專利名稱：晶圓在線檢測方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及晶圓在線檢測方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造過程中，晶圓由一系列處理站點順次處理，并最終形成半導(dǎo)體產(chǎn)品，所 述處理站點包含一個或多個處理機臺，由機臺對晶圓進行工藝處理。在處理站點間包含有 檢測站點，以對檢測站點前處理過的部分晶圓進行檢測，由于該檢測是在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中 進行，因此稱為在線檢測，其中進入檢測站點檢測的晶圓數(shù)目可以預(yù)先設(shè)定，該數(shù)目需小于 或等于檢測站點的吞吐量，即檢測站點在單位時間內(nèi)能夠檢測的最大晶圓數(shù)目。業(yè)界通常用取樣率(sampling rate)來衡量一批產(chǎn)品中進入檢測站點的產(chǎn)品的數(shù) 目，其中進入檢測站點的產(chǎn)品數(shù)目等于該批產(chǎn)品總數(shù)與取樣率的乘積。于是通過調(diào)整取樣 率可以調(diào)整該批產(chǎn)品進入檢測站點的數(shù)目。目前生產(chǎn)線通常是同時生產(chǎn)幾種不同的產(chǎn)品，則一定時間段內(nèi)需要進入檢測站點 進行檢測的產(chǎn)品可能就有多種。不同產(chǎn)品到達檢測站點的時間若不一致，則需合理設(shè)置各 種產(chǎn)品的取樣率，然后由檢測站點根據(jù)設(shè)置的取樣率檢測相應(yīng)產(chǎn)品，否則將可能導(dǎo)致一種 產(chǎn)品檢測過多耽誤該產(chǎn)品的生產(chǎn)時間，或其它產(chǎn)品檢測過少使得檢測站點的檢測能力得不 到充分利用或檢測結(jié)果可信度差等問題?，F(xiàn)有檢測方案一般是生產(chǎn)人員根據(jù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組合，人為設(shè)定各個產(chǎn)品的取樣率 來確定各種產(chǎn)品在該檢測站點檢測的數(shù)目，然后由檢測站點檢測相應(yīng)數(shù)目的產(chǎn)品。但該檢測方案中，由于該取樣率由生產(chǎn)人員根據(jù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組合設(shè)置，因此其設(shè) 置的取樣率通常不夠合理，一方面可能設(shè)置過大而耽誤產(chǎn)品生產(chǎn)時間，另一方面可能設(shè)置 過小而降低檢測效果及無法充分利用檢測站點的檢測能力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是提供晶圓在線檢測方法及系統(tǒng)，以避免現(xiàn)有檢測方案可能存 在的耽誤產(chǎn)品時間、降低檢測效果及無法充分利用檢測站點檢測能力的問題。本發(fā)明提供了晶圓在線檢測方法，該方法包括步驟獲得單位時間內(nèi)到達檢測站 點的晶圓產(chǎn)品類型及各自的數(shù)量；根據(jù)獲得的所述類型及數(shù)量，確定單位時間內(nèi)進入檢測 站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目；以及檢測站點檢測進入自身的各類晶圓產(chǎn)品。本發(fā)明提供了晶圓在線檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括晶圓類型數(shù)量獲得單元，用于獲得 單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各自的數(shù)量；檢測數(shù)目確定單元，用于根據(jù)獲 得的所述類型及數(shù)量，確定單位時間內(nèi)進入檢測站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目。由于采用了上述技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點本發(fā)明的一種技術(shù)方案通過獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各 自的數(shù)量，再確定各類晶圓產(chǎn)品進入檢測站點的數(shù)目，因此能夠提高各類晶圓產(chǎn)品進入檢 測站點檢測數(shù)目的合理性，有利于防止檢測產(chǎn)品數(shù)目過多導(dǎo)致耽誤產(chǎn)品生產(chǎn)時間，以及檢
4測產(chǎn)品數(shù)目不足降低檢測效果和無法充分利用檢測站點檢測能力的問題。


圖1為本發(fā)明實施例提供的晶圓在線檢測方法流程圖；圖2為本發(fā)明實施例提出的晶圓在線檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式針對背景技術(shù)提及的問題，本發(fā)明實施例提出如果能夠預(yù)先獲得獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各自的數(shù)量，則可以根據(jù)所述類型和數(shù)量來靈活確定出各 類產(chǎn)品在單位時間內(nèi)進入檢測站點檢測的合理數(shù)目，避免部分產(chǎn)品檢測過多而導(dǎo)致該產(chǎn)品 生產(chǎn)時間延長，或者部分產(chǎn)品檢測過少而降低檢測效果或無法充分利用檢測站點檢測能力 的問題。圖1為本發(fā)明實施例提供的晶圓在線檢測方法流程圖，結(jié)合該圖，該方法包括步 驟步驟1，獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各自的數(shù)量；其中步驟1的實施方式有多種，下面給出本實施例的一種實施方式首先從派工單獲得到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型，所述派工單為本領(lǐng)域公知術(shù) 語，包含生產(chǎn)的產(chǎn)品類型，各類產(chǎn)品需經(jīng)由哪些站點處理等信息；然后對于各類晶圓產(chǎn)品， 分別執(zhí)行下述al a3操作，直至計算出全部種類晶圓產(chǎn)品到達檢測站點的數(shù)目al，確定出該類晶圓產(chǎn)品在檢測站點前需經(jīng)過的處理站點；a2，加總各處理站點處理在制該類晶圓產(chǎn)品需耗費的時間及在制該類晶圓產(chǎn)品在 處理站點前等待處理的時間；在步驟a2中獲得晶圓產(chǎn)品在處理站點前等待處理的時間也可以由多種方式實 現(xiàn)，本實施例中較佳的還包括確定所述在制該類晶圓產(chǎn)品在處理站點前等待處理時間的步 驟。所述確定在制該類晶圓產(chǎn)品在處理站點前等待處理時間的步驟可以具體包括首先確 定該處理站點處理晶圓產(chǎn)品的排序方式；然后根據(jù)確定的排序方式，確定到達該處理站點 的在制該類晶圓產(chǎn)品需等待處理的時間。其中所述排序方式可以但不限于為按照晶圓產(chǎn) 品優(yōu)先級高低排序，優(yōu)先處理優(yōu)先級高的晶圓產(chǎn)品，或者是按照等待時間長短排序，優(yōu)先處 理等待處理時間較長的晶圓產(chǎn)品等。本實施例由于通過確定處理站點處理晶圓的排序方式，來更為有效的獲得單位時 間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各自數(shù)量，因此提高了確定出的類型及數(shù)量的合理性 和準(zhǔn)確性，進而進一步提高了確定出的各類晶圓產(chǎn)品進入檢測站點數(shù)目的合理性和準(zhǔn)確 性。a3，用在制晶圓產(chǎn)品總數(shù)除以所述加總得到的時間，得到單位時間內(nèi)到達檢測站 點的該類晶圓產(chǎn)品數(shù)目。步驟2，根據(jù)獲得的所述類型及數(shù)量，確定單位時間內(nèi)進入檢測站點檢測的各類晶 圓產(chǎn)品數(shù)目；本步驟確定進入檢測站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目可以有多種方式，例如單位時 間內(nèi)到達檢測站點的一種晶圓數(shù)目較多時，減少檢測的該類晶圓數(shù)目，單位時間內(nèi)到達檢測站點的另一種晶圓數(shù)目較少時，增加檢測的該類晶圓數(shù)目。在確定進入檢測站點檢測的 各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目時，可以直接確定數(shù)目，也可以通過確定取樣率來間接確定數(shù)目。步驟3，檢測站點檢測進入自身的各類晶圓產(chǎn)品。通過上述實施過程，本實施例能夠提高各類晶圓產(chǎn)品進入檢測站點檢測數(shù)目的合 理性，有利于防止檢測產(chǎn)品數(shù)目過多導(dǎo)致耽誤產(chǎn)品生產(chǎn)時間，以及檢測產(chǎn)品數(shù)目不足降低 檢測效果和無法充分利用檢測站點檢測能力的問題。此外為進一步提高檢測效率，防止檢測站點檢測能力變動導(dǎo)致檢測效率降低，本 實施例中，在檢測站點檢測進入自身的晶圓前，還可以檢測檢測站點的檢測能力，所述檢測 能力可以為檢測站點單位時間內(nèi)能夠檢測的晶圓數(shù)量。另外如果在檢測出檢測站點的檢測 能力過小或過大，則還可以對檢測站點的檢測能力進行調(diào)整，以得到合理的檢測能力，使得 檢測站點的檢測能力進一步充分利用。本發(fā)明實施例還提出晶圓在線檢測系統(tǒng)，以解決背景技術(shù)提及的問題。圖2為本發(fā)明實施例提出的晶圓在線檢測系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，結(jié)合該圖，該系統(tǒng) 包括晶圓類型數(shù)量獲得單元21，用于獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及 各自的數(shù)量；檢測數(shù)目確定單元22，用于根據(jù)晶圓類型數(shù)量獲得單元21獲得的所述類型及數(shù) 量，確定單位時間內(nèi)進入檢測站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目。其中晶圓類型數(shù)量獲得單元21可以但不限于具體包括下述子單元用于從派工單獲得到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型的子單元；用于確定出該類晶圓產(chǎn)品在檢測站點前需經(jīng)過的處理站點的子單元；用于加總各處理站點處理在制該類晶圓產(chǎn)品需耗費的時間及在制該類晶圓產(chǎn)品 在處理站點前等待處理的時間的子單元；以及用于用在制晶圓產(chǎn)品總數(shù)除以所述加總得到的時間，得到單位時間內(nèi)到達檢測站 點的該類晶圓產(chǎn)品數(shù)目的子單元。其中為確定處理站點前等待處理的晶圓產(chǎn)品等待的時間，還可以包括用于確定所 述在制該類晶圓產(chǎn)品在處理站點前等待處理時間的子單元。所述用于確定在制該類晶圓產(chǎn) 品在處理站點前等待處理時間的子單元可以但不限于具體包括用于確定該處理站點處理 晶圓產(chǎn)品的排序方式的子單元；用于根據(jù)確定的排序方式，確定到達該處理站點的在制該 類晶圓產(chǎn)品需等待處理的時間的子單元。參照方法實施例，所述排序方式可以有多種，例如按照晶圓產(chǎn)品優(yōu)先級高低排序， 優(yōu)先處理優(yōu)先級高的晶圓產(chǎn)品；或按照等待時間長短排序，優(yōu)先處理等待處理時間較長的
晶圓廣品。此外所述檢測數(shù)目確定單元根據(jù)所述類型及數(shù)量，通過確定出各類晶圓產(chǎn)品的取 樣率來間接確定所述進入檢測站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目。通過上述晶圓在線檢測系統(tǒng)，本實施例能夠提高各類晶圓產(chǎn)品進入檢測站點檢測 數(shù)目的合理性，有利于防止檢測產(chǎn)品數(shù)目過多導(dǎo)致耽誤產(chǎn)品生產(chǎn)時間，以及檢測產(chǎn)品數(shù)目 不足降低檢測效果和無法充分利用檢測站點檢測能力的問題。另外本實施例的晶圓在線檢測系統(tǒng)可以包含確定排序方式的子單元，因此能夠更為有效的獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各自數(shù)量，因此提高了確定出的 類型及數(shù)量的合理性和準(zhǔn)確性，進而進一步提高了確定出的各類晶圓產(chǎn)品進入檢測站點數(shù) 目的合理性和準(zhǔn)確性。上述實施例的晶圓在線檢測系統(tǒng)中還可以包括用于在檢測站點檢測晶圓產(chǎn)品前， 檢測檢測站點檢測能力的單元，以防止檢測站點檢測能力變動導(dǎo)致檢測效率降低，此外還 可以包括用于在檢測站點檢測晶圓產(chǎn)品前，調(diào)整檢測站點檢測能力的單元，以充分利用檢 測站點的檢測能力。雖然本發(fā)明己以較佳實施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù) 人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護范圍應(yīng) 當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種晶圓在線檢測方法，包括獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各自的數(shù)量；根據(jù)獲得的所述類型及數(shù)量，確定單位時間內(nèi)進入檢測站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目；檢測站點檢測進入自身的各類晶圓產(chǎn)品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶 圓產(chǎn)品類型及各自的數(shù)量，具體包括從派工單獲得到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型；對于各類晶圓產(chǎn)品，分別執(zhí)行下述操作，直至計算出全部種類晶圓產(chǎn)品到達檢測站點 的數(shù)目確定出該類晶圓產(chǎn)品在檢測站點前需經(jīng)過的處理站點；加總各處理站點處理的在制該類晶圓產(chǎn)品需耗費的時間及在制該類晶圓產(chǎn)品在處理 站點前等待處理的時間；用在制晶圓產(chǎn)品總數(shù)除以所述加總得到的時間，得到單位時間內(nèi)到達檢測站點的該類 晶圓產(chǎn)品數(shù)目。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，還包括確定在制該類晶圓產(chǎn)品在處理站 點前等待處理時間的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述確定在制該類晶圓產(chǎn)品在處理站點 前等待處理時間的步驟具體包括確定該處理站點處理晶圓產(chǎn)品的排序方式；根據(jù)確定的排序方式，確定到達該處理站點的在制該類晶圓產(chǎn)品需等待處理的時間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述排序方式為按照晶圓產(chǎn)品優(yōu)先級高 低排序，優(yōu)先處理優(yōu)先級高的晶圓產(chǎn)品。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述排序方式為按照等待時間長短排 序，優(yōu)先處理等待處理時間較長的晶圓產(chǎn)品。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，根據(jù)所述類型及數(shù)量，通過確定出各類晶 圓產(chǎn)品的取樣率來間接確定所述進入檢測站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括在檢測站點檢測晶圓產(chǎn)品前，檢測 檢測站點檢測能力的步驟。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的方法，其特征在于，還包括在檢測站點檢測晶圓產(chǎn)品前， 調(diào)整檢測站點檢測能力的步驟。
10.一種晶圓在線檢測系統(tǒng)，包括晶圓類型數(shù)量獲得單元，用于獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各自的數(shù)量；檢測數(shù)目確定單元，用于根據(jù)晶圓類型數(shù)量獲得單元獲得的所述類型及數(shù)量，確定單 位時間內(nèi)進入檢測站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓類型數(shù)量獲得單元具體包括 用于從派工單獲得到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型的子單元；用于確定出該類晶圓產(chǎn)品在檢測站點前需經(jīng)過的處理站點的子單元；用于加總各處理站點處理在制該類晶圓產(chǎn)品需耗費的時間及在制該類晶圓產(chǎn)品在處 理站點前等待處理的時間的子單元；用于用在制晶圓產(chǎn)品總數(shù)除以所述加總得到的時間，得到單位時間內(nèi)到達檢測站點的 該類晶圓產(chǎn)品數(shù)目的子單元。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括用于確定所述該類在制晶圓產(chǎn) 品在處理站點前等待處理時間的子單元。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述用于確定在制該類晶圓產(chǎn)品在處 理站點前等待處理時間的子單元具體包括用于確定該處理站點處理晶圓產(chǎn)品的排序方式的子單元；用于根據(jù)確定的排序方式，確定到達該處理站點的在制該類晶圓產(chǎn)品需等待處理的時 間的子單元。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述排序方式為按照晶圓產(chǎn)品優(yōu)先級 高低排序，優(yōu)先處理優(yōu)先級高的晶圓產(chǎn)品。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述排序方式為按照等待時間長短排 序，優(yōu)先處理等待處理時間較長的晶圓產(chǎn)品。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測數(shù)目確定單元根據(jù)所述類型 及數(shù)量，通過確定出各類晶圓產(chǎn)品的取樣率來間接確定所述進入檢測站點檢測的各類晶圓 產(chǎn)品數(shù)目。
17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括用于在檢測站點檢測晶圓產(chǎn)品 前，檢測檢測站點檢測能力的單元。
18.根據(jù)權(quán)利要求10或17所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括用于在檢測站點檢測晶圓 產(chǎn)品前，調(diào)整檢測站點檢測能力的單元。
全文摘要
本發(fā)明提供了晶圓在線檢測方法及系統(tǒng)，以避免現(xiàn)有檢測方案可能存在的耽誤產(chǎn)品時間、降低檢測效果及無法充分利用檢測站點檢測能力的問題。該方法包括步驟獲得單位時間內(nèi)到達檢測站點的晶圓產(chǎn)品類型及各自的數(shù)量；根據(jù)獲得的所述類型及數(shù)量，確定單位時間內(nèi)進入檢測站點檢測的各類晶圓產(chǎn)品數(shù)目；以及檢測站點檢測進入自身的各類晶圓產(chǎn)品。
文檔編號H01L21/00GK101872714SQ20091004999
公開日2010年10月27日 申請日期2009年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月24日
發(fā)明者呂秋玲, 孫強, 楊健, 陳思安 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司