專利名稱：一種等離子體處理設(shè)備及其頂針升降裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶體加工領(lǐng)域，特別涉及一種頂針升降裝置。本發(fā)明還涉及一種包括 上述頂針升降裝置的等離子體處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著我國經(jīng)濟(jì)建設(shè)的快速發(fā)展，市場對于晶體元件的需求量日益增大，由此便帶 動了晶體加工行業(yè)的迅猛發(fā)展。目前，用于加工晶體的工藝腔的內(nèi)部一般具有靜電卡盤，該靜電卡盤用于支撐被 加工的晶體，且其下部設(shè)有升降裝置，該升降裝置上插有用于支撐晶圓的頂針。加工晶體 時，機(jī)械手將晶圓送入工藝腔內(nèi)，并使晶圓高于靜電卡盤的上表面一定距離；此時，位于上 位的升降裝置通過頂針把機(jī)械手上的晶圓托起，機(jī)械手隨后退出工藝腔；升降裝置向下移 動，把晶圓平穩(wěn)地放到靜電卡盤上表面后開始加工；加工完成后，升降裝置向上移動，將晶 圓托起到一定高度，機(jī)械手重新伸入工藝腔內(nèi)把晶圓取走。請參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種典型的頂針升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在該現(xiàn)有技術(shù)中，頂針升降裝置包括用以支撐頂針的中心導(dǎo)桿11，該中心導(dǎo)桿11 的外圈通過直線軸承套裝有波紋管14，且其下端與支撐臂15的外端通過對頂裝配的調(diào)整 螺母16和鎖緊螺母17固定連接，支撐臂15的內(nèi)端與驅(qū)動部件(此處為氣缸)12的輸出軸 連接，氣缸12通過支架13與工藝腔內(nèi)的靜電卡盤連接。氣缸12的輸出軸理論上垂直于支 撐臂15和靜電卡盤，并通過帶動支撐臂15豎直運(yùn)動，進(jìn)而帶動中心導(dǎo)桿11在波紋管14中 做豎直方向的運(yùn)動；波紋管14與中心導(dǎo)桿11之間安裝的直線軸承，用以保證中心導(dǎo)桿11 相對于波紋管14的運(yùn)動為精確的直線運(yùn)動。在機(jī)構(gòu)調(diào)平時，旋緊或旋松調(diào)整螺母16，以實(shí) 現(xiàn)對支撐臂15水平度的微調(diào)，調(diào)平后，通過鎖緊螺釘17鎖緊。上述現(xiàn)有技術(shù)雖然結(jié)構(gòu)較為簡單，但在日常維護(hù)與機(jī)構(gòu)運(yùn)動過程中存在明顯的缺 陷。請參考圖2和圖3，圖2為圖1所示現(xiàn)有技術(shù)中汽缸發(fā)生偏移時的結(jié)構(gòu)示意圖；圖 3為現(xiàn)有技術(shù)中系統(tǒng)調(diào)平的結(jié)構(gòu)示意圖。在機(jī)械加工過程中，氣缸支架13不可能加工出完全理想化的結(jié)構(gòu)，同時氣缸12在 裝配過程中也可能存在誤差，從而導(dǎo)致氣缸12的輸出軸不完全與支撐臂15垂直。氣缸12 在豎直方向發(fā)生逆時針偏移時，氣缸12的輸出軸在上升過程中帶動支撐臂15向左側(cè)發(fā)生 微量移動，則位于右側(cè)的波紋管14承受向內(nèi)的側(cè)向摩擦力F。設(shè)置于波紋管14內(nèi)部的直線 軸承不能承受過大的側(cè)向力；并且，當(dāng)側(cè)向力較大時，中心導(dǎo)桿11表面也會嚴(yán)重磨損，而側(cè) 向力過大時，中心導(dǎo)桿11就可能由于承受過大的側(cè)向摩擦力而被鎖死，導(dǎo)致裝置無法正常 工作。另外，該現(xiàn)有技術(shù)中，調(diào)整螺母16包括第一調(diào)整螺母161和第二調(diào)整螺母162，鎖 緊螺母17包括第一鎖緊螺母171和第二鎖緊螺母172，并采用雙螺母對頂裝配的方式。調(diào) 平時，需要通過數(shù)次旋緊或旋松調(diào)節(jié)螺母16，并且鎖緊螺母17在鎖緊的過程中會使調(diào)節(jié)螺母16發(fā)生微量的旋轉(zhuǎn)，使已調(diào)平的系統(tǒng)產(chǎn)生誤差。因此，裝置在調(diào)平過程中操作復(fù)雜且調(diào) 平效果較差。如何避免支撐臂的水平移動對中心導(dǎo)桿豎直運(yùn)動的影響，使頂針升降裝置在升降 過程中避免發(fā)生橫向偏移，從而具有較高的可靠性，就成為本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決 的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種用于等離子體處理設(shè)備的頂針升降裝置，能夠避免中心 導(dǎo)桿在升降過程中發(fā)生橫向偏移，從而具有較高的可靠性。本發(fā)明的另一目的是提供一種 包括上述頂針升降裝置的等離子體處理設(shè)備。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種頂針升降裝置，用于等離子體處理設(shè)備，包 括連接頂針的中心導(dǎo)桿、至少兩個支撐所述中心導(dǎo)桿的支撐臂，和帶動所述支撐臂豎直運(yùn) 動的驅(qū)動部件；所述中心導(dǎo)桿與所述支撐臂可活動地連接，以便兩者在所述支撐臂的延伸 方向上的相對位置能夠改變。優(yōu)選地，所述中心導(dǎo)桿搭接于所述支撐臂的外端；所述中心導(dǎo)桿的第一支撐面為 向下的平面，所述支撐臂通過向上凸出并呈弧形的第二支撐面支撐所述第一支撐面。優(yōu)選地，所述中心導(dǎo)桿搭接于所述支撐臂的外端；所述中心導(dǎo)桿的第一支撐面為 向下凸出弧形面，所述支撐臂通過第二支撐面支撐所述第一支撐面，所述第二支撐面為平優(yōu)選地，所述支撐臂的外端部設(shè)有兩個具有適當(dāng)水平間距的連接塊，所述第二支 撐面形成于所述連接塊的頂部；所述中心導(dǎo)桿的下端部的側(cè)壁具有兩個開口方向相反的凹 槽，所述第一支撐面具體為所述凹槽的頂面。優(yōu)選地，所述中心導(dǎo)桿能夠繞其軸向自轉(zhuǎn)，且其底部設(shè)有大體呈長方體的定位塊， 所述定位塊的頂面形成所述凹槽的底面；所述定位塊的寬度小于兩所述連接塊的水平間 距，其長度大于兩所述連接塊的水平間距。優(yōu)選地，所述連接塊的形狀為圓柱體，且其軸線大體水平設(shè)置并大體與所述支撐 臂的延伸方向相垂直。優(yōu)選地，所述支撐臂進(jìn)一步包括與所述驅(qū)動部件固定連接的主體部，和以其內(nèi)端 固定連接于所述主體部上方或者下方的彈性懸臂，所述第二支撐面形成于所述彈性懸臂的 外端；所述頂針升降裝置進(jìn)一步包括調(diào)整部件，以便調(diào)整所述彈性懸臂的外端相對于所述 主體部的豎直位置。優(yōu)選地，所述調(diào)整部件為沿豎直方向穿過所述主體部的外端和所述彈性懸臂的調(diào) 節(jié)螺栓。優(yōu)選地，所述彈性懸臂與所述主體部具有一體結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述彈性懸臂與所述主體部通過緊固螺釘可拆卸地連接。本發(fā)明還提供一種等離子體處理設(shè)備，包括上述任一項(xiàng)所述的頂針升降裝置。本發(fā)明所提供的頂針升降裝置其中心導(dǎo)桿與支撐臂可活動地連接，二者之間能夠 產(chǎn)生大致沿水平方向的位移，以便兩者在支撐臂的延伸方向上的相對位置能夠改變。由于 制造或者裝配等原因，支撐臂未完全與氣缸的輸出軸垂直，則在升降過程中，支撐臂會受到
4某一方向的側(cè)向力，從而發(fā)生橫向偏移。由于支撐臂與中心導(dǎo)桿之間為活動連接，支撐臂并 未限制中心導(dǎo)桿水平方向的自由度，則中心導(dǎo)桿在水平方向上不受力或者只受很小的摩擦 力。從而，中心導(dǎo)桿的豎直運(yùn)動不受支撐臂水平偏移的影響，保證了中心導(dǎo)桿豎直運(yùn)動的精 確性，避免了中心導(dǎo)桿在升降的過程中由于過定位而造成的鎖死，提高了裝置的可靠性。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，中心導(dǎo)桿通過第一支撐面和第二支撐面搭接于支撐臂 的外端，第一支撐面為中心導(dǎo)桿的下平面，第二支撐面位于支撐臂的外端且為向上凸出的 弧形面。這樣，只需將第二支撐面加工為弧面，不僅能夠避免支撐臂的水平移動對中心導(dǎo)桿 豎直運(yùn)動的影響，提高了裝置的可靠性，而且結(jié)構(gòu)簡單，加工方便；并且，在升降過程中，能 夠始終保持中心導(dǎo)桿與支撐臂之間為線接觸或者點(diǎn)接觸，支撐臂對中心導(dǎo)桿的作用力的方 向始終豎直向上，從而進(jìn)一步避免中心導(dǎo)桿受到側(cè)向力的影響，保證了中心導(dǎo)桿的豎直運(yùn) 動的精確性。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，支撐臂的外端部設(shè)有兩個具有適當(dāng)水平間距的連接 塊，該兩個連接塊的頂面即為上述第二支撐面；中心導(dǎo)桿的下端部的側(cè)壁具有兩個開口方 向相反的凹槽，兩凹槽的頂面即為上述第一支撐面。采用連接塊與凹槽相連接的方式，增加 了中心導(dǎo)桿的軸向約束，進(jìn)一步提高了裝置的可靠性，并且制造簡單、安裝方便、易于實(shí)現(xiàn)。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，支撐臂包括彈性懸臂和主體部，還包括調(diào)整部件，該 調(diào)整部件可以為沿豎直方向穿過主體部的外端和彈性懸臂的調(diào)節(jié)螺栓。通過旋緊或者旋松 調(diào)節(jié)螺栓改變主體部與彈性懸臂之間的豎直距離，從而實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)調(diào)平的目的，這種調(diào)平方 式簡單方便，且效果較好。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，彈性懸臂和主體部可拆分地連接，在使用過程中，當(dāng) 彈性懸臂和主體部的其中一部分損壞時，可以分別更換，便于設(shè)備的維修和維護(hù)。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種典型的頂針升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示現(xiàn)有技術(shù)中汽缸發(fā)生偏移時的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中系統(tǒng)調(diào)平的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明所提供頂針升降裝置第一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明所提供頂針升降裝置第二種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明所提供頂針升降裝置第三種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的核心是提供一種頂針升降裝置，能夠避免中心導(dǎo)桿在升降過程中發(fā)生橫 向偏移，從而具有較高的可靠性。本發(fā)明的另一核心是提供一種包括上述頂針升降裝置的 等離子體處理設(shè)備。請參考圖4，圖4為本發(fā)明所提供頂針升降裝置第一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意 圖。在第一種具體實(shí)施方式
中，本發(fā)明所提供的頂針升降裝置包括用于連接頂針(圖 中未示出)的中心導(dǎo)桿21，且其下端可活動地連接于支撐臂22的外端，該支撐臂22的內(nèi)端 與驅(qū)動部件(圖中未示出)的輸出軸固定連接，且其延伸方向與上述輸出軸的方向垂直，驅(qū)
5動裝置帶動支撐臂22上下運(yùn)動，從而帶動中心導(dǎo)桿21做豎直方向的運(yùn)動。上述驅(qū)動部件可以為固定在氣缸支架上的氣缸，且其輸出軸大體垂直于支撐臂 22，氣缸的輸出軸與支撐臂22固定連接并帶動支撐臂22上下運(yùn)動，從而帶動中心導(dǎo)桿21 在豎直方向運(yùn)動。在中心導(dǎo)桿21的外部可以套裝有波紋管，用以實(shí)現(xiàn)安裝盤上下的真空密封，該波 紋管的材料可以為具有足夠韌性和強(qiáng)度的金屬材料，例如黃銅等。上述波紋管的內(nèi)圈與中心導(dǎo)桿21的外圈之間可以裝有直線軸承，通過直線軸承 的精確配合以保證中心導(dǎo)桿21相對于波紋管的運(yùn)動的直線性。該直線軸承可以為符合要 求的標(biāo)準(zhǔn)軸承，也可以為特制的直線軸承，其材料可以為常規(guī)使用的具有足夠強(qiáng)度和耐磨 性的金屬材料，例如軸承鋼等。上述支撐臂22的數(shù)量至少為兩個，但是不局限為兩個，可以是三個或者更多，各 個支撐臂22的內(nèi)端均與驅(qū)動裝置的輸出軸連接，其外端均與中心導(dǎo)桿21的下端可活動地 連接。與支撐臂22的數(shù)量相對應(yīng)，中心導(dǎo)桿21的數(shù)量也不局限于兩個，其數(shù)目應(yīng)與支撐臂 22的數(shù)目相應(yīng)。設(shè)置三個甚至更多支撐臂22以及與之相應(yīng)的中心導(dǎo)桿21能夠?qū)o電卡盤 起到更好的支撐作用。一般三點(diǎn)支撐具有較好的穩(wěn)定性和可行性，因此，通?？梢赃x擇三個 支撐臂22以及三個中心導(dǎo)桿21的形式。上述中心導(dǎo)桿21與支撐臂22之間可活動地連接可以具體為中心導(dǎo)桿21的下端 搭接于支撐臂22的外端，中心導(dǎo)桿21的下表面為第一支撐面231，支撐臂22的外端具有向 上凸出并呈弧形的第二支撐面232，上述第一支撐面231位于第二支撐面232之上，并由第 二支撐面232支撐。中心導(dǎo)桿21搭接于連接臂22的外端，支撐臂22對中心導(dǎo)桿21的作 用力的方向始終保持豎直向上，不僅能夠避免中心導(dǎo)桿21的豎直運(yùn)動受到連接臂22水平 方向偏移的影響，提高中心導(dǎo)21桿豎直運(yùn)動的精度，而且，結(jié)構(gòu)簡單、加工方便，能夠節(jié)省 生產(chǎn)成本和勞動時間。上述第一支撐面231可以為向下凸出的弧形面，在其下方的第二支撐面232可以 為平面，兩個支撐面相配合也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的發(fā)明目的。在上述具體實(shí)施方式
中，由于支撐臂22的外端與中心導(dǎo)桿21的下端為可活動地 連接，則二者之間能夠產(chǎn)生大體沿水平方向的位移。在升降的過程中，支撐臂22受到某一 方向的側(cè)向力時能夠相對于中心導(dǎo)桿21沿該側(cè)向力的方向運(yùn)動，由于支撐臂22與中心導(dǎo) 桿21之間為活動連接，二者不存在水平方向的相互約束，則支撐臂22的橫向偏移不會影響 中心導(dǎo)桿21的豎直運(yùn)動，中心導(dǎo)桿21在升降過程中不會發(fā)生橫向偏移，這樣就保證了中心 導(dǎo)桿21豎直運(yùn)動的精確性，避免了其在升降的過程中由于過定位而造成的鎖死，提高了裝 置的可靠性。在上述第一種具體實(shí)施方式
的基礎(chǔ)上，還可以對升降裝置做進(jìn)一步的改進(jìn)。請參考圖5，圖5為本發(fā)明所提供頂針升降裝置第二種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意 圖。在第二種具體實(shí)施方式
中，支撐臂22的外端還可以設(shè)置連接塊24。該連接塊24 可以為兩個，即位于支撐臂22外端部且具有適當(dāng)水平距離的第一連接塊241和第二連接塊 242，上述第二支撐面232 (示于圖4中)形成于第一連接塊241和第二連接塊242的頂部。 中心導(dǎo)桿21的下端部的側(cè)壁上具有兩個開口方向相反的凹槽(圖中未示出)，且第一支撐
6面231 (示于圖4中)具體為兩個槽的頂面。第一連接塊241和第二連接塊242分別位于 兩個凹槽中，以實(shí)現(xiàn)中心導(dǎo)桿21與支撐臂22的連接。上述連接塊24的形狀可以為圓柱體，兩個圓柱體的軸線均大體水平設(shè)置并均大 體與支撐臂22的延伸方向相垂直。支撐臂22的高度可以略小于兩圓柱體的直徑，以避免 在使用過程中支撐臂22和中心導(dǎo)桿21之間產(chǎn)生干涉。連接塊24與中心導(dǎo)桿21相接觸的 部分為圓弧，在機(jī)構(gòu)的升降過程中，當(dāng)支撐臂22由于某種原因而偏離水平面時，連接塊24 可以通過其圓弧面的轉(zhuǎn)動來調(diào)節(jié)與中心導(dǎo)桿21的接觸位置，從而保證中心導(dǎo)桿21豎直運(yùn) 動的精確性。連接塊的形狀不局限于圓柱體，還可以是與中心導(dǎo)桿之間為線接觸或者點(diǎn)接觸的 其它形狀，例如半球體等。上述中心導(dǎo)桿的下端部可以開設(shè)有連接孔，支撐臂的外端部具有連接塊，其數(shù)目 可以為一個，該連接塊位于連接孔中從而實(shí)現(xiàn)中心導(dǎo)桿與支撐臂的連接。該連接塊的形狀 可以為圓柱體或者半球體等，連接孔的形狀可以為圓形或者方形。上述中心導(dǎo)桿21的底部可以設(shè)有定位塊25，該定位塊25可以大體呈長方體，且其 頂面為上述凹槽的底面；該定位塊25的寬度小于第一連接塊241和第二連接塊242之間的 水平距離，以便在安裝時定位塊25能夠在第一連接塊241和第二連接塊242之間通過，其 長度大于兩連接塊的水平距離。中心導(dǎo)桿21能夠繞其軸向自轉(zhuǎn)，定位塊25通過兩連接塊 24后，將中心導(dǎo)桿21旋轉(zhuǎn)90度，將兩連接塊24分別置于兩凹槽中。上述具體實(shí)施方式
中，當(dāng)支撐臂22發(fā)生大體水平方向的偏移時，由于支撐臂22外 端的第一連接塊241和第二連接塊242與凹槽的連接并沒有限制中心導(dǎo)桿21水平方向的 自由度，支撐臂22水平方向的偏移不會影響中心導(dǎo)桿21豎直方向的直線運(yùn)動；并且，連接 塊24與中心導(dǎo)桿21之間為線接觸或者點(diǎn)接觸，支撐臂對中心導(dǎo)桿的作用力的方向始終豎 直向上，從而進(jìn)一步避免中心導(dǎo)桿受到側(cè)向力的影響，保證了中心導(dǎo)桿豎直運(yùn)動的精確性。 同時，連接塊24與定位塊25增加了對中心導(dǎo)桿21的軸向約束，通過連接塊24和定位塊25 帶動中心導(dǎo)桿21在豎直方向的運(yùn)動，提高了裝置在升降過程中的穩(wěn)定性。請參考圖6，圖6為本發(fā)明所提供頂針升降裝置第三種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意 圖。在第三種具體實(shí)施方式
中，支撐臂22可以包括彈性懸臂221和主體部222兩部 分，彈性懸臂221的材料可以為具有一定彈性的常規(guī)金屬材料，例如鋁或者不銹鋼等，也可 以為塑料或者其它彈性材料。在彈性懸臂221和主體部222之間還可以包括調(diào)整部件和鎖緊部件，用以調(diào)整彈 性懸臂221的外端相對于主體部222的豎直位置。調(diào)整部件可以為沿豎直方向穿過主體部 222的外端和彈性懸臂221的調(diào)節(jié)螺栓26 ；鎖緊部件可以為沿豎直方向穿過主體部222，且 末端與彈性懸臂221的下表面相接觸的鎖緊螺釘27。在機(jī)構(gòu)調(diào)平時，首先將鎖緊螺釘27向 下旋松，使其離開彈性懸臂221的下表面一段距離，然后旋緊或者旋松調(diào)節(jié)螺栓26，使彈性 懸臂221相對于主體部222向上或者向下微量移動，以實(shí)現(xiàn)調(diào)平。調(diào)節(jié)螺栓26和鎖緊螺釘 27分別位于彈性懸臂221的不同位置，消除了鎖緊時對機(jī)構(gòu)調(diào)平效果的影響，使調(diào)平更為 方便和精準(zhǔn)。彈性懸臂221和主體部222可以為分體式結(jié)構(gòu)，二者通過固定螺釘28可拆卸地連接。這樣，可以將彈性懸臂221和主體部222分開加工，以便降低加工難度和生產(chǎn)成本，并 且，當(dāng)二者其一損壞時，旋下固定螺釘28，便可以將破損部件更換，使維修裝置和更換部件 更加方便。彈性懸臂221和主體部222也可以為整體式結(jié)構(gòu)，取消了固定螺釘?shù)氖褂?，減少了 螺釘松動帶來的不穩(wěn)定性，提高了機(jī)構(gòu)的安全性。除了上述頂針升降裝置，本發(fā)明還提供一種包括上述頂針升降裝置的等離子體處 理設(shè)備，該等離子體處理設(shè)備其他各部分的結(jié)構(gòu)請參考現(xiàn)有技術(shù)，本文不再贅述。以上對本發(fā)明所提供的等離子體處理設(shè)備及其頂針升降裝置進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本 文中應(yīng)用了具體個例對本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于 幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在 不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以對本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落 入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
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權(quán)利要求
一種頂針升降裝置，用于等離子體處理設(shè)備，包括連接頂針的中心導(dǎo)桿、至少兩個支撐所述中心導(dǎo)桿的支撐臂，和帶動所述支撐臂豎直運(yùn)動的驅(qū)動部件；其特征在于，所述中心導(dǎo)桿與所述支撐臂可活動地連接，以便兩者在所述支撐臂的延伸方向上的相對位置能夠改變。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述中心導(dǎo)桿搭接于所述支撐 臂的外端；所述中心導(dǎo)桿的第一支撐面為向下的平面，所述支撐臂通過向上凸出并呈弧形 的第二支撐面支撐所述第一支撐面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述中心導(dǎo)桿搭接于所述支撐 臂的外端；所述中心導(dǎo)桿的第一支撐面為向下凸出的弧形面，所述支撐臂通過第二支撐面 支撐所述第一支撐面；所述第二支撐面為平面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述支撐臂的外端部 設(shè)有兩個具有適當(dāng)水平間距的連接塊，所述第二支撐面形成于所述連接塊的頂部；所述中 心導(dǎo)桿的下端部的側(cè)壁具有兩個開口方向相反的凹槽，所述第一支撐面具體為所述凹槽的 頂面。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述中心導(dǎo)桿能夠繞其軸向自 轉(zhuǎn)，且其底部設(shè)有大體呈長方體的定位塊，所述定位塊的頂面形成所述凹槽的底面；所述定 位塊的寬度小于兩所述連接塊的水平間距，其長度大于兩所述連接塊的水平間距。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述連接塊的形狀為圓柱體，且 其軸線大體水平設(shè)置并大體與所述支撐臂的延伸方向相垂直。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述支撐臂進(jìn)一步包 括與所述驅(qū)動部件固定連接的主體部，和以其內(nèi)端固定連接于所述主體部上方或者下方的 彈性懸臂，所述第二支撐面形成于所述彈性懸臂的外端；所述頂針升降裝置進(jìn)一步包括調(diào) 整部件，以便調(diào)整所述彈性懸臂的外端相對于所述主體部的豎直位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述調(diào)整部件為沿豎直方向穿 過所述主體部的外端和所述彈性懸臂的調(diào)節(jié)螺栓。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述彈性懸臂與所述主體部具 有一體結(jié)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的頂針升降裝置，其特征在于，所述彈性懸臂與所述主體部通 過緊固螺釘可拆卸地連接。
11.一種等離子體處理設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1至10任一項(xiàng)所述的頂針升降裝置O
全文摘要
本發(fā)明公開了一種頂針升降裝置，用于等離子體處理設(shè)備，包括上端連接頂針的中心導(dǎo)桿、至少兩個支撐中心導(dǎo)桿的支撐臂，和帶動支撐臂豎直運(yùn)動的驅(qū)動部件，中心導(dǎo)桿與支撐臂可活動地連接，以便兩者在支撐臂的延伸方向上的相對位置能夠改變。當(dāng)支撐臂由于各種原因而在升降過程中產(chǎn)生水平方向的位移時，支撐臂并未限制中心導(dǎo)桿水平方向的自由度，因此，支撐臂在水平方向上的位置改變不會影響中心導(dǎo)桿的豎直運(yùn)動，使得中心導(dǎo)桿在升降的過程中始終保持豎直，提高了裝置的可靠性。
文檔編號H01L21/3065GK101899715SQ20091008551
公開日2010年12月1日 申請日期2009年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月25日
發(fā)明者張小昂 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司