專利名稱：可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改良的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種可變陶瓷真空電容器，特別涉及一種可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改
良O
背景技術(shù)：
目前，根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 3788-1995的要求，可變陶瓷真空電容器的機(jī)械壽命為 五千至兩萬(wàn)次，此標(biāo)準(zhǔn)適用于廣播發(fā)射與高頻加熱設(shè)備中可變陶瓷真空電容器的壽命要 求。隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，目前可變陶瓷真空電容器已經(jīng)大量應(yīng)用于半導(dǎo)體加工設(shè)備，對(duì)可 變陶瓷真空電容器的機(jī)械壽命提出了更高的要求，此要求是現(xiàn)有的通用結(jié)構(gòu)無(wú)法滿足的。

發(fā)明內(nèi)容
為了彌補(bǔ)以上不足，本發(fā)明提供了一種可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改良，使可變陶 瓷真空電容器的機(jī)械壽命大大提高，從而降低了半導(dǎo)體加工設(shè)備的使用成本。本發(fā)明為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種可變陶瓷真空電容器結(jié) 構(gòu)改良，可變陶瓷真空電容器包括套筒、調(diào)節(jié)螺桿、調(diào)節(jié)螺母、拉桿、定位導(dǎo)套、波紋管、電極 和外殼，調(diào)節(jié)螺桿一端與傳動(dòng)件固連，另一端與調(diào)節(jié)螺母自由嚙合，調(diào)節(jié)螺母與拉桿一端固 連，拉桿另一端與電極一端固連，拉桿外側(cè)套設(shè)有定位導(dǎo)套，定位導(dǎo)套一端與外殼內(nèi)壁固 連，定位導(dǎo)套外側(cè)套設(shè)有波紋管，套筒套設(shè)于調(diào)節(jié)螺桿和調(diào)節(jié)螺母外側(cè)并與外殼固連，調(diào)節(jié) 螺桿在傳動(dòng)件帶動(dòng)下正反交替旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)螺桿的旋轉(zhuǎn)則帶動(dòng)調(diào)節(jié)螺母上下做直線運(yùn)動(dòng)，調(diào) 節(jié)螺母則通過(guò)帶動(dòng)拉桿上下運(yùn)動(dòng)而帶動(dòng)電極上下作直線運(yùn)動(dòng)，從而調(diào)節(jié)可變陶瓷真空電容 器的電容，定位導(dǎo)套、套筒和拉桿上分別設(shè)有至少一個(gè)氣孔，當(dāng)拉桿帶動(dòng)電極上下直線運(yùn)動(dòng) 時(shí)，由于摩擦?xí)a(chǎn)生熱量，氣孔可將熱量排出，防止拉桿與定位導(dǎo)套因摩擦產(chǎn)生的熱量影響 材料表面從而導(dǎo)致滑動(dòng)不順暢。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，定位導(dǎo)套與拉桿之間及調(diào)節(jié)螺桿與調(diào)節(jié)螺母之間設(shè)有 耐高溫耐磨損的潤(rùn)滑油脂，可有效防止零件在反復(fù)的機(jī)械運(yùn)動(dòng)中卡死，使運(yùn)動(dòng)更加順暢。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，調(diào)節(jié)螺母采用耐磨材料，調(diào)節(jié)螺桿和拉桿表面進(jìn)行耐 磨處理，耐磨處理方法有很多，都是此領(lǐng)域普通工程技術(shù)人員所熟知的，比如采用氣相沉積 方法在零件表面涂覆一層耐磨物質(zhì)，使表面堅(jiān)硬且光滑平整。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，波紋管單波位移量提高到1. 8mm，有效提高了波紋管的 密封性。本發(fā)明的有益技術(shù)效果是本發(fā)明在不改變產(chǎn)品安裝尺寸的情況下，使可變陶瓷 真空電容器的機(jī)械壽命提高到兩百萬(wàn)次以上，從而提高了可變陶瓷真空電容器的使用周 期，降低半導(dǎo)體加工設(shè)備的使用成本。


圖1為本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

實(shí)施例一種可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改良，可變陶瓷真空電容器包括套筒1、調(diào) 節(jié)螺桿2、調(diào)節(jié)螺母3、拉桿4、定位導(dǎo)套5、波紋管6、電極7和外殼8，調(diào)節(jié)螺桿2 —端與傳 動(dòng)件固連，另一端與調(diào)節(jié)螺母3自由嚙合，調(diào)節(jié)螺母3與拉桿4 一端固連，拉桿4另一端與 電極7 —端固連，拉桿4外側(cè)套設(shè)有定位導(dǎo)套5，定位導(dǎo)套5 —端與外殼8內(nèi)壁固連，定位導(dǎo) 套5外側(cè)套設(shè)有波紋管6，套筒1套設(shè)于調(diào)節(jié)螺桿2和調(diào)節(jié)螺母3外側(cè)并與外殼8固連，調(diào) 節(jié)螺桿2在傳動(dòng)件帶動(dòng)下正反交替旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)螺桿2的旋轉(zhuǎn)則帶動(dòng)調(diào)節(jié)螺母3上下做直線 運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)螺母3則通過(guò)帶動(dòng)拉桿4上下運(yùn)動(dòng)而帶動(dòng)電極7上下作直線運(yùn)動(dòng)，從而調(diào)節(jié)可變 陶瓷真空電容器的電容，定位導(dǎo)套5、套筒1和拉桿4上分別設(shè)有至少一個(gè)氣孔9，當(dāng)拉桿4 帶動(dòng)電極7上下直線運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于摩擦?xí)a(chǎn)生熱量，氣孔9可將熱量排出，防止拉桿4與定 位導(dǎo)套5因摩擦產(chǎn)生的熱量影響材料表面從而導(dǎo)致滑動(dòng)不順暢。所述定位導(dǎo)套5與拉桿4之間及調(diào)節(jié)螺桿2與調(diào)節(jié)螺母3之間設(shè)有耐高溫耐磨損 的潤(rùn)滑油脂，可有效防止零件在反復(fù)的機(jī)械運(yùn)動(dòng)中卡死，使運(yùn)動(dòng)更加順暢。所述調(diào)節(jié)螺母3采用耐磨材料，調(diào)節(jié)螺桿2和拉桿4表面進(jìn)行耐磨處理，耐磨處理 方法有很多，都是此領(lǐng)域普通工程技術(shù)人員所熟知的，比如采用氣相沉積方法在零件表面 涂覆一層耐磨物質(zhì)，使表面堅(jiān)硬且光滑平整。所述波紋管6單波位移量提高到1. 8mm，有效提高了波紋管的密封性。
權(quán)利要求
一種可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改良，可變陶瓷真空電容器包括套筒(1)、調(diào)節(jié)螺桿(2)、調(diào)節(jié)螺母(3)、拉桿(4)、定位導(dǎo)套(5)、波紋管(6)、電極(7)和外殼(8)，調(diào)節(jié)螺桿(2)一端與傳動(dòng)件固連，另一端與調(diào)節(jié)螺母(3)自由嚙合，調(diào)節(jié)螺母(3)與拉桿(4)一端固連，拉桿(4)另一端與電極(7)一端固連，拉桿(4)外側(cè)套設(shè)有定位導(dǎo)套(5)，定位導(dǎo)套(5)一端與外殼(8)內(nèi)壁固連，定位導(dǎo)套(5)外側(cè)套設(shè)有波紋管(6)，套筒(1)套設(shè)于調(diào)節(jié)螺桿(2)和調(diào)節(jié)螺母(3)外側(cè)并與外殼(8)固連，其特征為定位導(dǎo)套(5)、套筒(1)和拉桿(4)上分別設(shè)有至少一個(gè)氣孔(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改良，其特征為定位導(dǎo)套與 拉桿之間及調(diào)節(jié)螺桿與調(diào)節(jié)螺母之間設(shè)有耐高溫耐磨損的潤(rùn)滑油脂。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改良，其特征為調(diào)節(jié)螺母采 用耐磨材料，調(diào)節(jié)螺桿和拉桿表面進(jìn)行耐磨處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改良，其特征為波紋管單波 位移量提高到1. 8mm。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種可變陶瓷真空電容器結(jié)構(gòu)改良，可變陶瓷真空電容器包括套筒、調(diào)節(jié)螺桿、調(diào)節(jié)螺母、拉桿、定位導(dǎo)套、波紋管、電極和外殼，調(diào)節(jié)螺桿一端與傳動(dòng)件固連，另一端與調(diào)節(jié)螺母自由嚙合，調(diào)節(jié)螺母與拉桿一端固連，拉桿另一端與電極一端固連，拉桿外側(cè)套設(shè)有定位導(dǎo)套，定位導(dǎo)套一端與外殼內(nèi)壁固連，定位導(dǎo)套外側(cè)套設(shè)有波紋管，套筒套設(shè)于調(diào)節(jié)螺桿和調(diào)節(jié)螺母外側(cè)并與外殼固連，定位導(dǎo)套、套筒和拉桿上分別設(shè)有至少一個(gè)氣孔，可快速釋放因摩擦產(chǎn)生的熱量，使滑動(dòng)更順暢，使可變陶瓷真空電容器的機(jī)械壽命提高到兩百萬(wàn)次以上，從而提高了可變陶瓷真空電容器的使用周期，降低半導(dǎo)體加工設(shè)備的使用成本。
文檔編號(hào)H01G5/16GK101840782SQ200910026000
公開(kāi)日2010年9月22日 申請(qǐng)日期2009年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月16日
發(fā)明者尹劍平, 張立云, 方濤, 王淮飛, 賴萍南, 黃浩, 黃清河 申請(qǐng)人:昆山國(guó)力真空電器有限公司