專利名稱：半導(dǎo)體激光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體激光裝置。
背景技術(shù)：
近年來隨著個人計(jì)算機(jī)和多媒體儀器的高性能化，作為處理對 象的信息量顯著增加。隨著信息量的增加，正在進(jìn)行開發(fā)應(yīng)對大容 量化和信息處理的高速化的光學(xué)記錄媒體及其驅(qū)動裝置。
特別是對于光學(xué)記錄媒體，在可以讀寫的CD-R (可寫光盤) 驅(qū)動器、MO (磁光)驅(qū)動器、DVD (數(shù)字多功能光盤)驅(qū)動器等 的光學(xué)記錄媒體驅(qū)動裝置中，使用半導(dǎo)體激光裝置。
例如在特開2001 - 230502號公報中公開的發(fā)光裝置中，在支撐 半導(dǎo)體激光元件的支撐體上設(shè)置具有導(dǎo)電性的多個管腳。這些多個 管腳通過導(dǎo)線被分別連接在各半導(dǎo)體激光元件的n側(cè)電極和p側(cè)電 極上。這樣，在各半導(dǎo)體激光元件的n側(cè)電極和p側(cè)電極之間施加 電壓時，在各半導(dǎo)體激光元件內(nèi)形成的活性層中流入電流，通過空 穴和電子的再結(jié)合進(jìn)行發(fā)光。
可是在上述發(fā)光裝置中，由于射出紅色光的紅色半導(dǎo)體激光元 件的n側(cè)電極和射出紅外光的紅外半導(dǎo)體激光元件的n側(cè)電極為共 同的，紅色半導(dǎo)體激光元件的p側(cè)電極和射出藍(lán)紫色光的藍(lán)紫色半 導(dǎo)體激光元件的n側(cè)電極為共用的，所以難以在紅色半導(dǎo)體激光元 件、紅外半導(dǎo)體激光元件和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件的各個電極獨(dú)立 地任意施加電壓。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供具有多個半導(dǎo)體激光元件，而且可以單獨(dú) 在多個半導(dǎo)體激光元件的電極上施加電壓的半導(dǎo)體激光裝置。
按本發(fā)明的 一 個方面的半導(dǎo)體激光裝置具有導(dǎo)電性的框體、設(shè) 在框體上的導(dǎo)電性底座、設(shè)在框體上而且與框體絕緣的第一、第二 和第三端子、設(shè)在框體上而且與底座進(jìn)行電連接的第四端子、設(shè)在 底座上而且分別有一個電極的第一、第二和第三的半導(dǎo)體激光元件， 第一端子和第二端子沿第一方向配置，第三端子和第四端子沿與第 一方向交叉的第二方向配置，第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件屮 第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極比第二和第三半導(dǎo)體激光元件的一 個電極更靠近第一端子，第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極比第一和 第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極更靠近第二端子，第三半導(dǎo)體激光 元件的一個電極的至少一部分在第一方向上配置成位于第一半導(dǎo)體 激光元件的一個電極和第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極之間，第一 端子和第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極用第一導(dǎo)線連接，第二端子 和第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極用第二導(dǎo)線連接，第三端子和第 三半導(dǎo)體激光元件的一個電極用第三導(dǎo)線連接，第三半導(dǎo)體激光元 件還具有與底座進(jìn)行電連接的另一電極。
在此半導(dǎo)體激光裝置中，第一端子和第一半導(dǎo)體激光元件的 個電極用第一導(dǎo)線連接，第二端子和第二半導(dǎo)體激光元件的一個電 極用第二導(dǎo)線連接，第三端子和第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極用 第三導(dǎo)線連接，由此可以使第一半導(dǎo)體激光元件、第二半導(dǎo)體激光 元件和第三半導(dǎo)體激光元件分別獨(dú)立驅(qū)動。
此外由于第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極位于比第二和第三半 導(dǎo)體激光元件的一個電極更靠近第一端子附近，所以可以簡單而且 容易地把第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第一端子用第一導(dǎo)線連 接。由于第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極位于比第一和第三半導(dǎo)體 激光元件的一個電極更靠近第二端子附近，所以可以簡單而且容易 地把第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第二端子用第二導(dǎo)線連接。 由于第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極至少一部分在第一方向上位于 第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極之間，所以可以簡單而且容易地把第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極 和第三端子用第三導(dǎo)線連接。
優(yōu)選把第一半導(dǎo)體激光元件和第二半導(dǎo)體激光元件設(shè)置在第三 半導(dǎo)體激光元件上。這種情況下，可以使第. 、第二和第三TI體 激光元件的各個激光間隔變窄。
第三半導(dǎo)體激光元件具有在第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極側(cè) 形成的隆起部分和在隆起部分側(cè)面形成的絕緣膜，隆起部分也可以 設(shè)置在第 一半導(dǎo)體激光元件和第二半導(dǎo)體激光元件之間。這種情況 卜一 ，可以簡單而且容易地把第三半導(dǎo)體激光元件的-- 個電極和第二 端子用第三導(dǎo)線連接。
優(yōu)選第一導(dǎo)線和第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第一連接位 置、第三導(dǎo)線和第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第三連接位置、 和第二導(dǎo)線和第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第二連接位置在第 一方向上從第一端子一側(cè)到第二端子一側(cè)順序配置。這樣可以防止 第一、第二和第三導(dǎo)線的交叉。
第三連接位置也可以被設(shè)定在比第 一 和第二連接位置中的節(jié)少 一個連接位置更靠向與第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件射出激光 一側(cè)相反的一側(cè)。這樣，由于第三導(dǎo)線的電感成分變小，所以可以 高速驅(qū)動第三半導(dǎo)體激光元件。
第一、第二和第三端子沿與第一方向和第二方向交叉的第三方 向，從一側(cè)延伸到另一側(cè)，第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件配置 成沿第三方向向另一側(cè)射出主要激光，第一和第二半導(dǎo)體激光元件 分別還有另一電極，在比第一連接位置更靠向第一半導(dǎo)體激光元件 射出激光一側(cè)的位置上，第一半導(dǎo)體激光元件的另一電極可以用第 四導(dǎo)線與底座進(jìn)行電連接。這種情況下，可以用第四導(dǎo)線把第 -半 導(dǎo)體激光元件的另一電極和第三半導(dǎo)體激光元件的另一電極共同連 接在底座上。
在比第二連接位置更靠向第二半導(dǎo)體激光元件射出激光一側(cè)的 位置上，第二半導(dǎo)體激光元件的另 一 電極可以用第五導(dǎo)線與底沐進(jìn) 行電連接。這種情況下，可以用第五導(dǎo)線把第二半導(dǎo)體激光元件的 另一電極和第三半導(dǎo)體激光元件的另一電極共同連接在底座上。按本發(fā)明的另一個方面的半導(dǎo)體激光裝置具有導(dǎo)電性的框體、 設(shè)在框體上的導(dǎo)電性底座、設(shè)在框體上而且與框體絕緣的第一、第 二和第三端子、設(shè)在框體上而且與底座進(jìn)行電連接的第四端子、設(shè) 在底座上而且分別有一個電極的第一、第二和第三的半導(dǎo)體激光元 件，第一端子和第二端子沿第一方向配置，第三端子和第四端子沿 與第一方向交叉的第二方向配置，第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元 件中，第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極比第二和第三半導(dǎo)體激光元 件的一個電極更靠近第一端子，第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極比 第一和第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極更靠近第二端子，在第三半 導(dǎo)體激光元件的一個電極和底座之間還設(shè)有副底座，在副底座上以 從第三半導(dǎo)體激光元件突出的方式形成第三半導(dǎo)體激光元件的 -個 電極，第一端子和第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極用第一導(dǎo)線連接， 第二端子和第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極用第二導(dǎo)線連接，第三 端子和第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極在副底座上用第三導(dǎo)線連 接，第三半導(dǎo)體激光元件還具有與底座進(jìn)行電連接的另一電極。
在此半導(dǎo)體激光裝置中，通過第一端子和第一半導(dǎo)體激光元件 的一個電極用第一導(dǎo)線連接，第二端子和第二半導(dǎo)體激光元件的一 個電極用第二導(dǎo)線連接，第三端子和第三半導(dǎo)體激光元件的一個電 極用第三導(dǎo)線連接，第一半導(dǎo)體激光元件、第二半導(dǎo)體激光元件和 第三半導(dǎo)體激光元件分別可以單獨(dú)驅(qū)動。
此外由于第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極比第二和第三半導(dǎo)體 激光元件的一個電極更靠近第一端子，所以可以用第一導(dǎo)線簡單而 且容易地連接第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第一端子。由于第 二半導(dǎo)體激光元件的一個電極比第一和第三半導(dǎo)體激光元件的 -個 電極更靠近第二端子，所以可以用第二導(dǎo)線簡單而且容易地連接第 二半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第二端子。由于第三半導(dǎo)體激光元 件的一個電極在副底座上以從第三半導(dǎo)體激光元件突出的方式形 成，所以可以在副底座上用第三導(dǎo)線簡單而且容易地連接第三半導(dǎo) 體激光元件的一個電極和第三端子。
優(yōu)選至少一部分第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極比第一和第二 半導(dǎo)體激光元件的一個電極更靠近第三端子。這樣可以用第三導(dǎo)線簡單而且容易地連接第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第三端子。
第一半導(dǎo)體激光元件和第二半導(dǎo)體激光元件優(yōu)選設(shè)在第三半導(dǎo) 體激光元件上。這種情況下，可以分別使第一、第二和第三半導(dǎo)體 激光元件的各個激光間隔變窄。
優(yōu)選第一導(dǎo)線和第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第一連接位 置、第三導(dǎo)線和第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第三連接位置、 和第二導(dǎo)線和第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第二連接位置在第 -方向上從第 一 端子 一 側(cè)到第二端子 一 側(cè)順序配置。這樣可以防止 第--、第二和第三導(dǎo)線的交叉。
第三連接位置被設(shè)定在比第一和第二連接位置中的至少 一個連 接位置更靠向與第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件射出激光,!j相 反的一側(cè)。這樣由于第三導(dǎo)線的電感成分變小，所以可以高速驅(qū)動 第三半導(dǎo)體激光元件。
第一、第二和第三端子沿與第一方向和第二方向交叉的第三方 向，從一側(cè)延伸到另一側(cè)，第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件配置 成沿第三方向向另一側(cè)射出主要激光，第一和第二半導(dǎo)體激光元件 分別還有另一電極，第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件的另一電極 相互進(jìn)行電連接，在比第 一 連接位置更靠向第 一 半導(dǎo)體激光元件射 出激光一側(cè)的位置上，第三半導(dǎo)體激光元件的另一電極可以用第四 導(dǎo)線與底座進(jìn)行電連接。
這種情況下，由于第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件的另一電 極相互進(jìn)行電連接，所以可以用第四導(dǎo)線把第一、第二和第三半導(dǎo) 體激光元件的另一電極共同連接在底座上。
按本發(fā)明的另一個方面的半導(dǎo)體激光裝置具有導(dǎo)電性的框體、 設(shè)在框體上的導(dǎo)電性底座、設(shè)在框體上而且與框體絕緣的第一、第 二和第三端子、設(shè)在框體上而且與底座進(jìn)行電連接的第四端子、設(shè) 在底座上而且分別有一個電極的第一、第二和第三的半導(dǎo)體激光元 件，第一端子和第二端子沿第一方向配置，第三端子和第四端子沿 與第一方向交叉的第二方向配置，第一半導(dǎo)體激光元件發(fā)光部分、 第三半導(dǎo)體激光元件發(fā)光部分和第二半導(dǎo)體激光元件發(fā)光部分在第 一方向上從第 一 端子 一 側(cè)到第二端子 一 側(cè)順序配置，第三半導(dǎo)體激光元件的-- 個電極在第 一 方向上延伸到比第二端子 一 側(cè)的第二半導(dǎo) 體激光側(cè)面更靠近第二端子的位置，第 一 端子和第 一 半導(dǎo)體激光元 件的一個電極用第一導(dǎo)線連接，第二端子和第三半導(dǎo)體激光元件的 一個電極用第三導(dǎo)線連接，第三端子和第二半導(dǎo)體激光元件的"個 電極用第二導(dǎo)線連接，第三半導(dǎo)體激光元件射出波長比第一和第二 半導(dǎo)體激光元件短的激光，同時還具有與底座進(jìn)行電連接的另一電 極。
在此半導(dǎo)體激光裝置中，射出波長比第一和第二半導(dǎo)體激光元 件短的激光的第三半導(dǎo)體激光元件發(fā)光部分被設(shè)置在第一方向上的 第一半導(dǎo)體激光元件發(fā)光部分和第二半導(dǎo)體激光元件發(fā)光部分之 間，由此，第三半導(dǎo)體激光元件位于框體的中央部位。這樣例如用 透鏡聚光激光的情況下，可以提高第三半導(dǎo)體激光元件發(fā)光部分產(chǎn) 生的光的利用效率。
此外第三半導(dǎo)體激光元件的 一 個電極在第 一 方向[:延伸到比第
二端子一側(cè)的第二半導(dǎo)體激光側(cè)面更靠近第二端子的位置，由此， 可以縮短對射出波長比第一和第二半導(dǎo)體激光元件短的激光的第三 半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第二端子連接的第三導(dǎo)線長度。這樣 由于第三導(dǎo)線的電感成分變小，所以可以高速驅(qū)動第三半導(dǎo)體激光 元件。
此外可以簡單而且容易地把第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極和 第一端子用第一導(dǎo)線連接，可以簡單而且容易地把第三半導(dǎo)體激光 元件的一個電極和第二端子用第三導(dǎo)線連接，可以簡單而且容易地 把第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第三端子用第二導(dǎo)線連接。
第一、第二和第三端子沿與第一方向和第二方向交叉的第三方 向，從一側(cè)延伸到另一側(cè)，第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件配置 成沿第三方向向另一側(cè)射出主要激光，第一和第二半導(dǎo)體激光元件 分別還有另一電極，在比第一導(dǎo)線和第一半導(dǎo)體激光元件的一個電 極的第一連接位置更靠向第一半導(dǎo)體激光元件的射出激光 一側(cè)的位 置上，第一半導(dǎo)體激光元件的另一電極可以用第四導(dǎo)線與底座進(jìn)行
電連接。
這種情況下，可以用第四導(dǎo)線把第一半導(dǎo)體激光元件的另 -電
15極和第三半導(dǎo)體激光元件的另一電極共同連接在底座上。
在比第二導(dǎo)線和第二半導(dǎo)體激光元件的另一電極的第二連接位 置更靠向第二半導(dǎo)體激光元件的射出激光一側(cè)的位置上，第二半導(dǎo) 體激光元件的另一電極可以用第五導(dǎo)線與底座進(jìn)行電連接。
這種情況下，可以用第五導(dǎo)線把第二半導(dǎo)體激光元件的另一電 極和第三半導(dǎo)體激光元件的另一電極共同連接在底座上。
第二連接位置也可以被設(shè)定成比第一連接位置和第三導(dǎo)線和第 三半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第三連接位置中的至少一個連接位 置更靠向與第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件的射出激光一側(cè)相反 的一側(cè)。這樣由于第三導(dǎo)線的電感成分變小，所以可以高速驅(qū)動第 三半導(dǎo)體激光元件。
優(yōu)選在第二方向上看第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件的情況 下，第一、第二、第三和第四導(dǎo)線分別不交叉。這樣電極、端于和 底座的配線簡單而且容易。
第三半導(dǎo)體激光元件可以含有由氮化物構(gòu)成的活性層。這種情 況下，可以從第三半導(dǎo)體激光元件的活性層射出藍(lán)紫色光。
第三端子的長度比第一和第二端子的長度短，第一、第二和第 三端子沿與第一方向和第二方向交叉的第三方向，從一方 -側(cè)延伸 到另一方一側(cè)，第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件配置成沿第三方 向向另一方一側(cè)射出主要激光，第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件 在第一方向配置在第一端子和第二端子之間，第三端子的長度可以 被設(shè)置成在第三方向與第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件的射出激 光一側(cè)相反一側(cè)的端面不重合。這樣可以容易地把第一、第二和第 三半導(dǎo)體激光元件容易地安裝在底座上，而不影響第三端子。
按本發(fā)明的另一個方面的半導(dǎo)體激光裝置具有導(dǎo)電性的框體、 設(shè)在框體上的導(dǎo)電性底座、設(shè)在框體上而且與框體絕緣的第一、第 二端子、設(shè)在底座上而且分別有一個電極和另一電極的第一和第二 半導(dǎo)體激光元件，第一半導(dǎo)體激光元件被設(shè)置在第二半導(dǎo)體激光元 件上，第一端子和第二端子沿第一方向配置，第一端子和第一半導(dǎo) 體激光元件的一個電極用第一導(dǎo)線連接，第二端子和第二半導(dǎo)體激 光元件的一個電極用第二導(dǎo)線連接，第一和第二半導(dǎo)體激光元件中的至少一方的另一電極用底座一側(cè)的導(dǎo)線與底座一側(cè)進(jìn)行電連接。
在此半導(dǎo)體激光裝置中，第一端子和第一半導(dǎo)體激光元件的- 個電極用第一導(dǎo)線連接，第二端子和第二半導(dǎo)體激光元件的 一個電
極用第二導(dǎo)線連接，由此，第一半導(dǎo)體激光元件和第二、h導(dǎo)休激光
元件分別可以單獨(dú)驅(qū)動。
優(yōu)選第一半導(dǎo)體激光元件被設(shè)置在第二半導(dǎo)體激光元件上，比 第二端子更靠近第一端子的位置。這種情況下，可以簡單而且容易 第連接第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極和第一端子，同時可以防止 第一導(dǎo)線和第二導(dǎo)線相互交叉。
第二半導(dǎo)體激光元件可以含有由氮化物構(gòu)成的活性層。這種情 況下，可以從第二半導(dǎo)體激光元件的活性層射出藍(lán)紫色光。
在比第一導(dǎo)線和第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第一連接位 置或第二導(dǎo)線和第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極的第二連接位置更 靠向第一半導(dǎo)體激光元件的射出激光一側(cè)的位置上，第一和第二半 導(dǎo)體激光元件中的至少一個的另一電極可以用底座一側(cè)的導(dǎo)線與底 座進(jìn)行電連接。這種情況下，可以防止底座一側(cè)的導(dǎo)線分別與第-導(dǎo)線和第二導(dǎo)線交叉。
采用第一 第三發(fā)明的話，第一半導(dǎo)體激光元件、第二半，體 激光元件、第三半導(dǎo)體激光元件分別可以單獨(dú)驅(qū)動，同時可以簡單 而且容易地用導(dǎo)線連接第一 第三半導(dǎo)體激光元件的各一個電極和 各端子。
此外采用第四發(fā)明的話，第一半導(dǎo)體激光元件和第二半導(dǎo)體激 光元件分別可以單獨(dú)驅(qū)動，同時可以簡單而且容易地用導(dǎo)線連接第 一和第二半導(dǎo)體激光元件的各一個電極和各端子。
圖1為示意性表示第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個示例的 截面圖。
圖2 (a)為示意表示把圖1的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上時 的截面圖。
圖2(b)為把圖1的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上時的俯視圖。圖3為示意性表示第二實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個示例的 截面圖。
圖4 (a)為示意表示把圖3的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上時
的截面圖。
圖4(b)為把圖3的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上時的俯視圖。 圖5為不意性表示第三實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個不例的 截面圖。
圖6 (a)為示意表示把圖5的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上時 的截面圖。
圖6 (b)為把圖5的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上時的俯視圖。 圖7為示意性表示第四實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個示例的 截面圖。
圖8 (a)為示意性表示把圖7的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上 時的截面圖。
圖8(b)為把圖7的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上時的俯視圖。 圖9為示意性表示第五實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個示例的 截面圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖對本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置進(jìn)行說明。 (第一實(shí)施方式)
圖1為示意性表示第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個示例的 截面圖。
本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置100具有射出波長約650nm激光 的半導(dǎo)體激光元件(下面稱為紅色半導(dǎo)體激光元件)1、射出波長約 780nm激光的半導(dǎo)體激光元件(下面稱為紅外半導(dǎo)體激光元件)2、 和射出波長約400nm激光的半導(dǎo)體激光元件(下面稱為藍(lán)紫色半導(dǎo) 體激光元件)3。藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3含有由氮化物系半導(dǎo)體構(gòu) 成的活性層(圖中沒有表示)。
在本實(shí)施方式中，利用在GaN基板上形成半導(dǎo)體層制作藍(lán)紫色 半導(dǎo)體激光元件3。利用在GaAs基板上形成半導(dǎo)體層制作紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2。
如圖1所示，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3在上面一側(cè)具有帶條狀
的隆起部分Ri。在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的隆起部分Ri兩側(cè)形 成絕緣膜4，形成p電極32以覆蓋隆起部分Ri的上面，在下面形 成n電極35。在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3上形成p型半導(dǎo)體和n型 半導(dǎo)體的接合面的pn接合面30。
在紅色半導(dǎo)體激光元件1的上面形成n電極13，在下面形成p 電極12。在紅色半導(dǎo)體激光元件1上形成p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體 接合面的pn接合面10。
在紅外半導(dǎo)體激光元件2的上面形成n電極23，在下面形成p 電極22。在紅外半導(dǎo)體激光元件2上形成p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體 接合面的pn接合面20。
在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的絕緣膜4上以與p電極32分開的 方式形成襯墊電極(pad electrode) 12a、 22a。
在p型襯墊電極12a、 22a的上面分別形成焊錫膜H。紅色半導(dǎo) 體激光元件1的p電極12通過焊錫膜H接合在p型襯墊電極12a 上。此外，紅外半導(dǎo)體激光元件2的p電極22通過焊錫膜H接合 在p型襯墊電極22a上。
這樣，紅色半導(dǎo)體激光元件1的p電極12與p型襯墊電極12a 進(jìn)行電連接，紅外半導(dǎo)體激光元件2的p電極22與p型襯墊電極 22a進(jìn)行電連接。
在圖1中，把箭頭X、 Y、 Z所示的相互垂直的3個方向定為X 方向、Y方向、Z方向。X方向和Y方向?yàn)槠叫杏谒{(lán)紫色半導(dǎo)體激 光元件3、紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2的pn接 合面30、 10、 20的方向。Z方向?yàn)榇怪庇谒{(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3、 紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2的pn接合面30、 10、 20的方向。
紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo) 體激光元件3配置成沿X方向向一方側(cè)射出主要激光。
通過在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和n電極35之間 施加電壓，從p n接合面3 0上的隆起部分R i的下方區(qū)域(下面稱為藍(lán)紫色發(fā)光點(diǎn))31在X方向上射出波長約400nm的激光。
通過在紅色半導(dǎo)體激光元件1的p電極12和n電極13之間施 加電壓，從pn接合面IO上的預(yù)定區(qū)域(下面稱為紅色發(fā)光點(diǎn))11 在X方向上射出波長約650nm的激光。
通過在紅外半導(dǎo)體激光元件2的p電極22和n電極23之間施 加電壓，從pn接合面20上的預(yù)定區(qū)域(下面稱為紅外發(fā)光點(diǎn))21 在X方向上射出波長約780nm的激光。
圖2 (a)為示意表示把圖1的半導(dǎo)體激光裝置IOO組裝到底凈: 上時的截面圖，圖2 (b)為把圖1的半導(dǎo)體激光裝置IOO組裝到底 座上時的俯視圖。
在把圖1的半導(dǎo)體激光裝置100用于光拾取器的情況下，如圖 2 (a)所示，把半導(dǎo)體激光裝置IOO裝在由Cu、 CuW或Al等的金 屬構(gòu)成的導(dǎo)電性底座500上。然后用導(dǎo)線3W、 1Wa、 1Wb、 2Wa、 2Wb進(jìn)行p電極32、 12a、 22a和n電極13、 23的配線。
在這種情況下，n電極35被接合在底座500的上面。這樣n電 極35和底座500進(jìn)行電的連接。
紅色半導(dǎo)體激光元件1的n電極13用導(dǎo)線1Wb與底座500的 上面進(jìn)行電的連接。紅外半導(dǎo)體激光元件2的n電極23用導(dǎo)線2Wb 與底座500進(jìn)行電的連接。
這樣底座500為藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3、紅色半導(dǎo)體激光元 件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2的共用的n電極，可以實(shí)現(xiàn)共用陰極 的連線。
安裝有半導(dǎo)體激光裝置100的底座500被設(shè)置在導(dǎo)電性的管座 501上。
在管座501上設(shè)置第一端子1P、第二端子2P、第三端子3P和 第四端子4P。此外第三端子3P的長度比第一端子1P和第二端子 2P的長度短。
第一端子1P用絕緣環(huán)II與管座501絕緣，第二端子2P用絕緣 環(huán)2I與管座501絕緣，第三端子3P用絕緣環(huán)31與管座501絕緣。 第四端子4P設(shè)在底座500內(nèi)，與底座500實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)通。
第一端子1P和第二端子2P沿Y方向配置，第三端子3P和第
20四端子4P沿與Y方向交叉的Z方向配置。此外第一端子1P、第二 端子2P和第三端子3P沿X方向從一方側(cè)延伸到另一方側(cè)。
紅色半導(dǎo)體激光元件1 、紅外半導(dǎo)休激光元件2和藍(lán)紫色卞^ 體激光元件3在Y方向上被配置在第一端子1P和第二端子2P之間。
第三端子3P的長度被設(shè)定成在X方向上與紅色半導(dǎo)體激光元 件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3射出主要 激光的端面的射出一側(cè)端面相反一側(cè)的端面不重合。
其中所謂射出主要激光的端面是指與相反一側(cè)的端面相比，射 出光光量多的 一 方的端面(下面稱為射出 一 側(cè)端面)。
對p型襯墊電極12a、 p型襯墊電極22a和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光兀 件3的p電極32、第一端子1P、第二端子2P和第三端子3P的位 置關(guān)系進(jìn)行說明。
p型襯墊電極12a比p型襯墊電極22a和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件 3的p電極32更靠近第一端子1P， p型襯墊電極22a比p型襯墊電 極12a和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32更靠近第二端子2P， 以藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32在Y方向上位于p型襯墊 電極12a和p型襯墊電極22a之間的方式，分別配置紅色半導(dǎo)體激 光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3。
如圖2 (b)所示，這樣可以簡單而且容易地用導(dǎo)線1Wa連接第 一端子1P和p型襯墊電極12a，可以簡單而且容易地用導(dǎo)線2Wa 連接第二端子2P和p型襯墊電極22a，可以簡單而且容易地用導(dǎo)線 3W連接第三端子3P和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32。
此外在Z方向上看紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元 件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的情況下，導(dǎo)線1Wa、 2Wa、 3W、 1Wb、 2Wb相互不交叉。
如上所述，在本實(shí)施方式中通過底座500和導(dǎo)線3W之間施加 電壓，可以驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3，通過在底座500和導(dǎo)線 1Wa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅色半導(dǎo)體激光元件1，通過在底座 500和導(dǎo)線2Wa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅外半導(dǎo)體激光元件2。
這樣藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3、紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外 半導(dǎo)體激光元件2可以分別單獨(dú)驅(qū)動。通過把射出波長比紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元 件2短的激光的藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的藍(lán)紫色發(fā)光點(diǎn)31在Y 方向上設(shè)置在紅色半導(dǎo)體激光元件1的發(fā)光點(diǎn)11和紅外半導(dǎo)體激光
元件2的發(fā)光點(diǎn)21之間，在用于光拾取器等的光學(xué)裝置丄:的情況下， 容易把藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3定位在透鏡中央。
其結(jié)果使在透鏡周邊部位的像差影響減小，而且可以提高藍(lán)紫 色半導(dǎo)體激光元件3的光的利用效率。
此外優(yōu)選導(dǎo)線1Wa和紅色半導(dǎo)體激光元件1的p型襯墊電極12a 的連接位置、導(dǎo)線3W和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32的連 接位置和導(dǎo)線2Wa和紅外半導(dǎo)體激光元件2的p型襯墊電極22a的 連接位置在Y方向上配置成從第一端子1P到第二端子2P順序排列。 這樣可以防止導(dǎo)線lWa、 2Wa、 3W交叉。
第三端子3P的長度比第一端子1P和第二端子2P的長度短，紅 色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光 元件3在Y方向上配置在第一端子1P和第二端子2P之間。第三端 子3p的長度被設(shè)置成在X方向與紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo) 體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的射出激光一側(cè)端面相反 -側(cè)的端面不重合，由此可以簡單而且容易地連接藍(lán)紫色半導(dǎo)體激 光元件3的p電極32和第三端子3P。
進(jìn)而，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和第三端子3P的 連接位置優(yōu)選被設(shè)定成比紅色半導(dǎo)體激光元件1的P電極12a和第 一端子1P的連接位置以及紅外半導(dǎo)體激光元件2的p電極22a和第 二端子2P的連接位置中的至少一個位置更靠向與紅色半導(dǎo)體激光 元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3射出激 光一側(cè)相反一側(cè)。這樣可以使導(dǎo)線3W變短，由于導(dǎo)線3W的電感 成分變小，所以可以高速驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3。
再有如圖2 (a)所示，第一端子1P、第二端子2P、第三端子 3P和第四端子4P優(yōu)選在管座501上設(shè)置成大體成同心園形狀。這 樣可以防止連接各半導(dǎo)體激光元件和各端子的各導(dǎo)線交叉。
此外紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2的設(shè)置位 置也可以相反。此外紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2也可以具 有集成(乇乂 9 U '7夕)結(jié)構(gòu)。
在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3和底座500之間也可以設(shè)置由碳化 硅或氮化鋁構(gòu)成的副底座。這種情況下，可以實(shí)現(xiàn)藍(lán)紫色半導(dǎo)體激
光元件3的散熱。
(第二實(shí)施方式)
圖3為示意表示第二實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個示例的截 面圖。圖4 (a)為示意表示把圖3的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上 時的截面圖，圖4 (b)為把圖3的半導(dǎo)體激光裝置組裝到底座上時 的俯視圖。
本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置200與第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體激 光裝置100的不同點(diǎn)如下。
如圖3所示，在本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置200中，藍(lán)紫色 半導(dǎo)體激光元件3的p電極32在Y方向上延伸到比第二端子2P — 側(cè)的紅外半導(dǎo)體激光元件2側(cè)面更靠近第二端子2P的位置。
在p電極32上通過絕緣膜4b形成p型襯墊電極22a，在此p 型襯墊電極22a通過焊錫膜H形成紅外半導(dǎo)體激光元件2。
此外如圖4 (a)、 (b)所示，紅外半導(dǎo)體激光元件2的p型襯 墊電極22a和第三端子3P用導(dǎo)線2Wa連接，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元 件3的p電極32和第二端子2P用導(dǎo)線3W連接。
如上所述，在本實(shí)施方式中，通過在底座500和導(dǎo)線3W之間 施加電壓，可以驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3，通過在底座500和 導(dǎo)線lWa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅色半導(dǎo)體激光元件1，通過在 底座500和導(dǎo)線2Wa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅外半導(dǎo)體激光元件 2。
這樣可以分別獨(dú)立驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3、紅色半導(dǎo)體 激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2。
此外把射出波長比紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元 件2短的激光的藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的藍(lán)紫色發(fā)光點(diǎn)31設(shè)置在 Y方向上紅色半導(dǎo)體激光元件1的發(fā)光點(diǎn)11和紅外半導(dǎo)體激光元件 2的發(fā)光點(diǎn)21之間，在用于光拾取器等的光學(xué)裝置上的情況下，容易把藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3確定在位于透鏡中央。
其結(jié)果使在透鏡周邊部位的像差影響減小，而且可以提高藍(lán)紫 色半導(dǎo)體激光元件3的光的利用效率。
通過藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32在Y方向上延伸到 比第二端子2P —側(cè)的紅外半導(dǎo)體激光元件2側(cè)面更靠近第二端子 2P的位置，可以縮短連接藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和 第二端子2P的導(dǎo)線3W的長度，該藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件射出波長 比紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2短的激光。這樣， 由于導(dǎo)線3W的電感成分變小，所以可以高速驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激 光元件3。
此外可以簡單而且容易地把紅色半導(dǎo)體激光元件1的p型襯墊 電極12a和第一端子1P用導(dǎo)線lWa連接，可以簡單而且容易地把 藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和第二端子2P用導(dǎo)線3W連 接，可以簡單而且容易地把紅外半導(dǎo)體激光元件2的p型襯墊電極 22a和第三端子3P用導(dǎo)線2Wa連接。
紅外半導(dǎo)體激光元件2的p襯墊電極22a和第三端子3P的連接 位置優(yōu)選設(shè)定成比紅色半導(dǎo)體激光元件1的p型電極12a和第一端 子1P的連接位置以及藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和第二 端子2P的連接位置中的至少一個連接位置更靠近與紅色半導(dǎo)體激 光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3射出 激光一側(cè)相反一側(cè)。這樣可以防止導(dǎo)線lWa、 2Wa、 3W交叉。
也可以把紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán) 紫色半導(dǎo)體激光元件3的設(shè)置位置設(shè)定成以第三端子3P的長度方向 為中心左右對稱。
此外紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2也可以具 有集成結(jié)構(gòu)。
在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3和底座500之間也可以設(shè)置由碳化 硅或氮化鋁構(gòu)成的副底座。這種情況下，可以實(shí)現(xiàn)藍(lán)紫色半導(dǎo)體激 光元件3的散熱。
在上述的第一和第二實(shí)施方式中，導(dǎo)線1Wa相當(dāng)于第一導(dǎo)線， 導(dǎo)線2Wa相當(dāng)于第二導(dǎo)線，導(dǎo)線3W相當(dāng)于第三導(dǎo)線，導(dǎo)線1Wb相當(dāng)于第四導(dǎo)線，導(dǎo)線2Wb相當(dāng)于第五導(dǎo)線。再加上在上述第一和 第二實(shí)施方式中，導(dǎo)線1Wb、 2Wb相當(dāng)于底座一側(cè)的導(dǎo)線。
此外在上述的第一和第二實(shí)施方式中，Y方向相當(dāng)于第-一方向，
Z方向相當(dāng)于第二方向，X方向相當(dāng)于第三方向，管座501相當(dāng)于
框體，紅色半導(dǎo)體激光元件1相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光元件，紅外半
導(dǎo)體激光元件2相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元 件3相當(dāng)于第三半導(dǎo)體激光元件。
此外在上述的第一和第二實(shí)施方式中，p型襯墊電極12a相當(dāng) 于第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極，p型襯墊電極22a相當(dāng)于第二 半導(dǎo)體激光元件的一個電極，p電極32相當(dāng)于第三半導(dǎo)體激光元件 的一個電極，n電極13相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光元件的另一電極，n 電極23相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件的另一電極，n電極35相當(dāng)于 第三半導(dǎo)體激光元件的另 一 電極。 (第三實(shí)施方式)
圖5為示意表示第三實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個示例的截 面圖。
如圖5所示，本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置300與第一實(shí)施方 式的半導(dǎo)體激光裝置100的不同點(diǎn)是不設(shè)置紅外半導(dǎo)體激光元件2、 焊錫膜H (但是除紅色半導(dǎo)體激光元件1的焊錫膜以外)和p型襯 墊電極22a。
圖6 (a)為示意表示把圖5的半導(dǎo)體激光裝置300組裝到底座 上時的截面圖，圖6 (b)為把圖5的半導(dǎo)體激光裝置300組裝到底 座上時的俯視圖。
圖6 (a)、 (b)所示，把本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置300組 裝到底座500上制作的光拾取器裝置與把第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體激 光裝置IOO組裝到底座500上制作的光拾取器裝置的不同點(diǎn)如下。
在管座501上與光電二極管50進(jìn)行電連接。此光電二極管50 和第三端子3P用導(dǎo)線4W連接。此外藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p 電極32和第二端子2P用導(dǎo)線3W連接。
在此對p型襯墊電極12a和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極 32、第一端子1P、第二端子2P和第三端子3P的位置關(guān)系進(jìn)行說明。以p型襯墊電極12a比藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32更 靠近第一端子1P、藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32比p型襯 墊電極12a更靠近第二端子2P的方式，分別配置紅色半導(dǎo)體激光元 件1和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3。
這樣，第一端子1P和p型襯墊電極12a用1Wa可以簡單而且 容易地進(jìn)行連接，第二端子2P和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極 32用3W可以簡單而且容易地進(jìn)行連接。
這樣在Z方向上看紅色半導(dǎo)體激光元件1和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光 元件3的情況下，導(dǎo)線1Wa、 3W、 1Wb、 4W各自相互不交叉。
如上所述，在本實(shí)施方式中通過在底座500和導(dǎo)線3W之間施 加電壓，可以驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3，通過在底座500和導(dǎo) 線lWa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅色半導(dǎo)體激光元件1。這樣可以 分別單獨(dú)驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3和紅色半導(dǎo)體激光元件1。
此外導(dǎo)線1Wa和紅色半導(dǎo)體激光元件1的p型襯墊電極12a的 連接位置以及導(dǎo)線3W和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32的連 接位置優(yōu)選配置成在Y方向上從第-一端子1P —側(cè)到第二端子2P — 側(cè)順序排列。這樣可以防止導(dǎo)線lWa、 3W交叉。
如圖6所示，第一端子1P、第二端子2P、第三端子3P和第四 端子4P優(yōu)選在管座501上被設(shè)置成大體成同心園形。這樣可以防止 連接各半導(dǎo)體激光元件和各端子的各導(dǎo)線交叉。
在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3和底座500之間也可以設(shè)置由碳化 硅或氮化鋁構(gòu)成的副底座。這種情況下，可以實(shí)現(xiàn)藍(lán)紫色半導(dǎo)休激 光元件3的散熱。
也可以設(shè)置紅外半導(dǎo)體激光元件來替代紅色半導(dǎo)體激光元件1。
在上述第三實(shí)施方式中，導(dǎo)線1Wa相當(dāng)于第一導(dǎo)線，導(dǎo)線3W 相當(dāng)于第二導(dǎo)線，導(dǎo)線1Wb相當(dāng)于底座一側(cè)的導(dǎo)線，Y方向相當(dāng) 于第一方向，Z方向相當(dāng)于第二方向，X方向相當(dāng)于第三方向，管 座501相當(dāng)于框體，紅色半導(dǎo)體激光元件1相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光 元件，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件。
此外在上述的第一和第三實(shí)施方式中，p型襯墊電極12a相當(dāng) 于第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極，p電極32相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極，n電極13相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光元件的另一
電極，n電極35相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件的另一電極。 (第四實(shí)施方式)
圖7為示意表示第四實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置.個示例的截 面圖。
如圖7所示，本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置400與第-實(shí)施方 式的半導(dǎo)體激光裝置100的不同點(diǎn)如下。
形成p電極32，覆蓋在隆起部分Ri上面和在隆起部分Ri的兩 側(cè)形成的各絕緣膜4。因此在本實(shí)施方式中不設(shè)置p型襯墊電極12a、 22a。
然后，在此p電極32上的兩側(cè)通過焊錫膜H分別形成紅色半 導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2。
這樣在本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置400中，紅色半導(dǎo)體激光 元件1的p電極12、紅外半導(dǎo)體激光元件2的p電極22和藍(lán)紫色 半導(dǎo)體激光元件3的p電極32進(jìn)行電連接。
此外，在上述藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3和底座500之間設(shè)置副 底座60。
其中，在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的背面電極上和絕緣性副底 座60上分別涂敷導(dǎo)電性粘接劑，利用使這些導(dǎo)電性粘接劑相互粘 接，把藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3和絕緣性副底座60粘接。在本實(shí)施 方式中，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的背面的電極和導(dǎo)電性粘接劑成 為n電極35。
如上所述，在絕緣性副底座60上粘接n電極35時，以向藍(lán)紫 色半導(dǎo)體激光元件3的外側(cè)突出的方式形成n電極35的端部。
圖8 (a)為示意表示把圖7的半導(dǎo)體激光裝置400組裝到底座 上時的截面圖，圖8(b)為把圖7的半導(dǎo)體激光裝置400組裝到底 座上時的俯視圖。
如圖8 (a)、 (b)所示，把本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置400 組裝到底座500上制作的光拾取器裝置與把第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體 激光裝置100組裝到底座500上制作的光拾取器裝置的不同點(diǎn)如下。
如上所述，通過在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的n電極35和底座
27500之間設(shè)置絕緣的副底座60， n電極35和底座500利用絕緣性副 底座60實(shí)現(xiàn)絕緣。
此外紅色半導(dǎo)體激光元件1的n電極13和第一端子1P用導(dǎo)線 1 Wa連接，紅外半導(dǎo)體激光元件2的n電極23和第二端子2P用導(dǎo) 線2Wa連接，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的n電極35和第三端子3P 用導(dǎo)線3W連接。
藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和底座500用導(dǎo)線1Wb 連接。其中導(dǎo)線1Wb相當(dāng)于底座一側(cè)的導(dǎo)線。
采用上述的結(jié)構(gòu)，在Z方向看紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半 導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的情況下，導(dǎo)線1Wa、 2Wa、 3W、 1Wb相互不交叉。
如上所述，在本實(shí)施方式中，通過在底座500和導(dǎo)線3W之間 施加電壓，可以驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3，通過在底座500和 導(dǎo)線lWa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅色半導(dǎo)體激光元件1，通過在 底座500和導(dǎo)線2Wa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅外半導(dǎo)體激光元件 2。
這樣藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3、紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外 半導(dǎo)體激光元件2可以分別單獨(dú)驅(qū)動。
此外通過把射出波長比紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激 光元件2短的激光的藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的藍(lán)紫色發(fā)光點(diǎn)31設(shè) 置在Y方向上紅色半導(dǎo)體激光元件1的發(fā)光點(diǎn)11和紅外半導(dǎo)體激 光元件2的發(fā)光點(diǎn)21之間，在用于光拾取器等的光學(xué)裝置上的情況 下，容易把藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3確定在位于透鏡中央。
其結(jié)果使在透鏡周邊部位的像差影響減小，而且可以提高藍(lán)紫 色半導(dǎo)體激光元件3的光的利用效率。
此外導(dǎo)線1Wa和紅色半導(dǎo)體激光元件1的n電極13的連接位 置、導(dǎo)線3W和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的n電極35的連接位置和 導(dǎo)線2Wa和紅外半導(dǎo)體激光元件2的n電極23的連接位置優(yōu)選在 Y方向上配置成從第一端子1P到第二端子2P順序排列。這樣可以 防止導(dǎo)線1Wa、 2Wa、 3W交叉。
第三端子3P的長度比第一端子1P和第二端子2P的長度短，紅
28色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光
元件3在Y方向上配置在第一端子1P和第二端子2P之間，第三端 子3P的長度被設(shè)置成在X方向與紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo) 體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的射出激光一側(cè)端面相反 一側(cè)的端面不重合，可以簡單而且容易地用導(dǎo)線3W連接藍(lán)紫色半 導(dǎo)體激光元件3的n電極35和第三端子3P。
再有如圖8 (a)所示，第-一端子1P、第二端子2P、第二端子 3P和第四端子4P優(yōu)選在管座501上設(shè)置成大體成同心園形狀。這 樣可以防止連接各半導(dǎo)體激光元件和各端子的各導(dǎo)線交叉。
此外紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2的設(shè)置位 置也可以相反。
此外紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2也可以具 有集成結(jié)構(gòu)。
在上述第四實(shí)施方式中，導(dǎo)線1Wa相當(dāng)于第一導(dǎo)線，導(dǎo)線2Wa 相當(dāng)于第二導(dǎo)線，導(dǎo)線3W相當(dāng)于第三導(dǎo)線，導(dǎo)線lWb相當(dāng)于第四 導(dǎo)線。
在上述第四實(shí)施方式中，Y方向相當(dāng)于第一方向，Z方向相當(dāng) 于第二方向，X方向相當(dāng)于第三方向，管座501相當(dāng)于框體，紅色 半導(dǎo)體激光元件1相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光元件，紅外半導(dǎo)體激光元 件2相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3相當(dāng)于 第三半導(dǎo)體激光元件。
此外在上述第四實(shí)施方式中，n電極13相當(dāng)于第 -半導(dǎo)體激光 元件的一個電極，n電極23相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件的一個電 極，n電極35相當(dāng)于第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極，p電極12 相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光元件的另一電極，P電極22相當(dāng)于第二半導(dǎo) 體激光元件的另一電極，p電極32相當(dāng)于第三半導(dǎo)體激光元件的另 一電極。
(第五實(shí)施方式)
圖9為示意表示第五實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置一個示例的截 面圖。
本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置550與第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置100的不同點(diǎn)如下。
如圖9所示，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3在下面一側(cè)具有帶條狀 的隆起部分Ri。該隆起部分Ri兩側(cè)形成絕緣膜4，形成p電極32， 覆蓋在此隆起部分Ri的下面，在上面形成n電極35。在藍(lán)紫色半 導(dǎo)體激光元件3上形成p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體接合面的pn接合面 30。
在紅色半導(dǎo)體激光元件1的下面形成n電極13，在上面形成p 電極12。在紅色半導(dǎo)體激光元件1上形成p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體 接合面的pn接合面10。
在紅外半導(dǎo)體激光元件2的下面形成n電極23，在上面形成p 電極22。在紅外半導(dǎo)體激光元件2上形成p型半導(dǎo)體和n型半導(dǎo)體 接合面的pn接合面20。
在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的n電極35上分別通過焊錫膜H 形成紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2。
這樣在本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置550中，紅色半導(dǎo)體激光 元件1的n電極13、紅外半導(dǎo)體激光元件2的n電極23和藍(lán)紫色 半導(dǎo)體激光元件3的n電極35實(shí)現(xiàn)電連接。
把本實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置550組裝到底座500上制作的 光拾取器裝置與把第一實(shí)施方式的半導(dǎo)體激光裝置100組裝到底座 5 00上制作的光拾取器裝置的不同點(diǎn)如下。
在藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和底座500之間設(shè)置絕 緣的副底座60。這樣p電極32和底座500利用絕緣性副底座60實(shí) 現(xiàn)絕緣。
此外紅色半導(dǎo)體激光元件1的p電極12和第一端子1P用導(dǎo)線 1Wa連接，紅外半導(dǎo)體激光元件2的p電極22和第二端子2P用導(dǎo) 線2Wa連接，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和第三端子3P 用導(dǎo)線3W連接。
藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的n電極35和底座500用導(dǎo)線1Wb 連接。其中導(dǎo)線1Wb相當(dāng)于底座一側(cè)的導(dǎo)線。
采用上述的結(jié)構(gòu)，在Z方向上看紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外 半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的情況下，導(dǎo)線1Wa、2Wa、 3W、 1Wb各自不交叉。
如上所述，在本實(shí)施方式中，通過在底座500和導(dǎo)線3W之間施加電壓，可以驅(qū)動藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3，通過在底座500和導(dǎo)線lWa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅色半導(dǎo)體激光元件1，通過在底座500和導(dǎo)線2Wa之間施加電壓，可以驅(qū)動紅外半導(dǎo)體激光元件2。
這樣藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3、紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2可以分別單獨(dú)驅(qū)動。
此外通過把射出波長比紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2短的激光的藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的藍(lán)紫色發(fā)光點(diǎn)31設(shè)置在Y方向上紅色半導(dǎo)體激光元件1的發(fā)光點(diǎn)11和紅外半導(dǎo)體激光元件2的發(fā)光點(diǎn)21之間，在用于光拾取器等的光學(xué)裝置上的情況下，容易把藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3確定在位于透鏡中央。
其結(jié)果使在透鏡周邊部位的像差影響減小，而且可以提高藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的光的利用效率。
此外導(dǎo)線1Wa和紅色半導(dǎo)體激光元件1的p電極12的連接位置、導(dǎo)線3W和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32的連接位置、以及導(dǎo)線2Wa和紅外半導(dǎo)體激光元件2的p電極22的連接位置優(yōu)選在Y方向上配置成從第一端子1P到第二端子2P順序排列。這樣可以防止導(dǎo)線lWa、 2Wa、 3W交叉。
第三端子3P的長度比第一端子1P和第二端子2P的長度短，紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3在Y方向上配置在第一端子1P和第二端子2P之間，第三端子3P的長度被設(shè)置成在X方向與紅色半導(dǎo)體激光元件1、紅外半導(dǎo)體激光元件2和藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的射出激光一側(cè)端面相反一側(cè)的端面不重合，可以簡單而且容易地用導(dǎo)線3W連接藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3的p電極32和第三端子3P。
如圖9所示，第一端子1P、第二端子2P、第三端子3P和第四端子4P優(yōu)選在管座501上被設(shè)置成大體成同心園形。這樣可以防止連接各半導(dǎo)體激光元件和各端子的各導(dǎo)線交叉。
此外紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2的設(shè)置位置也可以相反。
此外紅色半導(dǎo)體激光元件1和紅外半導(dǎo)體激光元件2也可以具有集成結(jié)構(gòu)。
在上述第五實(shí)施方式中，導(dǎo)線1Wa相當(dāng)于第一導(dǎo)線，導(dǎo)線2Wa相當(dāng)于第二導(dǎo)線，導(dǎo)線3W相當(dāng)于第三導(dǎo)線，導(dǎo)線lWb相當(dāng)于第四導(dǎo)線。
在上述第五實(shí)施方式中，Y方向相當(dāng)于第一方向，Z方向相當(dāng)于第二方向，X方向相當(dāng)于第三方向，管座501相當(dāng)于框體，紅色半導(dǎo)體激光元件1相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光元件，紅外半導(dǎo)體激光元件2相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件3相當(dāng)于第三半導(dǎo)體激光元件。
此外在上述的第五實(shí)施方式中，p電極12相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極，p電極22相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極，p電極32相當(dāng)于第三半導(dǎo)體激光元件的一個電極，n電極13相當(dāng)于第一半導(dǎo)體激光元件的另一電極，n電極23相當(dāng)于第二半導(dǎo)體激光元件的另一電極，n電極35相當(dāng)于第三半導(dǎo)體激光元件的另--電極。
權(quán)利要求
1. 一種半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于，具有導(dǎo)電性的框體、設(shè)在所述框體上的導(dǎo)電性的底座、設(shè)在所述框體上而且與所述框體絕緣的第一、第二和第三端子、設(shè)在所述框體上而且與所述底座進(jìn)行電連接的第四端子、設(shè)在所述底座上而且分別具有一個電極的第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件，所述第一端子和所述第二端子沿第一方向配置，所述第三端子和所述第四端子沿與所述第一方向交叉的第二方向配置，所述第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件中，所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極比所述第二和第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極更靠近所述第一端子，所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極比所述第一和第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極更靠近所述第二端子，所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極的至少一部分在所述第一方向上配置成位于所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極和所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極之間，所述第一端子和所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極用第一導(dǎo)線連接，所述第二端子和所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極用第二導(dǎo)線連接，所述第三端子和所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極用第三導(dǎo)線連接，所述第三半導(dǎo)體激光元件還具有與所述底座進(jìn)行電連接的另一電極，所述第一半導(dǎo)體激光元件和所述第二半導(dǎo)體激光元件設(shè)置在所述第三半導(dǎo)體激光元件上，所述第一半導(dǎo)體激光元件具有另一電極，所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述另一電極用第四導(dǎo)線與所述底座電連接。
2. —種半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 具有導(dǎo)電性的框體、設(shè)在所述框體上的導(dǎo)電性的底座、設(shè)在所述框體上而且與所述框體絕緣的第一、第二和第三端子、 設(shè)在所述框體上而且與所述底座進(jìn)行電連接的第四端子、 設(shè)在所述底座上而且分別具有一個電極和另一電極的第一、第 二和第三半導(dǎo)體激光元件，所述第一端子和所述第二端子沿第一方向配置，所述第三端子和所述第四端子沿與所述第一方向交叉的第二方 向配置，所述第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件中，所述第一半導(dǎo)體激 光元件的所述一個電極比所述第二和第三半導(dǎo)體激光元件的所述一 個電極更靠近所述第一端子，所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述個 電極比所述第一和第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極更靠近所述笛——結(jié)q^ 弟一順亇，在所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極和所述底座之間還 設(shè)有副底座，在所述副底座上以從所述第三半導(dǎo)體激光元件突出的方式形成 所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極，所述第一端子和所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極用第 一導(dǎo)線連接，所述第二端子和所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述一個 電極用第二導(dǎo)線連接，所述第三端子和所述第三半導(dǎo)體激光元件的 所述一個電極在所述副底座上用第三導(dǎo)線連接，所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述另一電極與所述底座進(jìn)行電連接。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第三半導(dǎo)體激光元件具有第一面，具有形成在除所述第一面的發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域以外的所述第一面上的絕緣膜，所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述第二電極至少形成在所述發(fā)光 點(diǎn)的上部區(qū)域上，所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述第二電極形成在位于所述第三 半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域的一側(cè)的所述絕緣膜上，所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述第二電極形成在位于所述第二 半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域的另一側(cè)的所述絕緣膜 上，所述第一半導(dǎo)體激光元件和所述第二半導(dǎo)體激光元件，隔開間 隔而配置在所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域上 方。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第三端子和所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極的所述突出的部分，在所述副底座上用所述第三導(dǎo)線連接。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述第1電極，形成在所述第三半導(dǎo)體激光元件和所述副底座之間，并且，在所述副底座上，以從所 述第三半導(dǎo)體激光元件突出的方式形成。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極的至少一部分比所述第一和第二半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極更靠近所述第三端子。
7. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第一半導(dǎo)體激光元件和所述第二半導(dǎo)體激光元件設(shè)置在所述第三半導(dǎo)體激光元件上。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第一導(dǎo)線和所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極的第一連接位置、所述第三導(dǎo)線和所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極的第三連接位置、和所述第二導(dǎo)線和所述第二半導(dǎo)體激光元件 的所述一個電極的第二連接位置，在所述第一方向上，從所述第一 端子一側(cè)向所述第二端子一側(cè)順序配置。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第三連接位置被設(shè)定在比所述第一和第二連接位置屮的至少一個連接位置更靠向與所述第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件的 射出激光一側(cè)相反的一側(cè)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第一、第二和第三端子沿與所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向，從一側(cè)延伸到另一側(cè)，所述第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件配置成沿所述第三方向 向所述另一側(cè)射出主要激光，所述第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件的所述另一電極相互進(jìn) 行電連接，在比所述第一連接位置更靠向所述第一半導(dǎo)體激光元件的射出 激光一側(cè)的位置上，所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述另一電極用第 四導(dǎo)線與所述底座進(jìn)行電連接。
11. 一種半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 具有導(dǎo)電性的框體、設(shè)在所述框體上的導(dǎo)電性的底座、設(shè)在所述框體上而且與所述框體絕緣的第一、第二和第三端子、 設(shè)在所述框體上而且與所述底座進(jìn)行電連接的第四端子、 設(shè)在所述底座上而且分別具有第一電極的第一、第二和第三半導(dǎo)體激光元件，所述第一端子和所述第二端子沿第一方向配置， 所述第三端子和所述第四端子沿與所述第一方向交叉的第二方向配置，所述第一半導(dǎo)體激光元件的發(fā)光部、所述第三半導(dǎo)體激光元件 的發(fā)光部以及所述第二半導(dǎo)體激光元件的發(fā)光部，在所述第一方向 上，從所述第一端子一側(cè)向所述第二端子一側(cè)依次配置，所述第一端子和所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極用第 一導(dǎo)線連接，所述第二端子和所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述第一 電極用第三導(dǎo)線連接，所述第三端子和所述第二半導(dǎo)體激光元件的 所述第一電極用第二導(dǎo)線連接，所述第三半導(dǎo)體激光元件射出波長比所述第一和第二半導(dǎo)體激 光元件短的激光，同時還具有與所述底座進(jìn)行電連接的第二電極，所述第三半導(dǎo)體激光元件具有第一面，具有形成在除所述第--面的發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域以外的所述第一面上的絕緣膜，所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極，在所述第一方向上， 從所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域延伸到比所述第二端子一側(cè)的所述第二半 導(dǎo)體激光元件的側(cè)面更靠近所述第二端子的位置，所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極，形成在位于所述第 三半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域的一側(cè)的所述絕緣膜所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極，形成在位于所述第 三半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域的另一側(cè)的所述絕緣膜所述第一半導(dǎo)體激光元件和所述第二半導(dǎo)體激光元件，隔開間 隔而配置在所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域上 方。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極的一部分，在所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述側(cè)面和所述第二端子之間露出，所述第二端子和所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極的所 述露出的部分用第三導(dǎo)線連接。
13. —種半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于，具有導(dǎo)電性的框體、設(shè)在所述框體上的導(dǎo)電性的底座、設(shè)在所述框體上而且與所述框體絕緣的第一、第二和第三端子、 設(shè)在所述框體上而且與所述底座進(jìn)行電連接的第四端子、 設(shè)在所述底座上而且分別具有一個電極的第一、第二和第三的 半導(dǎo)體激光元件，所述第-端子和所述第二端子沿第一方向配置，所述第三端子和所述第四端子沿與所述第一方向交義的第二方 向配置，所述第一半導(dǎo)體激光元件的發(fā)光部分、所述第三半導(dǎo)體激光元 件的發(fā)光部分和所述第二半導(dǎo)體激光元件的發(fā)光部分，在所述第一 方向上，從所述第一端子一側(cè)向所述第二端子一側(cè)順序配置，所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極，在所述第一方向上， 延伸到比所述第二端子一側(cè)的所述第二半導(dǎo)體激光元件的側(cè)面更靠 近所述第二端子的位置，所述第一端子和所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極用第 一導(dǎo)線連接，所述第二端子和所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述一個 電極用第三導(dǎo)線連接，所述第三端子和所述第二半導(dǎo)體激光元件的 所述一個電極用第二導(dǎo)線連接，所述第三半導(dǎo)體激光元件射出波長比所述第一和第二半導(dǎo)體激 光元件短的激光，同時還具有與所述底座進(jìn)行電連接的另一電極，所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述另一電極用第四導(dǎo)線與所述底 座進(jìn)行電連接。
14. 一種半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 具有導(dǎo)電性的框體、設(shè)在所述框體上的導(dǎo)電性的底座、設(shè)在所述框體上而且與所述框體絕緣的第一、第二端子、 設(shè)在所述底座上而且分別具有一個電極和另一電極的第一和第二半導(dǎo)體激光元件，所述第一半導(dǎo)體激光元件被設(shè)置在所述第二半導(dǎo)體激光元件上，所述第 一 端子和所述第二端子沿第 一 方向配置，所述第一端子和所述第一半導(dǎo)體激光元件的一個電極用第-導(dǎo) 線連接，所述第二端子和所述第二半導(dǎo)體激光元件的一個電極用第 二導(dǎo)線連接，所述第一和第二半導(dǎo)體激光元件中的至少一方的另-一電極用底 座一側(cè)的導(dǎo)線與所述底座進(jìn)行電連接。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第二半導(dǎo)體激光元件具有第一面，具有形成在除所述第一面的發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域以外的所述第一面上的絕緣膜，所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極至少形成在所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域上，所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述第一電極，形成在位于所述第三半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域一側(cè)的所述絕緣膜上， 所述第一半導(dǎo)體激光元件配置在除所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部區(qū)域以外的區(qū)域。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第一半導(dǎo)體激光元件配置在位于所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述發(fā)光點(diǎn)的上部的所述一側(cè)的區(qū)域上，所述第二端子和所述第二半導(dǎo)體激光元件的第一電極通過所述 第二半導(dǎo)體激光元件的發(fā)光點(diǎn)的上部的空間，用第二導(dǎo)線連接。
17. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于， 所述第一半導(dǎo)體激光元件被設(shè)置在所述第二半導(dǎo)體激光元件上的比所述第二端子更靠近所述第一端子的位置。
18. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于，所述第二半導(dǎo)體激光元件含有由氮化物系半導(dǎo)體構(gòu)成的活性層。
19.根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體激光裝置，其特征在于，在比所述第一導(dǎo)線和所述第一半導(dǎo)體激光元件的所述-一個電極的第一連接位置、或者所述第二導(dǎo)線和所述第二半導(dǎo)體激光元件的所述一個電極的第二連接位置更靠向所述第一半導(dǎo)體激光元件的射出激光一側(cè)的位置上，所述第一和第二半導(dǎo)體激光元件中的至少一方的所述另一電極用所述底座一側(cè)的導(dǎo)線與所述底座進(jìn)行電連接。
全文摘要
紅色半導(dǎo)體激光元件的p型襯墊電極和第一端子用導(dǎo)線連接，紅外半導(dǎo)體激光元件的p型襯墊電極和第二端子用導(dǎo)線連接，藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件的p電極和第三端子用導(dǎo)線連接。此外藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光元件的n電極與底座實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)通。紅色半導(dǎo)體激光元件的n電極與底座用導(dǎo)線連接，紅外半導(dǎo)體激光元件的n電極與底座用導(dǎo)線連接。在底座內(nèi)設(shè)置第四端子。
文檔編號H01S5/40GK101478116SQ20091000532
公開日2009年7月8日 申請日期2005年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月30日
發(fā)明者井上大二朗, 別所靖之, 畑雅幸 申請人:三洋電機(jī)株式會社