專利名稱：一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及硅片加工輔助設(shè)備領(lǐng)域，具體為一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)。
(二)
背景技術(shù)：
以往的硅片甩干機(jī)僅依靠密封條來防止桶內(nèi)的水在甩干過程中被甩出桶外，其密封性能較差，在甩干過程中雜質(zhì)、顆粒等容易進(jìn)入工作腔，從而影響硅片的清洗質(zhì)量。
(三)
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述問題，本發(fā)明提供了一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其密封性能好。
其技術(shù)方案是這樣的其包括門蓋、支撐架和桶底，所述桶底通過法蘭固定于所述支撐架上，所述門蓋安裝于所述法蘭上，其特征在于所述門蓋與所述法蘭之間安裝有氣囊。
其進(jìn)一步特征在于所述氣囊通過氣管連接有二位五通電磁閥；所述二位五通電磁閥連接有調(diào)壓閥；所述門蓋兩端還連接有氣缸；所述氣缸固定于所述支撐架上；所述氣缸導(dǎo)桿通過關(guān)節(jié)軸承和銷軸與所述門蓋連接；所述門蓋與所述法蘭底部通過鉸鏈連接。
使用本發(fā)明硅片甩干機(jī)的密封結(jié)構(gòu)，其有益效果在于其采用氣囊密封，
密封性能較之密封條更好，特別是在甩干機(jī)高速轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，其能有效密閉工作腔，且能防止雜質(zhì)、顆粒物進(jìn)入工作腔。
(四)
圖1為本發(fā)明主視的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的左視圖。
(五)
具體實(shí)施例方式
見圖l、圖2，本發(fā)明包括門蓋6、支撐架11和桶底10，桶底10通過法蘭5固定于支撐架11上，門蓋6安裝于法蘭5上，門蓋6與法蘭5之間安裝有氣囊4。氣囊4通過氣管7連接有二位五通電磁閥8; 二位五通電磁閥8連接有調(diào)壓閥9;門蓋6兩端還連接有氣缸1;氣缸1固定于支撐架11上；氣缸1的導(dǎo)桿通過關(guān)節(jié)軸承2和銷軸3與門蓋6連接；門蓋6與法蘭5底部通過鉸鏈12連接。
下面描述一下本發(fā)明的工作過程當(dāng)甩干機(jī)進(jìn)行工作時(shí)，二位五通電磁閥8
工作，壓縮空氣通過氣管7進(jìn)入氣囊4，氣囊4鼓起變形，氣缸l向下動(dòng)作施加力到門蓋6，此時(shí)門蓋6、法蘭5和桶底IO構(gòu)成了密封的工作腔；當(dāng)甩干機(jī)工作循環(huán)完成后，打開門蓋時(shí)，二位五通電磁閥8換向，氣囊4里的壓縮空氣通過二位五通電磁閥8排走，氣缸換向，門蓋繞鉸鏈12向上打開。調(diào)壓閥9可以調(diào)節(jié)氣囊4里的壓縮空氣的壓力，防止壓力過大而導(dǎo)致氣囊破裂。
權(quán)利要求
1、一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其包括門蓋、支撐架和桶底，所述桶底通過法蘭固定于所述支撐架上，所述門蓋安裝于所述法蘭上，其特征在于所述門蓋與所述法蘭之間安裝有氣囊。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述氣囊通過氣管連接有二位五通電磁閥。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述二位五通電磁閥連接有調(diào)壓閥。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其特征在于-所述門蓋兩端還連接有氣缸。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述氣缸固定于所述支撐架上。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其特征在于 所述氣缸導(dǎo)桿通過關(guān)節(jié)軸承和銷軸與所述門蓋連接。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其特征在于所述門蓋與所述法蘭底部通過鉸鏈連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種改良的硅片甩干機(jī)密封結(jié)構(gòu)，其密封性能好，在甩干機(jī)高速轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，其能有效密閉工作腔，且能防止雜質(zhì)、顆粒物進(jìn)入工作腔。其包括門蓋、支撐架和桶底，所述桶底通過法蘭固定于所述支撐架上，所述門蓋安裝于所述法蘭上，其特征在于所述門蓋與所述法蘭之間安裝有氣囊，所述氣囊通過氣管連接有二位五通電磁閥；所述二位五通電磁閥連接有調(diào)壓閥；所述門蓋兩端還連接有氣缸；所述氣缸固定于所述支撐架上；所述氣缸導(dǎo)桿通過關(guān)節(jié)軸承和銷軸與所述門蓋連接；所述門蓋與所述法蘭底部通過鉸鏈連接。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101477947SQ20091000430
公開日2009年7月8日 申請(qǐng)日期2009年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月24日
發(fā)明者陳世強(qiáng), 顧正初 申請(qǐng)人:無錫市奧曼特科技有限公司