專利名稱：一種射頻插頭自動對接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及機械領(lǐng)域，特別是涉及一種PECVD用射頻插頭自動 對接裝置。
背景技術(shù)：
在薄膜太陽能電池制造過程中，PECVD沉積需要在PECVD爐中 進行，需要將裝滿玻璃基板的夾具預加熱至25(TC左右后，推入 PECVD爐(爐內(nèi)溫度約30(TC ),對接射頻插頭公頭和母頭，完成線 路連接，然后關(guān)閉爐門執(zhí)行爐內(nèi)工藝過程，最后打開爐門，拔脫射頻 插頭公頭和母頭，人工將夾具拉出PECVD爐。PECVD用夾具射頻電 纜電纜連接方式如圖l所示。
在這個工作過程中，射頻插頭(即射頻公頭和射頻母頭)的對接 都是通過人工完成的，操作人員需要在高溫環(huán)境下完成多個射頻插頭 的對接、拔脫，是一件比較困難且危險的工作。
為提高生產(chǎn)效率，保證安全生產(chǎn)。由機器代替人來完成簡單且危 險的工作是符合市場需要的。但是目前的技術(shù)下，機器大多只能完成 簡單的動作，要將多個幾乎處于自由狀態(tài)的射頻插頭完成對接和拔 脫，幾乎不可能。
因此有必要提供一種簡單的裝置，在人工推拉夾具時，可以同步 完成射頻插頭的插拔動作，簡單有效地完成射頻插頭公頭和母頭的自 動對接和拔脫。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種射頻插頭自動對接裝置。 現(xiàn)有的射頻插頭對接是依靠人工進行的，射頻插頭公頭和射頻插 頭母頭幾乎處于自由狀態(tài)，為實現(xiàn)本發(fā)明的目的，本發(fā)明分別增加了夾具、射頻公頭和射頻母頭的定位裝置，在人工推拉夾具的同時，利 用上述定位裝置，迅速實現(xiàn)頻插頭公頭和射頻插頭母頭的對接和拔 脫。
具體的說，本發(fā)明在現(xiàn)有的射頻插頭對接裝置(包括夾具、夾具 腳輪、射頻插頭公頭和射頻插頭母頭，所述夾具用于承載基板，夾具 腳輪位于夾具底部，便于推拉夾具，射頻插頭母頭通過射頻電纜與夾 具上的基板相連，射頻插頭公頭通過射頻電纜與電源相連)的基礎(chǔ)上 增加了導軌，所述導軌固定在爐膛底部，為所述夾具腳輪提供運行軌 道，通過夾具腳輪限制夾具只在推拉方向行走。
另外，本發(fā)明所述的裝置，還包括公頭電極板和托架； 所述公頭電極板為孔板，其上用于安裝射頻插頭公頭的孔以一定 規(guī)則排列，使射頻插頭公頭以一定規(guī)則排列；優(yōu)選平行于爐膛底部 "一"字排列；
所述托架為槽型結(jié)構(gòu)，固定在爐膛底部，用于承載公頭電極板和 限制公頭電極板的位置，使公頭電極板能夠垂直于爐膛底部放置，并 使公頭電極板能夠在上下左右各方向進行小范圍的活動，如通過調(diào)整 固定位置等方式在槽中有少量的上下左右活動空間。
所述托架的固定可釆用本領(lǐng)域的常用方式進行，優(yōu)選以軸座的方 式固定，因此本發(fā)明所述的裝置還包括一個軸座，位于托架的中部， 并固定在爐膛底部，承載托架，使托架可以軸座為軸心小范圍擺動， 有一定的自由轉(zhuǎn)動空間。
所述導軌與所述軸座需要保持較為嚴格的位置關(guān)系。
同時，本發(fā)明所述的裝置還包括母頭電極板；所述母頭電極板為 孔板，用于安裝射頻插頭母頭的孔的排列方式與公頭電極板上的射頻 插頭公頭的孔的排列方式相對應，使射頻插頭母頭與射頻插頭公頭一 一對應；優(yōu)選平行于爐膛底部"一"字排列并與射頻插頭公頭一一對 應，所述母頭電極板固定在夾具上。所述母頭電極板的固定可以釆用支架固定，支架可位于母頭電極 板的任意位置，包括端部、中部等，所述支架與母頭電極板和夾具分 別連接，將母頭電極板固定在夾具上。
為便于推拉，本發(fā)明所述的裝置還包括牽引部，所述牽引部可位 于支架或母頭電極板上，用于推拉母頭電極板，在本領(lǐng)域中一般為電 工純鐵。
為提高射頻母頭和射頻公頭的對接效率，本發(fā)明所述的裝置還包
括導柱和導套；所述導柱設(shè)置在母頭電極板(公頭電極板)上，所述
公頭電極板(母頭電極板)的相應位置還設(shè)置有與所述導柱相配合的
導套；
所述導柱(見圖5)由安裝部分、限位部分、導向部分和引導部 分組成，所述導套(見圖6)由與導柱相對應的安裝部分、限位部分、 導向部分和引導部分組成；所述導柱和導套的安裝部分分別用于將導 柱或?qū)装惭b到母頭電極板或公頭電極板上，所述導柱的引導部分為 錐形結(jié)構(gòu)，所述導套的引導部分為直徑略大于錐形最大直徑的圓孔， 在推進夾具時，所述導柱的引導部分先于射頻插頭母頭(射頻插頭公 頭)接觸到射頻公頭或公頭電極板(射頻母頭或母頭電極板)，其錐 形結(jié)構(gòu)與位于公頭電極板(母頭電極板)上的導套的引導部分對接，
隨后引導導柱和導套的導向部分對接，并同時或隨后引導射頻公頭和 射頻母頭對接；最后導柱和導套的限位部分對接，同時射頻公頭和射 頻母頭完全對接，防止射頻母頭過多插入射頻公頭。
為更好的防止射頻母頭過多插入射頻公頭，所述導柱和導套的導 向部分的長度相同，并都大于等于射頻插頭公頭和母頭的對接長度。
特別優(yōu)選大于射頻插頭公頭和母頭的對接長度，這樣，導柱的導 向部分進入導套的導向部分，不會產(chǎn)生錯位后，才進行射頻插頭公頭 和射頻插頭母頭的對接，能夠保證對接的準確性。為使導柱和導套的限位部分確實起到防止射頻母頭過多插入射 頻公頭的作用，安裝在公頭電極板(母頭電極板)上的導套與射頻插 頭公頭(射頻插頭母頭)之間要保持嚴格的位置關(guān)系，并且與導柱、
射頻插頭母頭的位置關(guān)系一一對應；同時導柱與射頻插頭母頭(射頻 插頭公頭)之間要保持嚴格的位置關(guān)系，并且與導套、射頻插頭母頭 (射頻插頭公頭)的位置關(guān)系一一對應。
與現(xiàn)有手工插接射頻插頭相比，本發(fā)明可大大提高對接效率，并 實現(xiàn)了機械化、自動化，把人從繁重，危險的工作中解放出來，使生 產(chǎn)方式得到徹底的改善；另外，本發(fā)明的自動對接裝置簡單、有效， 不增加機器的控制難度，非常容易實現(xiàn)，并且可以有效控制制造成本。


圖i為現(xiàn)有的射頻插頭(包括射頻公頭和母頭)對接方式示意圖。
圖2為本發(fā)明的射頻插頭自動對接裝置的左視圖。 圖3為本發(fā)明的射頻插頭自動對接裝置的正視圖。 圖4為本發(fā)明的射頻插頭自動對接裝置的仰視圖。 圖5和圖6分別為導柱和導套的示意圖。
圖7為安裝本發(fā)明的射頻插頭自動對接裝置后，位于夾具上的電
極插頭部分的示意圖。
圖8為安裝本發(fā)明的射頻插頭自動對接裝置后，位于爐膛內(nèi)的電 極插頭部分的示意圖。
圖9為托架示意圖。
圖中1、夾具；2、射頻電纜；3、射頻插頭母頭；4、射頻插頭 公頭；5、母頭電極板；6、導柱；7、導軌；8、導軌擋邊；9、公頭 電極板；10、軸座；11、托架；12、支架；13、牽引部；14、導套； 15、夾具腳輪；16、爐體；17、夾具腳輪座；18， 18'、安裝部分； 19, 19'、限位支撐部分、20， 20'、導向部分；21， 21'、引導部分。
具體實施例方式
以下實施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。
7實施例l
本發(fā)明的一個具體實施例見圖2， 3， 4所示，其安裝效果見圖7 和圖8。
安裝后的本發(fā)明的射頻插頭自動對接機構(gòu)可分兩大部分第一部 分是固定在夾具上的部分，包括母頭電極板5;導柱6;支架12;牽引 部13以及夾具1;射頻電纜2;射頻插頭母頭3;夾具腳輪15等。
射頻插頭母頭3安裝在母頭電極板5上，射頻插頭母頭3通過射頻 電纜2與夾具1內(nèi)的電極相連，母頭電極板5通過支架12與夾具1固定連 接，牽引部13與母頭電極板5相連(也可在其他部位)，導柱6安裝在 母頭電極板5上，導柱6及射頻插頭母頭3之間要保持嚴格的位置關(guān)系。
第二部分是爐內(nèi)部分，包含射頻電纜2;射頻插頭公頭4;導軌7; 導軌擋邊8;公頭電極板9;軸座10;托架ll;導套14等。
軸座10固定在爐膛底部，托架11與軸座10相連，使托架有一定的 自由轉(zhuǎn)動空間，公頭電極板9放在托架11的槽形結(jié)構(gòu)當中，公頭電極 板9在槽中有少量的上下左右自由活動范圍，射頻插頭公頭4通過射頻 電纜2與電源相連，導套14安裝在公頭電極板9上。
射頻插頭母頭3和射頻插頭公頭4都平行于爐膛底部"一 "字排列， 而且保證一一對應的關(guān)系；導套14及射頻插頭公頭4之間保持嚴格的 位置關(guān)系，并且與導柱6的位置對應；導軌7固定在爐膛底部，與軸座 IO保持較為嚴格的位置關(guān)系。
夾具1通過牽引部13在導軌7上運動，因?qū)к墦踹?的原因，夾具l 的左右方向的運動被限制，只能進行前后運動，導軌7及其導軌擋邊8 配合夾具腳輪15完成射頻插頭(公頭和母頭)的粗定位。
夾具1通過牽引部13被推入爐內(nèi)，通過托架ll的旋轉(zhuǎn)和結(jié)構(gòu)材料 的彈性變形來及配合間隙來消除射頻插頭公頭4和射頻插頭母頭3之 間的角度誤差，進行進一步定位；隨著夾具l的推進，通過導柱6和導 套14的引導結(jié)構(gòu)21, 21，的錐面修正射頻插頭公頭4和射頻插頭母頭3的位置誤差，然后在通過導柱6和導套14的導向結(jié)構(gòu)22， 22'的柱面 確保射頻插頭公頭4和射頻插頭母頭3能夠正確平滑對接，導柱6和導 套14配合完成射頻插頭的精確定位。
隨著夾具l的運動，射頻插頭(公頭和母頭)逐漸對接，到了極 限位置的時候，因為導柱和導套的限位支撐結(jié)構(gòu)19, 19'的作用，夾 具l無法繼續(xù)前進，所有插頭(公頭和母頭)順利完成對接，避免了 電極插入過多而造成損壞。
射頻插頭(公頭和母頭)的拔脫是通過牽引部13使夾具1向后運 動，帶動母頭電極板5運動，使安裝在其上的多個射頻插頭母頭3同時 與射頻插頭公頭4脫離完成。
顯然應用本發(fā)明的裝置，可以在推拉夾具的過程中，同時完成射 頻插頭的對接和拔脫，大大提高對接效率，并能夠防止射頻插頭的過 度對接。
雖然，上文中已經(jīng)用一般性說明及具體實施方案對本發(fā)明作了詳 盡的描述，但在本發(fā)明基礎(chǔ)上，可以對之作一些修改或改進，這對本 領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見的。因此，在不偏離本發(fā)明精神的基礎(chǔ) 上所做的這些修改或改進，均屬于本發(fā)明要求保護的范圍。
9
權(quán)利要求
1、一種射頻插頭自動對接裝置，包括夾具(1)、夾具腳輪(15)、射頻插頭公頭(4)和射頻插頭母頭(3)，所述夾具(1)用于承載基板，夾具腳輪(15)位于夾具底部，便于推拉夾具(1)，射頻插頭母頭(3)通過射頻電纜(2)與夾具(1)上的基板相連，射頻插頭公頭(4)通過射頻電纜(2)與電源相連，其特征在于，所述射頻插頭自動對接裝置還包括導軌(6)；所述導軌(6)固定在爐膛底部，為所述夾具腳輪(15)提供運行軌道，通過夾具腳輪(15)限制夾具(1)只在推拉方向行走。
2、 如權(quán)利要求l所述的裝置，其特征在于，還包括公頭電極板 (9)和托架(11);所述公頭電極板(9)為孔板，其上用于安裝射頻插頭公頭(4)的孔以一定規(guī)則排列；所述托架(11)為槽型結(jié)構(gòu)， 固定在爐膛底部，用于承載公頭電極板(9)和限制公頭電極板(9) 的位置，使公頭電極板(9)垂直于爐膛底部放置，并使公頭電極板 (9)能夠在上下左右各方向進行小范圍的活動來調(diào)整位置。
3、 如權(quán)利要求2、所述的裝置，其特征在于，還包括軸座(IO)， 所述軸座(10)位于托架(11)的中部，并固定在爐膛底部，承載托 架(11),使托架(11)可以軸座為軸心小范圍擺動。
4、 如權(quán)利要求l、 2或3所述的裝置，其特征在于，還包括母頭 電極板(5);所述母頭電極板(5)為孔板，其上用于安裝射頻插頭 母頭(3)的孔的排列方式與公頭電極板(9)上的射頻插頭公頭(4) 的插孔的排列方式相對應，所述母頭電極板(5 )固定在夾具(1)上。
5、 如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，還包括支架(12)， 所述支架(12)用于連接母頭電極板(5)和夾具(1)，將母頭電極 板(5)固定在夾具(1)上。
6、 如權(quán)利要求2或4所述的裝置，其特征在于，所述射頻插頭 公頭(4)在公頭電極板(9)上平行于爐膛底部"一"字排列；所述射頻插頭母頭(3)在母頭電極板(5)上平行于爐膛底部"一"字排 列并與射頻插頭公頭(4) 一一對應。
7、 如權(quán)利要求4或5所述的裝置，其特征在于，還包括牽引部 (13)，所述牽引部(13)位于母頭電極板(5)或支架(12)上，用于推拉夾具(1 )和母頭電極板(5 )。
8、 如權(quán)利要求4或5所述的裝置，其特征在于，所述母頭電極 板(5)上還設(shè)置有導柱(6)，所述公頭電極板(9)的相應位置還設(shè) 置有與所述導柱(6)相配合的導套(14),其中；所述導柱(6)由安裝部分(18)、限位部分(19)、導向部分(20) 和引導部分(21)組成，所述導套由與導柱相對應的裝部分(18')、 限位部分(19')、導向部分(20')和引導部分(21')組成；所述安 裝部分(19, 19')用于將導柱(6)或?qū)?14)安裝到母頭電極板(5)或公頭電極板(9)上，所述導柱的引導部分(21)為錐形，所 述導套的引導部分(21')為直徑略大于錐形最大直徑的圓孔，在推 進夾具時，所述導柱的引導部分(21)先于射頻插頭母頭(3)接觸 到射頻插頭公頭(4)或公頭電極板(9)，其錐形與位于公頭電極板(9)上的導套的引導部分(21')對接，隨后引導導柱和導套的導向 部分(20， 20，)對接，并同時或隨后引導射頻公頭(4)和射頻母頭(3)對接；最后導柱和導套的限位部分(19, 19')對接，防止射頻 母頭(3)過多插入射頻公頭(3)。
9、 如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述導向部分(20, 20，)的長度相同，并都大于等于射頻插頭公頭(4)和射頻插頭母頭(3)的對接長度。
10、 如權(quán)利要求4或5所述的裝置，其特征在于，所述公頭電極 板(9)上還設(shè)置有導柱(6)，所述母頭電極板(5)的相應位置還設(shè) 置有與所述導柱(6)相配合的導套(14)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種射頻插頭自動對接裝置。本發(fā)明在現(xiàn)有的射頻插頭對接方式的基礎(chǔ)上，為夾具、射頻公頭和射頻母頭分別增加了定位裝置，在人工推拉夾具的同時，利用上述定位裝置，迅速實現(xiàn)射頻插頭(公頭和母頭)的對接和拔脫。與現(xiàn)有手工插接射頻插頭相比，本發(fā)明可大大提高對接效率，并實現(xiàn)了機械化、自動化，把人從繁重，危險的工作中解放出來，使生產(chǎn)方式得到徹底的改善。本發(fā)明的自動對接裝置簡單、有效，不增加機器的控制難度，非常容易實現(xiàn)，可以有效控制制造成本。
文檔編號H01R13/62GK101626122SQ20091009002
公開日2010年1月13日 申請日期2009年7月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月24日
發(fā)明者月 孟, 鄭京松, 陳煥軍 申請人:北京清大天達光電科技有限公司