專利名稱：一體化連續(xù)生產(chǎn)氧化鋅絨面透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
Zn0絨面導(dǎo)電玻璃是實(shí)現(xiàn)光伏建筑一體化的關(guān)鍵材料，是提高硅薄膜太陽(yáng)能光伏電池轉(zhuǎn)換 率的重要前提。ZnO絨面透明導(dǎo)電玻璃及其制備生產(chǎn)線屬于薄膜太陽(yáng)能光伏電池領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
濺射工藝制備絨面ZnO透明導(dǎo)電膜的方法有二: 一是先用濺射工藝在玻璃上鍍光滑面的ZnO 薄膜，然后離線用酸腐蝕的方法形成絨面；二是在高的基片溫度和高的濺射氣壓環(huán)境下沉積ZnO 薄膜，缺點(diǎn)是產(chǎn)生的絨面形貌不穩(wěn)定、且沉積時(shí)間太長(zhǎng)。到目前為止，還沒(méi)有一種一體化連續(xù) 生產(chǎn)絨面ZnO透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線，并且是在鍍膜生產(chǎn)線上用等離子體轟擊方法制備絨面 透明導(dǎo)電鍍膜玻璃。現(xiàn)在的濺射鍍膜生產(chǎn)線各濺射室之間由于沒(méi)有真空鎖，當(dāng)僅需要小部分濺 射室工作時(shí)，就需要開(kāi)動(dòng)整個(gè)生產(chǎn)線的真空系統(tǒng)，浪費(fèi)電力，使生產(chǎn)成本提高。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問(wèn)題本發(fā)明的目的在于提出了一種一體化連續(xù)生產(chǎn)氧化鋅絨面透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生 產(chǎn)線，
技術(shù)方案本發(fā)明的一體化連續(xù)生產(chǎn)氧化鋅絨面透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線采用臥式基片移 動(dòng)方式，該生產(chǎn)線按以下順序連接玻璃上片、前進(jìn)片室、第一加熱器、第二加熱器、第一等 離子源、前鎖定室、前緩沖室、第一真空鎖、第一中頻電源濺射耙、第二中頻電源濺射靶、第 三中頻電源濺射靶、第四中頻電源濺射靶、第二真空鎖、第一隔離室、第三真空鎖、第五中頻 電源濺射靶、第六中頻電源濺射靶、第七中頻電源濺射靶、第八中頻電源濺射耙、第四真空鎖、 第二隔離室、第五真空鎖、第一直流電源、第二直流電源、第三直流電源、第六真空鎖、第三 隔離室、第七真空鎖、第九中頻電源濺射靶、第十中頻電源濺射靶、第十一中頻電源濺射靶、
第十二中頻電源濺射靶、第八真空鎖、第二等離子源、后鎖定室、后出片室，在每相鄰 兩中頻電源濺射靶之間設(shè)有屏蔽隔板。
第一直流電源、第二直流電源、第三直流電源之間可以互換；在前進(jìn)片室和前鎖定室設(shè) 加熱裝置，溫度《20(TC。
有益效果本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于在進(jìn)片和前鎖定室增加加熱裝置，清除水汽，保證沉積的膜 層牢固；采用等離子體源轟擊制備絨面Zn0透明導(dǎo)電鍍膜玻璃裝置，用等離子體轟擊Zn0膜形 成絨面ZnO透明導(dǎo)電鍍膜玻璃，不采用酸腐蝕ZnO膜面來(lái)形成絨面結(jié)構(gòu)，可以在線一體化連續(xù) 生產(chǎn)ZnO絨面透明導(dǎo)電鍍膜玻璃，避免了廢酸對(duì)水源的污染。在生產(chǎn)線的各濺射室之間加真空 鎖，避免不同濺射室之間串氣、以及根據(jù)需要開(kāi)啟真空系統(tǒng)，保證產(chǎn)品質(zhì)量、降低電耗。
3該絨面ZnO透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線，在該生產(chǎn)線上，為了使濺射室的溫度能夠達(dá)到200 °C,在進(jìn)片室和前鎖定室加加熱器件、在傳動(dòng)玻璃的傳輸輥上通水冷卻、為防止玻璃在金屬輥 上滑動(dòng)，在傳輸輥上套裝無(wú)水冷卻就可耐熱20(TC的含氟橡膠輪。生產(chǎn)線主要利用四個(gè)濺射室， 從圖1的右到左依次包括玻璃上片、前進(jìn)片室、前鎖定室、前緩沖室、濺射室l一4，其中各 濺射室之間有隔離室，后緩沖室、后鎖定室、后出片室、卸絨面ZnO透明導(dǎo)電鍍膜玻璃產(chǎn)品。 在各濺射室之間加真空鎖，避免串氣、以及根據(jù)需要開(kāi)啟真空系統(tǒng)，降低電耗。


圖1為絨面ZnO透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線裝備圖。
以上的圖中有玻璃上片l、前進(jìn)片室2、第一加熱器31、第二加熱器32、前鎖定室4、 第一等離子源51、第二等離子源52、前緩沖室6、真空鎖7、第一中頻電源濺射靶801、第二 中頻電源濺射靶802、第三中頻電源濺射耙803、第四中頻電源濺射靶804、第五中頻電源濺射 靶805、第六中頻電源濺射靶806、第七中頻電源濺射耙807、第八中頻電源濺射耙808、第九 中頻電源濺射靶809、第十中頻電源濺射靶810.、第十一中頻電源濺射靶811、第十二中頻電源 濺射靶812、屏蔽隔板9、第一隔離室101、第二隔離室102、第三隔離室103、屏蔽隔板ll、 第一直流電源121、第二直流電源122、第三直流電源123、后鎖定室13、后出片室14。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明是通過(guò)在濺射鍍ZnO薄膜前、后的鎖定室和緩沖室安裝等離子體源(安裝在前期處 理、后期處理處，利用等離子體對(duì)玻璃基片和鍍制的膜層進(jìn)行轟擊處理，得到性能良好的ZnO 絨面透明導(dǎo)電玻璃。
在進(jìn)片和前鎖定室增加加熱裝置，清除玻璃表面的水汽；等離子體源安裝在生產(chǎn)線的前后 鎖定室和緩沖室，在濺射鍍膜前用等離子體首先對(duì)玻璃基片進(jìn)行前處理轟擊，在玻璃表面形成 絨面；然后再濺射鍍過(guò)渡層和ZnO薄膜；最后再用等離子體轟擊ZnO膜面，形成ZnO絨面透明 導(dǎo)電玻璃。
本發(fā)明具體涉及一種絨面ZnO透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線，在磁控濺射鍍膜室的前、后鎖 定室和緩沖室增加等離子體源產(chǎn)生裝置；用等離子體源產(chǎn)生的等離子體首先對(duì)玻璃基片進(jìn)行 前轟擊處理，在玻璃表面形成絨面；在玻璃上濺射沉積過(guò)渡層；在過(guò)渡層上沉積ZnO膜；用等
離子體轟擊ZnO膜面，形成絨面ZnO透明導(dǎo)電鍍膜玻璃。此發(fā)明屬于玻璃加工、薄膜太陽(yáng)能光 伏電池和光伏建筑一體化組件生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域。
本發(fā)明的目的在于提出了一種絨面ZnO透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線，在濺射鍍ZnO薄膜前、 后的鎖定室和緩沖室安裝等離子體源(安裝在前期處理、后期處理處，利用等離子體對(duì)玻璃基 片和鍍制的膜層迸行轟擊處理。
在進(jìn)片和前鎖定室增加加熱裝置，清除水汽；在前、后鎖定室和緩沖室安裝等離子體源， 用等離子體對(duì)玻璃基片進(jìn)行前處理轟擊，在玻璃表面形成絨面；然后濺射鍍過(guò)渡層和ZnO薄膜;
4最后再用等離子體轟擊ZnO膜面，形成ZnO絨面透明導(dǎo)電玻璃。在各濺射室之間加真空鎖，避 免串氣、以及根據(jù)需要開(kāi)啟真空系統(tǒng)，降低電耗。
該生產(chǎn)線按以下順序連接玻璃上片l、前進(jìn)片室2、第一加熱器31、第二加熱器32、第 一等離子源51、前鎖定室4、前緩沖室6、第一真空鎖71、第一中頻電源濺射靶801、第二中 頻電源濺射靶802、第三中頻電源濺射靶803、第四中頻電源濺射靶804、第二真空鎖72、第一 隔離室101、第三真空鎖73、第五中頻電源濺射靶805、第六中頻電源濺射靶806、第七中頻電 源濺射靶807、第八中頻電源濺射靶808、第四真空鎖74、第二隔離室102、第五真空鎖75、 第一直流電源121、第二直流電源122、第三直流電源123、第六真空鎖76、第三隔離室103、 第七真空鎖77、第九中頻電源濺射靶809、第十中頻電源濺射靶810、第十一中頻電源濺射靶
811、第十二中頻電源濺射靶812、第八真空鎖78、第二等離子源52、后鎖定室13、后出 片室14，在每相鄰兩中頻電源濺射靶之間設(shè)有屏蔽隔板9。在前進(jìn)片室2和前鎖定室4設(shè)加熱 裝置，溫度《200。C。
在線一體化連續(xù)生產(chǎn)ZnO絨面透明導(dǎo)電玻璃。生產(chǎn)線采用臥式基片移動(dòng)方式，由十個(gè)獨(dú)立 模塊串聯(lián)組合而成，裝有三個(gè)直流濺射電源和十二個(gè)中頻濺射電源，電源之間可以 互換；在濺射鍍膜室的前、后鎖定室和緩沖室增加等離子體源產(chǎn)生裝置，該等離子體 源產(chǎn)生的等離子體能夠?qū)ΣＡЩM(jìn)行轟擊處理，在玻璃表面形成絨面；也能對(duì)濺射鍍制的ZnO 膜面進(jìn)行轟擊處理，形成ZnO絨面透明導(dǎo)電玻璃；
在傳動(dòng)玻璃的傳輸輥上通水冷卻、為防止玻璃在金屬輥上滑動(dòng)，在傳輸輥上套裝無(wú)水冷卻 可耐熱20(TC的含氟橡膠輪。
該生產(chǎn)線控制系統(tǒng)采用PC+PLC自動(dòng)控制和監(jiān)控，內(nèi)部存儲(chǔ)多種工藝運(yùn)行程序；
傳動(dòng)系統(tǒng)采用先進(jìn)的變頻調(diào)速技術(shù)，通過(guò)PLC可以連續(xù)、平穩(wěn)的調(diào)速。
權(quán)利要求
1、一種一體化連續(xù)生產(chǎn)氧化鋅絨面透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線，其特征在于生產(chǎn)線采用臥式基片移動(dòng)方式，該生產(chǎn)線按以下順序連接玻璃上片(1)、前進(jìn)片室(2)、第一加熱器(31)、第二加熱器(32)、第一等離子源(51)、前鎖定室(4)、前緩沖室(6)、第一真空鎖(71)、第一中頻電源濺射靶(801)、第二中頻電源濺射靶(802)、第三中頻電源濺射靶(803)、第四中頻電源濺射靶(804)、第二真空鎖(72)、第一隔離室(101)、第三真空鎖(73)、第五中頻電源濺射靶(805)、第六中頻電源濺射靶(806)、第七中頻電源濺射靶(807)、第八中頻電源濺射靶(808)、第四真空鎖(74)、第二隔離室(102)、第五真空鎖(75)、第一直流電源(121)、第二直流電源(122)、第三直流電源(123)、第六真空鎖(76)、第三隔離室(103)、第七真空鎖(77)、第九中頻電源濺射靶(809)、第十中頻電源濺射靶(810)、第十一中頻電源濺射靶(811)、第十二中頻電源濺射靶(812)、第八真空鎖(78)、第二等離子源(52)、后鎖定室(13)、后出片室(14)，在每相鄰兩中頻電源濺射靶之間設(shè)有屏蔽隔板(9)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體化連續(xù)生產(chǎn)氧化鋅絨面透明導(dǎo)電鍍膜玻璃 生產(chǎn)線，其特征在于第一直流電源(121 )、第二直流電源(122)、第三直流電源(123) 之間可以互換。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體化連續(xù)生產(chǎn)氧化鋅絨面透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生 產(chǎn)線，其特征在于在前進(jìn)片室(2)和前鎖定室(4)設(shè)加熱裝置，溫度《20(TC。
全文摘要
一體化連續(xù)生產(chǎn)氧化鋅絨面透明導(dǎo)電鍍膜玻璃生產(chǎn)線采用臥式基片移動(dòng)方式，由十個(gè)獨(dú)立模塊串聯(lián)組合而成。它裝有三個(gè)直流濺射電源和十二個(gè)中頻濺射電源，電源之間可以互換；在濺射鍍膜室的前、后鎖定室和緩沖室增加等離子體源產(chǎn)生裝置，該等離子體源產(chǎn)生的等離子體能夠?qū)ΣＡЩM(jìn)行轟擊處理，在玻璃表面形成絨面；也能對(duì)濺射鍍制的ZnO膜面進(jìn)行轟擊處理，形成ZnO絨面透明導(dǎo)電玻璃；各濺射室之間裝真空鎖，避免串氣、以及根據(jù)需要開(kāi)啟各室的真空系統(tǒng)，降低電耗；在進(jìn)片和前鎖定室有加熱裝置、在傳輸輥上套裝無(wú)水冷卻就可耐熱200℃的含氟橡膠輪。
文檔編號(hào)H01L31/18GK101549961SQ200910026059
公開(kāi)日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2009年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月18日
發(fā)明者盧秀強(qiáng), 董玉紅, 趙青南 申請(qǐng)人:江蘇秀強(qiáng)玻璃工藝有限公司