專(zhuān)利名稱(chēng)：用于半導(dǎo)體面板的具有清洗室的等離子體清洗設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于在半導(dǎo)體制造過(guò)程中利用等離子體放電來(lái)清洗半導(dǎo)體元件(清 洗對(duì)象或PCB板)的等離子體清洗設(shè)備。更具體地，本發(fā)明涉及具有清洗室的半導(dǎo)體等離 子體清洗設(shè)備，其通過(guò)對(duì)放置在盒子中的半導(dǎo)體元件進(jìn)行連續(xù)的等離子體清洗來(lái)提高工作 效率。
背景技術(shù)：
通常，對(duì)每個(gè)半導(dǎo)體工藝提供在半導(dǎo)體制造過(guò)程中所使用的等離子體清洗設(shè)備， 其是用于利用等離子體放電來(lái)清洗半導(dǎo)體元件(例如，清洗對(duì)象和PCB)的設(shè)備，以便清洗 半導(dǎo)體元件(在下文中，叫做清洗對(duì)象)的表面。也就是說(shuō)，清洗對(duì)象通過(guò)剝離、芯片接合、線接合、包裝成型、標(biāo)記等步驟，取決于 清洗對(duì)象的類(lèi)型。因?yàn)榍逑磳?duì)象的表面由于每個(gè)步驟中進(jìn)行的物理處理和化學(xué)處理而被污 染，所以每個(gè)步驟中需要一個(gè)用于清洗污染表面的附加步驟。特別地，由于利用等離子體清洗不僅可以清洗清洗對(duì)象，而且可以清洗芯片接合 和線接合中的銅的清洗對(duì)象表面，允許省去清洗對(duì)象表面的鍍銀或鍍金，所以近來(lái)廣泛地 使用等離子體清洗，具有可降低半導(dǎo)體生產(chǎn)成本和可簡(jiǎn)化半導(dǎo)體制造過(guò)程的優(yōu)點(diǎn)。參考圖1，相關(guān)技術(shù)的等離子體清洗設(shè)備1設(shè)置有可關(guān)閉的腔室10 ；用于裝載盒 子60的暗盒20，每個(gè)盒子具有裝載在其上并裝入腔室10中的多個(gè)清洗對(duì)象L ；用于從腔室 10抽吸空氣的抽氣單元30，其中腔室10在暗盒20具有裝載于其上的盒子60的狀態(tài)中關(guān) 閉，以使得腔室進(jìn)入真空狀態(tài)；用于將氣體(例如，氬氣、氙氣、氦氣和氖氣)引入真空腔室 10的氣體供應(yīng)單元40 ；以及用于在腔室10中的氣體施加電流以產(chǎn)生等離子體的電流產(chǎn)生 單元50。參考圖2，暗盒20設(shè)置有形成暗盒20的頂側(cè)的頂部框架21 ；頂部框架21下方的 用于在其上放置多個(gè)盒子60的底部框架22 ；以及頂部框架21和底部框架之間的多個(gè)側(cè)電 極板23，所述多個(gè)側(cè)電極板布置在位于底部框架22上的盒子60的相對(duì)側(cè)上，用于引起等離 子體放電。在此情況中，多個(gè)清洗對(duì)象L在高度方向上以預(yù)定距離裝載在盒子60中，并且，在 盒子60的高度方向上在其相對(duì)側(cè)上布置有滑板托架腳蹬61，以可抽拉地放置清洗對(duì)象L。 滑板托架腳蹬61以彼此隔開(kāi)規(guī)則的距離而固定，以便在滑板托架腳蹬61的間隙之間平穩(wěn) 地引入等離子體，從而有效地清洗清洗對(duì)象L。相關(guān)技術(shù)的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備1用抽氣單元30排空清洗設(shè)備的內(nèi)部，用氣 體供應(yīng)單元40引入氣體，對(duì)暗盒20處的電極板施加電流，以電離或激活清洗設(shè)備中的氣 體，從而將激活的氣體分成電子和陽(yáng)離子，以便通過(guò)等離子體的活性清洗盒子中的清洗對(duì) 象L0然而，相關(guān)技術(shù)的等離子體清洗設(shè)備1具有這樣的問(wèn)題清洗清洗對(duì)象的清洗效 率和生產(chǎn)率非常低，因?yàn)橄嚓P(guān)技術(shù)的等離子體清洗設(shè)備1需要工人將其中裝載有清洗對(duì)象
5L的盒子60裝載到暗盒20中，然后將暗盒20裝載到腔室10中，并且在完成清洗之后，再次 從腔室10取出暗盒20，并在其中放置新的暗盒20，無(wú)法進(jìn)行連續(xù)的清洗工藝。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決此問(wèn)題，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種具有多個(gè)清洗室的半導(dǎo)體等離子 體清洗設(shè)備，其中，可以連續(xù)地進(jìn)行清洗對(duì)象的自動(dòng)清洗，通過(guò)引入來(lái)取出盒子，從而提高 清洗對(duì)象的清洗效率和生產(chǎn)率。為了實(shí)現(xiàn)這些目的和其它優(yōu)點(diǎn)，并且根據(jù)本發(fā)明的意圖，如在這里體現(xiàn)并寬泛描 述的，具有多個(gè)清洗室的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備包括直立地平行布置的多個(gè)清洗室； 卸載單元，根據(jù)將其上裝載有清洗對(duì)象的盒子接連地傳送至每個(gè)清洗室前部的清洗進(jìn)行情 況，卸載單元可在上/下方向上移動(dòng)；安裝至卸載單元的多個(gè)第一推動(dòng)器，用于一個(gè)接一個(gè) 地推動(dòng)并排出由卸載單元朝著清洗室傳送的盒子中所裝載的清洗對(duì)象；可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元， 用于從卸載單元接收其中已排出所有清洗對(duì)象的空盒子，將空盒子水平地旋轉(zhuǎn)180°，并將 空盒子傳送至等離子體清洗室的后部；裝載單元，用于從可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元接收空盒子，并將 空盒子接連地傳送至每個(gè)等離子體清洗室的后部，同時(shí)根據(jù)清洗進(jìn)行情況從下側(cè)移動(dòng)至上 側(cè)；以及第二推動(dòng)器，用于將已完成清洗的清洗對(duì)象推動(dòng)并裝載到裝載單元處的空盒子中。本發(fā)明具有以下有利效果。具有多個(gè)清洗室的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備可顯著地提高生產(chǎn)率，因?yàn)槎鄠€(gè)清洗 室在上/下方向上布置在中心以進(jìn)行等離子體清洗，卸載單元布置在前側(cè)上以將清洗對(duì)象 從盒子供應(yīng)至清洗室，裝載單元布置在后側(cè)上以接連地將清洗后的清洗對(duì)象從清洗室裝載 到從卸載單元接收的空盒子中，使得能夠在上清洗室和下清洗室處交替地且連續(xù)地對(duì)清洗 對(duì)象進(jìn)行清洗。此外，具有多個(gè)清洗室的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備可將設(shè)備占據(jù)的空間減到最 小，并可顯著地提高工作能力，因?yàn)楣と诵枰龅氖菍⒖蘸凶右胄遁d單元并從裝載單元 接收盒子。


附圖被包括進(jìn)來(lái)以提供對(duì)公開(kāi)內(nèi)容的進(jìn)一步理解，并被包含且構(gòu)成本申請(qǐng)的一部 分，附圖示出了公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施方式，并與說(shuō)明書(shū)一起用來(lái)解釋公開(kāi)內(nèi)容的原理。附圖中圖1示出了相關(guān)技術(shù)的等離子體清洗設(shè)備在操作中的一個(gè)截面；圖2示出了相關(guān)技術(shù)的等離子體清洗設(shè)備的暗盒和暗盒中的盒子的裝配透視圖；圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備的透視圖；圖4示出了圖3中的等離子體清洗設(shè)備的前視圖；圖5示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備中的清洗室的 底板的一個(gè)截面；圖6示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備中的清洗室的 底部透視圖；圖7示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備中的清洗室的加熱板的平面圖；圖8示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備的第一定位單 元中的進(jìn)料器的透視圖；圖9示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備中的第一推動(dòng) 器的透視圖；圖10示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備中的裝載單元 的透視圖；圖11示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備中的裝載單元 的夾緊裝置的側(cè)視圖；圖12至圖14示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備中的可 轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元的透視圖，示出了順序的操作狀態(tài)；以及圖15示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式的等離子體清洗設(shè)備中的第二推動(dòng) 器的透視圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將詳細(xì)參考本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，本發(fā)明的實(shí)例在附圖中示出。按照發(fā)明 人可適當(dāng)?shù)囟x術(shù)語(yǔ)和概念以用最佳方式描述本發(fā)明的原則，需要將本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)和權(quán) 利要求中的術(shù)語(yǔ)和詞語(yǔ)解釋為其意義和概念符合本發(fā)明的技術(shù)概念。參考圖3和圖4，本發(fā)明的具有多個(gè)清洗室的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備包括多個(gè) 直立的清洗室100 ；卸載單元200，用于接連地傳送具有裝載于其上的清洗對(duì)象的盒子；第 一推動(dòng)器250，安裝至卸載單元200以朝著清洗室100排出裝載于盒子中的清洗對(duì)象；可轉(zhuǎn) 動(dòng)傳送單元300，用于從卸載單元200接收其中已排出所有清洗對(duì)象的空盒子，將空盒子水 平地旋轉(zhuǎn)180°，并將空盒子傳送至等離子體清洗室100的后部；裝載單元400，用于將空盒 子從可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元300接連地傳送至等離子體清洗室100 —側(cè)的后部；以及第二推動(dòng)器 500，用于將已完成清洗的清洗對(duì)象推動(dòng)并裝載到裝載單元400處的空盒子中。<等離子體清洗室>該實(shí)施方式示出了一對(duì)彼此隔開(kāi)的直立的清洗室100作為一個(gè)實(shí)例。每個(gè)清洗室100包括底板110，用于將清洗對(duì)象從裝載單元400定位于底板上； 以及底板110正上方的頂板120，該頂板在上/下方向上可移動(dòng)地安裝，以便與底板110選 擇性地連接，從而在頂板120與底板110連接的狀態(tài)中具有用于產(chǎn)生等離子體的空間。牢固地固定在底板110上方的是一對(duì)固定在底板上方的定位件111，用于支撐由 卸載單元200引入至清洗室100的清洗對(duì)象的相對(duì)側(cè)，以將清洗對(duì)象定位為與底板110隔 開(kāi)。將清洗對(duì)象定位為與底板110隔開(kāi)是為了防止清洗對(duì)象與底板110緊密接觸，防止限 制清洗對(duì)象與等離子體接觸，防止導(dǎo)致無(wú)法平穩(wěn)地清洗清洗對(duì)象。同時(shí)，雖然未示出，但是頂板120具有與其連接的氣體供應(yīng)管道，以對(duì)清洗室100 供應(yīng)等離子氣體，例如，氬氣、氙氣、氦氣和氖氣，并且，底板具有連接至抽氣單元以排空腔 室的排氣孔。安裝在清洗室100中的是用于對(duì)通過(guò)氣體供應(yīng)管道114供應(yīng)至腔室的氣體施 加電流以產(chǎn)生等離子體的電流產(chǎn)生單元。參考圖5至圖7，在每個(gè)清洗室100的底板110上，具有用于將清洗對(duì)象加熱至適
7當(dāng)溫度的加熱單元115，通過(guò)用在其中循環(huán)的加熱空氣加熱，并用在其中循環(huán)的冷卻空氣冷 卻來(lái)進(jìn)行。在底板110的下側(cè)上，具有與其連接以使加熱空氣或冷卻空氣朝著加熱單元115 循環(huán)的空氣循環(huán)管道112。空氣循環(huán)管道112具有入口管道112a和出口管道112b。加熱單元115包括一組陶瓷頂板115a、蓋板115b、加熱板115c和陶瓷底板115d， 其中陶瓷頂板具有固定至其表面的定位件111。加熱板115c具有在其整個(gè)表面上均勻地形成的空氣通路，兩端與空氣循環(huán)管道 112連通。為此，陶瓷底板115d具有用于使空氣通路的兩端116a和116b與空氣循環(huán)管道 112連通的連通孔(未示出)。在開(kāi)始清洗之前通過(guò)入口管道112a供應(yīng)高溫空氣時(shí)，加熱空氣經(jīng)過(guò)陶瓷底板 115d中的連通孔，被引導(dǎo)至加熱板115c，并通過(guò)加熱板115c循環(huán)，以在通過(guò)出口管道112b 排出至外部之前加熱加熱板115c。因此，一旦加熱板115c被加熱，那么隨著加熱陶瓷頂板115a，陶瓷頂板115a上的 清洗對(duì)象被加熱至適當(dāng)?shù)臏囟龋瑥亩沟入x子體清洗效果最大化。同時(shí)，在清洗室100的溫度上升至高于所需溫度的情況下，將冷卻空氣引入空氣 循環(huán)管道112的入口管道112a，從而隨著冷卻空氣通過(guò)空氣通路116在加熱板115c中循環(huán) 時(shí)，冷卻空氣使加熱板115c降溫。盡管存在頻繁的熱變化，清洗室100都不會(huì)表現(xiàn)出變形，因?yàn)樘沾身敯?15a和陶 瓷底板115d是由陶瓷材料形成的，并且能夠?qū)?duì)清洗室100的周?chē)鷨卧臒岷纳p到最 小，因?yàn)閺募訜岚?15c開(kāi)始，僅有清洗室100的底板110經(jīng)歷溫度上升。在每個(gè)等離子體清洗室100的前面，具有第一定位單元130，該第一定位單元在橫 向方向上具有多個(gè)引導(dǎo)件132以定位由推動(dòng)器250從盒子排出的清洗對(duì)象，并且在每個(gè)等 離子體清洗室100的后面，具有第二定位單元140，該第二定位單元在橫向方向上具有多個(gè) 引導(dǎo)件142以定位從等離子體清洗室100排出的已完成清洗的清洗對(duì)象。每個(gè)第一和第二引導(dǎo)件130和140均具有安裝至它們以將清洗對(duì)象移動(dòng)至定位位 置的進(jìn)料器131和141。參考圖8，第一定位單元130的進(jìn)料器131包括穿過(guò)所有引導(dǎo)件132的旋轉(zhuǎn)軸 131a;用于向旋轉(zhuǎn)軸131a提供旋轉(zhuǎn)力的驅(qū)動(dòng)電機(jī)131b ；進(jìn)料帶131c，安裝至每個(gè)引導(dǎo)件 132以便從旋轉(zhuǎn)軸131a接收旋轉(zhuǎn)力，從而將進(jìn)入的清洗對(duì)象供應(yīng)至引導(dǎo)件132的后面；以 及用于將清洗對(duì)象向下壓在進(jìn)料帶131c上的進(jìn)料輥131d。在進(jìn)料器131的前面，具有附接至其的傳感器131e，以便感測(cè)清洗對(duì)象的接近。如 果傳感器131e感測(cè)到清洗對(duì)象的接近，那么驅(qū)動(dòng)電機(jī)131a開(kāi)始操作。第二定位單元140的進(jìn)料器141與第一定位單元130的進(jìn)料器131相同。參考圖9，第一定位單元130包括清洗對(duì)象傳送裝置150，用于將第一定位單元130 上的清洗對(duì)象傳送至等離子體清洗室100，或?qū)⒁淹瓿汕逑吹那逑磳?duì)象傳送至第二定位單 元 140。清洗對(duì)象傳送裝置150包括用于在第一定位單元130和等離子體清洗室100之 間前后移動(dòng)的LM引導(dǎo)件151 ；與LM引導(dǎo)件151 —起往復(fù)運(yùn)動(dòng)的指臂152 ；以及可轉(zhuǎn)動(dòng)地安 裝于指臂152的指部153，其在上/下方向上選擇性地用于，在指部153向下旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)中將第一定位單元130上的清洗對(duì)象推動(dòng)至相關(guān)的等離子體清洗室100，或?qū)⒁淹瓿汕逑吹?清洗對(duì)象推動(dòng)至第二定位單元140。未說(shuō)明的參考標(biāo)記M表示盒子。<卸載單元>卸載單元200安裝在清洗室100的前面。參考圖10，卸載單元200包括傳送器210，用于接收盒子并將盒子傳送至拾取位 置，其中每個(gè)盒子具有從卸載單元200的外部以規(guī)則間隔裝載于其上的清洗對(duì)象；夾緊裝 置220，用于拾取由傳送器210傳送至拾取位置的盒子；升降機(jī)230，其上安裝有夾緊裝置 220以使所拾取的盒子朝著第一推動(dòng)器250豎直運(yùn)動(dòng)；以及水平傳送機(jī)器人240，用于一步 一步地移動(dòng)升降機(jī)230，從而將夾緊裝置220接連地定位在第一定位單元130的每個(gè)弓|導(dǎo)件 132的前面。卸載單元200根據(jù)清洗進(jìn)行情況而從下側(cè)移動(dòng)至上側(cè)，以借助于水平傳送機(jī)器人 240將盒子移動(dòng)至每個(gè)等離子體清洗室100的前面，其中每個(gè)盒子具有以規(guī)則間隔裝載于 其上的清洗對(duì)象。傳送器210包括傳送器本體211，被布置為將盒子從圖的左側(cè)傳送至右側(cè)；上裝 載器212，位于傳送器本體211的后部，用于將由傳送器本體211傳送的盒子定位于其上，并 將所定位的盒子向上移動(dòng)至拾取位置；以及第一盒子傳感器213，用于感測(cè)盒子在上裝載 器212上的定位，并向夾緊裝置220發(fā)送拾取信號(hào)。參考圖10和圖11，夾緊裝置220包括固定至升降機(jī)230的夾緊塊221 ；位于夾 緊塊221下方的夾緊缸222 ；—對(duì)夾具223和224，連接至夾緊缸的相對(duì)側(cè)，以根據(jù)夾緊缸 222的動(dòng)作改變相對(duì)側(cè)之間的距離；彈性壓板224，通過(guò)夾緊缸222水平地安裝在夾具223 和223之間，以在夾具223和223之間彈性地向下壓盒子的頂部；以及位于夾具223和223 的一側(cè)的第三盒子傳感器225，用于通過(guò)感測(cè)彈性壓板224的位置來(lái)檢測(cè)盒子是否到達(dá)適 當(dāng)?shù)膴A緊位置，并向夾緊缸222發(fā)送夾緊信號(hào)。升降機(jī)230，朝著第一推動(dòng)器250可豎直移動(dòng)的LM引導(dǎo)件，可以包括豎直引導(dǎo)件 231 ；具有與豎直引導(dǎo)件231接合的相對(duì)端的豎直螺紋桿232 ；以及用于在規(guī)則的/相反的 方向上旋轉(zhuǎn)豎直螺紋桿232的伺服電機(jī)233。豎直螺紋桿232具有與其螺紋接合的夾緊塊 221。因此，一旦伺服電機(jī)223開(kāi)始操作，豎直螺紋桿232便在一個(gè)方向上旋轉(zhuǎn)，以沿著豎直 螺紋桿232向上或向下移動(dòng)夾緊塊221。水平機(jī)器人240，安裝在升降機(jī)230的后面的LM引導(dǎo)件，包括固定至升降機(jī)230 的后面以引導(dǎo)升降機(jī)230的水平左/右方向運(yùn)動(dòng)的水平引導(dǎo)件241 ；具有與水平引導(dǎo)件241 接合的相對(duì)端的水平螺紋桿242 ；以及用于在規(guī)則的/相反的方向上旋轉(zhuǎn)水平螺紋桿242 的伺服電機(jī)243。為了使升降機(jī)230穩(wěn)定的水平運(yùn)動(dòng)，水平傳送機(jī)器人240安裝至升降機(jī)230的中 部，并且，僅水平引導(dǎo)件241安裝至升降機(jī)230的下側(cè)。<可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元>可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元300包括轉(zhuǎn)移傳送器310，具有從卸載單元200到等離子體清洗 室100后面的裝載單元400的傳送部分；傳送器320，用于將從中排出所有清洗對(duì)象的空盒 子定位于其上；以及轉(zhuǎn)臺(tái)330，連接至傳送器320的下側(cè)，以將傳送器水平地轉(zhuǎn)動(dòng)180°。
可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元300從卸載單元200接收從其中已排出所有清洗對(duì)象的空盒子， 借助于轉(zhuǎn)臺(tái)330將從其中已排出所有清洗對(duì)象的空盒子水平地旋轉(zhuǎn)180°，并借助于轉(zhuǎn)移 傳送器310傳送至等離子體清洗室100的后面。由于盒子前后端處的防止清洗對(duì)象下落裝置A的原因，空盒子水平地旋轉(zhuǎn)180°。 防止下落裝置A包括盒子頂部處的可轉(zhuǎn)動(dòng)件Al以及與可轉(zhuǎn)動(dòng)件Al接合的阻擋桿A2，其中， 阻擋桿A2從其頂部至底部跨過(guò)盒子，使得如果使用者旋轉(zhuǎn)可轉(zhuǎn)動(dòng)件Al，那么阻擋桿A2根據(jù) 可轉(zhuǎn)動(dòng)件Al的旋轉(zhuǎn)方向而阻擋或打開(kāi)盒子的一端。因此，參考圖12，由于盒子的前側(cè)被防止清洗對(duì)象下落裝置阻擋，且后側(cè)打開(kāi)以使 得清洗對(duì)象在卸載狀態(tài)中穩(wěn)定地卸載，所以如圖14所示需要將空盒子水平地旋轉(zhuǎn)180°， 以便在后續(xù)的裝載中將已清洗的清洗對(duì)象平穩(wěn)地裝入空盒子中。圖12至圖14示出了將轉(zhuǎn)臺(tái)330從初始狀態(tài)接連地旋轉(zhuǎn)180°的步驟。<第一推動(dòng)器>多個(gè)第一推動(dòng)器250安裝至卸載單元200，第一推動(dòng)器的數(shù)量與等離子體清洗室 100的數(shù)量相對(duì)應(yīng)。參考圖10，第一推動(dòng)器250包括固定至升降機(jī)230的推動(dòng)塊251 ；固定至推動(dòng)塊 251的推動(dòng)缸252 ；以及位于推動(dòng)缸252的桿端處的推動(dòng)器端部253，用于將清洗對(duì)象從由 卸載單元200移動(dòng)的盒子一個(gè)接一個(gè)地推動(dòng)并排出至等離子體清洗室100?！囱b載單元〉裝載單元400包括夾緊裝置410，用于從可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元300拾取空盒子；升降 機(jī)420，具有安裝至其上的夾緊裝置410，由此將所拾取的空盒子豎直地移動(dòng)至第二推動(dòng)器 500 ；水平傳送機(jī)器人430，用于一步一步地傳送升降機(jī)420，從而將夾緊裝置410接連地定 位在第二定位單元140的每個(gè)引導(dǎo)件142的前面；以及傳送器440，用于從升降機(jī)接收空盒 子，并在由第二推動(dòng)器500將全部清洗后的清洗對(duì)象裝載在空盒子中的情況下，將空盒子 排出至等離子體清洗設(shè)備的外部。裝載單元400通過(guò)夾緊裝置410從可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元300接收空盒子，并且根據(jù)清 洗情況，通過(guò)水平傳送機(jī)器人430將空盒子接連地傳送至每個(gè)等離子體清洗室100的后面， 同時(shí)，借助于升降機(jī)420向上/向下移動(dòng)卸載單元400。傳送器440包括傳送器本體441 ；下裝載器，位于傳送器本體441的后部，用于將 來(lái)自升降機(jī)420的盒子定位于其上，并將由此定位的盒子向下移動(dòng)至傳送器本體441 ；以及 第二盒子傳感器443，用于感測(cè)盒子在下裝載器442上的定位，并向下裝載器442發(fā)送向下 移動(dòng)信號(hào)。同時(shí)，由于夾緊裝置410與卸載單元200的夾緊裝置220相同，所以將省略?shī)A緊裝 置410的詳細(xì)描述。<第二推動(dòng)器>第二定位單元140處的第二推動(dòng)器500將清洗后的清洗對(duì)象，推動(dòng)并裝入裝載單 元400處的空盒子中。參考圖15，第二推動(dòng)器500包括導(dǎo)軌510，與第二定位單元140平行；推動(dòng)桿520， 對(duì)于固定部分而言可沿著導(dǎo)軌510前后移動(dòng)；推動(dòng)缸530，用于使推動(dòng)桿前后移動(dòng)；以及多 個(gè)指部540，安裝至推動(dòng)桿520，其可選擇地向上/向下移動(dòng)，以便在向下移動(dòng)的狀態(tài)中，將定位在第二定位單元140上的清洗對(duì)象接連地推動(dòng)并裝載至裝載單元400處的空盒子。在這種情況下，優(yōu)選地，第四盒子傳感器145安裝于裝載單元400 —側(cè)上的第二定 位單元140的每個(gè)引導(dǎo)件142的一端。第四盒子傳感器145將感測(cè)到的空盒子信號(hào)發(fā)送至 第二推動(dòng)器500，以便指部153執(zhí)行清洗對(duì)象裝載動(dòng)作。為此，第二推動(dòng)器500處的每個(gè)指 部153具有傳感器550，用于感測(cè)來(lái)自第四盒子傳感器145的空盒子信號(hào)，以便僅向下移動(dòng) 相關(guān)的指部153，使得對(duì)于指部153單獨(dú)地執(zhí)行清洗對(duì)象裝載操作。本發(fā)明的具有多個(gè)清洗室的用于利用等離子體清洗半導(dǎo)體的設(shè)備執(zhí)行以下操作 將清洗對(duì)象供應(yīng)至在上/下方向上接連布置的多個(gè)清洗室100的卸載操作；在其中容納有 清洗對(duì)象的每個(gè)清洗單元中進(jìn)行的等離子體清洗操作；以及替代地，對(duì)于每個(gè)清洗室100， 接連地將清洗后的清洗對(duì)象通過(guò)裝載單元400從清洗室100裝載到空盒子上的裝載操作?！葱遁d操作〉當(dāng)工人將其上裝載有清洗對(duì)象的盒子放在卸載單元200的傳送器本體211上時(shí)， 盒子被向上傳送至承載于傳送器本體211上的上裝載器212。當(dāng)位于上裝載器212處的第 一盒子傳感器213感測(cè)盒子是否良好地定位時(shí)，僅在盒子良好地定位時(shí)向夾緊裝置220發(fā) 送拾取信號(hào)，由此向上傳送至上裝載器212的盒子被定位在上裝載器212上。如果夾緊裝置220從第一盒子傳感器213接收拾取信號(hào)，那么升降機(jī)230向下移 動(dòng)夾緊裝置220，以拾取定位在上裝載器212上的盒子。在這種情況中，位于夾緊裝置220 處的彈性壓板224吸收由夾緊塊221在盒子處的撞擊所導(dǎo)致的沖擊，以在夾緊裝置220向 下過(guò)度移動(dòng)的情況下保護(hù)盒子。如果夾緊裝置220向下移動(dòng)，那么位于夾具223和223的一側(cè)處的第三盒子傳感 器225借助于彈性壓板224的位置來(lái)檢測(cè)盒子是否處于適當(dāng)?shù)膴A緊位置，并且，如果確定盒 子處于適當(dāng)?shù)膴A緊位置，那么向夾緊缸222發(fā)送夾緊信號(hào)。如果夾緊缸222響應(yīng)于該信號(hào) 而被驅(qū)動(dòng)，那么夾具223和223之間的距離變得更小，以?shī)A緊盒子。當(dāng)完成盒子的夾緊時(shí)，升降機(jī)230向上移動(dòng)，由此將所拾取的盒子傳送至位于升 降機(jī)230下側(cè)處的第一推動(dòng)器250。當(dāng)盒子被傳送至第一推動(dòng)器250時(shí)，第一推動(dòng)器250的 推動(dòng)缸252被驅(qū)動(dòng)，以將位于推動(dòng)器端部253處的清洗對(duì)象從盒子推動(dòng)至第一推動(dòng)器250 下方的等離子體清洗室100。每當(dāng)卸載單元200的水平傳送機(jī)器人240 —步一步地將升降 機(jī)230接連地傳送至位于第一定位單元130處的每個(gè)引導(dǎo)件132時(shí)，實(shí)現(xiàn)第一推動(dòng)器250 的以上動(dòng)作。清洗對(duì)象由第一推動(dòng)器250傳送至清洗室100的第一定位單元130。在完成清洗對(duì)象卸載操作時(shí)，升降機(jī)230向上移動(dòng)，以將盒子傳送至上側(cè)清洗室 100。然后，在上側(cè)清洗室100處重復(fù)前述清洗對(duì)象卸載操作。參考圖3，在上側(cè)清洗室100處進(jìn)行清洗對(duì)象卸載操作的同時(shí)，打開(kāi)下側(cè)清洗室 100，操作第一定位單元130的進(jìn)料器131，使得位于引導(dǎo)件132上的清洗對(duì)象移入打開(kāi)的清 洗室100中。在這種情況中，進(jìn)料器131的進(jìn)料輥131d由進(jìn)料器131前面的傳感器131e 向下旋轉(zhuǎn)，直到進(jìn)料輥131d與位于引導(dǎo)件132上的清洗對(duì)象的頂側(cè)緊密接觸為止。根據(jù)這 一點(diǎn)，在進(jìn)料帶131c之后將清洗對(duì)象向后傳送的狀態(tài)中，清洗對(duì)象被正向地傳送至清洗室 100。同時(shí)，在進(jìn)料器131將清洗對(duì)象傳送至清洗室100的同時(shí)，清洗對(duì)象傳送裝置150 被驅(qū)動(dòng)。
位于清洗對(duì)象傳送裝置150處的LM引導(dǎo)件151傳送指臂152，使得指部153定位 在清洗對(duì)象的前面，并向后傳送指臂152，使得指部153推動(dòng)清洗對(duì)象的前部，以將清洗對(duì) 象裝載到清洗室100中的精確位置。指部153向下旋轉(zhuǎn)，使得當(dāng)指臂152在指部153向上 旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)中向前移動(dòng)時(shí)，指部153能夠推動(dòng)清洗對(duì)象的前部。<清洗操作>一旦借助于清洗對(duì)象傳送裝置150將清洗對(duì)象裝載到下側(cè)清洗室100上，便關(guān)閉 打開(kāi)的清洗室100，以啟動(dòng)等離子體清洗。同時(shí)，在下側(cè)清洗室100處進(jìn)行等離子體清洗的同時(shí)，操作上側(cè)清洗室100的進(jìn)料 器131和清洗對(duì)象傳送裝置150，以將清洗對(duì)象裝載到上側(cè)清洗室100中。當(dāng)完成下側(cè)清洗室100處的清洗操作時(shí)，再次打開(kāi)清洗室100，并操作清洗對(duì)象傳 送裝置150，以將清洗后的清洗對(duì)象從清洗室100推動(dòng)并排出至清洗室100的外部。將由此 排出至清洗室100的外部的清洗后的清洗對(duì)象定位在第二定位單元140的引導(dǎo)件142上。 在將清洗對(duì)象定位在引導(dǎo)件142上的同時(shí)，操作進(jìn)料器141，以將清洗后的清洗對(duì)象傳送至 引導(dǎo)件142的后端。同時(shí)，在將清洗對(duì)象從下側(cè)清洗室100排出并定位在第二定位單元140上的同時(shí)， 上側(cè)清洗室100執(zhí)行等離子體清洗。與此同時(shí)，由卸載單元200將從其中排出所有清洗對(duì) 象的空盒子傳送至可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元300的傳送器210。如圖12所示，一旦將空盒子放置在 傳送器320上，轉(zhuǎn)臺(tái)330就旋轉(zhuǎn)180°，如圖14所示，然后，操作傳送器。根據(jù)這一點(diǎn)，將空 盒子從傳送器320傳送至轉(zhuǎn)移傳送器310，并大量地從轉(zhuǎn)移傳送器傳送至轉(zhuǎn)移傳送器310之 后的裝載單元400。一旦將空盒子傳送至裝載單元400，裝載單元400的夾緊裝置410便拾取空盒子， 并且操作升降機(jī)420和水平傳送機(jī)器人430，以將盒子接連地傳送至下側(cè)清洗室100的第二 定位單元140的每個(gè)引導(dǎo)件142的后部。<裝載操作>一旦將空盒子傳送至第二定位單元140的每個(gè)引導(dǎo)件142的后部，位于裝載單元 400 一側(cè)上的引導(dǎo)件142的端部處的第四盒子傳感器145便感測(cè)空盒子，并向第二推動(dòng)器 500發(fā)送空盒子信號(hào)。將空盒子信號(hào)傳遞至與第二推動(dòng)器500的指部153連接的傳感器 550。如果傳感器550向相關(guān)指部540發(fā)送清洗對(duì)象裝載操作啟動(dòng)信號(hào)，那么指部153在將 第二推動(dòng)器500移動(dòng)至裝載單元400的同時(shí)向下移動(dòng)，以一個(gè)接一個(gè)地推動(dòng)清洗對(duì)象，從而 將清洗對(duì)象裝載到空盒子上。然后，第二推動(dòng)器500和指部540移動(dòng)至原始位置，并為下一 次操作做準(zhǔn)備。對(duì)于定位在第二定位單元140上的清洗對(duì)象，重復(fù)裝載單元400的裝載操作，并 且，如果完成下側(cè)清洗室100的裝載操作，那么裝載單元400向上移動(dòng)盒子，以便進(jìn)行上側(cè) 清洗室100的裝載操作，并將盒子放置在上側(cè)清洗室100的第二定位單元140的引導(dǎo)件142 的后部。同時(shí)，在由此進(jìn)行下側(cè)清洗室100的裝載操作的同時(shí)，完成上側(cè)清洗室100的清洗 操作，并且，由清洗對(duì)象傳送裝置150將清洗后的清洗對(duì)象排出至清洗室100的外部。將 由此排出至清洗室100的外部的清洗后的清洗對(duì)象定位在第二定位單元140的引導(dǎo)件142 上。在將清洗對(duì)象定位在引導(dǎo)件142上的同時(shí)，操作進(jìn)料器141，以將清洗后的清洗對(duì)象大量地傳送至引導(dǎo)件142的后端。將由此傳送至引導(dǎo)件142的后端的清洗后的清洗對(duì)象接連地裝載到向上移動(dòng)的 盒子中，以裝載到上側(cè)清洗室100上。對(duì)于每個(gè)清洗對(duì)象重復(fù)裝載操作，該裝載操作與在下 側(cè)清洗室100處進(jìn)行的裝載操作相同。將在上側(cè)清洗室100處清洗的清洗對(duì)象全部裝載到盒子上，裝載單元400的升降 機(jī)420將盒子定位在下裝載器442上，并且，如果第二盒子傳感器443感測(cè)到盒子的定位， 那么第二盒子傳感器443就向下裝載器442發(fā)送向下移動(dòng)信號(hào)。由此從第二盒子傳感器 443接收向下移動(dòng)信號(hào)的下裝載器442向下運(yùn)動(dòng)，并且，盒子與下裝載器442 —起向下運(yùn)動(dòng)， 并在傳送器441之后排出至清洗設(shè)備的外部。本發(fā)明的具有清洗室的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備可連續(xù)操作，將以上步驟作為一 個(gè)重復(fù)進(jìn)行的循環(huán)。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，將顯而易見(jiàn)的是，在不背離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)或范圍的 前提下，可在本發(fā)明中進(jìn)行各種修改和變化。因此，本發(fā)明的意圖在于覆蓋本發(fā)明的這些修 改和變化，只要它們?cè)谒綑?quán)利要求及其等同物的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種具有多個(gè)清洗室的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備，包括直立地平行布置的多個(gè)清洗室；卸載單元，根據(jù)將其上裝載有清洗對(duì)象的盒子接連地傳送至每個(gè)清洗室前部的清洗進(jìn)行情況，所述卸載單元可在上/下方向上移動(dòng)；多個(gè)第一推動(dòng)器，安裝至所述卸載單元，以便一個(gè)接一個(gè)地推動(dòng)并排出由所述卸載單元朝著清洗室傳送的盒子中所裝載的清洗對(duì)象；可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元，用于從所述卸載單元接收其中已排出所有清洗對(duì)象的空盒子，將所述空盒子水平地旋轉(zhuǎn)180°，并將所述空盒子傳送至等離子體清洗室的后部；裝載單元，用于從所述可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元接收空盒子，并將所述空盒子接連地傳送至每個(gè)等離子體清洗室的后部，同時(shí)根據(jù)清洗進(jìn)行情況從下側(cè)移動(dòng)至上側(cè)；以及第二推動(dòng)器，用于將已完成清洗的清洗對(duì)象推動(dòng)并裝載到裝載單元處的空盒子中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，進(jìn)一步包括第一定位單元，位于每個(gè)等離子體清洗室的前面，所述第一定位單元在橫向方向上具 有多個(gè)引導(dǎo)件，以便接連地定位由第一推動(dòng)器從盒子排出的清洗對(duì)象；第二定位單元，位于每個(gè)等離子體清洗室的后面，所述第二定位單元在橫向方向上具 有多個(gè)引導(dǎo)件，以便定位從所述等離子體清洗室排出的清洗后的清洗對(duì)象；進(jìn)料器，安裝至所述第一和第二定位單元中的每一個(gè)，以將清洗對(duì)象向后移動(dòng)至定位 位置；以及清洗對(duì)象傳送裝置，提供給所述第一定位單元，以將定位在所述第一定位單元上的清 洗對(duì)象傳送至相關(guān)的等離子體清洗室，或?qū)⑶逑春蟮那逑磳?duì)象傳送至所述第二定位單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中，所述進(jìn)料器包括 旋轉(zhuǎn)軸，穿過(guò)所有的引導(dǎo)件；驅(qū)動(dòng)電機(jī)，用于向所述旋轉(zhuǎn)軸提供旋轉(zhuǎn)力；進(jìn)料帶，安裝至每個(gè)引導(dǎo)件，從而將移動(dòng)至每個(gè)引導(dǎo)件的清洗對(duì)象放置在其上，以便從 所述旋轉(zhuǎn)軸接收旋轉(zhuǎn)力，從而將進(jìn)入的清洗對(duì)象供應(yīng)至引導(dǎo)件的后面；以及 進(jìn)料輥，用于將清洗對(duì)象的頂部向下壓在所述進(jìn)料帶上。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中，所述清洗對(duì)象傳送裝置包括 LM引導(dǎo)件，用于在第一定位單元和等離子體清洗室之間前后移動(dòng)； 指臂，與所述LM引導(dǎo)件一起往復(fù)運(yùn)動(dòng)；以及指部，可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述指臂，所述指部在上/下方向上選擇性地用于，在所述指部 向下旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)中將所述第一定位單元上的清洗對(duì)象推動(dòng)至相關(guān)的等離子體清洗室，或?qū)?已完成清洗的清洗對(duì)象推動(dòng)至所述第二定位單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中，所述卸載單元包括傳送器，用于接收盒子并將盒子傳送至拾取位置，每個(gè)盒子具有從卸載單元的外部以 規(guī)則間隔裝載于其上的清洗對(duì)象；夾緊裝置，用于拾取由所述傳送器傳送至拾取位置的盒子；升降機(jī)，其上安裝有所述夾緊裝置，以使所拾取的盒子朝著第一推動(dòng)器豎直運(yùn)動(dòng)；以及 水平傳送機(jī)器人，用于一步一步地移動(dòng)所述升降機(jī)，從而將所述夾緊裝置接連地定位 在第一定位單元的每個(gè)引導(dǎo)件的前面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中，所述傳送器包括 傳送器本體；上裝載器，位于所述傳送器本體的后部，用于將由傳送器本體傳送的盒子定位于其上， 并將所定位的盒子向上移動(dòng)至拾取位置；以及第一盒子傳感器，用于感測(cè)盒子在上裝載器上的定位，并向所述夾緊裝置發(fā)送拾取信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中，所述裝載單元包括 夾緊裝置，用于從所述可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元拾取空盒子；升降機(jī)，具有安裝至其上的夾緊裝置，以便將由此拾取的空盒子豎直地移動(dòng)至所述第 二推動(dòng)器；水平傳送機(jī)器人，用于一步一步地傳送所述升降機(jī)，從而將夾緊裝置接連地定位在第 二定位單元的每個(gè)引導(dǎo)件的前面；以及傳送器，用于從所述升降機(jī)接收空盒子，并且在由所述第二推動(dòng)器將全部清洗后的清 洗對(duì)象裝載在空盒子中的情況下，將空盒子排出至等離子體清洗設(shè)備的外部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其中，傳送器包括 傳送器本體；下裝載器，位于所述傳送器本體的后部，用于將來(lái)自升降機(jī)的盒子定位于其上，并將由 此定位的盒子向下移動(dòng)至所述傳送器本體；以及第二盒子傳感器，用于感測(cè)盒子在所述下裝載器上的定位，并向所述下裝載器發(fā)送向 下移動(dòng)信號(hào)。
9.根據(jù)權(quán)利要求5或7所述的設(shè)備，其中，所述夾緊裝置包括 夾緊塊，固定至所述升降機(jī)；夾緊缸，位于所述夾緊塊的下方；一對(duì)夾具，與夾緊缸的相對(duì)側(cè)連接，以根據(jù)夾緊缸的動(dòng)作改變相對(duì)側(cè)之間的距離； 彈性壓板，通過(guò)夾緊缸水平地安裝在夾具之間，以在夾具之間彈性地向下壓盒子的頂 部；以及第三盒子傳感器，位于所述夾具的一側(cè)，用于通過(guò)感測(cè)彈性壓板的位置來(lái)檢測(cè)盒子是 否到達(dá)適當(dāng)?shù)膴A緊位置，并向所述夾緊缸發(fā)送夾緊信號(hào)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元包括轉(zhuǎn)移傳送器，具有從卸載單元到等離子體清洗室的后面的裝載單元的傳送部分， 傳送器，用于將從中排出所有清洗對(duì)象的空盒子定位于其上；以及 轉(zhuǎn)臺(tái)，連接至所述傳送器的下側(cè)，以將傳送器水平地轉(zhuǎn)動(dòng)180°。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中，所述第二推動(dòng)器包括 導(dǎo)軌，與所述第二定位單元平行；推動(dòng)桿，對(duì)于固定部分而言可沿著所述導(dǎo)軌前后移動(dòng)； 推動(dòng)缸，用于使所述推動(dòng)桿前后移動(dòng)；以及多個(gè)指部，安裝至所述推動(dòng)桿，其可向上/向下選擇性地移動(dòng)，以在向下旋轉(zhuǎn)的狀態(tài) 中，將定位在第二定位單元上的清洗對(duì)象接連地推動(dòng)并裝載至裝載單元處的空盒子中。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，進(jìn)一步包括第四盒子傳感器，安裝至裝載單元一側(cè)上的第二定位單元的每個(gè)引導(dǎo)件的一端，所述第四盒子傳感器用于感測(cè)空盒子，并將由此感 測(cè)到的空盒子信號(hào)發(fā)送至指部，以使指部執(zhí)行清洗對(duì)象裝載動(dòng)作。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述清洗室包括 底板，用于將來(lái)自裝載單元的清洗對(duì)象定位于其上；頂板，位于底板的正上方，在上/下方向上可移動(dòng)地安裝，以便與底板選擇性地連接， 從而在頂板與底板連接的狀態(tài)中具有用于產(chǎn)生等離子體的空間；以及一對(duì)定位件，固定在底板上方，用于支撐由卸載單元引入至清洗室的清洗對(duì)象的相對(duì) 側(cè)，以將清洗對(duì)象定位為與底板隔開(kāi)，其中，所述底板具有安裝至其的加熱單元，用于將清洗對(duì)象加熱至適當(dāng)?shù)臏囟?，通過(guò)用 在其中循環(huán)的加熱空氣加熱，并用在其中循環(huán)的冷卻空氣冷卻來(lái)進(jìn)行。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其中，所述加熱單元包括一組具有固定至其表面的定位件的陶瓷頂板、蓋板、加熱板和陶瓷底板， 其中，所述加熱板具有在其整個(gè)表面上均勻地形成的空氣通路，以便循環(huán)從外部供應(yīng) 的加熱空氣或冷卻空氣。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于在半導(dǎo)體制造過(guò)程中利用等離子體放電清洗半導(dǎo)體元件(清洗對(duì)象或PCB板)的等離子體清洗設(shè)備。更具體地，本發(fā)明涉及具有清洗室(100)的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備，其通過(guò)對(duì)放置在盒子中的清洗對(duì)象進(jìn)行連續(xù)的等離子體清洗來(lái)提高工作效率。具有多個(gè)清洗室(100)的半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備包括直立地平行布置的多個(gè)清洗室(100)；卸載單元(200)，根據(jù)將其上裝載有清洗對(duì)象的盒子接連地傳送至每個(gè)清洗室(100)前部的清洗進(jìn)行情況，可在上/下方向上移動(dòng)；多個(gè)第一推動(dòng)器(250)，安裝至卸載單元(200)，以一個(gè)接一個(gè)地推動(dòng)并排出由卸載單元(200)朝著清洗室傳送的盒子中所裝載的清洗對(duì)象；可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元(300)，用于從卸載單元(200)接收其中已排出所有清洗對(duì)象的空盒子，將空盒子水平地旋轉(zhuǎn)180°，并將空盒子傳送至等離子體清洗室的后部；裝載單元(400)，用于從可轉(zhuǎn)動(dòng)傳送單元(300)接收空盒子，并將空盒子接連地傳送至每個(gè)等離子體清洗室(100)的后部，同時(shí)根據(jù)清洗進(jìn)行情況從下側(cè)移動(dòng)至上側(cè)；以及第二推動(dòng)器(500)，用于將已完成清洗的清洗對(duì)象推動(dòng)并裝載到裝載單元(400)處的空盒子中。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101980798SQ200880128306
公開(kāi)日2011年2月23日 申請(qǐng)日期2008年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月27日
發(fā)明者文暎曄 申請(qǐng)人:飛電半導(dǎo)體株式會(huì)社