專(zhuān)利名稱(chēng)：真空腔定位機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空腔定位機(jī)構(gòu)，尤其涉及一種對(duì)提供真空環(huán)境的真空腔體進(jìn)行密封的腔蓋進(jìn)行定位及支撐的真空腔定位機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，人們對(duì)數(shù)碼產(chǎn)品的使用要求不斷提高，尤其是數(shù)碼產(chǎn) 品的顯示屏。OLED顯示屏就是數(shù)碼產(chǎn)品中的一種新產(chǎn)品，OLED即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又禾爾為有機(jī)電發(fā)光顯不(OrganicElectroluminesence Display, 0ELD)，OLED是一種低電壓、低功耗、高亮度、高光效、寬視覺(jué)、全固化、全彩顯、重量輕、價(jià)格 低的電致發(fā)光器件，正成為當(dāng)今世界顯示器件研究的熱點(diǎn)，因此，具有較大的市場(chǎng)潛力。在此類(lèi)半導(dǎo)體、電子工業(yè)及機(jī)械領(lǐng)域，特別是目前在真空制造和有潔凈度要求的 領(lǐng)域，為了達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量的要求，其工藝過(guò)程都需要一個(gè)干凈的加工環(huán)境，例如在半導(dǎo)體加 工過(guò)程中廣泛應(yīng)用的化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕、氧化等工藝制程，為 了提供一個(gè)較佳的工藝環(huán)境，加工過(guò)程往往都在一個(gè)封閉的腔體內(nèi)進(jìn)行，這個(gè)時(shí)候就需要 一種腔體設(shè)備，特別是真空腔體設(shè)備，腔體設(shè)備是貫穿整個(gè)生產(chǎn)制程，且也是最普遍、最重 要的設(shè)備。隨著廣泛應(yīng)用在制造電致發(fā)光顯示裝置中的玻璃襯底已經(jīng)變得越來(lái)越大，例如在 第六代尺寸為1500mmX 1800mm，第七代中尺寸為1870mmX2200mm，以及在第八代中尺寸為 2160mmX2400mm的玻璃襯底都會(huì)被引入到生產(chǎn)線(xiàn)。較大的玻璃襯底當(dāng)然需要更大的腔體與 腔蓋與之適應(yīng)，所以腔蓋的重量相對(duì)應(yīng)的會(huì)越來(lái)越重。然而，有時(shí)候?yàn)榱吮ＷC腔體內(nèi)的真空 質(zhì)量，需要定期或不定期的對(duì)腔體內(nèi)的部件進(jìn)行清理和維護(hù)，比如腔體內(nèi)部零部件需要更 換、改造、調(diào)試或者說(shuō)腔體內(nèi)部需要清理的時(shí)候，就需要將腔蓋打開(kāi)進(jìn)行維護(hù)。在維護(hù)的過(guò) 程中既要確保調(diào)試人員的安全和腔蓋的穩(wěn)定，又要保證調(diào)試的方便性，所以對(duì)腔蓋進(jìn)行穩(wěn) 定定位的機(jī)構(gòu)相當(dāng)?shù)闹匾６F(xiàn)有的定位裝置要么穩(wěn)定性及可靠性不足，并且結(jié)構(gòu)過(guò)于復(fù)
ο因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能安全可靠的具有定位及支撐功能的真空腔定位機(jī) 構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能安全可靠的具有定位及支撐功能的真 空腔定位機(jī)構(gòu)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種真空腔定位機(jī)構(gòu)，適用于對(duì)提供真空環(huán)境的 真空腔體進(jìn)行密封的腔蓋進(jìn)行定位及支撐，所述真空腔定位機(jī)構(gòu)包括支架、支臂、鉸鏈軸及 定位桿，所述支架的起始端與所述真空腔體固定連接，所述支臂的起始端與所述腔蓋固定 連接，所述支架的末端與所述支臂的末端相互重疊且均開(kāi)設(shè)有相互對(duì)應(yīng)的容置孔，所述鉸 鏈軸樞接地穿過(guò)所述容置孔使所述支架與所述支臂樞接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心為圓心等徑地開(kāi)設(shè)有定位孔，所述定位桿可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔內(nèi)實(shí)現(xiàn)支臂與支架的固定。較佳地，所述支架上開(kāi)設(shè)有與所述定位桿數(shù)量相等的暫存孔，所述暫存孔容置所 述定位桿。在腔蓋上升或者下降過(guò)程及腔蓋關(guān)閉時(shí)，不需要使用所述定位桿對(duì)腔蓋進(jìn)行鎖 定，所述定位桿脫離于所述定位孔之外，為了保證定位桿不至于丟失或者遺落，在所述支架 上設(shè)置的所述暫存孔可用于暫時(shí)存放所述定位桿，防止所述定位桿丟失。較佳地，所述支架的末端還固定連接有支架加強(qiáng)塊，所述支臂的末端還固定連接 有支臂加強(qiáng)塊，所述支架加強(qiáng)塊及所述支臂加強(qiáng)塊相互重疊，所述容置孔及定位孔開(kāi)設(shè)于 所述支架加強(qiáng)塊及所述支臂加強(qiáng)塊上。由于真空腔定位機(jī)構(gòu)一般用于對(duì)較大的腔蓋進(jìn)行定 位，腔蓋重量都比較大，在定位過(guò)程中，極有可能因?yàn)榍簧w太重而導(dǎo)致支架及支臂出現(xiàn)彎曲 變形，嚴(yán)重時(shí)甚至斷裂，對(duì)正在進(jìn)在清理或維護(hù)腔體的工作人員造成致命的傷害。因此，在 所述支架及支臂上增加了支架加強(qiáng)塊及支臂加強(qiáng)塊可以增加所述支架及所述支臂的強(qiáng)度， 從而使所述支架及所述支臂具有足夠的支撐力支撐笨重的腔蓋，保證整個(gè)真空腔定位機(jī)構(gòu) 穩(wěn)定性及可靠性，防止意外的發(fā)生。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明所述支架及所述支臂通過(guò)鉸鏈軸鉸接，并在所述支 架及所述支臂的所述容置孔周?chē)运鋈葜每椎闹行臑閳A心等徑地設(shè)置所述定位孔，定位 時(shí)，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)所述支臂，所述支臂圍繞所述容置孔的中心轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述支架及所述支臂上的 定位孔重合，再將所述定位桿放置于兩定位孔內(nèi)，使所述支臂不能繼續(xù)圍繞所述容置孔的 中心轉(zhuǎn)動(dòng)，從而達(dá)到定位的目的，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，性能安全可靠。


圖1是本發(fā)明真空腔定位機(jī)構(gòu)的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1所示的真空腔定位機(jī)構(gòu)應(yīng)用于腔蓋對(duì)真空腔體密封時(shí)的狀態(tài)圖。圖3是圖1所示的真空腔定位機(jī)構(gòu)應(yīng)用于腔蓋對(duì)真空腔體開(kāi)啟時(shí)的狀態(tài)圖。圖4是本發(fā)明真空腔定位機(jī)構(gòu)的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是圖4所示的真空腔定位機(jī)構(gòu)應(yīng)用于腔蓋對(duì)真空腔體密封時(shí)的狀態(tài)圖。圖6是圖4所示的真空腔定位機(jī)構(gòu)應(yīng)用于腔蓋對(duì)真空腔體開(kāi)啟時(shí)的狀態(tài)圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，為本發(fā)明真空腔定位機(jī)構(gòu)100的第一實(shí)施例，包括支架1、支臂2、鉸 鏈軸3及一定位桿4，所述支架1的起始端與所述真空腔體202固定連接，所述支臂2的起 始端與所述腔蓋201固定連接，所述支架1的末端與所述支臂2的末端相互重疊且均開(kāi)設(shè) 有相互對(duì)應(yīng)的容置孔5，所述鉸鏈軸3樞接地穿過(guò)所述容置孔5使所述支架1與所述支臂2 樞接，所述支臂2的末端及所述支架1的末端以所述容置孔5的中心為圓心等徑地開(kāi)設(shè)有 支臂定位孔21及數(shù)個(gè)支架定位孔11，所述定位桿4可插拔的插入所述支臂2的末端及所述 支架1的末端的所述支臂定位孔21及支架定位孔11內(nèi)實(shí)現(xiàn)所述支臂2與支架1的固定。 當(dāng)所述支臂2繞所述鉸鏈軸3轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度時(shí)，所述支臂定位孔21可與在該角度對(duì)應(yīng)的所 述支架定位孔11重合，所述定位桿4容置于相重合的所述支臂定位孔21及支架定位孔11 內(nèi)。所述支架1上設(shè)置有與所述定位桿4數(shù)量相等的暫存孔13，所述暫存孔13容置所述定位桿4，當(dāng)腔蓋201上升或者腔蓋201下降過(guò)程及關(guān)閉時(shí)，不需要使用所述定位桿4對(duì)真空 腔蓋202進(jìn)行鎖定，所述定位孔4放置于所述暫存孔13內(nèi)，可以防止所述定位桿4丟失。如圖2及圖3所示，為本發(fā)明應(yīng)用于真空腔體202時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述支架1安 裝于真空腔體202側(cè)壁上，所述支臂2與所述支架1鉸接，腔蓋201固定于所述支臂2上，所 述腔蓋201關(guān)閉時(shí)，所述定位桿4放置于所述暫存孔13內(nèi)，所述真空腔定位機(jī)構(gòu)100解鎖， 整個(gè)真空腔體202處于密封狀態(tài)。當(dāng)需要對(duì)真空腔體202內(nèi)部進(jìn)行清理或維護(hù)時(shí)，所述腔 蓋201打開(kāi)，所述支臂2帶動(dòng)所述腔蓋201繞所述鉸鏈軸3轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度，當(dāng)調(diào)整到合適角 度時(shí)，所述支架定位孔11與所述支臂定位孔21重合，這時(shí)即可將存放于所述暫存孔13內(nèi) 的所述定位桿4 拔出并放置于重合的所述支架定位孔11及支臂定位孔21內(nèi)，即可鎖定真 空腔定位機(jī)構(gòu)100，腔蓋201即被鎖定在該位置。所述腔蓋201的定位角度可任意調(diào)整，只 需要將所述支臂定位孔21調(diào)整到與其他支架定位孔11重合再將所述定位桿4置于其內(nèi)即 可。當(dāng)關(guān)閉時(shí)，將所述定位桿4拔出放回所述暫存孔13內(nèi)再關(guān)閉所述真空腔體202即可。所述支臂2上也可設(shè)置多個(gè)所述支臂定位孔21，當(dāng)所述支臂2繞所述鉸鏈軸3轉(zhuǎn) 動(dòng)一定角度進(jìn)行定位時(shí)，數(shù)個(gè)所述支臂定孔21可分別同時(shí)與在該角度對(duì)應(yīng)的數(shù)個(gè)所述支 架定位孔11重合，當(dāng)然，此時(shí)也需要增加所述定位桿4的數(shù)量，數(shù)個(gè)所述定位桿4側(cè)分別容 置于相重合的所述支架定位孔11及支臂定位孔21內(nèi)。所述暫存孔13應(yīng)在所述支架1上 設(shè)置與所述定位桿4相等的數(shù)量，以便在不需要定位時(shí)儲(chǔ)存所有所述定位桿4。如圖4、圖5及圖6所示，為本發(fā)明真空腔定位機(jī)構(gòu)100的第二實(shí)施例，在第一實(shí) 施例的基礎(chǔ)上增架支架加強(qiáng)塊12及支臂加強(qiáng)塊22，所述支架加強(qiáng)塊12及所述支臂加強(qiáng)塊 22固定連接在所述支架1及所述支臂2的末端并相互重疊，所述容置孔5、支架定位孔11 及支臂定位孔21開(kāi)設(shè)于所述支架加強(qiáng)塊12及所述支臂加強(qiáng)塊22上。所述支架加強(qiáng)塊12 及支臂加強(qiáng)塊22可以增加所述支架1及所述支臂2的強(qiáng)度，從而使所述支架1及所述支臂 2具有足夠的支撐力支撐重量較大的腔蓋201，保證整個(gè)真空腔定位機(jī)構(gòu)100具有足夠的穩(wěn) 定性及可靠性，防止所述支臂2斷裂對(duì)正在進(jìn)在清理或維護(hù)真空腔體202的工作人員造成 傷害。本發(fā)明所述支架1及所述支臂2通過(guò)鉸鏈軸3鉸接，并在所述支架1及所述支臂 2的所述容置孔5周?chē)运鋈葜每?的中心為圓心等徑地設(shè)置定位孔，定位時(shí)，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng) 所述支臂2，所述支臂2圍繞所述容置孔5的中心轉(zhuǎn)動(dòng)，使所述支架1及所述支臂2上的定 位孔重合，再將所述定位桿4放置于所述支架定位孔11及支臂定位孔21內(nèi)，使所述支臂2 不能繼續(xù)圍繞所述容置孔5的中心轉(zhuǎn)動(dòng)，從而達(dá)到定位的目的，且由于定位桿4獨(dú)立于所述 支架1，因此設(shè)置所述暫存孔13放置所述定位桿4，可防止所述定位桿4丟失，并且在所述 支架1及所述支臂2的末端增加支架加強(qiáng)塊12及支臂加強(qiáng)塊22，可以增加所述支架1及所 述支臂2的強(qiáng)度，防止因腔蓋201太重而導(dǎo)致支架1及支臂2出現(xiàn)彎曲變形，甚至斷裂，對(duì) 正在進(jìn)在清理或維護(hù)腔體的工作人員造成傷害，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，性能安全可靠。本發(fā)明真空腔定位機(jī)構(gòu)100所涉及到的腔蓋201及真空腔體202的尺寸大小及安 裝方法均為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說(shuō)明。以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范 圍，因此依本發(fā)明申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所作的等同變化，仍屬于本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種真空腔定位機(jī)構(gòu)，適用于對(duì)提供真空環(huán)境的真空腔體進(jìn)行密封的腔蓋進(jìn)行定位及支撐，其特征在于所述真空腔定位機(jī)構(gòu)包括支架、支臂、鉸鏈軸及定位桿，所述支架的起始端與所述真空腔體固定連接，所述支臂的起始端與所述腔蓋固定連接，所述支架的末端與所述支臂的末端相互重疊且均開(kāi)設(shè)有相互對(duì)應(yīng)的容置孔，所述鉸鏈軸樞接地穿過(guò)所述容置孔使所述支架與所述支臂樞接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心為圓心等徑地開(kāi)設(shè)有定位孔，所述定位桿可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔內(nèi)實(shí)現(xiàn)支臂與支架的固定。
2.如權(quán)利要求1所述的真空腔定位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述支架上開(kāi)設(shè)有與所述定位 桿數(shù)量相等的暫存孔，所述暫存孔容置所述定位桿。
3.如權(quán)利要求1所述的真空腔定位機(jī)構(gòu)，其特征在于所述支架的末端還固定連接有 支架加強(qiáng)塊，所述支臂的末端還固定連接有支臂加強(qiáng)塊，所述支架加強(qiáng)塊及所述支臂加強(qiáng) 塊相互重疊，所述容置孔及定位孔開(kāi)設(shè)于所述支架加強(qiáng)塊及所述支臂加強(qiáng)塊上。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空腔定位機(jī)構(gòu)，適用于對(duì)提供真空環(huán)境的真空腔體進(jìn)行密封的腔蓋進(jìn)行定位及支撐，所述真空腔定位機(jī)構(gòu)包括支架、支臂、鉸鏈軸及定位桿，所述支架的起始端與所述真空腔體固定連接，所述支臂的起始端與所述腔蓋固定連接，所述支架的末端與所述支臂的末端相互重疊且均開(kāi)設(shè)有相互對(duì)應(yīng)的容置孔，所述鉸鏈軸樞接地穿過(guò)所述容置孔使所述支架與所述支臂樞接，所述支臂的末端及所述支架的末端以所述容置孔的中心為圓心等徑地開(kāi)設(shè)有定位孔，所述定位桿可插拔的插入所述支臂的末端及所述支架的末端的定位孔內(nèi)實(shí)現(xiàn)支臂與支架的固定。本發(fā)明具有定位及支撐功能，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、性能安全可靠。
文檔編號(hào)H01L21/68GK101814452SQ20091024691
公開(kāi)日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月1日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗鋒, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司