專利名稱：元件組件和對(duì)準(zhǔn)的制作方法
元件組件和對(duì)準(zhǔn)
背景技術(shù)：
本發(fā)明的實(shí)施例總地涉及將兩個(gè)或更多個(gè)結(jié)構(gòu)或器件彼此對(duì)準(zhǔn)。存在許多可能的應(yīng)用，其中需要對(duì)準(zhǔn)兩個(gè)或更多個(gè)結(jié)構(gòu)或器件。一個(gè)非限制示例應(yīng)用是在用于測試?yán)绨?導(dǎo)體器件(例如半導(dǎo)體晶粒)的電子器件的設(shè)備或裝置中。以公知方式在半導(dǎo)體晶片上制造例如微處理器、DRAM和閃存的半導(dǎo)體器件。根據(jù) 晶片的大小以及形成在晶片上的每個(gè)器件的大小，在單個(gè)晶片上可以有幾百個(gè)器件。這些 器件典型地彼此相同，每個(gè)器件包括在器件的表面上的用于向器件提供電能以及其它連接 的多個(gè)導(dǎo)電焊盤(pad)，其他連接例如輸入信號(hào)、輸出信號(hào)、控制信號(hào)等。期望測試晶片上的器件以確定哪些是完全可用的，哪些是不可操作的或部分可用 的。為此目的，測試儀(tester)在預(yù)定測試程序中向器件施加電能和輸入信號(hào)并監(jiān)視輸 出。在半導(dǎo)體晶粒的情況下，在晶粒仍然在晶片上和/或在晶粒被從晶片切割之后能夠執(zhí) 行這樣的測試。在有的情況下，測試多個(gè)相同的器件。在該情況下，具有多個(gè)相同的探針組(每個(gè) 探針組配置用于接觸器件之一)的接觸器器件能夠用于同時(shí)地接觸和測試多個(gè)器件。探針 能夠配置用于與對(duì)應(yīng)器件上的分離的焊盤或端子進(jìn)行離散的壓力連接。用于在器件測試過程中接觸該器件的接觸器器件(例如探針卡組件)能夠要求在 不同的裝配階段的重要的手動(dòng)調(diào)節(jié)以及對(duì)準(zhǔn)。另外，由于在操作中傳輸或使用接觸器器件 來測試器件，接觸器器件的元件會(huì)要求進(jìn)一步的調(diào)節(jié)或重新對(duì)準(zhǔn)。另外，當(dāng)元件隨時(shí)間而發(fā) 生故障時(shí)，元件的替換和修復(fù)都是耗時(shí)和高成本的。具有即使在短時(shí)間內(nèi)不操作的接觸器 器件也可能導(dǎo)致重大的生產(chǎn)損失。盡管本發(fā)明不由此受限，本發(fā)明的某些實(shí)施例能夠解決接觸器器件中的上述問題 以及其它問題以及對(duì)準(zhǔn)其它裝置中的兩個(gè)或更多個(gè)結(jié)構(gòu)的問題。


圖1說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的要與第二結(jié)構(gòu)對(duì)準(zhǔn)的第一結(jié)構(gòu)；圖2說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的關(guān)于圖1的第一結(jié)構(gòu)的示例約束線；圖3說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的關(guān)于圖1的第一結(jié)構(gòu)的示例約束；圖4說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的關(guān)于圖1的第一結(jié)構(gòu)的示例保留區(qū)域(ke印 out zone)；圖5說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的不經(jīng)過保留區(qū)域的偏置力的示例放置；圖6A說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的用于定位圖1的第一結(jié)構(gòu)和第二結(jié)構(gòu)的偏 置力和約束的示例實(shí)現(xiàn)；圖6B說明了圖6A所示的第二結(jié)構(gòu)的俯視圖；圖6C說明了圖6A所示的第一結(jié)構(gòu)的仰視圖；圖6D示出了圖6A的第一結(jié)構(gòu)和第二結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖；圖7說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的示例可調(diào)節(jié)約束；
圖8是根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的示例測試系統(tǒng)的示意圖，該測試系統(tǒng)包括以側(cè)視圖示出的示例探針卡組件；圖9是根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的示例探針卡組件的立體仰視圖；圖10是圖9的探針卡組件部分的分解立體俯視圖；圖11是圖9的探針卡組件的探針頭組件之一的立體俯視圖；圖12是圖12的探針頭組件的插入器之一的立體分解俯視圖和圖12的探針頭組 件的線路基片和探針基片的立體部分俯視圖；圖13是圖12所示的插入器的裝配的側(cè)視圖和圖12所示的線路基片和探針基片 的裝配的部分視圖；圖14是根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的具有示例偏置機(jī)構(gòu)和約束的圖11的探針頭組件 的俯視圖；圖15是根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的具有其它示例偏置機(jī)構(gòu)和約束的圖11的探針頭 組件的俯視圖；圖16是根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的具有在壓力下并生成橫向力F’的偏移接觸的插 入器的側(cè)視圖；圖17A是根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的具有在壓力下并生成橫向力F”的接觸的插入 器的側(cè)視圖；圖17B示出了在壓力下的圖17A的插入器；圖18說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的用于制造探針卡組件的示例程序；圖19說明了用于使用探針卡組件來測試電子器件的示例程序；圖20是圖9的探針卡組件的線路基片的俯視圖；圖21是圖20的線路基片的部分放大視圖；以及圖22是與圖20相似但是具有以徑向膨脹狀態(tài)示出的線路基片的視圖。
具體實(shí)施例方式本說明書描述了本發(fā)明的示例實(shí)施例和應(yīng)用。然而，本發(fā)明并不限于這些示例實(shí) 施例和應(yīng)用或者示例實(shí)施例和應(yīng)用操作或者在這里描述的方式。另外，附圖可以簡化性示 出或是部分視圖，并且為了清楚起見，附圖中的元件的尺寸可以是夸大的或者不成比例的。 另外，當(dāng)這里使用術(shù)語“在.· ·之上”或“附接”時(shí)，不論一個(gè)物體是直接的在其它物體之 上或是附接到其它物體或者在一個(gè)物體和其它物體之間有一個(gè)或多個(gè)中間物體，一個(gè)物體 (例如材料、層、基片等)能夠在其它物體“之上”或者“附接到”其它物體。同時(shí)，如果提供 了方向(例如，上方、下方、頂、底、側(cè)、向上、向下、“x”、“y”、“z”等)是相關(guān)的并且主要以例 子和易于說明和討論的方式并且不以限制的方式提供。另外，在參考元件列表時(shí)(例如元 件a，b，c)，這樣的參考意欲包括列出的任一元件、少于所有列出的元件的任意組合和/或 所有所列元件的組合。圖1-6說明了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的示例技術(shù)，其中第一結(jié)構(gòu)212可以相對(duì)于 第二結(jié)構(gòu)202被偏置和/或約束從而第一結(jié)構(gòu)212與第二結(jié)構(gòu)202對(duì)準(zhǔn)。圖1說明了示例第一結(jié)構(gòu)212和示例第二結(jié)構(gòu)202的立體圖。在圖1所示的示例 配置中，第一結(jié)構(gòu)212能夠是將要與第二結(jié)構(gòu)202對(duì)準(zhǔn)的任何結(jié)構(gòu)、器件、裝置等。在某些示例實(shí)施例中，第一結(jié)構(gòu)212能夠包括具有相對(duì)表面207、209以及多個(gè)偏置/對(duì)接(docking) 功能部件(feature) 214、216、218、220的基片(例如材料塊，該材料例如為半導(dǎo)體材料、陶 瓷材料、印刷電路板材料、塑料等)。在圖1所示的示例配置中，功能部件214、216、218、220 能夠是基片中的切塊(cutout)。然而，切塊僅是示例的，并且功能部件214、216、218、220能 夠采用任何其它形式(例如至基片的附接等)。同時(shí)，盡管四個(gè)功能部件214、216、218、220 示出在圖1的示例配置中，在其它配置中能夠使用更多個(gè)或更少個(gè)功能部件。第二結(jié)構(gòu)202能夠是第一結(jié)構(gòu)212將要與之對(duì)準(zhǔn)的任何結(jié)構(gòu)、器件、設(shè)備等。例 如，第二結(jié)構(gòu)202能夠包括附接了多個(gè)對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210的基片202。在圖1 所示的示例配置中，對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210能夠是被附接到第二結(jié)構(gòu)202的表面 203的螺柱(stud)。表面205能夠是第二結(jié)構(gòu)202相對(duì)于表面203的表面。然而，螺柱是對(duì) 準(zhǔn)功能部件204、206、208、210的非限制性例子，對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210能夠包括 許多其它結(jié)構(gòu)、裝置等。事實(shí)上在某些實(shí)施例中，至少一些對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210 對(duì)應(yīng)于至少一些對(duì)接/偏置功能部件214、216、218、220是足夠的，從而這些對(duì)接/偏置功 能部件214、216、218、220能夠與該至少一些對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210對(duì)接以約束第 一結(jié)構(gòu)212的運(yùn)動(dòng)并同時(shí)向第一結(jié)構(gòu)212施加偏置力并因而保持第一結(jié)構(gòu)212與第二結(jié)構(gòu) 202對(duì)準(zhǔn)。盡管在圖1的示例配置中示出了四個(gè)對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210，在其它配 置中能夠使用更多個(gè)或更少個(gè)對(duì)準(zhǔn)功能部件。圖2-6說明了示例方式，其中第一結(jié)構(gòu)212能夠被偏置進(jìn)入和/或約束在第一結(jié) 構(gòu)212對(duì)準(zhǔn)第二結(jié)構(gòu)202的位置。參考圖2 (示出了第一結(jié)構(gòu)212的俯視圖)，能夠從對(duì)著一個(gè)對(duì)接/偏置結(jié)構(gòu)218 的邊緣228的點(diǎn)258施加偏置力(未示出)，并且約束第一結(jié)構(gòu)212的運(yùn)動(dòng)的約束能夠被 放置在對(duì)接/偏置結(jié)構(gòu)214的邊緣224、對(duì)接/偏置結(jié)構(gòu)216的邊緣226和/或?qū)?偏 置結(jié)構(gòu)230的邊緣230上的一個(gè)或多個(gè)點(diǎn)處。在圖1-6所示的例子中，邊緣224、226、228、 230能夠是虛擬圓(234、236、238、240)的弧。偏置力(圖2中未示出)能夠分解為沿著虛 擬線241、242指向的分量，虛擬線241、242連接圓238 (邊緣228是圓238的一部分)的中 心點(diǎn)258與圓240、236(邊緣230、226形成圓240、236的一部分)的中心點(diǎn)250、256。第 一結(jié)構(gòu)212能夠沿著虛擬線244、246而運(yùn)動(dòng)學(xué)上地約束(kinematicallyconstrained)，虛 擬線244、246通常如圖2所示分別平行于線241、242并且穿過中心點(diǎn)250、254、256。第一 結(jié)構(gòu)也能夠被沿著連接中心點(diǎn)250、256的約束線248而動(dòng)力學(xué)上地約束。即，通過沿著圖 2的約束線244、246、248約束第一結(jié)構(gòu)212，第一結(jié)構(gòu)212能夠被運(yùn)動(dòng)學(xué)上地約束在二維平 面上(圖2中的x-y平面)。如同所知的，約束線(如在運(yùn)動(dòng)學(xué)領(lǐng)域以及這里使用的)能夠 是主體不能沿著其運(yùn)動(dòng)的線，并且能夠通過分解約束放置而約束第一結(jié)構(gòu)212。術(shù)語“運(yùn)動(dòng)學(xué)上地約束”能夠指使用最少數(shù)目的約束在給定數(shù)目的運(yùn)動(dòng)自由度中 約束主體。例如，通過參考標(biāo)準(zhǔn)“x，y，z”坐標(biāo)系，未約束主體能夠以6個(gè)自由度來運(yùn)動(dòng)沿 “χ”軸平移、沿“y”軸平移、沿“ζ”軸平移、圍繞“χ”軸旋轉(zhuǎn)、圍繞“y”軸旋轉(zhuǎn)以及圍繞“ζ” 軸旋轉(zhuǎn)。為了以“N”個(gè)自由度而運(yùn)動(dòng)學(xué)上地約束(即約束使得僅能夠在上述6個(gè)自由度 中的N個(gè)中運(yùn)動(dòng))，主體可以通過不多于6-N個(gè)約束被約束。注意在一個(gè)平面上，未約束主 體具有3個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度。例如，在“X，y”平面中，未約束主體具有下述3個(gè)運(yùn)動(dòng)自由度沿 “χ”軸平移、沿“y”軸平移 、圍繞“ζ”軸旋轉(zhuǎn)。為了運(yùn)動(dòng)學(xué)上地限制在平面中(例如“x，y”平面)，這樣的主體能夠具有不多于3-N個(gè)約束，其中N是主體在平面中將有的運(yùn)動(dòng)自由度 的數(shù)目。因而，為了在平面中無運(yùn)動(dòng)自由度而被運(yùn)動(dòng)學(xué)上地約束，能夠使用不多于3個(gè)的約 束來約束主體。如圖2 所示，約束線 244、246、248 在 6 個(gè)點(diǎn)(或位置)260、262、264、266、268、270 與邊緣230,224,226交叉。在6個(gè)點(diǎn)260、262、264、266、268、270中的3個(gè)處適當(dāng)?shù)胤胖玫?3個(gè)約束(例如3個(gè)約束中的2個(gè)是非共線的)能夠在二維平面(圖2中的x-y平面)中 完全地約束第一結(jié)構(gòu)212的運(yùn)動(dòng)。由于上述利用了最小數(shù)目約束(3個(gè))來在二維平面中 約束第一結(jié)構(gòu)212的運(yùn)動(dòng)，上述是第一結(jié)構(gòu)212在二維平面中的運(yùn)動(dòng)學(xué)上的地約束的非限 制性例子。圖3示出了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的選擇6個(gè)點(diǎn)260、262、264、266、268、270中 的3個(gè)作為約束的示例方式。如上所述，未約束主體具有在平面中3個(gè)程度的運(yùn)動(dòng)(例如 沿“X”軸平移、沿“y”軸平移、圍繞“ζ”軸旋轉(zhuǎn))，并且使用3個(gè)約束無運(yùn)動(dòng)程度地將這樣的 物體動(dòng)力學(xué)上地約束在平面中。在圖3中，第一結(jié)構(gòu)212被示為具有將邊緣228劃分成兩 個(gè)部分308、310的虛擬線312。如同所見，向第一部分308的力的施加能夠?qū)е碌谝唤Y(jié)構(gòu) 212運(yùn)動(dòng)，該運(yùn)動(dòng)與向第二部分310施加的力導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)不同。首先參考從點(diǎn)258向第一部分308施加力(未示出)的例子，如果第一結(jié)構(gòu)212 配置用于圍繞中心點(diǎn)250旋轉(zhuǎn)而不是相對(duì)于中心點(diǎn)254、256固定，第一結(jié)構(gòu)212能夠圍繞 中心點(diǎn)250逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)302 (相對(duì)于圖3的頁面)。如果第一結(jié)構(gòu)212配置用于圍繞中心 點(diǎn)254旋轉(zhuǎn)而不是相對(duì)于中心點(diǎn)250、256固定，第一結(jié)構(gòu)212能夠圍繞中心點(diǎn)254順時(shí)針 旋轉(zhuǎn)304 (相對(duì)于圖3的頁面)，并且如果第一結(jié)構(gòu)212配置用于圍繞中心點(diǎn)256旋轉(zhuǎn)而不 是相對(duì)于中心點(diǎn)250、254固定，第一結(jié)構(gòu)212能夠圍繞中心點(diǎn)256順時(shí)針旋轉(zhuǎn)306 (相對(duì)于 圖3的頁面)。如圖3所示，在約束點(diǎn)266指向邊緣224并且沿著約束線246定向(oriented)的 約束324能夠停止旋轉(zhuǎn)302。相似地，在約束點(diǎn)260指向邊緣230并且沿著約束線248定 向的約束320以及在約束點(diǎn)264指向邊緣224并且沿著約束線246定向的約束322能夠分 別停止旋轉(zhuǎn)304和旋轉(zhuǎn)306。約束320、322、324因而能夠完全地約束第一結(jié)構(gòu)212在二維 平面(圖3中的x-y平面)中的運(yùn)動(dòng)。3個(gè)約束點(diǎn)260、264、266不是約束320、322、324的 放置的約束點(diǎn)260、262、264、266、268、270中的3個(gè)的僅有組合，約束320、322、324用于能 夠完全地約束第一結(jié)構(gòu)212在二維平面中的運(yùn)動(dòng)。3個(gè)約束320、322、324還能夠放置在約 束點(diǎn)260、262、264、266、268、270中的3個(gè)的其它組合中并且完全地約束第一結(jié)構(gòu)212。例 如，約束320、322、324能夠可選地被放置在約束點(diǎn)260、262、268處。作為另一個(gè)非限制例 子，約束320、322、324能夠可選地被放置在約束點(diǎn)264、268、270。另外，如果從點(diǎn)258向邊 緣228的第二部分310施加力(圖3中未示出)，如圖3所示，第一結(jié)構(gòu)112能夠圍繞中心 點(diǎn)250逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)302并且圍繞中心點(diǎn)256順時(shí)針旋轉(zhuǎn)306，但是圍繞中心點(diǎn)254逆時(shí)針旋 轉(zhuǎn)(與圖3所示的旋轉(zhuǎn)304相反)。因而，對(duì)著邊緣228的第二部分310施加偏置力能夠影 響從約束點(diǎn)260、262、264、266、268、270中選擇的作為3個(gè)約束320、322、324位置的3個(gè)約 束點(diǎn)的組。繼續(xù)圖3所示的選擇了如圖3所示的3個(gè)約束點(diǎn)320、322、324的非限制性例子。 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的用于定位從點(diǎn)258施加到邊緣228的偏置力(圖4中 未示出)的保留區(qū)域414、416、418的示例確定。如圖4所示，一對(duì)虛擬線402、404能夠與約束點(diǎn)260交叉(如上所述，約束點(diǎn)260能夠是在第一結(jié)構(gòu)212和第二結(jié)構(gòu)202之間施加約束 320的點(diǎn))，并且每條線402、404能夠與約束線248 (對(duì)應(yīng)于約束點(diǎn)260的約束線248)成角 度θ。相似地，一對(duì)虛擬線406、408能夠與約束點(diǎn)264交叉(如上所述，約束點(diǎn)264能夠是 在第一結(jié)構(gòu)212和第二結(jié)構(gòu)202之間施加約束322的點(diǎn))，并且每條線406、408能夠與約束 線244 (對(duì)應(yīng)于約束點(diǎn)264的約束線244)成角度β，并且一對(duì)虛擬線410、412能夠與約束 點(diǎn)266交叉(如上所述，約束點(diǎn)264能夠是在第一結(jié)構(gòu)212和第二結(jié)構(gòu)202之間施加約束 324的點(diǎn))，并且每條線410、412能夠與約束線246 (對(duì)應(yīng)于約束點(diǎn)266的約束線246)成角 度α。保留區(qū)域414、416、418能夠是由線402、404、406、408、410、412中任意4條線的部分 包圍的區(qū)間。換句話說，保留區(qū)域414、416、418能夠?qū)?yīng)于線對(duì)402/404、406/408、410/412 中的兩對(duì)之間的交叉區(qū)間。角度θ、β、α可以是摩擦角(frictionangles)，即可以是在 對(duì)應(yīng)約束點(diǎn)260、264、266的約束位置320、322、324 (見圖3)處彼此接觸的材料之間的摩擦 系數(shù)的反正切(arctangent或tan-Ι)。例如，θ能夠是彼此接觸以形成約束320 (可以是 如圖3所示的在約束點(diǎn)260的約束320)的第一結(jié)構(gòu)212和第二結(jié)構(gòu)202的材料之間的摩 擦系數(shù)的反正切。類似地，β能夠是彼此接觸以形成約束322(可以是如圖3所示的在約 束點(diǎn)264的約束322)的第一結(jié)構(gòu)212和第二結(jié)構(gòu)202的材料之間的摩擦系數(shù)的反正切，并 且α能夠是彼此接觸以形成約束324(可以是如圖3所示的在約束點(diǎn)266的約束324)的 第一結(jié)構(gòu)212和第二結(jié)構(gòu)202的材料之間的摩擦系數(shù)的反正切。如圖5所示，偏置力F能夠以不穿過任何保留區(qū)域414、416、418的方向上從點(diǎn) 258向邊緣228施加。非限制例子在圖5中示出，圖5示出了每條都是從點(diǎn)258引出的虛 擬線452、454。如同所看到的，每條線452、454都能夠經(jīng)過保留區(qū)域414、416之一的外部 點(diǎn)(outer point)或邊緣。因而，在圖5所示的例子中，偏置力F能夠被定向至線452、454 之間任意位置并且不穿過保留區(qū)域414、416、418的點(diǎn)。同時(shí)在圖5中示出的是也從點(diǎn)258 引出并且經(jīng)過保留區(qū)域414、416的外部點(diǎn)或邊緣的虛擬線456、458。在其它例子中，偏置 力F可以可選地被定向至線456、458或類似這樣的線之間的任意位置的點(diǎn)。然而，注意到 在圖4所示的例子中，約束320、322、324(見圖3)可以基于假設(shè)偏置力F(見圖4)施加在 邊緣228的第一部分308而被選擇。由此，在圖5所示的非限制例子中，偏置力F能夠被定 位在線452、454之間而不是線456、458之間的方向，這能夠確保偏置力F將旋轉(zhuǎn)偏置傳遞 給第一結(jié)構(gòu)212，將第一結(jié)構(gòu)212壓向約束320、322、324從而第一結(jié)構(gòu)在由約束320、322、 324約束時(shí)處于預(yù)定位置。 圖6A示出了第一結(jié)構(gòu)212和第二結(jié)構(gòu)202的俯視圖。在圖6A所示的非限制例子 中，圖5的偏置力F能夠由在第二結(jié)構(gòu)202的對(duì)準(zhǔn)功能部件(feature) 208和第一結(jié)構(gòu)212 的功能部件218的邊緣228之間壓縮的彈簧472實(shí)現(xiàn)。彈簧472能夠被定向(oriented) 以在圖5所示的方向(例如在線452、454之間指向并且因而避開保留區(qū)域414、416、418) 提供產(chǎn)生的(resulting)偏置力F。在圖6A所示的例子中，約束320、322、324 (見圖3)能 夠由從第一結(jié)構(gòu)212延伸并且設(shè)置以接觸第二結(jié)構(gòu)202的對(duì)準(zhǔn)功能部件204、210 (可以使 如圖1所示的從第二結(jié)構(gòu)202延伸的螺柱)的凸起或突起474、476、478實(shí)現(xiàn)。突起474、 476,478能夠與第一結(jié)構(gòu)212 —體地形成或附接到第一結(jié)構(gòu)212?？蛇x地，一個(gè)或多個(gè)突起 474、476、478能夠與第二結(jié)構(gòu)202的對(duì)準(zhǔn)功能部件204、210 —體地形成或附接到第二結(jié)構(gòu) 202的對(duì)準(zhǔn)功能部件204、210。此外，盡管在圖6A中示出的突起474、476、478大體是三角形，但也能夠使用具有其它形狀、大小等的突起。例如，突起474、476、478能夠包括圓形的 接觸區(qū)間_而不是圖6A所示的點(diǎn)接觸(pointed contact)區(qū)間-該圓形的接觸區(qū)間接觸 第二結(jié)構(gòu)202的一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210。
一個(gè)或多個(gè)突起474、476、478接觸對(duì)準(zhǔn)功能部件204、210的點(diǎn)(或區(qū)間)能夠?qū)?應(yīng)于約束點(diǎn)260、264、266。如圖6B所示，第二結(jié)構(gòu)202上的功能部件211 (例如第二功能部 件)能夠以期望的精度被定位，該定位考慮(respectto)第二結(jié)構(gòu)202的頂表面203上的約 束點(diǎn)260、264、266，并且如圖6C所示，第一結(jié)構(gòu)212上的對(duì)應(yīng)功能部件215 (例如第一功能 部件)能夠考慮(respectto)第一結(jié)構(gòu)212的底表面209上的約束點(diǎn)260、264、266而被定 位。(注意圖6B示出了第二基片202的俯視圖，而圖6C示出了第一基片212的仰視圖。) 如圖6D所示(示出了圖6A的側(cè)視圖)，第一結(jié)構(gòu)212的底表面209上的每個(gè)功能部件215 能夠與第二結(jié)構(gòu)202的頂表面203上的對(duì)應(yīng)功能部件211對(duì)準(zhǔn)，當(dāng)力F (例如由彈簧472產(chǎn) 生)將第一結(jié)構(gòu)212偏置到約束320、322、324時(shí)(例如如圖6A所示對(duì)著第二結(jié)構(gòu)202上 的對(duì)準(zhǔn)功能部件210、204偏置突起474、476、478)。應(yīng)當(dāng)注意功能部件211能夠位于第一平 面，并且功能部件215能夠位于通常平行于第一平面的第二平面。功能部件211和功能部件215能夠是將要彼此對(duì)準(zhǔn)的任何類型的功能。例如，功 能部件211能夠包括第一組電接觸件、端子、連接等。功能部件215能夠包括將要與第一組 電接觸件、端子、連接等對(duì)準(zhǔn)和連接的第二組電接觸件、端子、連接等。在某些實(shí)施例中，一個(gè)或多個(gè)突起474、476、478的大小或長度能夠是獨(dú)立地可調(diào) 節(jié)的。例如，在某些實(shí)施例中，突起474、476、478能夠被制造地過大(oversized)，然后突起 474、476、478的一部分能夠被移除以將它們的大小或長度減小到對(duì)應(yīng)于特定應(yīng)用或使用。 例如，能夠通過加工(machining)或刨邊(trimming) —個(gè)或多個(gè)突起474、476、478來將材 料從突起474、476、478移除?？蛇x地，能夠向一個(gè)或多個(gè)突起474、476、478增加材料以拉 長或增加各個(gè)突起474、476、478的大小。作為另一個(gè)例子，能夠通過將物體(例如墊片) 分別放在一個(gè)或多個(gè)突起474、476、478與一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)功能部件204、210之間來增加一 個(gè)或多個(gè)突起474、476、478的有效長度。圖7示出了另一個(gè)例子，其中根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例一個(gè)或多個(gè)突起474、476、 478的有效長度能夠被改變。圖7示出了修正的第一結(jié)構(gòu)212’的部分剖視圖，如圖所示，修 正的第一結(jié)構(gòu)212’可以包括空腔492以及鎖定機(jī)構(gòu)490 (例如螺釘)。圖7所示的修正的 第一結(jié)構(gòu)212’的部分視圖包括邊緣224’，邊緣224’通常與圖1-6中的邊緣224相似。如 圖所示，突起476’ (通常與圖6A中的突起476相似并位于相同的位置)能夠延伸進(jìn)入空腔 492。當(dāng)鎖定機(jī)構(gòu)490位于鎖定位置時(shí)(例如朝向突起476，收緊(tighthen))，突起476， 能夠被牢固地夾持在位置上并且通常是不可移動(dòng)的。當(dāng)鎖定機(jī)構(gòu)490位于未鎖定位置時(shí) (例如放松的并因此不是牢固地壓向突起476’)，突起476’能夠如箭頭496所示自由地來 回滑動(dòng)。以此方式，對(duì)于特定應(yīng)用能夠調(diào)節(jié)從邊緣224’延伸的突起476’的長度。例如，與 突起476’相似，圖6A所示的一個(gè)或多個(gè)突起474、476、478的有效長度能夠是可調(diào)節(jié)的。不論一個(gè)或多個(gè)突起474、476、478是否是可調(diào)節(jié)的，這樣的突起能夠可選地是第 二結(jié)構(gòu)202的一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210的一部分或附接到第二結(jié)構(gòu)202 的一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210。例如，突起474能夠可選地從對(duì)準(zhǔn)功能部 件210朝向邊緣230延伸(例如，通過接觸端從對(duì)準(zhǔn)功能部件210向外延伸)，并且通過彈簧472的偏置力第一結(jié)構(gòu)212的邊緣230被偏置至與突起474接觸。突起476、478能夠類似地從對(duì)準(zhǔn)功能部件204延伸，并且第一結(jié)構(gòu)212的邊緣224能夠被偏置至與突起476、478 接觸。通常來說，如顯而易見的，通過向第一結(jié)構(gòu)212施加適當(dāng)?shù)囟ㄏ虻钠昧?例如圖 5中的力F)以及特別地定位約束(例如圖3中的約束320、322、324)第一結(jié)構(gòu)212可以被 定位到相對(duì)于第二結(jié)構(gòu)202的期望位置。例如，第二結(jié)構(gòu)202的一個(gè)或多個(gè)對(duì)準(zhǔn)功能部件 204、206、208、210的位置、形狀、大小等以及一個(gè)或多個(gè)突起474、476、478的位置、形狀、大 小等能夠被制造和定位使得當(dāng)彈簧472的偏置力對(duì)著對(duì)準(zhǔn)功能部件204、210壓迫一個(gè)或 多個(gè)突起474、476、478時(shí)，第一結(jié)構(gòu)212相對(duì)于第二結(jié)構(gòu)202位于預(yù)定位置(或?qū)?zhǔn))。圖1-7所示的處理和裝置僅是示例，并且許多變型是可能的。例如，在圖5中所示 的偏置力F作為在第一結(jié)構(gòu)212上推的力該偏置力F能夠被在第一結(jié)構(gòu)212上拉的力替代 或加大。例如，圖5中的偏置力F能夠被在邊緣224上拉的力(未示出)替代或加大。這 樣的拉力能夠由在邊緣224和對(duì)準(zhǔn)功能部件204(見圖6)之間的處于拉緊的(in tension) 彈簧(例如彈簧472)施加到邊緣224。作為圖1-7的處理和裝置的修正(modification) 的另一個(gè)例子，偏置力F能夠表示施加到第一結(jié)構(gòu)212的一個(gè)或多個(gè)邊緣224、226、228、230 的多個(gè)力的矢量和。作為圖1-7配置的修正的另一個(gè)例子，偏置力F(或者偏置力F表示矢 量和的多個(gè)力)能夠被施加到第一結(jié)構(gòu)212的功能部件而不是邊緣224、226、228、230。其 它的非限制修正包括將第一結(jié)構(gòu)212對(duì)準(zhǔn)第二結(jié)構(gòu)202上的功能部件而不是對(duì)準(zhǔn)功能部 件204、206、208、210。其它示例修正包括將偏置力F施加到邊緣226、230、232中的另一個(gè) 并且在一個(gè)或多個(gè)邊緣224、226、228、230上的位置而不是圖3所示的位置(例如點(diǎn)262、 268,270)處定位約束320、322、324和約束點(diǎn)260、264、266。另外，除了彈簧之外的機(jī)構(gòu) (mechanisms)能夠用于生成偏置力F。實(shí)際上，任何機(jī)構(gòu)能夠用于生成偏置力F。對(duì)于圖1-7中所示的和上述討論的示例性對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，存在許多可能的應(yīng)用。一個(gè) 這樣的應(yīng)用可以是探針卡組件中的對(duì)準(zhǔn)元件，探針卡組件能夠在用于測試電子器件(例 如半導(dǎo)體晶粒)的系統(tǒng)中使用。圖8-19示出了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的一些例子。圖8 說明了非限制性示例性測試系統(tǒng)100，并且圖9-13示出了圖8的測試系統(tǒng)100的非限制 性示例性探針卡組件。圖14-19示出了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的探針卡組件1的插入器 (interposers)的示例性對(duì)準(zhǔn)。圖8示出了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的示例性測試系統(tǒng)100的簡化側(cè)視圖。如圖所 示，測試系統(tǒng)100能夠包括測試儀102、多個(gè)通信通道104、探針卡組件1以及用于支撐和移 動(dòng)待測電子器件(“DUT”)110的夾盤(chunk)(或臺(tái))112。盡管示出了 4個(gè)DUT，但是更 多或更少的DUT可以被測試。同時(shí)，盡管在圖8中的DUT 110作為半導(dǎo)體晶片108的半導(dǎo) 體晶粒示出，但是DUT 110能夠可選地是其它類型的電子器件。DUT 110的例子包括將要 被測試的任何類型的電子器件，包括，但不限于，未切割半導(dǎo)體芯片108的一個(gè)或多個(gè)晶粒 (dies)(如圖8所示)、從晶片切割的一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體晶粒(封裝的或未封裝的)、設(shè)置在 載體(carrier)或其它夾持器件中的切割半導(dǎo)體晶粒(封裝的或未封裝的)陣列、一個(gè)或 多個(gè)多晶粒電子模塊、一個(gè)或多個(gè)印刷電路板或任何其它類型的電子器件或器件。注意這 里使用的術(shù)語DUT指的是一個(gè)或多個(gè)這樣的電子器件。測試儀102能夠包括配置用于控制DUT 110測試的一個(gè)計(jì)算機(jī)或一些計(jì)算機(jī)和/或其它電子元件。通信通道104能夠提供測試儀102和探針卡組件1之間的電通信 (electrical communication)。通信通道104能夠包括能夠在其上傳送電、光或其它類型 的信號(hào)的任意介質(zhì)。非限制性示例包括同軸電纜、光纖鏈路、無線發(fā)射器/接收器、驅(qū)動(dòng)器、 接收器等或上述的任意組合?？梢蕴峁┩ㄐ磐ǖ?04用于將要被測試的DUT 110的每個(gè)輸 入輸出。能夠從測試儀102通過通信通道104的一些和探針卡組件1向DUT 110提供用于 測試DUT 110的電能、接地和輸入信號(hào)，并且由DUT 110生成的響應(yīng)信號(hào)能夠通過探針卡組 件1和其它通信通道104提供至測試儀102。探針卡組件1包括線路基片2 (wiring substrate)，并且具有至通道104的分別連接(individual connection)的電連接器11能夠被設(shè)置在線路基片2的上表面3上。探 針卡組件1還能夠包括導(dǎo)電探針4，導(dǎo)電探針4能夠配置用于向DUTllO壓縮并因此與DUT 110的輸入和/或輸出端子進(jìn)行電連接。探針卡組件1能夠包括從電連接器11至線路基片 2的下表面5并且因而至與線路基片2的下表面5接觸的一個(gè)或多個(gè)探針頭組件9a、9b (在 圖8中示出了 2個(gè)，在圖9和10中示出了 4個(gè)，但是能夠使用比2和4個(gè)更多或更少的探 針頭組件)的導(dǎo)電路徑(未示出)。在電連接器11和線路基片2的下表面5并因此在連接 器11和探針頭組件9a、9b之間的傳導(dǎo)路徑(未示出)能夠包括線路基片2之上或之中的 導(dǎo)電軌跡、通孔(vias)和/或端子(未示出)。如下將會(huì)更詳細(xì)討論的，探針4中的一些將 會(huì)被附接到探針頭組件9a和/或9b中的每一個(gè)，并且每個(gè)探針頭組件9a、9b能夠提供線 路基片2的路徑(未示出)和探針頭組件9a、9b上的探針4之間的電路徑。探針卡組件1 因而能夠提供電連接器104(并因此通道104中獨(dú)立的一些通道)和探針4中的一些之間 的電路徑(未示出)。探針卡組件1因而能夠提供通信通道104和DUT 110的輸入和/或 輸出端子之間的電接口。探針4能夠是任何類型的導(dǎo)電探針，包括但不限于針型探針、屈曲梁(buckling beam)探針、凸起探針(bump probe)或彈簧探針。探針4能夠是彈性、傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)。合適 的探針4的非限制性例子包括如美國專利No. 5476211、美國專利No. 5917707和美國專 利No. 6336269中描述的由涂敷具有彈性材料的焊芯形成的合成結(jié)構(gòu)。探針4能夠可 選地是平板印刷形成的結(jié)構(gòu)，例如美國專利No. 5994152、美國專利No. 6033935、美國專 利No. 6255126、美國專利申請(qǐng)公開No. 2001/0044225和美國專利公開No. 2001/0012739 中公開的彈簧元件。探針4的其它非限制性例子包括美國專利No.6827584、美國專 利No. 6640432和美國專利公開No. 2001/0012739中公開的那些。也可以使用彈簧針 (pogopins)、屈曲梁探針(例如cobra探針)和其它類型的探針。同時(shí)，不管探針類型如何， 探針尖端能夠是金字塔形、截頂?shù)慕鹱炙?、刀片、凸起或任何其它適合的形狀。適合探針 尖端的各種形狀和大小的非限制性例子在美國專利No. 6441315中描述。測試系統(tǒng)100能夠如下測試DUT 110。如圖8所示，DUT 110能夠被放置在夾盤 (chuck) 112上，夾盤112是可移動(dòng)的，并且探針卡組件1能夠被附接(用螺拴固定、夾緊等) 到安裝結(jié)構(gòu)114，安裝結(jié)構(gòu)114與其中設(shè)置了夾盤112的外殼或其它裝置(未示出)相關(guān)聯(lián)。 如圖8所示，夾盤112能夠?qū)UT 110的端子移動(dòng)到與探針4接觸?？蛇x地或另外地，探針 卡組件1能夠被移動(dòng)以使得DUT 110的端子與探針4接觸。測試儀102能夠生成各種圖案 的測試信號(hào)，該測試信號(hào)能夠通過通道104和探針卡組件1提供至DUT 110。由DUT 110響 應(yīng)于測試信號(hào)而生成的響應(yīng)信號(hào)能夠通過探針卡組件1和通道104提供至測試儀102，測試儀102能夠評(píng)估響應(yīng)信號(hào)并確定響應(yīng)信號(hào)是否如同預(yù)期的，及接下來是否DUT 110通過測 試。(如這里所使用的，術(shù)語“測試信號(hào)”能夠指輸入到DUT的信號(hào)和/或由DUT生成的響
應(yīng)信號(hào)。)下面參考圖8-10描述示例性探針卡組件1。圖8包括探針卡組件1的側(cè)視圖，圖 9示出了探針卡組件1的立體仰視圖。圖10示出了探針卡組件1的一些元件的分解圖。如 上所述并如圖8-10所示，探針卡組件1能夠包括具有上表面3和下表面5的線路基片2、加 固器板7 (stiffener plate)(在圖9中不可見)、多個(gè)獨(dú)立探針頭組件9a、9b、9c、9d以及將 探針頭組件9a、9b、9c、9d附接到加固器板7和線路基片2的附接機(jī)構(gòu)106。
線路基片2能夠包括任何的適用于支撐電連接器11 (在圖9中不可見)并且提供 至連接器11或來自連接器11的電路徑(未示出)的基片。例如，線路基片2能夠包括印 刷電路板。電連接器11能夠包括任何的適用于與通道104進(jìn)行電連接的電連接器。例如， 電連接器能夠包括彈簧針墊、零插入力(ZIF)連接器等。加固器板7能夠配置用于在DUT 110的測試過程中輔助抵抗由例如周圍溫度變 化、溫度梯度、機(jī)械負(fù)載等引起的運(yùn)動(dòng)、歪斜、彎曲等。加固器板7能夠包括任何剛性結(jié)構(gòu)。 例如，加固器板7能夠包括金屬板。如圖8-10所示，探針頭組件9a、9b、9c、9d能夠被定位，從而每個(gè)探針頭組件9a、 9b、9c、9d的探針4形成用于同時(shí)接觸多個(gè)DUT 110的探針4的大的陣列9。陣列9中的探 針4的圖案不需要是規(guī)則的或重復(fù)圖案。典型地，陣列9中的探針4的圖案能夠?qū)?yīng)于DUT 110的端子圖案。另外，盡管在圖9和10中使用了 4個(gè)探針頭組件9a、9b、9c、9d，但是能夠 使用更多個(gè)或更少個(gè)探針頭組件。圖8最佳示出，附接機(jī)構(gòu)106能夠?qū)⑻结橆^組件9a、9b、9c、9d附接到加固器板7。 附接機(jī)構(gòu)106能夠包括多個(gè)螺柱14，多個(gè)螺柱14能夠附接到探針頭組件9a、9b、9c、9d的探 針基片8。能夠被螺紋擰入的螺柱14能夠從每個(gè)探針基片8向上延伸(見圖8和10)并 且能夠接合螺紋緊固件120，螺紋緊固件120從加固器板7通過加固器板7中的孔202和 線路基片2中的孔204(見圖1和3)延伸。附接機(jī)構(gòu)能夠例如包括不同的螺釘組件(srew assemblities)0附接機(jī)構(gòu)106能夠執(zhí)行除了將探針頭組件9a、9b、9c、9d附接到加固器板7之外的 其它功能。例如，附接機(jī)構(gòu)106能夠配置用于選擇性地調(diào)節(jié)附接有探針4的探針基片8表 面的定向。例如，附接機(jī)構(gòu)106能夠配置用于將推力或拉力選擇性地施加到探針基片8上 的各個(gè)位置，從而選擇性地改變探針基片8相對(duì)于加固器板7 (和/或線路基片2)的位置 (例如定向)或甚至改變附接了探針4的探針基片8表面的形狀。這樣的附接機(jī)構(gòu)的例子 在美國專利No. 6509751中公開。如將看到的，當(dāng)如上所述改變探針基片8的定向時(shí)，插入 器10能夠提供線路基片2和探針基片8之間的柔性電連接。能夠提供其它機(jī)構(gòu)(未示出)來附接或調(diào)節(jié)探針頭組件9a、9b、9c、9d。例如，能 夠提供機(jī)構(gòu)(未示出)來分別調(diào)節(jié)每個(gè)探針頭組件9a、9b、9c、9d的位置，并且因而調(diào)節(jié)每 個(gè)探針頭組件9a、9b、9c、9d的探針4。這樣的機(jī)構(gòu)的非限制性例子在美國專利申請(qǐng)序列號(hào) 11/165833 中公開。每個(gè)探針頭組件9a、9b、9c、9d能夠包括探針基片8，并且如圖9最佳示出，探針4 能夠被附接到每個(gè)探針基片8的下表面。每個(gè)探針基片8上的探針4能夠被組織到探針組6中。在圖9中，每個(gè)探針組6由正方形表示，并且沒有示出各個(gè)探針4。每個(gè)探針組6能夠包括，例如，以接觸DUT 110中一個(gè)的圖案布置的多個(gè)探針4。因而一組中的探針4的數(shù) 目和圖案能夠取決于每個(gè)DUT 110的輸入和/或輸出端子的數(shù)目。在某些例子中，探針組 6能夠包括60至80個(gè)或更多個(gè)探針4。在其它例子中，探針組6能夠包括更多或更少的探 針4。由于DUT 110典型地彼此相同，因此探針組6能夠彼此相同。圖11示出了一個(gè)探針頭組件9a的立體俯視圖。通常探針頭組件9b、9c、9d與探針 頭組件9a相同或相似。實(shí)際上，探針頭組件9a、9b、9c、9d能夠是易于替換的模塊。因而， 在探針卡組件1的生命周期中，一個(gè)或多個(gè)探針頭組件9a、9b、9c、9d能夠被移除和被新的 探針頭組件來替換。例如，能夠這樣替換破損的、損壞的或故障的探針頭組件。作為另一個(gè) 例子，能夠提供以新的圖案設(shè)置的探針4。如將示出的，探針頭組件9a能夠包括附接了一些探針4 (在圖11中不可見)的探 針基片8。探針頭組件9a也能夠包括多個(gè)插入器10，插入器10用于提供線路基片2和探 針基片8之間的電連接。盡管在圖11中示出了 4個(gè)插入器10，但是能夠使用更多或更少的 插入器10。圖12示出了圖11的探針頭組件9a的一個(gè)插入器10的立體俯視分解圖以及線路 基片2和探針基片8的部分視圖，并且圖13示出了圖12的線路基片2、插入器10以及探針 基片8的側(cè)視圖，示出了插入器10至線路基片2和探針基片8的示例性互連。如圖11-13 所示，每個(gè)插入器10 (能夠是非限制性示例的柔性互連)能夠包括具有第一多個(gè)細(xì)長彈性 電接觸件504以及第二多個(gè)細(xì)長彈性電接觸件506的插入基片502 (例如陶瓷、半導(dǎo)體、印 刷電路板等材料)，其中第一多個(gè)細(xì)長彈性電接觸件504從基片502的一個(gè)表面延伸，第二 多個(gè)細(xì)長彈性電接觸件506從基片502的相對(duì)表面延伸。電接觸件504、506能夠是彈簧狀 探針，例如還能夠與上述關(guān)于探針4描述的任一示例結(jié)構(gòu)相似。基片502能夠包括通過基 片502將一些接觸件(contacts) 504與一些接觸件506電連接的電路徑(未示出)。這樣 的電路徑(未示出)能夠包括在基片502中或在基片502上的導(dǎo)電端子、通孔和/或軌跡 (未示出)?？蛇x地，細(xì)長彈性電接觸件504和/或506能夠通過基片502延伸。如圖12和13所示，接觸件504能夠與線路基片2底表面5上的導(dǎo)電端子608 (見 圖13)對(duì)準(zhǔn)，并且接觸件506能夠與探針基片8上的導(dǎo)電端子508對(duì)準(zhǔn)。因此插入器10能 夠提供線路基片2上的一些端子608和探針基片8上的一些端子508之間的撓性或柔性電 連接。根據(jù)上述討論，線路基片2能夠包括電連接器11 (見圖8)和端子608之間的電路徑 (未示出)，并且探針基片8能夠包括端子508和探針4之間的電路徑(未示出)。探針頭 組件9a的每個(gè)插入器10能夠與圖12和13中示出的插入器10相似，并且如圖12和13所 示，每個(gè)插入器10能夠?qū)⒕€路基片2上的端子608電連接到探針基片8上的端子508。探針基片8能夠包括任何用于支撐探針4的適當(dāng)結(jié)構(gòu)并且包括一個(gè)或多個(gè)子層和 /或基片。例如，探針基片8能夠包括陶瓷基片，陶瓷基片包括上述提及的端子508和探針 4之間的電路徑(未示出)。在某些實(shí)施例中，探針基片8能夠被配置作為空間轉(zhuǎn)換器，其 中端子508被設(shè)置為以第一節(jié)距彼此間隔，并且探針4以第二節(jié)距彼此間隔，第二節(jié)距能夠 小于第一節(jié)距。如圖12和13中總體示出的，為了建立和維持線路基片2底表面5上的端子608 和探針基片8上的端子508之間的電連接，必須以足夠的精度定位插入器10使得插入器接觸件504對(duì)準(zhǔn)線路基片端子608并且插入器接觸件506對(duì)準(zhǔn)探針基片端子508。另外，上述 插入器接觸件504與線路基片端子608的對(duì)準(zhǔn)以及插入器接觸件506與線路基片端子508 的對(duì)準(zhǔn)應(yīng)當(dāng)被維持(例如在探針卡組件1的運(yùn)輸、調(diào)節(jié)和使用過程中)以維持線路基片2 底表面5上的端子608和探針基片8上的端子508之間的電連接。 圖14示出了如圖1-7中示出的技術(shù)相似技術(shù)的示例性使用，以將探針頭組件9a 的插入器10對(duì)準(zhǔn)探針頭組件9a的線路基片2和探針基片8。探針頭組件9b、9c、9d的插入 器10能夠類似地對(duì)準(zhǔn)。如將看到的，所示出的技術(shù)能夠是自助技術(shù)。在下面的例子中，插 入器10可以是圖1-7的第一結(jié)構(gòu)212的非限制性例子，并且螺柱14可以是圖1-7的對(duì)準(zhǔn) 功能部件204、206、208、210的非限制性例子。由于螺柱14附接到探針基片8并且通過線 路基片2中的孔204延伸(見圖8和10以及上述那些圖的結(jié)合討論)并且因而能夠定位 在由孔204相對(duì)于線路基片2限定的位置，插入器10可以使用與圖1-7所說明的技術(shù)相似 技術(shù)與線路基片2和探針基片8對(duì)準(zhǔn)。因此，線路基片2和探針基片8 一起可以是圖1-7 的第二結(jié)構(gòu)202的非限制性例子。如圖14所示，每個(gè)插入器10通常能夠被設(shè)置在“X，y”平面。在圖14中，“X，y” 平面是頁面所在的平面，并且“ζ”軸從該頁面向外延伸。偏置機(jī)構(gòu)702能夠?qū)⑵昧施 加到每個(gè)插入器10。盡管只示出向每個(gè)插入器10施加的一個(gè)偏置力F，可選地能夠向每個(gè) 插入器10施加多于一個(gè)的偏置力。施加到每個(gè)插入器10的偏置力F能夠?qū)⒉迦肫?0朝 相對(duì)方向移動(dòng)并夾持在一位置中，在該位置中插入器的接觸件504與線路基片的底表面5 上的端子608對(duì)準(zhǔn)并且插入器10的接觸件506與和探針基片8上的端子508對(duì)準(zhǔn)。如圖 14所示，對(duì)于每個(gè)插入器10能夠提供多個(gè)約束704，并且約束704能夠被配置和定位以停 止偏置力F引起的插入器10在如上所述插入器10的接觸件504、506和線路基片端子608 以及探針基片端子508對(duì)準(zhǔn)的位置中的運(yùn)動(dòng)。約束704能夠被配置和定位使得(1)當(dāng)插入 器10上的偏置力F將插入器10對(duì)著約束704移動(dòng)時(shí)，約束704通過防止插入器10在“X” 或“y”方向運(yùn)動(dòng)和圍繞“ζ”軸旋轉(zhuǎn)來將插入器10夾持在位；和⑵當(dāng)插入器10在位置中 時(shí)，插入器10的接觸件504與線路基片2的底表面5上的端子608對(duì)準(zhǔn)并且插入器10的 接觸件506與探針基片8上的端子508對(duì)準(zhǔn)。在某些實(shí)施例中，能夠選擇施加到插入器10 的偏置力F的大小以正好克服與插入器10相對(duì)探針基片8和線路基片2的運(yùn)動(dòng)相反的摩 擦力。如上所述，螺柱14能夠是圖1-7的對(duì)準(zhǔn)功能部件204、206、208、210的非限制性例 子。如圖14所示，每個(gè)插入器10可以是第一結(jié)構(gòu)212的非限制性例子并且可以包括與圖 1-7的對(duì)接/偏置功能部件214、216、218、220相同或總體相似的對(duì)接/偏置功能部件15。 例如，對(duì)接/偏置功能部件15可以包括如圖14所示的切塊，該切塊可以具有與圖1-7的邊 緣224、226、228、230相同或總體相似的邊緣17。由圖14中的偏置機(jī)構(gòu)702產(chǎn)生的力F可 以與圖5中的力F相同或相似，并且約束704可以與圖1-7的約束320、322、324相同或相 似。例如，偏置機(jī)構(gòu)704可以是圖6A的彈簧472相似的彈簧，并且約束704可以包括與圖 6A中的一個(gè)或多個(gè)突起474、476、478相似的突起。另外，圖14中的力F的應(yīng)用點(diǎn)或區(qū)間以 及力F的方向能夠與圖5的力F相同或總體相似，并且能夠以與圖5的力F相同或相似的 方式確定和選擇。約束704的位置和定向也能夠以與圖3中的約束320、322、324相同或相 似的方式來確定或選擇。
然而，圖14所示的對(duì)于每個(gè)插入器10的偏置機(jī)構(gòu)702和約束704的放置、定向 和數(shù)目僅是示例，對(duì)于每個(gè)插入器10能夠使用偏置機(jī)構(gòu)702和約束704的其它放置、定向 和數(shù)目。在某些實(shí)施例中，能夠使用最小數(shù)目(例如3個(gè))的約束704來阻止每個(gè)插入器 1002沿著“X”和“y”軸運(yùn)動(dòng)以及圍繞“ζ”軸旋轉(zhuǎn)。實(shí)際上，通常來說，3個(gè)約束典型地足夠 用于阻止物理主體(例如插入器)在平面中的運(yùn)動(dòng)。在某些實(shí)施例中，每個(gè)插入器103個(gè) 約束704足夠用于將插入器10夾持在對(duì)應(yīng)于與上述線路基片2和探針基片8的適當(dāng)對(duì)準(zhǔn) 的位置中。在其它實(shí)施例 中，對(duì)于每個(gè)插入器能夠使用10多于3個(gè)約束704。許多其它的變化也是可能的。例如，對(duì)于每個(gè)插入器10能夠提供多個(gè)偏置機(jī)構(gòu) 702。例如，在圖14中，多個(gè)彈簧(圖14中未示出)能夠被設(shè)置在插入器10和多個(gè)螺柱14 之間，這能夠產(chǎn)生作用于插入器10的多個(gè)偏置力F。作為另一個(gè)例子，一個(gè)或多個(gè)約束704 能夠被夾住。例如，一個(gè)或多個(gè)約束704能夠包括在插入器上的對(duì)接功能部件(未示出)， 該對(duì)接功能部件配置用于可移動(dòng)地結(jié)合螺柱14之一上的約束(未示出)和夾子(clutch) (未示出)。夾子(未示出)能夠被配置用于選擇性地允許對(duì)接功能部件(未示出)和對(duì) 應(yīng)約束(未示出)即使在接觸時(shí)也能相對(duì)于彼此運(yùn)動(dòng)。夾子(未示出)也能夠被配置用于 選擇性地停止對(duì)接特征(未示出)和對(duì)應(yīng)約束(未示出)的運(yùn)動(dòng)。圖15說明了另一個(gè)示例性變化，其中圍繞插入器10設(shè)置具有彈性特性的帶1102， 將力F施加到每個(gè)插入器10以將插入器10朝向中心螺柱14推動(dòng)。因而帶1102能夠是圖 14的偏置機(jī)構(gòu)702的示例實(shí)施。約束704能夠被放置在每個(gè)插入器10上以限制插入器10 的運(yùn)動(dòng)。利用圖1-6說明的技術(shù)能夠確定或選擇約束704的位置和定向，并且約束704能 夠作為突起實(shí)現(xiàn)(例如類似于包括這里描述的任何變型(例如如圖7所示)的一個(gè)或多個(gè) 突起 474、476、478)。圖16說明了另一個(gè)變化。在示出線路基片2、插入器10和探針基片8的部分側(cè) 視圖的圖16中，插入器10的接觸件504、506被配置用于在插入器10上提供偏置力F。如 圖所示，每個(gè)接觸件504的末端1304 (例如和線路基片2的端子608物理地接觸的端)能 夠從接觸件504的附接端1302 (例如附接到插入基片502端)偏移。例如，偏移能夠是如 圖16所示的距離Si。再如圖所示，每個(gè)接觸件506的末端1308 (例如和探針基片8的端子 508物理地接觸的端)能夠從接觸件506的附接端1306 (例如附接到插入基片502的端) 偏移。例如，偏移能夠是如圖16所示的距離S2，S2可以與Sl相同或不同。由于有偏移距離Sl和S2，接觸件504、506能夠當(dāng)在線路基片2和探針基片8之 間被壓縮時(shí)產(chǎn)生橫向力F’。例如接觸件504、50可以通過緊固機(jī)構(gòu)106 (見圖8)在線路基 片2和探針基片8之間被壓縮6。例如，如上所述，緊固機(jī)構(gòu)106能夠被配置用于將探針基 片8附接到加固器板7，并且因此，緊固機(jī)構(gòu)106能夠?qū)⑻结樆?拉向加固器板7并且因 而壓縮在線路基片2和探針基片8之間的插入器10。橫向力F’能夠是對(duì)著線路基片2和 探針基片8的垂直力(未示出)之外的力。在某些實(shí)施例中，橫向力F’能夠被定向在與施 加到插入器10的偏置力F相同或總體相同的方向。如上所述，橫向力F’能夠代替圖中所示的任意力F。例如，具有偏移距離Sl和/ 或S2的接觸件504、506能夠代替圖14中的偏置機(jī)構(gòu)702或圖6A中的彈簧472?？蛇x地， 圖16中示出的插入器10上的橫向力F’能夠是圖中所示的任意力F之外的力。在這種情 況下，例如，在圖14或15中的每個(gè)插入器10上的總力可以是作用在插入器10上的由偏置機(jī)構(gòu)702生成的力F和由于接觸件504、506的偏移距離Sl和/或S2由插入器10自身產(chǎn) 生的橫向力F’的矢量和。如上所述，在某些實(shí)施例中，能夠選擇偏置力F’的大小以正好克 服與插入器10相對(duì)于探針基片8和線路基片2的運(yùn)動(dòng)相反的摩擦力。圖17A和17B (示出了線路基片2、插入器10和探針基片8的部分側(cè)視圖)示出了 另一個(gè)示例性配置，其中插入器10的接觸件590可以配置用于在插入器上提供偏置力F”。 能夠代替接觸件504、506的接觸件509能夠包括主體部分596，主體部分596嵌入或固定在 插入基片502中，并且接觸件590還能夠包括接合并且在線路基片2的端子608和探針基 片8的端子508之間被壓縮的接觸部分592。圖17A示出了在未壓縮狀態(tài)的接觸件590，圖 17B示出了在壓縮狀態(tài)的接觸件592。如圖所示，每個(gè)接觸件590的接觸部分592可以從主 體部分596偏移S3，并且每個(gè)接觸件590的臂594能夠成角度θ。接觸部分592的偏移S3 和/或成角度θ的臂能夠使得當(dāng)接觸件 590被壓縮時(shí)，每個(gè)接觸件590向插入基片502施 加橫向力。如圖17Β所示，這樣的橫向力之和能夠是在插入基片502上的橫向力F”。關(guān)于圖16總體討論的，例如，通過緊固機(jī)構(gòu)106 (見圖8)，接觸件590能夠被在線 路基片2和探針基片8之間壓縮。例如，如上所述，緊固機(jī)構(gòu)106能夠被配置用于將探針基 片8附接到加固器板7，并且從而，緊固機(jī)構(gòu)106能夠?qū)⑻结樆?拉向加固器板7并且因 而在線路基片2和探針基片8之間壓縮插入器10。橫向力F”能夠是對(duì)著線路基片2和探 針基片8的垂直力(未示出)之外的力。在某些實(shí)施例中，橫向力F”能夠被定向在與施加 到插入器10的偏置力F相同或總體相同的方向。與上述討論的力F’相似，橫向力F”能夠代替圖中所示的任意力F。例如，接觸件 590能夠代替圖14中的偏置機(jī)構(gòu)702或圖5中的彈簧472?？蛇x地，橫向力F”能夠是圖中 所示的任意力F之外的力。在這種情況下，例如，在每個(gè)插入器10上的總力可以是作用在 插入器10上的由偏置機(jī)構(gòu)702產(chǎn)生的力F和當(dāng)壓縮接觸件590時(shí)由插入器10自身生成的 橫向力F”的矢量和。再次，在某些實(shí)施例中，能夠選擇偏置力F”的大小以正好克服與插入 器10相對(duì)于探針基片8和線路基片2的運(yùn)動(dòng)相反的摩擦力。圖18示出了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的用于制造探針卡組件的示例處理。盡管圖 18不限于制造與圖8-17Β所示出的探針卡組件相似的探針卡組件，但是圖18的處理將結(jié) 合圖8-14中示出的探針卡組件1制造進(jìn)行(包括圖15-17Β的變型例)描述。如圖18所 示，在1402能夠提供探針卡組件1的元件。例如，在1402能夠提供線路基片2、加固器板 7、探針基片8、插入器10以及螺柱14。在1404，在1402提供的元件能夠被部分地裝配。在 1406，插入器10能夠被放置在探針基片8上并且在1408使用偏置力將插入器10預(yù)載入。 例如，通常如圖10示出的，插入器10能夠被放置在探針基片8上(也見圖11)。能夠使用 與圖14所示的偏置力F相似的偏置力將插入器10預(yù)載。如上所述，偏置力F能夠?qū)χs束 704壓縮插入器10，定位每個(gè)插入器10從而如上通常所述，接觸件504、506分別與線路基 片2上的端子608和探針基片8上的端子508對(duì)準(zhǔn)。能夠使用這里討論的用于提供偏置力 F的任意技術(shù)。在1410，探針卡組件能夠被完全地裝配成通常例如如圖8和9所示那樣，并 且附接構(gòu)件106能夠被收緊，附接構(gòu)件106能夠?qū)χ€路基片2收緊探針基片8，通常如圖 8和13所示在探針基片8和線路基片2之間壓縮每個(gè)插入器10。如上所述，偏置力F應(yīng)當(dāng) 繼續(xù)對(duì)著約束704壓縮插入器10，使得插入器10如上所述維持與線路基片2和探針基片8 的適當(dāng)對(duì)準(zhǔn)。插入器10能夠如圖16或圖17Α和17Β所示配置，并且如果這樣的話，額外的橫向力F’或F”能夠進(jìn)一步對(duì)著約束704壓插入器10。然而，插入器10不需要如圖16或 圖17A和17B那樣配置?？蛇x地，在某些實(shí)施例中，當(dāng)附接機(jī)構(gòu)106被收緊時(shí)，所有的或部 分的偏置力可以被移除(例如力F，力F’和/或力F”)。當(dāng)被收緊時(shí)，附接機(jī)構(gòu)106能夠相 對(duì)于探針基片8和線路基片2將插入器10夾持在適當(dāng)位置而不需要偏置力或者使用比完 全偏置力更小的偏置力。在1412，可以測試通過插入器10的線路基片2和探針基片8之間的電連接性。如果在1412在一個(gè)或多個(gè)插入器10和線路基片2或探針基片8之間沒有檢測到電連接或者 檢測到差(非常低)的電連接，可以充分地松開與受影響的一個(gè)或多個(gè)探針頭組件9a、9b、 9c、9d相關(guān)聯(lián)的被選擇的一些附接機(jī)構(gòu)106以使得由一個(gè)或多個(gè)偏置力F導(dǎo)致的低導(dǎo)電插 入器10返回它們的自然位置(natural position)。如上所述，由一個(gè)或多個(gè)偏置力F導(dǎo)致 的插入器10的自然位置能夠?qū)⒔佑|件504、506分別與線路基片2上的端子608和探針基 片8上的端子508對(duì)準(zhǔn)。這些附接機(jī)構(gòu)106然后能夠被再次收緊，并且如上所述，當(dāng)附接機(jī) 構(gòu)106被收緊時(shí)和之后，偏置力F能夠?qū)⒉迦肫?0維持與線路基片2和探針基片8的適當(dāng) 對(duì)準(zhǔn)。如上所述，接觸件504、506能夠配置具有圖16所示的偏移Sl和S2或者圖17A和 17B所示的接觸件590，這能夠使得接觸件504、506施加也是如圖16所示的橫向力F’，或者 接觸件590施加也是如圖17A和17B所示的橫向力F”。如上所述，這樣的橫向力F’或F” 能夠配置用于增加并且因而加大施加到插入器10上的偏置力F (例如見圖14和15)。可選 地，也是如上所述，不需要向插入器10施加偏置力F (在這種情況下圖18的1408能夠跳過 或者不包括在圖18的處理中)，并且橫向力F’或F”能夠?qū)⒚總€(gè)插入器10偏置至對(duì)應(yīng)約束 704。圖19示出了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的使用類似于探針卡組件1的探針卡組件測 試DUT的示例性處理。盡管圖19的處理不由此受限，但是將在這里利用圖8的測試系統(tǒng) 100的探針卡組件1描述圖19的處理。在1502，探針卡組件1能夠被安裝到如圖8所示的安裝結(jié)構(gòu)114上。如上所述，安 裝結(jié)構(gòu)114能夠是外殼的一部分，夾盤112位于該外殼中。在1504，夾盤112能夠移動(dòng)DUT 110以將一些DUT 110的端子與探針卡組件1的探針4對(duì)準(zhǔn)，并且然后夾盤112能夠移動(dòng) DUT 110使得一些DUT 110的端子被壓縮并且因而與探針4進(jìn)行電接觸。在1506，測試儀 102能夠如上所述通過通道104和探針卡組件1將測試信號(hào)輸出至DUT 110的端子來測試 DUT 110。測試儀102也能夠通過探針卡組件1和通道104接收由DUT 110響應(yīng)于測試信 號(hào)而產(chǎn)生的響應(yīng)信號(hào)。也是如上所述，測試儀102能夠評(píng)估響應(yīng)信號(hào)。在1506的測試過程中，插入器10相對(duì)于線路基片2和探針基片8的相對(duì)位置能 夠改變。例如，在測試過程中探針卡組件1周圍的溫度的變化能夠?qū)е绿结樋ńM件1的某 些元件比探針卡組件1的其它元件更多地膨脹或收縮。這種情況的發(fā)生是由于探針卡組件 1的某些元件具有不同的熱膨脹系數(shù)。這種情況的發(fā)生還可能由于探針卡組件1周圍的溫 度梯度。例如，在某些環(huán)境下，線路基片2可以比插入器10和/或探針基片8更快地膨脹。 作為插入器10相對(duì)于線路基片2和探針基片8的相對(duì)位置改變的另一個(gè)例子，由于在1506 的測試過程中施加到探針卡組件1的機(jī)械加載可以導(dǎo)致這樣的變化。即使當(dāng)探針卡組件1 的元件在1506的測試過程中以不同速率膨脹或者在1506的測試過程中運(yùn)動(dòng)，偏置力F和/或橫向力F’或F”能夠在1506的測試過程中保持插入器接觸件504、506與線路基片2上 的端子608和探針基片8上的端子508適當(dāng)?shù)貙?duì)準(zhǔn)。另外，如果需要(例如在1506的測試 過程中一個(gè)或多個(gè)插入器10與線路基片2或探針基片8之間的導(dǎo)電性尚失或變得太低)， 當(dāng)探針卡組件1保持附接到安裝結(jié)構(gòu)114時(shí)，能夠在探針卡組件1上執(zhí)行圖18的1414。 如同顯而易見的，由偏置機(jī)構(gòu)702施加到插入器10的偏置力F(見圖14_19)和/ 或由具有偏移接觸件504、506或接觸件590 (見圖16、17A和17B)和約束702的插入器10 產(chǎn)生的橫向力F’或F”能夠被設(shè)計(jì)以將插入器10自動(dòng)地移動(dòng)至與線路基片2和探針基片 8的適當(dāng)對(duì)準(zhǔn)，并且然后將插入器10夾持在該對(duì)準(zhǔn)中。偏置機(jī)構(gòu)702和約束704因而能夠 形成自助系統(tǒng)。上述包括圖1-7所示技術(shù)的自助系統(tǒng)不限于將插入器10和線路基片2和探針基 片8對(duì)準(zhǔn)。例如，圖1-7所示出的和圖8-17B中所示例的技術(shù)能夠可選地或另外地用于將探 針基片8自動(dòng)地與線路基片2和/或加固器板7對(duì)準(zhǔn)。類似地，圖1-7所示出的和圖8-17B 中所示例的技術(shù)能夠可選地或另外地用于將線路基片2自動(dòng)地與加固器板7對(duì)準(zhǔn)。實(shí)際上，圖1-7所示出的和圖8-17B中所示例的技術(shù)能夠用于類似于探針卡組件1 的探針卡組件之外的器件或裝置中。例如，這樣的技術(shù)能夠用于自動(dòng)地對(duì)準(zhǔn)測試DUT中使 用的其它類型的接觸器器件中的插入器和/或探針基片。作為另一個(gè)例子，這樣的技術(shù)能 夠用于其它類型的電子器件或非電子器件中用于將基片或結(jié)構(gòu)與另一個(gè)基片或結(jié)構(gòu)對(duì)準(zhǔn)。 因此，插入器10、探針基片8以及線路基片2僅是那些能夠使用圖1-7所示出的和圖8-17B 中所示例的技術(shù)而彼此對(duì)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)或元件的例子。插入器10、探針基片8以及線路基片2 因此能夠是使用這里揭示的自助技術(shù)而對(duì)準(zhǔn)的第一、第二和第三電子元件的例子。圖20-22示出了根據(jù)本發(fā)明某些實(shí)施例的在圖20的1506測試DUT 110的過程中 使用的探針卡組件1的額外功能部件。圖20示出了線路基片2的俯視圖。如圖所示，線路 基片2能夠具有多個(gè)運(yùn)動(dòng)學(xué)的約束C4、C5和C6。3個(gè)約束C4、C5和C6被示出，但是能夠使 用更多個(gè)或更少個(gè)約束。例如，約束C4、C5能夠在由圖20所示的線路基片2的表面確定的 二維平面中的兩個(gè)行動(dòng)方向上約束線路基片2。例如，約束C4、C5能夠在“X”和“y”方向 的約束線路基片2運(yùn)動(dòng)。例如，附接線路基片2的中心點(diǎn)或鄰近線路基片2的中心點(diǎn)的單 個(gè)螺釘或螺栓能夠提供約束C4、C5。第三約束C6也可以配置用于約束線路基片2不圍繞 “ζ”軸旋轉(zhuǎn)。如上所述，探針卡組件1可以包括安裝在線路基片2上的加固板，例如加固板 7(圖20中未示出)。加固板7可以為線路基片2提供額外的剛性。該額外的剛性能夠減 小撓曲量，否則該撓曲量將作為物理力或溫度改變的結(jié)果會(huì)發(fā)生在線路基片2中。在線路 基片2中的過多的撓曲量會(huì)例如導(dǎo)致某些元件的電連接性損壞或喪失。線路基片2可以部分由定位銷保持，例如是圖21和22示出的銷釘54，定位銷允許 線路基片2相對(duì)于加固板7的徑向膨脹或收縮。銷釘54也可以例如提供旋轉(zhuǎn)約束C6。加 固板7和線路基片2可以由具有可能導(dǎo)致雙金屬響應(yīng)(bimetallic response)的不相同的 熱膨脹系數(shù)的不同材料組成。這些熱特性會(huì)導(dǎo)致在熱條件變化的過程中，一個(gè)元件比起其 它元件更容易膨脹和收縮。圖20的槽50中包括的銷釘54(如在圖21和22中可以最佳看出)以及約束C4、 C5和C6可以配置使得在二維平面“X，r中保持線路基片2的固定相對(duì)位置的同時(shí)可以容納線路基片2的徑向膨脹或收縮。可選或額外的，例如槽52的槽可以類似地包括在線路基 片2中，以提供用于約束和徑向膨脹的手段。圖21示出了當(dāng)線路基片2處于徑向收縮C的狀態(tài)下時(shí)槽50和銷釘54之間的關(guān) 系。槽50的形狀允許在保持旋轉(zhuǎn)約束C6(例如防止圍繞“ζ”軸旋轉(zhuǎn))時(shí)線路基片2相對(duì) 于銷釘54的運(yùn)動(dòng)。例如，當(dāng)在室溫或室 溫以下存儲(chǔ)或操作線路基片2時(shí)，徑向收縮C會(huì)發(fā) 生。圖22是與圖21所示的視圖相似的視圖，除了線路基片2處于徑向膨脹E狀態(tài)。如圖 21所示，當(dāng)在高于導(dǎo)致線路基片2處于徑向收縮C的狀態(tài)的溫度的溫度下存儲(chǔ)或操作線路 基片2時(shí)，徑向膨脹E會(huì)發(fā)生。盡管已經(jīng)在說明書中描述了本發(fā)明的特定實(shí)施例和應(yīng)用，本發(fā)明不限于這些示例 實(shí)施例和應(yīng)用并且不限于這里描述示例實(shí)施例和應(yīng)用的方式。
權(quán)利要求
一種用于對(duì)準(zhǔn)多個(gè)結(jié)構(gòu)的方法，所述方法包括向第一結(jié)構(gòu)施加第一力，所述第一力施加在將所述第一結(jié)構(gòu)在第一平面中移動(dòng)的方向，所述第一結(jié)構(gòu)包括基片和第一接觸功能部件陣列，所述第一接觸功能部件的端總體地設(shè)置在與所述第一平面平行的第二平面中；以及約束所述第一結(jié)構(gòu)在所述第一平面中相對(duì)于第二結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)，其中所述約束包括相對(duì)于所述第二結(jié)構(gòu)將所述第一結(jié)構(gòu)約束在一位置，所述位置將所述第一接觸功能部件陣列和所述第二結(jié)構(gòu)上的第二接觸功能部件陣列對(duì)準(zhǔn)，所述第二接觸功能部件的端總體地設(shè)置在與所述第二平面平行的第三平面中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述約束還包括將所述第一結(jié)構(gòu)約束在三個(gè)和僅 為三個(gè)的約束位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述約束還包括使用三個(gè)和僅為三個(gè)的約束來約 束所述第一結(jié)構(gòu)，其中所述第一約束沿著所述第一平面中的第一平移度來約束所述第一結(jié)構(gòu)，所述第二約束沿著所述第一平面中的第二平移度來約束所述第二結(jié)構(gòu)，所述第二平移 度與所述第一平移度不同，以及所述第三約束以所述第一平面中的旋轉(zhuǎn)度來約束所述第一結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述第一力被定向以避開保留區(qū)域，每個(gè)保留區(qū) 域?qū)?yīng)于重疊摩擦角區(qū)間，并且每個(gè)摩擦角區(qū)間對(duì)應(yīng)于兩條虛擬線之間的區(qū)間，所述兩條 虛擬線在所述約束位置之一交叉并且從經(jīng)過所述約束位置之一的約束線以與在所述約束 位置之一處彼此接觸的所述第一結(jié)構(gòu)和所述第二結(jié)構(gòu)的材料的摩擦角的反正切對(duì)應(yīng)的角 發(fā)散。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中所述第一力將所述第一結(jié)構(gòu)上的三個(gè)對(duì)接功能部 件移動(dòng)至與所述第二結(jié)構(gòu)上的三個(gè)對(duì)接功能部件接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述第一結(jié)構(gòu)上的所述三個(gè)對(duì)接功能部件對(duì)應(yīng)于 所述三個(gè)約束位置，并且，所述第二結(jié)構(gòu)上的所述三個(gè)對(duì)接功能部件對(duì)應(yīng)于所述三個(gè)約束位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述第一接觸功能部件相對(duì)于所述第一結(jié)構(gòu)上的 所述三個(gè)對(duì)接功能部件以第一圖案設(shè)置在所述第一結(jié)構(gòu)上，并且所述第二接觸功能部件相 對(duì)于所述第二結(jié)構(gòu)上的所述三個(gè)對(duì)接功能部件以第一圖案設(shè)置在所述第二結(jié)構(gòu)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述向第一結(jié)構(gòu)施加第一力包括在第一方向壓縮 從所述第一結(jié)構(gòu)延伸的彈簧結(jié)構(gòu)，所述壓縮在所述第一結(jié)構(gòu)上生成在第二方向的合力，所 述合力組成所述第一力。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述第二方向總體上垂直于所述第一方向。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述壓縮包括壓縮從所述第二結(jié)構(gòu)和第三結(jié)構(gòu) 之間的所述第一結(jié)構(gòu)延伸的所述彈簧結(jié)構(gòu)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中所述約束約束所述第一結(jié)構(gòu)的所述位置還將所 述第一結(jié)構(gòu)上的第三接觸功能部件與所述第三結(jié)構(gòu)上的第四接觸功能部件對(duì)準(zhǔn)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述約束包括對(duì)著所述第二結(jié)構(gòu)上的第二對(duì)接 功能部件壓縮所述第一結(jié)構(gòu)上的第一對(duì)接功能部件，其中所述施加第一力引起所述壓縮。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，還包括相對(duì)于所述第一結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)所述第一對(duì)接功能 部件中的一些對(duì)接功能部件的位置。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，還包括將所述第一結(jié)構(gòu)和所述第二結(jié)構(gòu)與其它結(jié)構(gòu) 組合以形成探針卡組件。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述組合包括將所述第二結(jié)構(gòu)與具有至測試儀 的電接口的線路基片組合，所述測試儀用于控制電子器件的測試，并且其中所述第二結(jié)構(gòu)包括用于接觸所述電子器件的端子的探針，所述第二接觸功能部件包括 至所述探針的電連接；所述第一結(jié)構(gòu)包括插入器，所述第一接觸功能部件包括設(shè)置用于通過電連接將所述線 路基片上的端子電連接至所述第二結(jié)構(gòu)上的所述探針的接觸件；以及所述約束約束所述第一結(jié)構(gòu)的所述位置還將所述插入器上的所述接觸件與所述線路 基片上的所述端子對(duì)準(zhǔn)。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述組合包括利用附接機(jī)構(gòu)將所述第二結(jié)構(gòu)附 接到所述探針卡組件的另一個(gè)元件，所述附接機(jī)構(gòu)包括所述第二對(duì)接功能部件。
17.一種用于對(duì)準(zhǔn)多個(gè)電子元件的方法，所述方法包括 提供相對(duì)于第一電子元件和第二電子元件設(shè)置的約束；以及壓縮從所述第一電子元件和所述第二電子元件之間的插入器的第一側(cè)延伸的第一細(xì) 長彈性接觸件以及從所述插入器的第二側(cè)延伸的第二細(xì)長彈性接觸件，所述壓縮產(chǎn)生將所 述插入器移動(dòng)至與所述約束接觸的力，其中當(dāng)由所述力移動(dòng)至與所述約束接觸時(shí)，所述插入器的所述第一細(xì)長彈性接觸件與 所述第一電子元件上的第一端子對(duì)準(zhǔn)并且所述插入器的所述第二細(xì)長彈性接觸件與所述 第二電子元件上的第二端子對(duì)準(zhǔn)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中 所述插入器包括對(duì)接功能部件；以及所述力將所述插入器的所述對(duì)接功能部件移動(dòng)至與所述約束接觸。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述第一電子元件包括設(shè)置用于接觸待測電子 器件的多個(gè)探針，并且所述第二電子元件包括至多個(gè)通道的電接口，所述多個(gè)通道通向用 于控制所述電子器件的測試的測試儀。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中所述第一電子元件、所述插入器和所述第二電 子元件組成探針卡組件，所述探針卡組件包括所述接口和所述探針之間的多條電路徑。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述提供約束包括提供附接至所述第一電子元 件的所述約束。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述約束約束 所述插入器沿第一軸的平移，所述插入器沿與所述第一軸垂直的第二軸的平移，以及 所述插入器圍繞與所述第一軸和所述第二軸垂直的第三軸的旋轉(zhuǎn)。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中所述第三軸總體上垂直于所述力的方向。
24.一種用于測試電子器件的組件，包括 具有測試探針的探針基片；固定到所述探針基片的線路基片；插入器，設(shè)置在所述探針基片和所述線路基片之間并且包括從相對(duì)側(cè)延伸的并且用于 將所述線路基片上的第一端子和所述探針基片上的第二端子電連接的彈性；以及偏置裝置，用于在總體上平行于設(shè)置了所述第一端子和所述第二端子的平面的方向上 對(duì)著多個(gè)約束偏置所述插入器，其中當(dāng)所述彈性對(duì)著所述約束被偏置時(shí)，所述插入器的所 述彈性彈簧與所述線路基片上的所述第一端子和所述探針基片上的第二端子對(duì)準(zhǔn)。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的組件，其中 所述插入器包括對(duì)接功能部件；以及所述偏置裝置對(duì)著所述約束偏置所述插入器的所述對(duì)接功能部件。
26.根據(jù)權(quán)利要求24所述的組件，其中所述偏置裝置包括彈簧。
27.根據(jù)權(quán)利要求24所述的組件，其中所述偏置裝置包括所述彈性彈簧，當(dāng)施加近似 垂直于壓縮所述彈性彈簧的橫向力的第二力時(shí)，所述彈性彈簧用于將所述橫向力施加到所 述插入器。
28.根據(jù)權(quán)利要求24所述的組件，其中所述探針用于接觸待測電子器件，并且所述線 路基片包括至多個(gè)通道的電接口，所述多個(gè)通道通向用于控制所述電子器件的測試的測試 儀。
29.一種用于測試電子器件的自對(duì)準(zhǔn)可移除探針頭組件，包括探針基片，具有測試探針和總體上設(shè)置在第一平面并且電連接至所述測試探針的端子；插入器，由至少三個(gè)約束實(shí)質(zhì)上約束在總體上平行于所述第一平面的第二平面上；以及偏置機(jī)構(gòu)，用于在所述第二平面上施加力，所述力將所述插入器推動(dòng)朝向所述約束中 的至少一個(gè)以將從所述插入器延伸的接觸結(jié)構(gòu)與所述探針基片的所述端子對(duì)準(zhǔn)。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的探針頭組件，其中所述插入器包括用于接觸所述至少三個(gè) 約束的對(duì)接功能部件。
31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的探針頭組件，其中所述探針基片和所述插入器由彈性接觸 彈簧電連接。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的探針頭組件，其中所述偏置機(jī)構(gòu)包括所述接觸彈簧中的一 些接觸彈簧，所述一些接觸彈簧用于在壓縮所述接觸彈簧時(shí)給予所述力。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的探針頭組件，其中將所述探針頭組件附接到線路基片的附 接機(jī)構(gòu)包括所述約束。
34.一種用于裝配用于測試電子器件的裝置的方法，所述方法包括 在探針基片上設(shè)置插入器以形成探針頭組件；在第一平面上向所述插入器施加偏置力以將從所述插入器的第一表面延伸的第一接 觸結(jié)構(gòu)與所述探針基片上的第一端子對(duì)準(zhǔn)，所述第一端子總體上設(shè)置在總體上與所述第一 平面平行的第二平面中；以及將所述探針頭組件附接至線路基片，所述偏置力將從所述插入器的第二表面延伸的第 二接觸結(jié)構(gòu)與所述線路基片上的第二端子對(duì)準(zhǔn)，所述第二端子總體上設(shè)置在總體上與所述 第一平面平行的第三平面中。
35.根據(jù)權(quán)利要求34所述的方法，其中所述探針基片包括用于接觸所述待測電子器件的探針，一些所述探針與一些所述第一 端子電連接；所述線路基片包括至多個(gè)通道的電接口，所述多個(gè)通道通向用于控制所述電子器件的 測試的測試儀，所述電接口電連接到所述第二端子；以及一些所述第一接觸結(jié)構(gòu)和一些所述第二接觸結(jié)構(gòu)彼此電連接并且將一些所述第二端 子與一些所述第一端子電連接。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，還包括減小所述探針頭組件和所述線路基片之間的 距離，并且從而壓縮所述插入器的所述第一接觸結(jié)構(gòu)和所述第二接觸結(jié)構(gòu)，其中所述壓縮 產(chǎn)生所述偏置力。
37.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，增加所述探針頭組件和所述線路基片之間的距離， 其中所述偏置力將所述插入器的所述第一接觸結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述探針基片的所述第一端子 重新對(duì)準(zhǔn)。
38.根據(jù)權(quán)利要求34所述的方法，其中所述偏置力由彈簧提供。
39.根據(jù)權(quán)利要求34所述的方法，其中所述偏置力將所述插入器移動(dòng)至與相對(duì)于所述 探針基片設(shè)置的約束相接觸。
40.根據(jù)權(quán)利要求39所述的方法，其中所述插入器包括對(duì)接功能部件，以及所述偏置力將所述對(duì)接功能部件移動(dòng)至與所述約束接觸。
41.一種用于對(duì)準(zhǔn)多個(gè)結(jié)構(gòu)的方法，所述方法包括向第一結(jié)構(gòu)施加第一力，所述第一力施加在將所述第一結(jié)構(gòu)在第一平面中移動(dòng)的方 向，所述第一結(jié)構(gòu)包括基片和第一接觸功能部件陣列，所述第一接觸功能部件的端總體地 設(shè)置在與所述第一平面平行的第二平面中；以及約束所述第一結(jié)構(gòu)在所述第一平面中相對(duì)于第二結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)，其中所述約束包括相對(duì)于所述第二結(jié)構(gòu)將所述第一結(jié)構(gòu)約束在一位置，所述位置將所 述第一接觸功能部件陣列和所述第二結(jié)構(gòu)上的第二接觸功能部件陣列對(duì)準(zhǔn)，所述第二接觸 功能部件的端總體地設(shè)置在與所述第二平面平行的第三平面中。
42.根據(jù)權(quán)利要求41所述的方法，其中所述約束還包括將所述第一結(jié)構(gòu)約束在三個(gè)和 僅為三個(gè)的約束位置。
43.根據(jù)權(quán)利要求41或42所述的方法，其中所述約束還包括使用三個(gè)和僅為三個(gè)的約 束來約束所述第一結(jié)構(gòu)，其中所述第一約束沿著所述第一平面中的第一平移度來約束所述第一結(jié)構(gòu)，所述第二約束沿著所述第一平面中的第二平移度來約束所述第二結(jié)構(gòu)，所述第二平移 度與所述第一平移度不同，以及所述第三約束以所述第一平面中的旋轉(zhuǎn)度來約束所述第一結(jié)構(gòu)。
44.根據(jù)權(quán)利要求41或42所述的方法，其中所述第一力被定向以避開保留區(qū)域，每個(gè) 保留區(qū)域?qū)?yīng)于重疊摩擦角區(qū)間，并且每個(gè)摩擦角區(qū)間對(duì)應(yīng)于兩條虛擬線之間的區(qū)間，所 述兩條虛擬線在所述約束位置之一交叉并且從經(jīng)過所述約束位置之一的約束線以與在所 述約束位置之一處彼此接觸的所述第一結(jié)構(gòu)和所述第二結(jié)構(gòu)的材料的摩擦角的反正切對(duì)應(yīng)的角發(fā)散。。
45.根據(jù)權(quán)利要求41或42所述的方法，其中所述第一力將所述第一結(jié)構(gòu)上的三個(gè)對(duì)接 功能部件移動(dòng)到與所述第二結(jié)構(gòu)上的三個(gè)對(duì)接功能部件接觸。
46.根據(jù)權(quán)利要求41、42或45所述的方法，其中所述第一結(jié)構(gòu)上的所述三個(gè)對(duì)接功能 部件對(duì)應(yīng)于所述三個(gè)約束位置，并且，所述第二結(jié)構(gòu)上的所述三個(gè)對(duì)接功能部件對(duì)應(yīng)于所 述三個(gè)約束位置。
47.根據(jù)權(quán)利要求41、42、45或46所述的方法，其中所述第一接觸功能部件相對(duì)于所述 第一結(jié)構(gòu)上的所述三個(gè)對(duì)接功能部件以第一圖案設(shè)置在所述第一結(jié)構(gòu)上，并且所述第二接 觸功能部件相對(duì)于所述第二結(jié)構(gòu)上的所述三個(gè)對(duì)接功能部件以第一圖案設(shè)置在所述第二 結(jié)構(gòu)上。
48.根據(jù)權(quán)利要求41-47中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述向第一結(jié)構(gòu)施加第一力包括 在第一方向壓縮從所述第一結(jié)構(gòu)延伸的彈簧結(jié)構(gòu)，所述壓縮在所述第一結(jié)構(gòu)上生成在第二 方向的合力，所述合力組成所述第一力。
49.根據(jù)權(quán)利要求41或48所述的方法，其中所述第二方向總體上垂直于所述第一方向。
50.根據(jù)權(quán)利要求41或48所述的方法，其中所述壓縮包括壓縮從所述第二結(jié)構(gòu)和第三 結(jié)構(gòu)之間的所述第一結(jié)構(gòu)延伸的所述彈簧結(jié)構(gòu)。
51.根據(jù)權(quán)利要求41、48或50所述的方法，其中所述約束約束所述第一結(jié)構(gòu)的所述位 置還將所述第一結(jié)構(gòu)上的第三接觸功能部件與所述第三結(jié)構(gòu)上的第四接觸功能部件對(duì)準(zhǔn)。
52.根據(jù)權(quán)利要求41-51中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述約束包括對(duì)著所述第二結(jié)構(gòu) 上的第二對(duì)接功能部件壓縮所述第一結(jié)構(gòu)上的第一對(duì)接功能部件，其中所述施加第一力引 起所述壓縮。
53.根據(jù)權(quán)利要求41-52中任一項(xiàng)所述的方法，還包括相對(duì)于所述第一結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)所述 第一對(duì)接功能部件中的一些對(duì)接功能部件的位置。
54.根據(jù)權(quán)利要求41-52中任一項(xiàng)所述的方法，還包括將所述第一結(jié)構(gòu)和所述第二結(jié) 構(gòu)與其它結(jié)構(gòu)組合以形成探針卡組件。
55.根據(jù)權(quán)利要求41-54中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述組合包括將所述第二結(jié)構(gòu) 與具有至測試儀的電接口的線路基片組合，所述測試儀用于控制電子器件的測試，并且其 中所述第二結(jié)構(gòu)包括用于接觸所述電子器件的端子的探針，所述第二接觸功能部件包括 至所述探針的電連接；所述第一結(jié)構(gòu)包括插入器，所述第一接觸功能部件包括設(shè)置用于通過電連接將所述線 路基片上的端子電連接至所述第二結(jié)構(gòu)上的所述探針的接觸件；以及所述約束約束所述第一結(jié)構(gòu)的所述位置還將所述插入器上的所述接觸件與所述線路 基片上的所述端子對(duì)準(zhǔn)。
56.根據(jù)權(quán)利要求41-55中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述組合包括利用附接機(jī)構(gòu)將所 述第二結(jié)構(gòu)附接到所述探針卡組件的另一個(gè)元件，所述附接機(jī)構(gòu)包括所述第二對(duì)接功能部 件。
57.一種用于對(duì)準(zhǔn)多個(gè)電子元件的方法，所述方法包括提供相對(duì)于第一電子元件和第二電子元件設(shè)置的約束；以及壓縮從所述第一電子元件和所述第二電子元件之間的插入器的第一側(cè)延伸的第一細(xì) 長彈性接觸件以及從所述插入器的第二側(cè)延伸的第二細(xì)長彈性接觸件，所述壓縮產(chǎn)生將所 述插入器移動(dòng)至與所述約束接觸的力，其中當(dāng)被所述力移動(dòng)至與所述約束接觸時(shí)，所述插入器的所述第一細(xì)長彈性接觸件與 所述第一電子元件上的第一端子對(duì)準(zhǔn)并且所述插入器的所述第二細(xì)長彈性接觸件與所述 第二電子元件上的第二端子對(duì)準(zhǔn)。
58.根據(jù)權(quán)利要求57所述的方法，其中 所述插入器包括對(duì)接功能部件；以及所述力將所述插入器的所述對(duì)接功能部件移動(dòng)至與所述約束接觸。
59.根據(jù)權(quán)利要求57或58所述的方法，其中所述第一電子元件包括設(shè)置用于接觸被測 電子器件的多個(gè)探針，并且所述第二電子元件包括至多個(gè)通道的電接口，所述多個(gè)通道通 向用于控制所述電子器件的測試的測試儀。
60.根據(jù)權(quán)利要求57或59所述的方法，其中所述第一電子元件、所述插入器和所述 第二電子元件組成探針卡組件，所述探針卡組件包括所述接口和所述探針之間的多條電路 徑。
61.根據(jù)權(quán)利要求57-60中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述提供約束包括提供附接至所 述第一電子元件的所述約束。
62.根據(jù)權(quán)利要求57-61中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述約束約束 所述插入器沿第一軸的平移，所述插入器沿與所述第一軸垂直的第二軸的平移，以及 所述插入器圍繞與所述第一軸和所述第二軸垂直的第三軸的旋轉(zhuǎn)。
63.根據(jù)權(quán)利要求57-62中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述第三軸總體上垂直于所述力 的方向。
64.一種用于測試電子器件的組件，包括 具有測試探針的探針基片；固定到所述探針基片的線路基片；插入器，設(shè)置在所述探針基片和所述線路基片之間并且包括從相對(duì)側(cè)延伸的并且用于 將所述線路基片上的第一端子和所述探針基片上的第二端子電連接的彈性；以及偏置裝置，用于在總體上平行于設(shè)置了所述第一端子和所述第二端子的平面的方向上 對(duì)著多個(gè)約束偏置所述插入器，其中當(dāng)對(duì)著所述約束被偏置時(shí)，所述插入器的所述彈性彈 簧與所述線路基片上的所述第一端子和所述探針基片上的第二端子對(duì)準(zhǔn)。
65.根據(jù)權(quán)利要求64所述的組件，其中 所述插入器包括對(duì)接功能部件；以及所述偏置裝置對(duì)著所述約束偏置所述插入器的所述對(duì)接功能部件。
66.根據(jù)權(quán)利要求64或65所述的組件，其中所述偏置裝置包括彈簧。
67.根據(jù)權(quán)利要求64-66中任一項(xiàng)所述的組件，其中所述偏置裝置包括所述彈性彈簧， 當(dāng)施加近似垂直于壓縮所述彈性彈簧的橫向力的第二力時(shí)，所述彈性彈簧用于將所述橫向 力施加到所述插入器。
68.根據(jù)權(quán)利要求64-67中任一項(xiàng)所述的組件，其中所述探針用于接觸待測電子器件， 并且所述線路基片包括至多個(gè)通道的電接口，所述多個(gè)通道通向用于控制所述電子器件的 測試的測試儀。
69.一種用于測試電子器件的自對(duì)準(zhǔn)可移除探針頭組件，包括探針基片，具有測試探針和總體上設(shè)置在第一平面并且電連接至所述測試探針的端子；插入器，由至少三個(gè)約束實(shí)質(zhì)上約束在總體上平行于所述第一平面的第二平面上；以及偏置機(jī)構(gòu)，用于在所述第二平面上施加力，所述力將所述插入器推動(dòng)朝向所述約束中 的至少一個(gè)以將從所述插入器延伸的接觸結(jié)構(gòu)與所述探針基片的所述端子對(duì)準(zhǔn)。
70.根據(jù)權(quán)利要求69所述的探針頭組件，其中所述插入器包括用于接觸所述至少三個(gè) 約束的對(duì)接功能部件。
71.根據(jù)權(quán)利要求69或70所述的探針頭組件，其中所述探針基片和所述插入器由彈性 接觸彈簧電連接。
72.根據(jù)權(quán)利要求69-71中任一項(xiàng)所述的探針頭組件，其中所述偏置機(jī)構(gòu)包括所述接 觸彈簧中的一些接觸彈簧，所述一些接觸彈簧用于在壓縮所述接觸彈簧時(shí)給予所述力。
73.根據(jù)權(quán)利要求69-72中任一項(xiàng)所述的探針頭組件，其中將所述探針頭組件附接到 線路基片的附接機(jī)構(gòu)包括所述約束。
74.一種用于裝配用于測試電子器件的裝置的方法，所述方法包括 在探針基片上設(shè)置插入器以形成探針頭組件；在第一平面上向所述插入器施加偏置力以將從所述插入器的第一表面延伸的第一接 觸結(jié)構(gòu)與所述探針基片上的第一端子對(duì)準(zhǔn)，所述第一端子總體上設(shè)置在總體上與所述第一 平面平行的第二平面中；以及將所述探針頭組件附接至線路基片，所述偏置力將從所述插入器的第二表面延伸的第 二接觸結(jié)構(gòu)與所述線路基片上的第二端子對(duì)準(zhǔn)，所述第二端子總體上設(shè)置在總體上與所述 第一平面平行的第三平面中。
75.根據(jù)權(quán)利要求74所述的方法，其中所述探針基片包括用于接觸所述待測電子器件的探針，一些所述探針與一些所述第一 端子電連接；所述線路基片包括至多個(gè)通道的電接口，所述多個(gè)通道通向用于控制所述電子器件的 測試的測試儀，所述電接口電連接到所述第二端子；以及一些所述第一接觸結(jié)構(gòu)和一些所述第二接觸結(jié)構(gòu)彼此電連接并且將一些所述第二端 子與一些所述第一端子電連接。
76.根據(jù)權(quán)利要求74或75所述的方法，還包括減小所述探針頭組件和所述線路基片之 間的距離，并且從而壓縮所述插入器的所述第一接觸結(jié)構(gòu)和所述第二接觸結(jié)構(gòu)，其中所述 壓縮生成所述偏置力。
77.根據(jù)權(quán)利要求74或75所述的方法，增加所述探針頭組件和所述線路基片之間的距 離，其中所述偏置力將所述插入器的所述第一接觸結(jié)構(gòu)相對(duì)于所述探針基片的所述第一端 子重新對(duì)準(zhǔn)。
78.根據(jù)權(quán)利要求74或75所述的方法，其中所述偏置力由彈簧提供。
79.根據(jù)權(quán)利要求74-78中任一項(xiàng)所述的方法，其中所述偏置力將所述插入器移動(dòng)至 與相對(duì)于所述探針基片設(shè)置的約束相接觸。
80.根據(jù)權(quán)利要求74-79中任一項(xiàng)所述的方法，其中 所述插入器包括對(duì)接功能部件，以及所述偏置力將所述對(duì)接功能部件移動(dòng)至與所述約束接觸。
全文摘要
一種用于對(duì)準(zhǔn)多個(gè)結(jié)構(gòu)的方法或裝置能夠包括在第一平面上向第一結(jié)構(gòu)施加第一力。方法也能夠包括在第一平面上相對(duì)于第二結(jié)構(gòu)約束第一結(jié)構(gòu)使得第一結(jié)構(gòu)處于相對(duì)于第二結(jié)構(gòu)的一位置，該位置將第一結(jié)構(gòu)上的第一功能部件與第二結(jié)構(gòu)上的第二功能部件對(duì)準(zhǔn)。第二功能部件能夠在總體上平行于第一平面的第二平面中。第一和第二結(jié)構(gòu)能夠是第一和第二電子元件，該電子元件能夠是探針卡組件的元件。
文檔編號(hào)H01L21/66GK101861644SQ200880116539
公開日2010年10月13日 申請(qǐng)日期2008年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月26日
發(fā)明者加埃唐·L·馬蒂厄, 埃里克·D·霍布斯, 本杰明·N·埃爾德里奇 申請(qǐng)人:佛姆法克特股份有限公司