專利名稱:靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及的是一種激光器件技術(shù)領(lǐng)域的裝置,具體是一種靜態(tài)氣體激 光發(fā)生裝置。
背景技術(shù):
在工業(yè)用百瓦級(jí)二氧化碳激光器產(chǎn)品中,不同結(jié)構(gòu)的靜態(tài)二氧化碳?xì)怏w激光 器形成一類新型的激光器產(chǎn)品,然而己有的直流高壓縱向放電激勵(lì)氣體不流動(dòng)靜 態(tài)氣體激光發(fā)生裝置的每根放電腔僅配置兩個(gè)電極(一個(gè)陽(yáng)極和一個(gè)陰極),陽(yáng) 極的高電位容易與鄰近的光學(xué)鏡片或?qū)щ婓w形成放電而導(dǎo)致不能形成穩(wěn)定放電 的結(jié)果;為避免這種不良的放電效果,激光器的折疊構(gòu)件通常采用玻璃制作,其 生產(chǎn)過程會(huì)過多地依賴玻璃工手工燒制來完成,故而不易形成質(zhì)量穩(wěn)定的且能批 量生產(chǎn)的激光器產(chǎn)品。
經(jīng)過對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的檢索發(fā)現(xiàn),美國(guó)專利申請(qǐng)公開號(hào)US4679201A,記載了一 種折疊式百瓦級(jí)輸出縱向流動(dòng)二氧化碳激光器,包括含有二氧化碳介質(zhì)的放電 腔,若千沿折疊方向按順序設(shè)置于兩端接頭法蘭盤之間的獨(dú)立管,至少一個(gè)與兩 端接頭法蘭構(gòu)件并列的中間法蘭盤以支持獨(dú)立管,但該技術(shù)采用流動(dòng)氣體高頻激 勵(lì),且不是在同一根放電腔中由多電極進(jìn)行多段放電;雖然可以實(shí)現(xiàn)折疊式激光 輸出,但該技術(shù)須配置一套結(jié)構(gòu)繁雜,且造價(jià)很高的氣體流動(dòng)裝置。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足,提供一種靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝 置,通過折疊結(jié)構(gòu)節(jié)省了激光發(fā)生裝置的體積,相比現(xiàn)有技術(shù)具有更高功率輸出 的同時(shí)消除不良放電現(xiàn)象,達(dá)到能夠大批量生產(chǎn)的要求'。
本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的,本實(shí)用新型包括底座、固定板、 放電腔、轉(zhuǎn)接頭、套管、輸出鏡、尾鏡、反射鏡和電極,其中兩根結(jié)構(gòu)相同的 放電腔相互平行并卡接于固定板,轉(zhuǎn)接頭分別連接兩根放電腔的一端,兩根放電 腔的另一端分別密封連接輸出鏡和尾鏡,兩塊結(jié)構(gòu)相同的反射鏡互相垂直地設(shè)置 于轉(zhuǎn)接頭上,若千電極固定設(shè)置于放電腔的內(nèi)側(cè),套管包覆于放電腔外側(cè),固定
3板和轉(zhuǎn)接頭固定設(shè)置于底座上。
所述的放電腔為管狀空心玻璃管,在放電腔內(nèi)部充有激勵(lì)氣體。
所述的轉(zhuǎn)接頭內(nèi)部設(shè)有金屬制U形空腔,兩塊結(jié)構(gòu)相同的反射鏡固定設(shè)置于 U形空腔的轉(zhuǎn)折處并分別與對(duì)應(yīng)的兩根放電腔的中心軸線成45° 。
所述的電極包括放電端和電源端,其中放電端為管狀結(jié)構(gòu)并置于放電腔內(nèi), 電源端與放電端相連并依次穿過放電腔和套管與直流高壓電源相連,加載于相鄰 電極上的直流高壓電源極性不同,每根放電腔中奇數(shù)個(gè)電極上加載直流正電壓, 偶數(shù)個(gè)電極加載直流負(fù)電壓。
所述的套管內(nèi)側(cè)通有流動(dòng)冷水對(duì)放電腔進(jìn)行水冷處理。
所述的放電腔、反射鏡和轉(zhuǎn)接頭可進(jìn)行若干次的組合折疊以滿足實(shí)際輸出功 率的需要。
本實(shí)用新型處于工作狀態(tài)時(shí),從根本上避免了不穩(wěn)定放電問題,不會(huì)使兩端 的電極與鄰近的金屬物體產(chǎn)生有害的放電打火現(xiàn)象,在縮減激光發(fā)生裝置體積的 同時(shí)獲得穩(wěn)定的質(zhì)量和批量生產(chǎn)的可能。
圖l為本實(shí)用新型正視圖; 圖2為本實(shí)用新型側(cè)視圖3為轉(zhuǎn)接頭示意圖。
具體實(shí)施方式
下面對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例作詳細(xì)說明本實(shí)施例在以本實(shí)用新型技術(shù)方案 為前提下進(jìn)行實(shí)施,給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過程,但本實(shí)用新型的 保護(hù)范圍不限于下述的實(shí)施例。
如圖1和圖2所示,本實(shí)施例包括底座l、固定板2、放電腔3、轉(zhuǎn)接頭4、 套管5、輸出鏡6、尾鏡7、反射鏡8和電極9,其中兩根結(jié)構(gòu)相同的放電腔3 相互平行并卡接于固定板2,轉(zhuǎn)接頭4分別連接兩根放電腔3的一端,兩根放電 腔3的另一端分別密封連接輸出鏡6和尾鏡7,兩塊結(jié)構(gòu)相同的反射鏡8互相垂 直地設(shè)置于轉(zhuǎn)接頭4上,三個(gè)結(jié)構(gòu)相同的電極9固定設(shè)置于放電腔3的內(nèi)側(cè),套 管5包覆于放電腔3外側(cè),固定板2和轉(zhuǎn)接頭4固定設(shè)置于底座1上。 所述的放電腔3為管狀空心玻璃管,在放電腔3內(nèi)部充有激勵(lì)氣體。 所述的套管5內(nèi)側(cè)通有流動(dòng)冷水對(duì)放電腔3進(jìn)行水冷處理。所述的電極9包括放電端IO和電源端11,其中放電端10為管狀結(jié)構(gòu)并 至于放電腔3內(nèi),電源端11與放電端10相連并依次穿過放電腔3和套管5與電 壓值為1000V的直流正電壓或直流負(fù)電壓相連接,其中加載于放電腔3中間電極 9的電源端11上的是1000V直流正電壓,位于該電極9兩側(cè)則加載1000V直流 負(fù)電壓。
所述的放電端10和電源端11之間設(shè)有密封環(huán),所述的電源端11外表面設(shè) 有防水層。
如圖l、 3所示,所述的轉(zhuǎn)接頭4內(nèi)部設(shè)有U形空腔12,兩塊反射鏡5分別 固定設(shè)置于U形空腔12的轉(zhuǎn)折處并與對(duì)應(yīng)的兩根放電腔3的中心軸線成45° 。
所述的放電腔3與轉(zhuǎn)接頭4的交接處以及反射鏡5與轉(zhuǎn)接頭4的交接處設(shè)有 密封環(huán)。
本實(shí)施例中的每根放電腔3中的有效放電長(zhǎng)度達(dá)到放電腔長(zhǎng)度的98%,當(dāng) 在原有N根放電腔3的基礎(chǔ)上每增設(shè)一組相同結(jié)構(gòu)的放電腔3和轉(zhuǎn)接頭4,相應(yīng) 的輸出功率可增加1/N X%。
權(quán)利要求1、一種靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置,其特征在于,包括底座、固定板、放電腔、轉(zhuǎn)接頭、套管、輸出鏡、尾鏡、反射鏡和電極,其中兩根結(jié)構(gòu)相同的放電腔相互平行并卡接于固定板,轉(zhuǎn)接頭分別連接兩根放電腔的一端,兩根放電腔的另一端分別密封連接輸出鏡和尾鏡,兩塊結(jié)構(gòu)相同的反射鏡互相垂直地設(shè)置于轉(zhuǎn)接頭上,若干電極固定設(shè)置于放電腔的內(nèi)側(cè),套管包覆于放電腔外側(cè),固定板和轉(zhuǎn)接頭固定設(shè)置于底座上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置,其特征是,所述的放電 腔為管狀空心玻璃管,在放電腔內(nèi)部充有激勵(lì)氣體。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置,其特征是,所述的轉(zhuǎn)接 頭內(nèi)部設(shè)有金屬制U形空腔。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置,其特征是,兩塊結(jié)構(gòu)相 同的反射鏡固定設(shè)置于u形空腔的轉(zhuǎn)折處并分別與對(duì)應(yīng)的兩根放電腔的中心軸 線成45° 。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置,其特征是,所述的電極包括放電端和電源端,其中放電端為管狀結(jié)構(gòu)并置于放電腔內(nèi),電源端與放電端相連并依次穿過放電腔和套管與直流高壓電源相連。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置,其特征是,加載于相鄰 電極上的直流高壓電源極性不同,每根放電腔中奇數(shù)個(gè)電極加載直流正電壓,偶 數(shù)個(gè)電極加載直流負(fù)電壓。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置,其特征是,所述的套管 內(nèi)側(cè)通有流動(dòng)冷水。
專利摘要一種激光技術(shù)領(lǐng)域的靜態(tài)氣體激光發(fā)生裝置,包括底座、固定板、放電腔、轉(zhuǎn)接頭、套管、輸出鏡、尾鏡、反射鏡和電極,其中兩根結(jié)構(gòu)相同的放電腔相互平行并卡接于固定板,轉(zhuǎn)接頭分別連接兩根放電腔的一端,兩根放電腔的另一端分別密封連接輸出鏡和尾鏡,兩塊結(jié)構(gòu)相同的反射鏡互相垂直地設(shè)置于轉(zhuǎn)接頭上,若干電極固定設(shè)置于放電腔的內(nèi)側(cè),套管包覆于放電腔外側(cè),固定板和轉(zhuǎn)接頭固定設(shè)置于底座上。本實(shí)用新型通過折疊結(jié)構(gòu)節(jié)省了激光發(fā)生裝置的體積,相比現(xiàn)有技術(shù)具有更高功率輸出的同時(shí)消除不良放電現(xiàn)象,達(dá)到能夠大批量生產(chǎn)的要求。
文檔編號(hào)H01S3/223GK201345496SQ20092006734
公開日2009年11月11日 申請(qǐng)日期2009年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月22日
發(fā)明者丁健君 申請(qǐng)人:丁健君