專利名稱：液晶顯示裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示裝置。
背景技術：
液晶顯示裝置因具有廣視角，高亮度，高對比度，低能耗，體積輕薄等優(yōu)點而得到 廣泛的應用。請參閱圖1，圖1是一種現(xiàn)有技術的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)示意圖。該液晶 顯示裝置10包括掃描線11、與該掃描線11相交的數(shù)據(jù)線12以及由該掃描線11和該數(shù)據(jù) 線12界定的像素單元。在該掃描線11和該數(shù)據(jù)線12的相交處，該掃描線11和該數(shù)據(jù)線 12之間設置有介電層，該介電層使該掃描線11和該數(shù)據(jù)線12彼此電性隔絕。在該掃描線 11和該數(shù)據(jù)線12的相交處，該數(shù)據(jù)線12分成多條支路，其中，附圖中僅示出兩條支路。該像素單元包括一薄膜晶體管13以及一像素電極14，該薄膜晶體管13的柵極連 接該掃描線11，該薄膜晶體管13的源極經(jīng)由該數(shù)據(jù)線的分支連接該數(shù)據(jù)線12，該薄膜晶體 管13的漏極連接該像素電極14。在該液晶顯示裝置10的制造過程中，該掃描線11和數(shù)據(jù)線12相交處的介電層常 會因品質(zhì)不良而使該掃描線11和數(shù)據(jù)線12發(fā)生短路現(xiàn)象。針對這一問題，現(xiàn)有技術通常 將該掃描線11和數(shù)據(jù)線12相交處發(fā)生短路的支路切斷，然后通過激光化學氣相沉積的方 式形成一金屬層，利用該金屬層將切斷的支路兩端重新連接以進行修復?；蛘邔⒃搾呙杈€ 11和數(shù)據(jù)線12相交處發(fā)生短路的支路切斷后，直接利用未發(fā)生短路的支路進行連接以進 行修復，從而省去了激光化學氣相沉積工序。在該掃描線11和該數(shù)據(jù)線12的相交處，將該數(shù)據(jù)線12分成多條支路以進行修 復，可以防止該掃描線11和該數(shù)據(jù)線12的相交處短路，然而，為保證修補后相交處的電阻 不過大，該數(shù)據(jù)線12每一支路的需要保證一定寬度，因此會降低了像素單元的開口率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠保證修復效果同時具有較大開口率的液晶顯示直ο—種液晶顯示裝置，包括掃描線、與該掃描線相交的數(shù)據(jù)線和由該掃描線和數(shù)據(jù) 線定義的像素單元，該像素單元包括薄膜晶體管和像素電極，該薄膜晶體管包括柵極、源極 和漏極，該數(shù)據(jù)線包括設置于該掃描線兩側(cè)且向該像素單元內(nèi)延伸的至少兩個分支，該薄 膜晶體管的柵極連接該掃描線，該薄膜晶體管的漏極連接該像素電極，該薄膜晶體管的源 極經(jīng)由該數(shù)據(jù)線的至少兩個分支連接該數(shù)據(jù)線。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該薄膜晶體管的源極呈U形，該薄膜晶體管的漏極 設置于該源極的U形開口內(nèi)。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該薄膜晶體管的源極的U形開口方向與該掃描線的 延伸方向平行。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該薄膜晶體管的U形源極的兩個側(cè)臂設置于該掃描線的兩側(cè)，該兩個側(cè)臂分別經(jīng)由設置于該掃描線兩側(cè)的分支與該數(shù)據(jù)線連接。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該薄膜晶體管的源極的U形開口方向與該掃描線的 延伸方向垂直。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該薄膜晶體管的源極呈長條形，該薄膜晶體管的源 極所在的區(qū)域與該掃描線所在的區(qū)域疊合。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該液晶顯示裝置還包括一金屬層，該金屬層設置于 該數(shù)據(jù)線和該掃描線的交叉處的該數(shù)據(jù)線的表面。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該金屬層還設置于該數(shù)據(jù)線的分支以及該薄膜晶體 管的源極的表面。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該金屬層經(jīng)由設置于該數(shù)據(jù)線和該掃描線的交叉處 兩側(cè)的接觸孔與該數(shù)據(jù)線接觸。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該接觸孔呈狹長形。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，在該接觸孔的位置處，該數(shù)據(jù)線的寬度加寬，該數(shù)據(jù) 線的加寬處呈方形或者圓形或者橢圓形。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該金屬層直接與該數(shù)據(jù)線接觸。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該金屬層的材料為氧化銦錫或者氧化銦鋅。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該數(shù)據(jù)線、該數(shù)據(jù)線的至少兩個分支以及該薄膜晶 體管的源極所圍的區(qū)域形成開孔。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，在該像素單元內(nèi)，該掃描線呈彎折狀，該掃描線與該 薄膜晶體管的漏極所在的區(qū)域錯開。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，在該像素單元內(nèi)，該薄膜晶體管所在的區(qū)域與該掃 描線所在的區(qū)域部分重疊。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該數(shù)據(jù)線還包括設置于該數(shù)據(jù)線和掃描線交叉處的 分支，該分支與該掃描線疊合且與該薄膜晶體管的源極連接。本發(fā)明優(yōu)選的一種技術方案，該薄膜晶體管的柵極由該掃描線在該像素單元內(nèi)的 增寬部分形成。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的液晶顯示裝置應用設置于該掃描線的兩側(cè)用于連接薄 膜晶體管源極的分支作為該數(shù)據(jù)線的修補線。無須在數(shù)據(jù)線與掃描線的相交處形成多個分 支，從而能夠保證修復效果的同時擴大了該液晶顯示裝置的開口率。


圖1是一種現(xiàn)有技術的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是本發(fā)明的第一實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3-圖5是圖2所示的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的修復示意圖。圖6是本發(fā)明的第二實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖7是本發(fā)明的第三實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖8是圖7所示的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的修復示意圖。圖9是本發(fā)明的第四實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖10是本發(fā)明的第五實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。5
圖11是圖10所示的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的修復示意圖。圖12是本發(fā)明的第六實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖13是本發(fā)明的第七實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖14是本發(fā)明的第八實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖15是本發(fā)明的第九實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。圖16是本發(fā)明的第十實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步 的詳細描述。請參閱圖2，圖2是本發(fā)明的第一實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。 該液晶顯示裝置20包括數(shù)據(jù)線201、與該數(shù)據(jù)線201相交的掃描線202以及由該數(shù)據(jù)線201 和該掃描線202定義的像素單元。在該數(shù)據(jù)線201和該掃描線202的相交處，該數(shù)據(jù)線201 包括設置于該相交處掃描線202兩側(cè)且向該像素單元內(nèi)延伸的至少兩個分支205。優(yōu)選的， 該數(shù)據(jù)線201包括兩個分支205，該兩分支205分別設置與該掃描線202兩側(cè)。該像素單元包括薄膜晶體管203和像素電極204。該薄膜晶體管203包括柵極 206、源極207和漏極208。該薄膜晶體管203的柵極206由該掃描線202在該像素單元內(nèi) 的增寬部分形成。該薄膜晶體管203的源極207和漏極208設置于該柵極上。該薄膜晶體 管203的源極207呈U形，該U型源極207的開口方向與該掃描線202延伸的方向平行。該 U形源極207包括兩個側(cè)臂和一個底部，該兩個側(cè)臂設置于該掃描線202的兩側(cè)并通過該 底部相連。該源極207經(jīng)由該數(shù)據(jù)線201的至少兩個分支205連接該數(shù)據(jù)線201，優(yōu)選的， 該U形源極207的兩個側(cè)臂分別經(jīng)由設置于該掃描線202兩側(cè)的分支205與該數(shù)據(jù)線201 連接。該數(shù)據(jù)線201、該數(shù)據(jù)線201的至少兩個分支205以及該薄膜晶體管203的源極207 所圍的區(qū)域形成開孔。該薄膜晶體管203的漏極208連接該像素電極204，該漏極208設置 于該源極207的開口內(nèi)。優(yōu)選的，在該像素單元內(nèi)，該掃描線202呈彎折狀，使該掃描線202 與該薄膜晶體管203的漏極208所在的區(qū)域錯開，這樣可以減小該薄膜晶體管203的漏極 208與該掃描線202間的寄生電容，從而避免了閃爍等不良現(xiàn)象的發(fā)生。圖3-圖5是圖2所示的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的修復示意圖。如圖3所示，當 該數(shù)據(jù)線201與該掃描線202的相交處209出現(xiàn)短路時，只需將該數(shù)據(jù)線201在該相交處 209的兩側(cè)210進行激光切割，則該數(shù)據(jù)線201中的電流經(jīng)該數(shù)據(jù)線201的分支205和該薄 膜晶體管203的源極207而流過該相交處209，從而修復該液晶顯示裝置20的像素單元，該 數(shù)據(jù)線201中的電流流向如圖4所示。當該數(shù)據(jù)線201在與該掃描線202的相交處209出現(xiàn)斷路時，該數(shù)據(jù)線201中的 電流經(jīng)該數(shù)據(jù)線201的分支205和該薄膜晶體管203的源極207而流過該相交處209，從而 修復該液晶顯示裝置20的像素單元，該數(shù)據(jù)線201中的電流流向如圖4所示。當該數(shù)據(jù)線201與該薄膜晶體管203的源極207連接的分支205斷路時，數(shù)據(jù)線 201借助其他分支205連接該該薄膜晶體管203源極207，從而該薄膜晶體管203仍正常工 作。以該液晶顯示裝置20為長白模式為例，當該薄膜晶體管20的源極207與柵極206短路時，該液晶顯示裝置20將出現(xiàn)白色畫面下的暗線，此時，將該數(shù)據(jù)線201的所有分支進 行激光切斷，然后在該漏極208和該柵極206的疊合處214進行激光焊接，如圖5所示，使 該像素電極204的電壓與該掃描線202的電壓同電位，從而將像素點變成亮點，使得暗線消失。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明第一實施方式的液晶顯示裝置20的數(shù)據(jù)線201的分支 205設置于該掃描線202的兩側(cè)且延伸至該像素單元內(nèi)，該分支205并不受該數(shù)據(jù)線12的 線寬以及兩個像素單元之間的空間大小的限制，因此，該分支205的寬度可以根據(jù)需要而 設置到最佳值，從而保證該液晶顯示裝置20的像素單元的修繕效果。更進一步的，該液晶 顯示裝置20應用設置于該掃描線202的兩側(cè)用于連接薄膜晶體管源極207的分支作為該 數(shù)據(jù)線的修補線。無須在數(shù)據(jù)線201與掃描線202的相交處形成多個分支，從而增加了該 液晶顯示裝置20的開口率。請參閱圖6，圖6是本發(fā)明的第二實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。 該液晶顯示裝置30與第一實施方式的液晶顯示裝置20的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別在于，像素單元的 薄膜晶體管的源極307的U形開口方向與掃描線302的延伸方向垂直，從而減小該薄膜晶 體管的漏極308與該掃描線302之間的寄生電容。該薄膜晶體管的源極307的U形開口方 向與掃描線302之間的夾角也可以在0至90之間，只要可以減小該薄膜晶體管的漏極308 與該掃描線302之間的寄生電容即可。請參閱圖7，圖7是本發(fā)明的第三實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。 該液晶顯示裝置40與第一實施方式的液晶顯示裝置20的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別在于，該液晶顯示 裝置40還包括一金屬層415，該金屬層415設置于數(shù)據(jù)線401和掃描線402的交叉處的數(shù) 據(jù)線401的表面。該金屬層415經(jīng)由設置于該數(shù)據(jù)線401和該掃描線402的交叉處兩側(cè)的 接觸孔416與該數(shù)據(jù)線401接觸。優(yōu)選的，該金屬層415的材料為氧化銦錫(ITO)或者氧 化銦鋅(IZO)。請參閱圖8，圖8是圖7所示的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的修復示意圖。當該數(shù) 據(jù)線401在與該掃描線402的相交處發(fā)生斷路或者該數(shù)據(jù)線201在該相交處的兩側(cè)410發(fā) 生斷路時，不需任何修復工序，該數(shù)據(jù)線401上的電流經(jīng)過該金屬層415跨過該斷路點。當 該數(shù)據(jù)線401與該掃描線402的相交處發(fā)生短路時，采用合適的鐳射切割能量將該數(shù)據(jù)線 201在該相交處的兩側(cè)410切斷，該數(shù)據(jù)線401上的電流經(jīng)過該金屬層415跨過該短路點， 從而降低了該液晶顯示裝置40的不良率的比例。當然，本實施方式的液晶顯示裝置40也 可以采用第一實施方式的液晶顯示裝置20的修復方法。請參閱圖9，圖9是本發(fā)明的第四實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意圖。 該液晶顯示裝置50與第三實施方式的液晶顯示裝置40的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別在于，在金屬層 515與數(shù)據(jù)線501間的接觸孔516的位置處，該數(shù)據(jù)線501寬度加寬，同時該接觸孔516也 相應地加寬，以解決該數(shù)據(jù)線504與該接觸孔516接觸面積較小導致的接觸電阻過大而引 起信號偏移的問題。優(yōu)選的，該數(shù)據(jù)線501加寬的部分517呈方形或者圓形或者橢圓形。本 實施方式的液晶顯示裝置50的修復方式與第三實施方式的液晶顯示裝置40的修復方式相 似。請參閱圖10，圖10是本發(fā)明的第五實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意 圖。該液晶顯示裝置60與第三實施方式的液晶顯示裝置40的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別在于，金屬層615還設置于數(shù)據(jù)線601的分支605以及薄膜晶體管的源極607的表面。在該數(shù)據(jù)線601 和掃描線602的相交處、該數(shù)據(jù)線601的分支605以及薄膜晶體管的源極607發(fā)生斷路時， 不需任何修復，該液晶顯示裝置60仍能正常工作，如圖11所示。當該數(shù)據(jù)線601在和掃描 線602的相交處發(fā)生短路或者該數(shù)據(jù)線601的分支605之間發(fā)生短路或者薄膜晶體管的源 極的兩個側(cè)臂之間發(fā)生短路時，只需進行適當?shù)那懈?，該液晶顯示裝置60仍能正常工作。請參閱圖12，圖12是本發(fā)明的第六實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意 圖。該液晶顯示裝置70與第五實施方式的液晶顯示裝置60的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別在于，數(shù)據(jù)線 701與金屬層715之間的接觸孔716呈狹長形，從而增加該接觸孔716的面積減小接觸電 阻。本實施方式的液晶顯示裝置70的修復方式與第五實施方式的液晶顯示裝置60的修復 方式相似。請參閱圖13，圖13是本發(fā)明的第七實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意 圖。本實施方式的液晶顯示裝置80與第一實施方式的液晶顯示裝置20的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別 在于，數(shù)據(jù)線801還包括設置于該數(shù)據(jù)線801和掃描線802交叉處的分支818，該分支818 與該掃描線802疊合且與該薄膜晶體管的源極807連接。請參閱圖14，圖14是本發(fā)明的第八實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意 圖。本實施方式的液晶顯示裝置90與第七實施方式的液晶顯示裝置80的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別 在于，該液晶顯示裝置90還包括一金屬層915，該金屬層915設置于數(shù)據(jù)線和掃描線的交叉 處的數(shù)據(jù)線的表面、該數(shù)據(jù)線的分支的表面以及薄膜晶體管的源極的表面。該金屬層915 經(jīng)由設置于該數(shù)據(jù)線和該掃描線的交叉處兩側(cè)的接觸孔與該數(shù)據(jù)線接觸。優(yōu)選的，該金屬 層915的材料為氧化銦錫(ITO)或者氧化銦鋅(IZO)。請參閱圖15，圖15是本發(fā)明的第九實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意 圖。本實施方式的液晶顯示裝置100與第八實施方式的液晶顯示裝置90的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別 在于，金屬層105直接與數(shù)據(jù)線101接觸。請參閱圖16，圖16是本發(fā)明的第十實施方式的液晶顯示裝置的像素結(jié)構(gòu)的示意 圖。本實施方式的液晶顯示裝置110與第一實施方式的液晶顯示裝置20的結(jié)構(gòu)相似，區(qū)別 在于，薄膜晶體管的源極117呈長條形，該薄膜晶體管的源極117通過數(shù)據(jù)線111的分支 115與該數(shù)據(jù)線111連接，該薄膜晶體管的源極117所在的區(qū)域與掃描線112所在的區(qū)域疊 合，本實施方式的液晶顯示裝置110可以進一步提高開口率。本實施方式的液晶顯示裝置 110的修復方式與第一實施方式的液晶顯示裝置20的修復方式相似。在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下還可以構(gòu)成許多有很大差別的實施例。應 當理解，除了如所附的權利要求所限定的，本發(fā)明不限于在說明書中所述的具體實施例。
權利要求
1.一種液晶顯示裝置，包括掃描線、與該掃描線相交的數(shù)據(jù)線和由該掃描線和數(shù)據(jù)線 定義的像素單元，該像素單元包括薄膜晶體管和像素電極，該薄膜晶體管包括柵極、源極和 漏極，其特征在于，該數(shù)據(jù)線包括設置于該掃描線兩側(cè)且向該像素單元內(nèi)延伸的至少兩個 分支，該薄膜晶體管的柵極連接該掃描線，該薄膜晶體管的漏極連接該像素電極，該薄膜晶 體管的源極經(jīng)由該數(shù)據(jù)線的至少兩個分支連接該數(shù)據(jù)線。
2.如權利要求1所述的液晶顯示裝置，其特征在于該薄膜晶體管的源極呈U形，該薄 膜晶體管的漏極設置于該源極的U形開口內(nèi)。
3.如權利要求2所述的液晶顯示裝置，其特征在于該薄膜晶體管的源極的U形開口 方向與該掃描線的延伸方向平行。
4.如權利要求3所述的液晶顯示裝置，其特征在于該薄膜晶體管的U形源極的兩個 側(cè)臂設置于該掃描線的兩側(cè)，該兩個側(cè)臂分別經(jīng)由設置于該掃描線兩側(cè)的分支與該數(shù)據(jù)線 連接。
5.如權利要求2所述的液晶顯示裝置，其特征在于該薄膜晶體管的源極的U形開口 方向與該掃描線的延伸方向垂直。
6.如權利要求1所述的液晶顯示裝置，其特征在于該薄膜晶體管的源極呈長條形，該 薄膜晶體管的源極所在的區(qū)域與該掃描線所在的區(qū)域疊合。
7.如權利要求1到4中任意一項所述的液晶顯示裝置，其特征在于該液晶顯示裝置 還包括一金屬層，該金屬層設置于該數(shù)據(jù)線和該掃描線的交叉處的該數(shù)據(jù)線的表面。
8.如權利要求7所述的液晶顯示裝置，其特征在于該金屬層還設置于該數(shù)據(jù)線的分 支以及該薄膜晶體管的源極的表面。
9.如權利要求7所述的液晶顯示裝置，其特征在于該金屬層經(jīng)由設置于該數(shù)據(jù)線和 該掃描線的交叉處兩側(cè)的接觸孔與該數(shù)據(jù)線接觸。
10.如權利要求9所述的液晶顯示裝置，其特征在于該接觸孔呈狹長形。
11.如權利要求9所述的液晶顯示裝置，其特征在于在該接觸孔的位置處，該數(shù)據(jù)線 的寬度加寬。
12.如權利要求11所述的液晶顯示裝置，其特征在于在該接觸孔的位置處，該數(shù)據(jù)線 的加寬處呈方形或者圓形或者橢圓形。
13.如權利要求7所述的液晶顯示裝置，其特征在于該金屬層直接與該數(shù)據(jù)線接觸。
14.如權利要求7所述的液晶顯示裝置，其特征在于該金屬層的材料為氧化銦錫或者氧化銦鋅。
15.如權利要求1到6中任意一項所述的液晶顯示裝置，其特征在于該數(shù)據(jù)線、該數(shù) 據(jù)線的至少兩個分支以及該薄膜晶體管的源極所圍的區(qū)域形成開孔。
16.如權利要求1到4中任意一項所述的液晶顯示裝置，其特征在于在該像素單元 內(nèi)，該掃描線呈彎折狀，該掃描線與該薄膜晶體管的漏極所在的區(qū)域錯開。
17.如權利要求1到6中任意一項所述的液晶顯示裝置，其特征在于在該像素單元 內(nèi)，該薄膜晶體管所在的區(qū)域與該掃描線所在的區(qū)域部分重疊。
18.如權利要求1到4中任意一項所述的液晶顯示裝置，其特征在于該數(shù)據(jù)線還包括 設置于該數(shù)據(jù)線和掃描線交叉處的分支，該分支與該掃描線疊合且與該薄膜晶
19.如權利要求1到6中任意一項所述的液晶顯示裝置，其特征在于該薄膜晶體管的 柵極由該掃描線在該像素單元內(nèi)的增寬部分形成。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種液晶顯示裝置。該液晶顯示裝置包括掃描線、與該掃描線相交的數(shù)據(jù)線和由該掃描線和數(shù)據(jù)線定義的像素單元，該像素單元包括薄膜晶體管和像素電極，該薄膜晶體管包括柵極、源極和漏極，該數(shù)據(jù)線包括設置于該掃描線兩側(cè)且向該像素單元內(nèi)延伸的多個分支，該薄膜晶體管的柵極連接該掃描線，該薄膜晶體管的漏極連接該像素電極，該薄膜晶體管的源極經(jīng)由該數(shù)據(jù)線的多個分支連接該數(shù)據(jù)線。本發(fā)明的液晶顯示裝置能夠保證修復效果的同時具有較大開口率。
文檔編號H01L23/528GK102053430SQ20091019813
公開日2011年5月11日 申請日期2009年11月3日 優(yōu)先權日2009年11月3日
發(fā)明者黃賢軍 申請人:上海天馬微電子有限公司