作權(quán)擁有者不反對(duì)任何人復(fù)制專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所專(zhuān)利檔案或記錄中本專(zhuān)利文件或本專(zhuān)利揭示內(nèi)容，不過(guò)，保留所有著作權(quán)的權(quán)利。
背景技術(shù)：
集成電路(尤其是用在計(jì)算機(jī)內(nèi)存數(shù)組中的集成電路)經(jīng)常會(huì)被設(shè)計(jì)成重復(fù)的圖案，其運(yùn)用一被復(fù)制在一半導(dǎo)體芯片的龐大面積上的單元胞體(cell)。此種密集電路系統(tǒng)的制造良率有越來(lái)越低的傾向，因?yàn)槲⒘；蚱渌毕莺碗娦灾鲃?dòng)組件或互連電線(xiàn)重迭的可能性越來(lái)越高，從而使得它們無(wú)法運(yùn)作。解決此問(wèn)題的其中 一種方式必須建立冗余胞體，這些冗余胞體可用來(lái)取代在進(jìn)行電性測(cè)試期間所發(fā)現(xiàn)到的故障胞體。 一激光射束藉由割斷特定的電性連接線(xiàn)便能完成此取代步驟，同時(shí)可讓其它胞體保持不變。
將一晶圓分割成多個(gè)個(gè)別芯片之前，在晶圓層級(jí)處來(lái)執(zhí)行此錯(cuò)誤修正處理最有效。于一典型的內(nèi)存修補(bǔ)統(tǒng)中，整個(gè)晶圓在一激光光學(xué)組件的下方于一自動(dòng)控制平臺(tái)上^皮運(yùn)送，該激光光學(xué)組件被程序化成用以在激光射束軸對(duì)齊所希的連接點(diǎn)或連結(jié)鏈時(shí)觸發(fā)一激光脈沖。該激光射束軸在該晶圓上相對(duì)于該連結(jié)鏈的速度(亦稱(chēng)為鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度(link mn velocity))以及激光射束觸發(fā)系統(tǒng)的準(zhǔn)確度則會(huì)界定此等鏈處理平臺(tái)的質(zhì)量和總處理量。
目前，激光修補(bǔ)系統(tǒng)能夠在高達(dá)210mm/sec的鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度下，于分隔約2微米的裝置上每秒處理100,000條連結(jié)鏈。目前適合用來(lái)進(jìn)行內(nèi)存修補(bǔ)的激光的脈沖重復(fù)頻率(PRF)高達(dá)150kHz或是每秒150,000個(gè)脈沖。激光的發(fā)展持續(xù)提高脈沖重復(fù)頻率并且預(yù)期會(huì)有具數(shù)百個(gè)kHz PRF的激光。Electro ScientificIndustries股份有限公司(其為本專(zhuān)利申請(qǐng)案的受讓人)提供一種型號(hào)為9850的雙射束鏈處理系統(tǒng)，其能夠在特殊的操作模式中倍增激光PRF。本領(lǐng)域希望在為激光PRF和鏈間距的乘積的速度處來(lái)處理鏈運(yùn)轉(zhuǎn)作業(yè)。當(dāng)此速度超過(guò)該系統(tǒng)的最大能力時(shí)，鏈運(yùn)轉(zhuǎn)作業(yè)便必須在較慢的速度處來(lái)實(shí)施。因此，激光射束脈沖可以在遠(yuǎn)快于激光射束軸能夠從一 目標(biāo)前進(jìn)至下一個(gè)目標(biāo)的速度的速率處被觸發(fā)。此差別便提供大幅提高鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度的機(jī)會(huì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明說(shuō)明一種「預(yù)測(cè)性脈沖觸發(fā)(PPT)」方法，其可在一鏈處理系統(tǒng)中觸發(fā)一激光射束時(shí)來(lái)改善系統(tǒng)準(zhǔn)確度。于一較佳的實(shí)施例中，該P(yáng)PT方法在用于支撐一晶圓的平臺(tái)運(yùn)動(dòng)期間(舉例來(lái)說(shuō)，以高速恒定的速度來(lái)運(yùn)動(dòng))，在「行進(jìn)中(on the fly)」促成激光脈沖觸發(fā)。該P(yáng)PT方法必須預(yù)估連結(jié)鏈位置和激光射束軸位置，并且依據(jù)此預(yù)估結(jié)果來(lái)觸發(fā)該激光射束。用以提供該晶圓支撐平臺(tái)的位置指示結(jié)果的度量源頭包含千涉計(jì)、光學(xué)編碼器、以及眾多其它各式各樣的傳感器。
依據(jù)測(cè)量和交換該晶圓支撐平臺(tái)位置來(lái)觸發(fā)產(chǎn)生一激光脈沖的本技術(shù)目前最新的系統(tǒng)的特征為誤差大小大于以使用經(jīng)預(yù)測(cè)參數(shù)為特征所產(chǎn)生的誤差的十倍。使用經(jīng)測(cè)量參數(shù)來(lái)觸發(fā)一激光射束中的誤差隨著鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度而線(xiàn)性增加，也就是，當(dāng)一激光射束軸的速度提高時(shí)，準(zhǔn)確地測(cè)量其位置以及觸發(fā)產(chǎn)生一激光射束來(lái)瞄準(zhǔn)一所希連結(jié)鏈的能力便會(huì)下降。系統(tǒng)誤差的程度還會(huì)相依于測(cè)量取樣頻率，因?yàn)槿勇试礁?也就是，每個(gè)單位時(shí)間有較多的測(cè)量值)便會(huì)越準(zhǔn)確。相反地，使用PPT來(lái)觸發(fā)一激光射束中的誤差主要?jiǎng)t相依于估計(jì)值的準(zhǔn)確度。該些估計(jì)值可能以不同時(shí)間處的平臺(tái)位置的多次測(cè)量值為主、以鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度為主、以及以其它數(shù)據(jù)為主。它們的準(zhǔn)確度可能遠(yuǎn)大于個(gè)別的傳感器測(cè)量值，而且它們可以在高于可用傳感器的取樣率處被產(chǎn)生。
從下面較佳實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明，參考附圖，將會(huì)明白本發(fā)明的額外觀(guān)點(diǎn)與優(yōu)點(diǎn)。


圖1所示為被導(dǎo)引至一目標(biāo)樣本表面的激光射束的示意圖。 圖2所示為沿著一列要被割斷的連結(jié)鏈以鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度V^來(lái)移動(dòng)的激光朝 束光點(diǎn)的示意圖，其說(shuō)明的用于觸發(fā)一激光射束來(lái)割斷一連結(jié)鏈的以位置為主
的準(zhǔn)則。
圖3所示為完全以測(cè)量為主的現(xiàn)有激光脈沖觸發(fā)方法的概要流程圖。
圖4所示為用以比較經(jīng)測(cè)量位置數(shù)據(jù)和經(jīng)外插位置數(shù)據(jù)的一組關(guān)系圖，用
以說(shuō)明PPT方法的平滑化效果。
圖5所示為PPT方法的估計(jì)算法的詳細(xì)步驟的方塊圖。
圖6所示為依據(jù)運(yùn)動(dòng)參數(shù)測(cè)量和估計(jì)的組合的PPT激光射束觸發(fā)方法的
概要流程圖。
具體實(shí)施例方式
圖l所示為沿著一傳播軸被導(dǎo)引至一半導(dǎo)體晶圓102表面的脈沖式激光射 束IOO。晶圓102被定位在一可移動(dòng)的支撐臺(tái)或平臺(tái)104之上。該晶圓表面上 的特征圖案包含要被一激光射東IOO來(lái)處理的多列目標(biāo)結(jié)構(gòu)106。激光射束00 的射束傳播軸108的位置可藉由控制光學(xué)器件(例如能夠再導(dǎo)向射束傳播軸 108的面鏡110和透鏡112)以及經(jīng)由支撐臺(tái)104的運(yùn)動(dòng)而相對(duì)于目標(biāo)結(jié)構(gòu)來(lái)移 動(dòng)。
下面將參考圖2和3配合在一鏈處理系統(tǒng)中觸發(fā)產(chǎn)生一激光射束脈沖來(lái)說(shuō) 明PPT方法優(yōu)于以經(jīng)測(cè)量位置數(shù)據(jù)為主的標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)方法的對(duì)照優(yōu)點(diǎn)。圖2所 示的沿著一列目標(biāo)結(jié)構(gòu)或連結(jié)鏈106來(lái)移動(dòng)的激光射束軸108,其中，某些連 結(jié)鏈106被指定成要被割斷。射束軸108在晶圓102上定義一激光射束光點(diǎn) 114的中心。圖3所示為根據(jù)現(xiàn)有以測(cè)量為主的激光脈沖觸發(fā)方法所實(shí)行的處 理步驟的流程圖。參考圖2與圖3， 一千涉計(jì)(圖中并未顯示)，例如可從位于 美國(guó)康乃迪克州MiddlefieW的Zygo股份有限公司處所購(gòu)得的ZMI 2001,藉 由在周期性的時(shí)間位移區(qū)間處測(cè)量支撐臺(tái)104的設(shè)置位置來(lái)測(cè)量射束軸108 相對(duì)于晶圓102的位置Pm。接著，射束軸位置PM便會(huì)與所希的觸發(fā)位置PT
6作比較。接著，便會(huì)評(píng)估剩余目標(biāo)前進(jìn)距離I PM-PT I ，用以判斷激光射束光 點(diǎn)114是否位于以鏈觸發(fā)位置PT為中心的一可接受位置觸發(fā)窗口 Pw內(nèi)。倘若 并不滿(mǎn)足此條件的話(huà)，那么，激光射束軸108的設(shè)置位置4更與該目標(biāo)相距太遠(yuǎn)
而無(wú)法啟動(dòng)激光射束100。所以，平臺(tái)104繼續(xù)以目標(biāo)鏈106為基礎(chǔ)，在鏈運(yùn) 轉(zhuǎn)速度V^處來(lái)移動(dòng)激光射束軸108的位置Pm,并且重復(fù)進(jìn)行PM的測(cè)量作業(yè)。 當(dāng)前進(jìn)距離I PM-PT I落在位置窗口 Pw內(nèi)時(shí)， 一激光射束脈沖便會(huì)被觸發(fā)，而 該連結(jié)鏈106則會(huì)4皮割斷。
觸發(fā)位置PT被決定之后使得在軸位置PM與觸發(fā)位置PT—致時(shí)產(chǎn)生一激
光脈沖，用以在位置P^處的指定目標(biāo)鏈106上精確地傳送一激光射束光點(diǎn)114。 一般來(lái)說(shuō)，該觸發(fā)位置位于該鏈位置的前面，用以讓該激光電源供應(yīng)器和激光 頭有時(shí)間產(chǎn)生該脈沖并且讓該光有時(shí)間傳播通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)。在鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度VL 而預(yù)設(shè)脈沖產(chǎn)生與傳播時(shí)間為T(mén)p哪處，觸發(fā)位置PT=PL-VLTprop。不過(guò)，該觸 發(fā)位置亦可能位于該鏈位置處。
標(biāo)準(zhǔn)的觸發(fā)方法在高鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度處產(chǎn)生問(wèn)題，因?yàn)槲恢脺y(cè)量的準(zhǔn)確度和取 樣率不足以在觸發(fā)激光射束100時(shí)提供所希的精確程度。不過(guò)，PPT方法藉由 估計(jì)中間的位置，取代實(shí)際進(jìn)行更頻繁的位置測(cè)量，則提供高位置測(cè)量取樣率 的好處。下面參考圖4與圖5來(lái)說(shuō)明該P(yáng)PT方法。在圖4的關(guān)系圖A中，圓 形灰點(diǎn)代表的是當(dāng)激光射束軸108沿著一列要被割斷的目標(biāo)鏈106移動(dòng)時(shí)在 fM=7.1MHz的取樣率處所取得的該可移動(dòng)晶圓支撐臺(tái)104的經(jīng)測(cè)量位置PM。 在fE=100MHz處所算出的相同平臺(tái)的外插位置PE則如黑點(diǎn)所示。在每一個(gè)測(cè) 量區(qū)間內(nèi)有100/7.1=14個(gè)外插位置Pe。藉由從圖4的關(guān)系圖A中所示的位置 數(shù)據(jù)處扣除一擬合線(xiàn)便可進(jìn)行特寫(xiě)比較，其中，所生成的差異位置數(shù)據(jù)310 如圖4的關(guān)系圖B中所示。圖4的關(guān)系圖B在經(jīng)測(cè)量的位置數(shù)據(jù)集中指出一 已提高的噪聲位準(zhǔn)312，其與藉由外插法所取得的較高精確位準(zhǔn)314來(lái)作比較。
圖4的關(guān)系圖C說(shuō)明的是使用PPT方法對(duì)用來(lái)估計(jì)中間位置的觸發(fā)窗口 所造成的效應(yīng)。當(dāng)晶圓102以高速移動(dòng)時(shí)，用于成功觸發(fā)激光射束100的位置 觸發(fā)窗口 Pw的寬度便會(huì)提高。再者，想要知道激光射束軸108何時(shí)會(huì)位于位 置窗口 Pw內(nèi)則相依于激光射束軸位滯的頻繁反饋。所以，位置觸發(fā)窗口 Pw 的可容許選擇由測(cè)量取樣率fM來(lái)規(guī)定。該范例中的外插位置數(shù)據(jù)的取樣率fE約比測(cè)量取樣率fM大14倍。所以，當(dāng)使用PPT方法時(shí)，觸發(fā)窗口Pwin可能會(huì) 比沒(méi)有PPT方法好處的觸發(fā)窗口 Pw要窄14倍，從而允許會(huì)有更高的觸發(fā)精確度。
圖5所示為用于說(shuō)明依據(jù)瞬時(shí)速度測(cè)量來(lái)外插位置pe的算法的方塊圖。
圖6所示為根據(jù)圖5中所示的子系統(tǒng)的操作所施行的算法所實(shí)行的處理步驟的 流程圖。在圖5中，「Zygo位置Zn」所指的由一Zygo干涉計(jì)所提出的一連串 晶圓支撐臺(tái)位置測(cè)量值。經(jīng)測(cè)量晶圓支撐臺(tái)位置數(shù)據(jù)Zn的平均值A(chǔ)n以及瞬時(shí) 鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度V,.均為位置計(jì)算模塊320的輸入，該位置計(jì)算模塊根椐標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn) 動(dòng)公式xnew=x。ld+VLt來(lái)推算經(jīng)外插激光射束位置Pz,其中，t代表的是從上次 位置測(cè)量所經(jīng)過(guò)的流逝時(shí)間。一^:來(lái)說(shuō)，在速率fe=100MHz處來(lái)產(chǎn)生PPT位 置估計(jì)值，其對(duì)應(yīng)于10奈秒的周期Te。
因?qū)嵭鞋F(xiàn)有方法而造成的誤差源頭經(jīng)理解如下。首先，位置窗口 Pw在形 式上被定義成在一取樣周期TM中所前進(jìn)的最大距離加上一以設(shè)備為主的常數(shù) P產(chǎn)5nm。最大平臺(tái)速度被寬松地假設(shè)為所希鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度VL的1.3倍。因此， 位置窗口 Pw=1.3VJm+Pf，其中，取樣周期TM為傳感器取樣率fM的倒數(shù)。舉 例來(lái)說(shuō)，倘若，傳感器取樣率fM=6.7MHz而鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度VL-200mm/sec的話(huà)， 那么經(jīng)估計(jì)的位置窗口 Pw=44nm。因?yàn)樵摯翱谝栽撚|發(fā)位置為中心，所以， 此數(shù)值呈現(xiàn)用于定位激光射束100的最差情況誤差22nm的兩倍，其由傳感器 取樣率fM和激光射束軸108橫越晶圓102的鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度V^來(lái)獨(dú)特決定。
參考圖6，該P(yáng)PT方法使用一經(jīng)測(cè)量的數(shù)值Vmeans、 一估計(jì)值Vest、或是 直接使用一速度設(shè)定點(diǎn)Ve。m( 「受控速度(commanded velocity)」)作為近似平臺(tái) 速度Vstage。如決策方塊330所示，接著可以下面兩種方式中其中一者來(lái)達(dá)成 觸發(fā)一激光脈沖的目的以時(shí)間為主的觸發(fā)或是以位置為主的觸發(fā)。如決策方 塊330的「 P」輸出所示，以位置為主的觸發(fā)實(shí)施例比較剩余前進(jìn)距離I PE-PT I 和位置窗口 Pwin,其中，Pe代表外插位置，而P^則代表因較高的PPT取樣率 fE所造成的較窄位置窗口。如決策方塊330的「 T」輸出所示，以時(shí)間為主的 觸發(fā)實(shí)施例利用前進(jìn)距離I PM-PT I除以近似平臺(tái)速度Vstage來(lái)計(jì)算激光觸發(fā) 時(shí)間Ttfig。
使用PPT方法的觸發(fā)窗口 P謂可藉由將PPT參數(shù)代入前面所介紹的公式P，-1.3VlJ;+Pf之中而被算出。對(duì)相同的200mm/秒鏈運(yùn)轉(zhuǎn)速度及l(fā)OOMHz的 估計(jì)頻率來(lái)說(shuō)，觸發(fā)窗口寬度縮減至僅有7.6微米，而最差情況誤差則僅有3.8 微米。比較此最差情況位置誤差和使用現(xiàn)有方法在上面所算出的22nm對(duì)應(yīng)最 差情況位置誤差便顯示出，相較于現(xiàn)有的方法，使用PPT方法時(shí)在定位準(zhǔn)確 度方面有六倍以上的改善。
替代實(shí)施例可使用各種位置和速度測(cè)量裝置作為干涉計(jì)的替代裝置，舉例 來(lái)說(shuō)光學(xué)式或干涉式編碼器；溫度傳感器、壓力傳感器、或是應(yīng)變儀傳感器； 超音波傳感器、自動(dòng)準(zhǔn)直儀、光學(xué)傳感器(四胞體式傳感器、PSD傳感器、CCD 視覺(jué)傳感器)、以及電子傳感器(電容式、電感式、LVDT)。此外，用于產(chǎn)生估 計(jì)值的各種替代數(shù)據(jù)處理技術(shù)則包含使用FPGA來(lái)進(jìn)行計(jì)算的鏈處理器電路 板(LIP)以及運(yùn)用數(shù)字訊號(hào)處理器的實(shí)時(shí)計(jì)算器(RTC)?？蓱?yīng)用的訊號(hào)處理技術(shù) 則包含神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)，訊號(hào)濾波與平均，卡爾曼濾波(Kalman filtering ),以及 模糊邏輯(fuzzy logic)。
熟習(xí)本技術(shù)的人士便會(huì)明白，可以在不脫離本發(fā)明的基礎(chǔ)原理下對(duì)上面所 述實(shí)施例的細(xì)節(jié)進(jìn)行眾多變更。所以，本發(fā)明的范疇?wèi)?yīng)該僅由下面的申請(qǐng)專(zhuān)利 范圍來(lái)決定。
權(quán)利要求
1.一種準(zhǔn)確觸發(fā)被導(dǎo)引激光脈沖來(lái)處理一目標(biāo)樣本的方法，這些激光脈沖沿著一射束軸傳播而該目標(biāo)樣本被安置在一支撐臺(tái)上，而且該射束軸與支撐臺(tái)相對(duì)于彼此來(lái)移動(dòng)用以藉由入射在該目標(biāo)樣本的指定位置上的激光脈沖來(lái)處理這些指定位置，其包括在多個(gè)時(shí)間位移測(cè)量區(qū)間處決定該射束軸與該支撐臺(tái)之間的對(duì)應(yīng)相對(duì)位置；選擇對(duì)應(yīng)于該射束軸與該支撐臺(tái)之間的相對(duì)位置的該射束軸與該支撐臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)速度；在連續(xù)的時(shí)間位移測(cè)量區(qū)間之間預(yù)測(cè)該射束軸相對(duì)于該支撐臺(tái)的中間位置；以及響應(yīng)于該選擇速度和該經(jīng)預(yù)測(cè)中間位置，而觸發(fā)一激光脈沖，用以處理一指定的目標(biāo)樣本位置。
2. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中，該選擇速度包含一對(duì)應(yīng)于該射束軸 與該支撐臺(tái)之間的其中 一 個(gè)相對(duì)位置的經(jīng)測(cè)量速度值。
3. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中，該選擇速度包含該射束軸與該支撐 臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)的受控設(shè)定點(diǎn)速度。
4. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中，該選擇速度包含以該射束軸與該支 撐臺(tái)的相對(duì)移動(dòng)為主的估計(jì)值。
5. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中，在多個(gè)時(shí)間位移區(qū)間處所決定的這 些對(duì)應(yīng)相對(duì)位置由一干涉計(jì)來(lái)提供。
6. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中，在多個(gè)時(shí)間位移區(qū)間處所決定的這 些對(duì)應(yīng)相對(duì)位置由一編碼器來(lái)提供。
7. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中，該射束軸相對(duì)于該支撐臺(tái)的中間位 置的預(yù)測(cè)運(yùn)用到一卡爾曼濾波器。
8. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中，該觸發(fā)時(shí)間的計(jì)算運(yùn)用到一鏈處理 (LIP)電路板。
9. 如權(quán)利要求1所述的方法，其中，中間位置的預(yù)測(cè)包括在小于這些時(shí)間位移測(cè)量區(qū)間的時(shí)間區(qū)間處使用該選擇速度來(lái)計(jì)算多個(gè)遞增位置數(shù)值。
10. 如權(quán)利要求l所述的方法，其中，對(duì)應(yīng)于該選擇速度的相對(duì)位置從對(duì) 應(yīng)于數(shù)個(gè)先前時(shí)間位移測(cè)量區(qū)間的多個(gè)相對(duì)位置處所推知。
11. 如權(quán)利要求l所述的方法，其中，該支撐臺(tái)包含一平臺(tái)。
12. 如權(quán)利要求l所述的方法，其中，該目標(biāo)樣本包含一被制作成具有多 個(gè)導(dǎo)電鏈接構(gòu)的半導(dǎo)體晶圓。
13. 如權(quán)利要求l所述的方法，其進(jìn)一步包括在一已算出的觸發(fā)時(shí)間處觸 發(fā)啟動(dòng)該激光脈沖，用以入射在該指定的目標(biāo)樣本上。
14. 如權(quán)利要求l所述的方法，其進(jìn)一步包括當(dāng)該經(jīng)預(yù)測(cè)的中間位置實(shí)質(zhì) 上等于所希的觸發(fā)位置時(shí)便觸發(fā)啟動(dòng)該激光脈沖，用以入射在該指定的目標(biāo)樣 本位置上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種預(yù)測(cè)性脈沖觸發(fā)方法，其在一鏈處理系統(tǒng)中促成精確觸發(fā)一激光射束(100)。該預(yù)測(cè)性脈沖觸發(fā)方法需要依據(jù)目標(biāo)(106)和激光射束軸(108)的經(jīng)估計(jì)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)參數(shù)來(lái)觸發(fā)該激光射束。相較于現(xiàn)有完全以測(cè)量為主的方法，預(yù)測(cè)性脈沖觸發(fā)方法在定位準(zhǔn)確度方面可達(dá)到六倍的改善效果。
文檔編號(hào)H01S3/10GK101682165SQ200880012242
公開(kāi)日2010年3月24日 申請(qǐng)日期2008年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月16日
發(fā)明者凱利·布魯蘭德, 柯林特·凡德吉亞森 申請(qǐng)人:伊雷克托科學(xué)工業(yè)股份有限公司