專利名稱：分離液氣混合物的分離器及包含該分離器的基板處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
實(shí)施例涉及一種將液體和氣體分成各自成分的分離器，以及包括該分離器 的基板處理設(shè)備。尤其，實(shí)施例涉及一種在基板處理之后排出處理溶液和噴射 氣體的混合物時(shí)，將液一氣混合物分成各自的液體成分和氣體成分的分離器， 以及包含該分離器的基板處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
平板顯示器裝置包括液晶顯示器(LCD)裝置，等離子顯示器(PDP)裝 置以及有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)裝置。
上述平板顯示器(FPD)裝置包括顯示圖像的顯示器面板，該面板主要是 以玻璃基板為基礎(chǔ)制造的。
例如，該顯示器面板通常通過各種單元處理，諸如沉積處理、蝕刻處理、 光刻處理、清洗處理以及檢査處理而制得。
在上述的單元處理中，蝕刻處理和清洗處理是在放置基板的處理室內(nèi)進(jìn)行 的。在該處理室內(nèi)，蝕刻處理或清洗處理的處理溶液通過溶液噴灑器噴到基板 上。
在現(xiàn)有的蝕刻處理和清洗處理設(shè)備中，氣體噴射器放置于溶液噴灑器的上 方，并且將該處理溶液驅(qū)動(dòng)到基板上的驅(qū)動(dòng)氣體朝基板噴射。因此，處理溶液 和驅(qū)動(dòng)氣體的噴灑混合物在處理室中流動(dòng)。
處理溶液和驅(qū)動(dòng)氣體的噴灑混合物會(huì)污染處理室中的基板，因而需要將噴 灑混合物從處理室中排出。真空泵通過排放管連接到處理室，噴灑混合物通過 排放管從處理室中排出。
然而，當(dāng)噴灑混合物流到真空泵中時(shí)，真空泵會(huì)因噴灑混合物中的處理溶 液導(dǎo)致?lián)p壞。因此，需要在噴灑混合物流到真空泵之前將噴灑混合物中的處理 溶液分離掉。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供了將處理溶液和驅(qū)動(dòng)氣體的混合物分離成各自 的處理溶液成分和驅(qū)動(dòng)氣體成分的分離器。
本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供了包括上述分離器的基板處理設(shè)備。 根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的某些實(shí)施例，提供了一種分離器包括分離箱，具有設(shè)置在其頂部的進(jìn)口，在所述分離箱中位于所述進(jìn)口之下的過濾單元，處于所述 分離箱底部的排氣部件，以及位于所述分離箱底部的排液部件。所述液氣混合 物通過所述進(jìn)口被提供到所述分離箱中，并且所述過濾單元從所述液氣混合物 中過濾所述液體成分。所述排氣部件形成為這樣的構(gòu)造，即其封閉端部面向所 述過濾單元，并且至少一個(gè)排氣口設(shè)置在所述排氣部件的側(cè)壁上。所述液氣混 合物的氣體成分通過所述排氣口排出到所述分離箱外。所述液氣混合物的液體 成分通過所述排液部件排出到所述分離箱外。
在一實(shí)施例中，所述排氣口位置高于所述分離箱底部的表面。 在一實(shí)施例中，所述過濾單元包括第一多孔板和第二多孔板，穿過所述第 一多孔板設(shè)置有多個(gè)具有第一直徑的第一孔，所述第二多孔板上設(shè)置多個(gè)具有 比所述第一直徑小的第二直徑的第二孔，所述第二多孔板位于所述第一多孔板 之下，形成為這樣的構(gòu)造，即所述分離箱的內(nèi)部空間被分割成小的子空間。
在一實(shí)施例中，所述第一孔的總面積與所述進(jìn)口的截面積之比的范圍為約 1.1至約1.5;并且所述第二孔的總面積與所述進(jìn)口的截面積之比的范圍為約1.0 至約1.2。
在一實(shí)施例中，所述第一孔的第一直徑為所述進(jìn)口的直徑的約O.l至約0.3
倍；并且所述第二孔的第二直徑為所述第一孔的第一直徑的約0.7至約0.9倍。
在一實(shí)施例中，所述過濾單元包括至少一個(gè)放置于所述第一多孔板和第二 多孔板之間的過濾片，所述過濾片具有細(xì)纖維絲。
在一實(shí)施例中，所述分離箱還包括在其側(cè)壁的開口，封閉所述開口的蓋， 以及用以密封所述開口周圍的、所述蓋與所述分離箱之間間隙的密封部件，所 述第一多孔板和第二多孔板以及放置在所述第一多孔板和第二多孔板之間的 過濾片通過所述開口安裝到所述分離箱中或從所述分離箱中取出。
在一實(shí)施例中，所述分離箱還包括從開口沿所述分離箱的內(nèi)側(cè)壁延伸的第 一導(dǎo)引槽和第二導(dǎo)引槽，所述第一多孔板和第二多孔板分別插入到所述第一導(dǎo) 引槽和第二導(dǎo)引槽中并被導(dǎo)引到所述分離箱中。例如，所述第一導(dǎo)引槽的寬度 大于所述第一多孔板的厚度約lmm至約3mm;并且所述第二導(dǎo)引槽的寬度大 于所述第二多孔板的厚度約lmm至約3mm。
在一實(shí)施例中，所述分離箱還包括在其底部的凹槽部，并且所述排液部件 連接于所述分離箱的凹槽部。
在一實(shí)施例中，所述分離箱底部從其中央部向周邊部?jī)A斜，并且所述排液 部件連接于所述分離箱底部的所述周邊部。
在一實(shí)施例中，所述排氣部件為圓柱形，并且所述多個(gè)排氣口設(shè)置在所述 封閉端部周圍的所述圓柱形排氣部件的圓周面上并隔開相同的間隔距離，所述 間隔距離為所述圓柱形排氣部件的圓周長(zhǎng)度的約0.07至約0.1倍。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的某些實(shí)施例，提供了一種基板處理設(shè)備。該設(shè)備包括處理室，所述基板在其中被處理；在所述處理室中位于所述基板之上的液體噴灑器；在所述處理室中位于所述液體噴灑器之上的氣體噴灑器；以及通過供應(yīng)管連接到所述處理室的分離器。所述液體噴灑器將處理溶液噴灑到所述基板上，并且所述氣體噴灑器將處理氣體噴灑到所述處理室的整個(gè)內(nèi)部空間中。所述分離器在通過所述供應(yīng)管從所述處理室供應(yīng)到所述分離器的溶液一氣體混合物中將處理溶液和處理氣體分離出來。例如，所述分離器包括分離箱，包括設(shè)置在其頂部、并與所述供應(yīng)管連接的進(jìn)口；在所述分離箱中位于所述進(jìn)口之下的過濾單元，所述過濾單元從所述溶液一氣體混合物中過濾所述處理溶液成分；位于所述分離箱底部的排氣部件，其形成為這樣的構(gòu)造，即所述排氣部件的封閉第一端部面向所述過濾單元，并且至少一個(gè)排氣口設(shè)置在所述排氣部件的側(cè)壁上，以及位于所述分離箱底部的第一排液部件。所述溶液一氣體混合物的處理氣體成分通過所述排氣口排出到所述分離箱外，所述溶液一氣體混合物的溶液成分通過所述排液部件排出到所述分離箱外。
在一實(shí)施例中，所述設(shè)備還包括真空泵，與所述排氣部件的第一端部相對(duì)的、處在所述分離箱外部的第二端部連接于所述真空泵，從而由所述真空泵產(chǎn)生真空壓力，并經(jīng)由所述分離箱將該真空壓力施加到所述供應(yīng)管。
在一實(shí)施例中，所述設(shè)備還包括連接于所述處理室底部的第二排液部件。留在所述處理室底部上的殘余處理溶液通過所述第二排液部件被排出到所述處理室外。
在一實(shí)施例中，所述第一排液部件與所述第二排液部件相連接，從而使被過濾單元從所述溶液一氣體混合物中過濾出的溶液成分通過所述第二排液部件排出到所述設(shè)備外。
根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的某些實(shí)施例，當(dāng)LG混合物從處理室中排出時(shí)，LG混合物中的液體成分L被分離器有效過濾，從而可充分防止真空泵因LG混合物的液體成分L而被損壞。
另外，第二多孔板、多個(gè)過濾片和第一多孔板依次疊放在分離箱中，從而將過濾單元安裝到分離箱中。然后，混合物向下流動(dòng)通過分離箱中過濾單元，從而LG混合物的液體成分L依次由第一多孔板、過濾片和第二多孔板過濾。然后，LG混合物的氣體成分G通過排氣部件的排氣口排出分離箱。LG混合物的液體成分L滴落在分離箱的底部，然后通過排氣部件排出分離箱。因此，可在不增加分離箱尺寸的情況下，將LG混合物分離成各自的液體成分L和氣體成分G。 B卩，可使得分離箱的裝置空間最小化，并且便于將分離器的其它裝置安裝在分離箱的周圍。
并且，包括過濾片的過濾單元易于安裝到分離箱中或從分離箱中取出，然
7后將用過的過濾片從過濾單元中取出。然后，新的過濾片結(jié)合到過濾單元中，并將包括新過濾片的過濾單元再次安裝到分離箱中。g卩，很容易對(duì)分離箱實(shí)施過濾片的更換，從而便于分離箱的維護(hù)。


結(jié)合附圖，從以下的詳細(xì)描述可更清楚地了解本發(fā)明的實(shí)施例。圖1至10顯示了本文所描述的非限制性實(shí)施例。
圖l為分解立體圖，顯示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的、將液氣混合物分離成各自成分的分離器；
圖2為顯示圖1分離器的剖視圖3為顯示圖2所示過濾單元一部分的立體圖4為顯示過濾單元120正被安裝到分離箱內(nèi)的剖視圖5為顯示過濾單元120被完全安裝到分離箱內(nèi)的剖視圖6為顯示圖2所示分離器的排氣部件的剖視圖7為顯示如圖2所示分離器的排液部件的剖視圖8為顯示如圖2所示分離器的排液部件的剖視圖9為包括圖1所示分離器的基板處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
參考示出實(shí)施例的附圖，將更詳細(xì)地描述實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以以許多不同的形式實(shí)現(xiàn)，并且不應(yīng)解釋為受在此提出之實(shí)施例的限制。相反，提出這些實(shí)施例是為了達(dá)成充分及完整公開，并且使本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員完全了解本發(fā)明的范圍。這些附圖中，為清楚起見，可能放大了層及區(qū)域的尺寸及相對(duì)尺寸。
應(yīng)理解，當(dāng)將元件或?qū)臃Q為在另一元件或?qū)?上"、與另一元件或?qū)?連接"或"結(jié)合"之時(shí)，其可為直接在另一元件或?qū)由?、與其它元件或?qū)又苯舆B接或結(jié)合，或者存在居于其間的元件或?qū)?。與此相反，當(dāng)將元件稱為"直接在另一元件或?qū)由?、與另一元件或?qū)?直接連接"或"直接結(jié)合"之時(shí)，并不存在居于其間的元件或?qū)印Ｍㄆ邢嗤瑯?biāo)號(hào)是指相同的元件。如本文中所使用的，用語"及/或"包括一或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任何或所有組合。
應(yīng)理解，盡管本文中使用第一、第二、第三等來描述多個(gè)元件、組件、區(qū)域、層及/或部分，但這些元件、組件、區(qū)域、層及/或部分并非受到這些用語的限制。這些用語僅用于使一個(gè)元件、組件、區(qū)域、層或部分與另一個(gè)區(qū)域、層或部分區(qū)別開來。由此，下文所稱之第一元件、組件、區(qū)域、層或部分可稱為第二元件、組件、區(qū)域、層及/或部分，而不脫離本發(fā)明的教導(dǎo)。與空間相關(guān)的表述，如"下方""以下""下"、"上方""上"等，在本文中的使用是為了容易地表述如圖所示的一個(gè)元件或部件與另一元件或部件的關(guān)系。應(yīng)理解，這些與空間相關(guān)的表述除圖中所示方位之外，還意欲涵蓋該設(shè)備在使用或工作中的不同方位。例如，若圖中的該設(shè)備翻轉(zhuǎn)，描述為在"其它元件或部件之下"、或"在其它元件或部件下方"的元件則會(huì)定位成"在其它元件或部件上方"。由此，該示范性的表述"在...下方"可同時(shí)涵蓋"在...上方"與"在...下方"兩者。該設(shè)備可為另外的朝向(旋轉(zhuǎn)90度或其它朝向)，并且本文中所使用的這些與空間相關(guān)的表述亦作相應(yīng)的解釋。
本文中所使用的術(shù)語僅用于描述特定的實(shí)施例，并且并不意欲限制本發(fā)明。如本文中所述的，單數(shù)形式的冠詞意欲包括復(fù)數(shù)形式，除非其上下文明示。還應(yīng)理解，當(dāng)本說明書中使用表述"包括"之時(shí)，明確說明了存在有所描述的部件、整體、步驟、操作、元件及/或組件，但并不排除存在或附加有一個(gè)或多個(gè)其它部件、整體、步驟、操作、元件、組件及/或它們的組合。
本發(fā)明的實(shí)施例，本文中是參照本發(fā)明的理想化實(shí)施例(以及中間結(jié)構(gòu))的示意剖視圖來描述的。照此，預(yù)期會(huì)產(chǎn)生例如因制造處理及/或公差而造成形狀上的變化。由此，本發(fā)明的實(shí)施例不應(yīng)解釋為將其限制成本文所示的特定區(qū)域形狀，還應(yīng)包括例如，因制造而導(dǎo)致的形狀偏差。例如，顯示為矩形的植入?yún)^(qū)，通常具有圓形或曲線形的特征和/或在其邊緣形成植入密度的梯度，而非從植入?yún)^(qū)域到非植入?yún)^(qū)域的二元變化。類似的，通過植入形成的埋入?yún)^(qū)會(huì)導(dǎo)致在該埋入?yún)^(qū)和發(fā)生植入的表面之間的區(qū)域中有一些植入。所示的區(qū)域的本質(zhì)是示意性的，并且其形狀并不意欲示出部件區(qū)域的精確形狀，也不意欲限制本發(fā)明的范圍。
除非另有定義，本文所使用的所有術(shù)語(包括科技術(shù)語)的意思與本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員所通常理解的一致。還應(yīng)理解，諸如一般字典中所定義的術(shù)語應(yīng)解釋為與相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域中的意思一致，并且不應(yīng)解釋為理想化的或過度刻板的含義，除非在文中另有明確定義。
下文，將參考附圖詳細(xì)說明實(shí)施例。
圖l為分解立體圖，顯示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的、將液氣混合物分離成各
自成分的分離器。圖2為顯示圖1分離器的剖視圖。
參考圖1和圖2，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的分離器100包括分離箱110、過濾單元120、排氣部件130以及排液部件140。
在一實(shí)施例中，分離箱110可包括進(jìn)口 111，帶有液體成分L和氣體成分G的液氣混合物(下文中稱為L(zhǎng)G混合物)可通過該進(jìn)口 111供應(yīng)。供應(yīng)管150可連接到進(jìn)口 111，并且LG混合物可通過供應(yīng)管150供應(yīng)到分離箱110中。經(jīng)由該分離箱110于該供應(yīng)管150產(chǎn)生真空壓力。在一實(shí)施例中，過濾單元120可以位于分離箱110中靠近進(jìn)口 111的底部。
LG混合物可以從進(jìn)口 lll流入該過濾單元120，并且可以從LG混合物中過濾掉或分離出液體成分L。
具體地，當(dāng)LG混合物通過過濾單元120時(shí)，LG混合物的氣體成分G可通過過濾單元120，并且因此可在過濾單元120下流動(dòng)，同時(shí)LG混合物的液體成分L被過濾單元120過濾掉并滴落在分離箱110的底部115上。液體成分L的密度大于氣體成分G的密度，因此LG混合物的液體成分L會(huì)在分離箱110的底部115上積聚。
在一實(shí)施例中，過濾單元120包括第一多孔板122和第二多孔板124。第一多孔板122定位在分離箱110的內(nèi)側(cè)壁處，并且第二多孔板124定位在第一多孔板122之下的分離箱110內(nèi)側(cè)壁處。因此，分離箱110的內(nèi)部空間可以被第一和第二多孔板122和124分成小的子空間。因此，通過進(jìn)口lll供應(yīng)到分離箱UO中的LG混合物必須通過第一和第二多孔板122和124。
第一多孔板122上設(shè)有多個(gè)第一孔123且第二多孔板125上設(shè)有多個(gè)第二孔，并且LG混合物在由過濾單元120進(jìn)行的過濾處理中通過第一孔123和第二孔125。在由過濾單元120進(jìn)行過濾處理時(shí)，除了在第一和第二孔123和125之外，LG混合物與第一和第二多孔板122和124的表面撞擊，并且LG混合物中具有較高密度的液體成分L被過濾并聚集在各第一和第二多孔板122和124上。然后，LG混合物被過濾的液體成分L經(jīng)過第一和第二孔123和125滴落到分離箱110的底部115上。
以下，通過參考圖3詳細(xì)說明過濾單元120。
圖3為顯示圖2所示過濾單元一部分的立體圖。
參考圖3，第一孔123的總面積相對(duì)于進(jìn)口 111的截面積之比(稱為第一面積比)可以在約1.1至約1.5的范圍內(nèi)變動(dòng)。當(dāng)所有第一孔123與進(jìn)口 111的面積比小于約1.1時(shí)，供應(yīng)管150的真空壓力會(huì)顯著下降，這會(huì)導(dǎo)致到達(dá)分離箱IIO的LG混合物供應(yīng)不足；而當(dāng)該面積比大于約1.5時(shí)，LG混合物的液體成分L難以聚集到第一多孔板122上。
因此，所有第一孔123相對(duì)于進(jìn)口 111的面積比范圍為約1.1至約1.5。在本實(shí)施例中，該面積比范圍為約1.1至約1.3。
另外，當(dāng)?shù)谝豢?23的第一直徑D1相對(duì)于進(jìn)口 111直徑之比(稱為第一直徑比)小于約0.1時(shí)，LG混合物難以流動(dòng)通過分離箱110，這會(huì)大大降低供應(yīng)管150的真空壓力，而當(dāng)?shù)谝恢睆奖却笥诩s0.3時(shí)，LG混合物的液體成分L難以聚集在第一多孔板122上。
因此，第一直徑比范圍為約0.1至約0.3。例如，當(dāng)進(jìn)口 111的直徑為約200mm時(shí)，第一孔123的第一直徑Dl為約30mm。與之不同，第二孔125的第二直徑D2小于第一孔123的第一直徑D1。因此，通過第一孔123的LG混合物無法直接通過第二孔125，從而撞擊到第二多孔板125上。因此，LG混合物的液體成分L可以在通過第一空123之后聚集到第二多孔板125上。
具體地，第二孔125的第二直徑D2相對(duì)于第一孔123的第一直徑Dl之比(稱為第二直徑比)的范圍為約0.7至約0.9。例如，第一孔123的第一直徑Dl為約30mm，并且第二孔125的第二直徑D2為約25mm。
在一修改實(shí)施例中，第一多孔板122上的第一孔123相對(duì)于第二多孔板124上的第二孔125交錯(cuò)設(shè)置，因而通過第一孔123的LG混合物撞擊到第二多孔板124上，而與第二孔125無關(guān)。因此，LG混合物的液體成分L聚集在第二多孔板124上，而與第二孔125無關(guān)。
因?yàn)榈诙嗫装?24設(shè)置在分離箱110中第一多孔板122之下，并具有與第一多孔板122相同的尺寸，第二孔125的總面積與進(jìn)口 111的截面積之比(稱為第二面積比)的范圍為約l.O至約1.2。因此，第二面積比小于第一面積比。在本實(shí)施例中，第二孔的總面積可以與進(jìn)口 lll的截面積基本相等。
在一實(shí)施例中，過濾單元120還包括至少一個(gè)包含細(xì)纖維絲的過濾片126，該過濾片放置在第一和第二多孔板122和124之間。例如，過濾片126包括無紡布，并從而具有多個(gè)因纖維絲的細(xì)小交叉而產(chǎn)生的微孔。在本實(shí)施例中，該過濾片126包括互相交叉的聚丙烯絲。
在一實(shí)施例中，在第一和第二多孔板122和124之間放置有多個(gè)過濾片126。例如，在第一和第二多孔板122和124之間疊放八至十二個(gè)過濾片126。過濾片126根據(jù)其材料特性而具有彈性。在本實(shí)施例中，可以使許多個(gè)過濾片126壓緊在第一和第二多孔板122和124之間。
因此，LG混合物的液體成分L被過濾片126的微孔進(jìn)一步過濾，而聚集在過濾片126上。然后，LG混合物的液體成分L仍被過濾片126捕獲，或滴落到分離箱110的底部115上?！熠?，LG混合物的液體成分L被過濾單元120的過濾片126進(jìn)一步過濾。
當(dāng)過濾片126在過濾單元120中使用超過固有的使用壽命，過濾片126的微孔被LG混合物的液體成分L浸透，因而過濾片126無法在過濾LG混合物中的液體成分L。因此，在使用壽命之后要更換新的過濾片126。
為了方便更換過濾片126，分離箱UO在其第一側(cè)117包括開口 112，因而包括第一和第二多孔板122和124以及過濾片126的過濾單元120可以通過該開口 112安裝到分離箱110中，并從分離箱IIO中取出。
以下，將參考圖4和圖5進(jìn)一步詳細(xì)說明過濾片126的更換。
圖4為顯示過濾單元120正被安裝到分離箱內(nèi)的剖視圖，圖5為顯示過濾
11單元120被完全安裝到分離箱內(nèi)的剖視圖。
參考圖4和5，第一和第二導(dǎo)引槽113和114從開口 112沿內(nèi)側(cè)壁延伸， 從而第一和第二多孔板122和124可以分別插入到第一和第二槽113和114中。 即，第一和第二多孔板122和124沿第一和第二槽113和114被引導(dǎo)到分離箱 110中。
因此，可按照以下步驟更換新的過濾片126。首先，過濾片126放置于兩 者之間并被壓緊的第一和第二多孔板122和124，沿導(dǎo)引槽113和114被抽出 分離箱110。因此，過濾片126可以與第一和第二多孔板122和124—起，被 抽出分離箱110。
然后，用沒有捕獲過LG混合物液體成分L的純過濾片替換掉被浸透的過 濾片126，然后將純過濾片壓緊在第一和第二多孔板122和124之間。之后， 第一和第二多孔板122和124連同純過濾片126—起，沿導(dǎo)引槽113和114插 入到分離箱110中。
在一實(shí)施例中，各導(dǎo)引槽113和114的寬度W分別大于第一和第二多孔板 122和124的厚度，例如，寬度差不多大于該厚度約lmm至約3mm。
因此，第一和第二多孔板122和124在導(dǎo)引槽113和114中會(huì)略微上下擺 動(dòng)，從而過濾片126被更加壓緊于第一和第二多孔板122和124。因此，在第 一和第二多孔板122和124被抽出分離箱110時(shí)，過濾片126不會(huì)脫離第一和 第二多孔板122和124。
因此，只需通過使第一和第二多孔板122和124沿導(dǎo)引槽113和114離開 或插入分離箱110,就可輕易地完成過濾片126的更換，從而使過濾片126的 更換十分方便。
分離器100還包括蓋160和密封部件170。當(dāng)?shù)谝缓偷诙嗫装?22和124 連同過濾片126—起插入到分離器100中時(shí)，開口 112被蓋160封閉，并且密 封部件170被放置在分離箱IIO和蓋170之間。通過該密封部件170，使分離 箱110的內(nèi)部空間與分離箱110的外部密封。
在一實(shí)施例中，蓋160的形狀為尺寸與開口 112相同的板，并且通過穿透 密封部件170介質(zhì)的螺栓固定到分離箱110上。
例如，密封部件170包括較為便宜且密封性能較好的橡膠圈。密封部件170 還包括硅圈或具有很好抗氧化性的氟橡膠圈(vitonring)，其可用于LG混合 物的液體成分L包含強(qiáng)酸材料的情況中。
在一實(shí)施例中，排氣管130包括第一端部132，該第一端部位于分離箱110 中過濾單元120的第二多孔板124之下并可通過分離箱110的底部115向外延 伸，從而包括位于分離箱110之外的第二端部133。該第一端部132在分離箱 110中是封閉的，而第二端部133在分離箱110外是開放的。在本實(shí)施例中，第一端部132可被附加防護(hù)板134封閉?；蛘?，如本領(lǐng)域技術(shù)人員所知的那樣，
在制造排氣部件130時(shí)將第一端部132制成為封閉的。
在一實(shí)施例中，至少有一個(gè)排氣口 136位于分離箱110中第一端部132周 圍的排氣部件130外表面上。通過過濾單元120并且在過濾單元120之下流動(dòng) 的LG混合物的氣體成分G，流入排氣口 136，從而通過排氣部件130排出分 離箱110。
在一實(shí)施例中，排氣口 136位置高于分離箱110的底部115，因而通過過 濾單元120滴落到分離箱110底部115上的LG混合物的液體成分L，無法流 入排氣口 136中。
參考圖6進(jìn)一步詳細(xì)說明排氣部件130。
圖6為顯示圖2所示分離器的排氣部件的剖視圖。
參考圖6，在圓柱形排氣部件130的周面上設(shè)有多個(gè)排氣口 136，且各排 氣口之間隔開相同的間隔距離g。
當(dāng)排氣口 136之間的間隔距離g小于圓柱形排氣部件130的圓周長(zhǎng)度的 0.07倍，排氣口 136之間的剩余圓周面太小，使得在通過排氣部件130排放LG 混合物的氣體成分G時(shí)，排氣部件130會(huì)損壞。相反，當(dāng)排氣口 136之間的間 隔距離g大于圓柱形排氣部件130的圓周長(zhǎng)度的0.1倍，LG混合物的氣體成分 G難以通過排氣口 136排出。
因此，排氣口 136之間間隔距離g的范圍為圓柱形排氣部件130的圓周長(zhǎng) 度的0.07倍至0.1倍。
例如，排氣口 136設(shè)置在圓柱形排氣部件130的圓周面上，并且可用相對(duì) 于圓柱形排氣部件130的中心線的角度距離來測(cè)量排氣口的間隔距離。在本實(shí) 施例中，排氣口 136之間相對(duì)于圓柱形排氣部件130的中心線的間隔距離g為 約30° ，因而排氣口 136之間的圓周面剩余部分的形狀為圓心角為約30。的扇 形。
在一實(shí)施例中，排液部件140位于靠近排氣部件130的分離箱110的底部 115。積聚在分離箱110底部115上的LG混合物的液體成分L通過排液部件 140排出分離箱110。
因?yàn)長(zhǎng)G混合物的液體成分L密度大于LG混合物的氣體成分G，液體成 分L的排出體積大大小于氣體成分G的排出體積，該排液部件140的直徑可大 大小于排氣部件130的直徑。
參考圖7和圖8進(jìn)一步詳細(xì)說明排液部件140。
圖7為剖視圖，顯示了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的、如圖2所示的結(jié)合于分 離箱的排液部件；并且圖8為剖視圖，顯示了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的、如圖 2所示的結(jié)合于分離箱的排液部件。參考圖7，凹槽部116位于分離箱110的底部115上，因而凹槽部116的 底面低于分離箱IIO底部115的表面。因此，LG混合物的液體成分L聚集到 分離箱110的凹槽部116中。
排液部件140連接于凹槽部116。因此，凹槽部116中的LG混合物的液 體成分L通過排液部件140排出分離箱140。
參考圖8，分離箱110的底部115從中央部朝周邊部118傾斜一個(gè)預(yù)定的 傾角a，并且排液部件140穿透不帶凹槽部的底部。因此，LG混合物的液體部 分L由于該傾角a向下流到底部115的周邊部118，從而通過排液部件140排 出分離箱140。
在本實(shí)施例中，底部115的周邊部118與開口 112隔開。然而，正如本領(lǐng) 域技術(shù)人員所知，該周邊部115也可靠近開口 112。
例如，該傾角ct的確定取決于對(duì)分離箱110的整體尺寸和形狀的修正是最 小化的。在本實(shí)施例中，該傾角a范圍可為約3。至約5° 。
因此，第二多孔板124、多個(gè)過濾片116和第一多孔板122依次疊放在分 離箱110中，從而將過濾單元120安裝到分離箱110中。然后，LG混合物向 下流動(dòng)通過分離箱110中過濾單元120，從而LG混合物的液體成分L依次由 第一多孔板122、過濾片126和第二多孔板124過濾。然后，LG混合物的氣體 成分G通過排氣部件130的排氣口 136排出分離箱110。 LG混合物的液體成 分L滴落在分離箱IIO的底部，然后通過排氣部件140排出分離箱110。因此， 可在不增加分離箱IIO尺寸的情況下，將LG混合物分離成各自的液體成分L 和氣體成分G。
艮口，可使得分離箱IIO的裝置空間最小化，并且便于將分離器IOO的其它
裝置安裝在分離箱110的周圍。
圖9為包括圖1所示分離器的基板處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
參考圖9，根據(jù)本發(fā)明原理的實(shí)施例的基板處理設(shè)備1000包括處理室200、
傳送基板的傳送單元300、將處理溶液供應(yīng)到基板上的液體噴灑器400和將處
理氣體供應(yīng)到基板上的氣體噴灑器500、以及將液氣混合物分離成各自的液體
成分和氣體成分的分離器1000。
圖9中的分離器100具有與圖l至8所示分離器相同的結(jié)構(gòu)。因此，圖9 中，相同的附圖標(biāo)記表示圖1至8中所示相同的元件，從而省略了對(duì)相同元件 的詳細(xì)說明。
在一實(shí)施例中，處理室200提供內(nèi)部空間，基板S可裝載到該內(nèi)部空間中 并在其中對(duì)基板S實(shí)施各種處理。例如，基板S可包括用于液晶顯示器(LCD) 裝置的薄膜晶體管(TFT)玻璃基板和彩色濾光片(CF)玻璃基板，以及半導(dǎo) 體基板，例如集成電路裝置的晶片。
14在一實(shí)施例中，傳送單元300可位于處理室200的底部，并且基板S在裝 載到處理室200以及從處理室200中卸載時(shí)，位于傳送單元300上。g卩，基板 S通過傳送單元300被傳送到處理室300以及從處理室200中傳送出。例如， 傳送單元300可包括水平延伸在處理室200中，并垂直于基板S傳送方向的軸 310，以及按固定間隔結(jié)合于軸310的多個(gè)輥?zhàn)?20。
在一實(shí)施例中，液體噴灑器400可在處理室200的上部位于基板S的上方。 處理溶液L從處理室200的外部供應(yīng)到液體噴灑器400，并可噴灑到處理室200 中的基板S上。
例如，如果在處理室200中進(jìn)行蝕刻處理或清洗處理，處理溶液L可包括 去離子水，硫酸水溶液、鹽酸水溶液以及過氧化氫溶液。
在一實(shí)施例中，該傳送單元300可使基板S傾斜一個(gè)預(yù)定的處理角度，從 而使噴灑到基板S上的處理溶液因?yàn)樵撎幚斫嵌榷诨錝上往下流動(dòng)，從而 增加了對(duì)基板S處理的效率。例如，基板S相對(duì)于處理室200水平底面的處理 角度范圍可為3。至6° 。
在一實(shí)施例中，氣體噴灑器500可位于處理室200中液體噴灑器400的上 方。處理氣體G通過氣體噴灑器500噴到處理室200的整個(gè)內(nèi)部空間中。在本 實(shí)施例中，氣體噴灑器500可安裝到處理室200的頂板上。
因此，處理氣體G可在液體噴灑器400之上，從上部向下噴到處理室200 的底部，因而使得從液體噴灑器400噴出的處理溶液L可被處理氣體G朝基板 S驅(qū)動(dòng)。
因此，處理溶液L和處理氣體G在處理室200中相互混合，從而形成在處 理室200中流動(dòng)的液氣混合物。當(dāng)完成特定處理后，另一基板被裝載到處理室 200中時(shí)，該新基板會(huì)被在處理室200中流動(dòng)的LG混合物污染。
在一實(shí)施例中，分離器100設(shè)置在處理室200附近，并通過供應(yīng)管150連 接到處理室200。因此，處理室200中的LG混合物可通過供應(yīng)管150供應(yīng)到 分離器100中，并在分離器100中被分離成各自的液體成分L和氣體成分G。
例如，因?yàn)長(zhǎng)G混合物在處理室200中流動(dòng)，供應(yīng)管150連接到處理室200 的上部。供應(yīng)管150可安裝于處理室200的頂板210或靠近頂板210的側(cè)壁230 上。在本實(shí)施例中，供應(yīng)管150安裝于靠近處理室200頂板210的側(cè)壁230上， 從而便于設(shè)備1000的組裝。
分離器100包括與供應(yīng)管150在頂部連接的分離箱110，位于分離箱110 中供應(yīng)管150之下、并將通過供應(yīng)管150供應(yīng)到分離箱110中的LG混合物的 液體成分L過濾掉的過濾單元120，位于分離箱IIO底部過濾單元120之下的 排氣部件130，其構(gòu)造成排氣部件130的第一端部面向過濾單元120并且LG 混合物的氣體成分G通過該第一端部排出分離箱110，以及位于分離箱110底部靠近排氣部件130的第一排液部件140,LG混合物的液體成分L通過該第一 排液部件排出分離箱110。
在本實(shí)施例中，排氣部件130形狀為圓柱形，并包括將過濾單元120之下 的該圓柱第一端部封閉的附加防護(hù)板134，以及位于圓柱周面上靠近防護(hù)板134 的多個(gè)排氣口 126。 LG混合物的氣體成分G流入排氣口從而排出分離箱110。
真空泵600安裝于位于分離箱IIO外部的排氣部件130第二端部，從而使 經(jīng)由供應(yīng)管150到達(dá)分離箱110中的LG混合物的供應(yīng)加快。
具體地，真空泵600產(chǎn)生真空壓力，并且通過排氣部件130施加到供應(yīng)管 150和分離箱110。真空壓力不會(huì)受到分離箱110中的過濾單元120影響而下 降，因?yàn)檫^濾單元120構(gòu)造成參考圖1至8所述的、使真空下降最小化的結(jié)構(gòu)。
如上所述，將LG混合物分離成液體成分L和氣體成分G的分離器100位 于處理室200和真空泵600之間，因而可以防止真空泵600被LG的液體成分 L損壞。
此外，設(shè)備1000可包括連接于處理室200底部的第二排液部件700。處理 溶液從液體噴灑器400供應(yīng)到基板S上來處理基板S，并且殘余處理溶液留在 處理室200的底部。殘余處理溶液通過第二排液部件700排出處理室200中。
在一實(shí)施例中，從第二排液部件700排出的殘余處理溶液收集到另外的收 集器(圖中未示)中，并可再次供應(yīng)到液體噴灑器400中，從而使殘余處理溶 液再生。
因此，通過分離器IOO可將液體成分L有效地從LG混合物中分離，并且 被分離的液體成分L可在設(shè)備1000中再生。
根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的某些實(shí)施例，當(dāng)LG混合物排出處理室時(shí)，LG混合物的 液體成分L可被分離器有效地過濾，從而充分防止了真空泵因LG混合物的液 體成分L而損壞。
上述為實(shí)施例的說明性描述，而不構(gòu)成對(duì)其的限制。雖然說明了一些實(shí)施 例，但本領(lǐng)域技術(shù)人員很容易知道可在實(shí)質(zhì)上不脫離本發(fā)明的新穎性教導(dǎo)和優(yōu) 點(diǎn)的情況下，對(duì)實(shí)施例進(jìn)行許多修改。因此，所有此類修改都要包括在權(quán)利要 求所限定的發(fā)明范圍中。在權(quán)利要求中，手段加功能的表述意欲涵蓋執(zhí)行所提 及功能的結(jié)構(gòu)，不僅包括結(jié)構(gòu)等同物也包括等同結(jié)構(gòu)。因此，應(yīng)理解上述為各 種實(shí)施例的說明性描述，而不構(gòu)成對(duì)所披露的特定實(shí)施例的限制，并且對(duì)所披 露實(shí)施例以及其它實(shí)施例的修改，要包括在后附權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種從液氣混合物中分離液體成分的分離器，包括分離箱，包括設(shè)置在其頂部的進(jìn)口，所述液氣混合物通過所述進(jìn)口被提供到所述分離箱中；在所述分離箱中位于所述進(jìn)口之下的過濾單元，所述過濾單元從所述液氣混合物中過濾所述液體成分；處于所述分離箱底部的排氣部件，其形成為這樣的構(gòu)造，即所述排氣部件的封閉端部面向所述過濾單元，并且至少一個(gè)排氣口設(shè)置在所述排氣部件的側(cè)壁上，所述液氣混合物的氣體成分通過所述排氣口排出到所述分離箱外；以及位于所述分離箱底部的排液部件，所述液氣混合物的液體成分通過所述排液部件排出到所述分離箱外。
2. 如權(quán)利要求l所述的分離器，其中所述排氣口位置高于所述分離箱底部 的表面。
3. 如權(quán)利要求1所述的分離器，其中所述過濾單元包括第一多孔板和第二 多孔板，穿過所述第一多孔板設(shè)置有多個(gè)具有第一直徑的第一孔，所述第二多 孔板上設(shè)置多個(gè)具有比所述第一直徑小的第二直徑的第二孔，所述第二多孔板 位于所述第一多孔板之下，形成為這樣的構(gòu)造，即所述分離箱的內(nèi)部空間被分 割成小的子空間。
4. 如權(quán)利要求3所述的分離器，其中所述第一孔的總面積與所述進(jìn)口的截 面積之比的范圍為約1.1至約1.5;并且所述第二孔的總面積與所述進(jìn)口的截面 積之比的范圍為約1.0至約1.2。
5. 如權(quán)利要求3所述的分離器，其中所述第一孔的第一直徑為所述進(jìn)口的 直徑的約0.1至約0.3倍；并且所述第二孔的第二直徑為所述第一孔的第一直 徑的約0.7至約0.9倍。
6. 如權(quán)利要求3所述的分離器，其中所述過濾單元包括至少一個(gè)放置于所 述第一多孔板和第二多孔板之間的過濾片，所述過濾片具有細(xì)纖維絲。
7. 如權(quán)利要求6所述的分離器，其中所述分離箱還包括在其側(cè)壁的開口， 封閉所述開口的蓋，以及用以密封所述開口周圍的、所述蓋與所述分離箱之間 間隙的密封部件，所述第一多孔板和第二多孔板以及放置在所述第一多孔板和 第二多孔板之間的過濾片通過所述開口安裝到所述分離箱中或從所述分離箱 中取出。
8. 如權(quán)利要求7所述的分離器，其中所述分離箱還包括從開口沿所述分離 箱的內(nèi)側(cè)壁延伸的第一導(dǎo)引槽和第二導(dǎo)引槽，所述第一多孔板和第二多孔板分 別插入到所述第一導(dǎo)引槽和第二導(dǎo)引槽中并被導(dǎo)引到所述分離箱中。
9. 如權(quán)利要求8所述的分離器，其中所述第一導(dǎo)引槽的寬度大于所述第一多孔板的厚度約lmm至約3mm;并且所述第二導(dǎo)引槽的寬度大于所述第二多 孔板的厚度約lmm至約3mm。
10. 如權(quán)利要求1所述的分離器，其中所述分離箱還包括在其底部的凹槽 部，并且所述排液部件連接于所述分離箱的凹槽部。
11. 如權(quán)利要求1所述的分離器，其中所述分離箱底部從其中央部向周邊 部?jī)A斜，并且所述排液部件連接于所述分離箱底部的所述周邊部。
12. 如權(quán)利要求1所述的分離器，其中所述排氣部件為圓柱形，并且多個(gè) 所述排氣口設(shè)置在所述封閉端部周圍的所述圓柱形排氣部件的圓周面上并隔 開相同的間隔距離，所述間隔距離為所述圓柱形排氣部件的圓周長(zhǎng)度的約0.07 至約0.1倍。
13. —種基板處理設(shè)備，包括 處理室，所述基板在其中被處理；在所述處理室中位于所述基板之上的液體噴灑器，所述液體噴灑器將處理 溶液噴灑到所述基板上；在所述處理室中位于所述液體噴灑器之上的氣體噴灑器，所述氣體噴灑器 將處理氣體噴灑到所述處理室的整個(gè)內(nèi)部空間中；通過供應(yīng)管連接到所述處理室的分離器，所述分離器在通過所述供應(yīng)管從 所述處理室供應(yīng)到所述分離器的溶液一氣體混合物中將所述處理溶液和所述 處理氣體分離出來，所述分離器包括分離箱，包括設(shè)置在其頂部、并與所述供應(yīng)管連接的進(jìn)口；在所述分離箱中位于所述進(jìn)口之下的過濾單元，所述過濾單元從所述溶液 一氣體混合物中過濾所述處理溶液成分；位于所述分離箱底部的排氣部件，其形成為這樣的構(gòu)造，即所述排氣部件 的封閉第一端部面向所述過濾單元，并且至少一個(gè)排氣口設(shè)置在所述排氣部件 的側(cè)壁上，所述溶液一氣體混合物的處理氣體成分通過所述排氣口排出到所述 分離箱外；以及位于所述分離箱底部的第一排液部件，所述溶液一氣體混合物的處理溶液 成分通過所述第一排液部件排出到所述分離箱外。
14. 如權(quán)利要求13所述的設(shè)備，還包括真空泵，與所述排氣部件的第一端 部相對(duì)的、處在所述分離箱外部的第二端部連接于所述真空泵，從而由所述真 空泵產(chǎn)生真空壓力，并經(jīng)由所述分離箱將該真空壓力施加到所述供應(yīng)管。
15. 如權(quán)利要求13所述的設(shè)備，還包括連接于所述處理室底部的第二排液 部件，留在所述處理室底部上的殘余處理溶液通過所述第二排液部件被排出到 所述處理室外。
16.如權(quán)利要求15所述的設(shè)備，其中所述第一排液部件與所述第二排液部 件相連接，從而使被過濾單元從所述溶液一氣體混合物中過濾出的溶液成分通 過所述第二排液部件排出到所述設(shè)備外。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種分離液氣混合物的分離器及包含該分離器的基板處理設(shè)備。在一種從液氣混合物中分離液體成分的分離器中，分離器包括分離箱，其具有設(shè)置在頂部的進(jìn)口，在所述分離箱中位于所述進(jìn)口之下的過濾單元，處于所述分離箱底部的排氣部件，以及位于所述分離箱底部的排液部件。所述液氣混合物通過所述進(jìn)口被提供到所述分離箱中，并且所述過濾單元從所述液氣混合物中過濾所述液體成分。所述排氣部件形成為這樣的構(gòu)造，即其封閉端部面向所述過濾單元，并且至少一個(gè)排氣口設(shè)置在所述排氣部件的側(cè)壁上。所述液氣混合物的氣體成分通過所述排氣口排出到所述分離箱外。所述液氣混合物的液體成分通過所述排液部件排出到所述分離箱外。所述液體成分被有效地從液氣混合物中分離出來，而不用增加裝置空間。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101670215SQ200910170848
公開日2010年3月17日 申請(qǐng)日期2009年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月10日
發(fā)明者金正善 申請(qǐng)人:細(xì)美事有限公司