專利名稱：用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體材料加工設(shè)備清理裝置，尤其用于磨片機開槽磨 盤的溝槽中沉積研磨砂及生成的氧化鐵銹跡清理裝置。
背景技術(shù)：
早期半導(dǎo)體研磨機為平板磨盤，研磨速率很低，4~5um/min,硅片旋轉(zhuǎn) 阻力大，容易產(chǎn)生碎片，隨著半導(dǎo)體硅片尺寸增加，此類型磨片機漸漸被開 槽磨片機所代替。開槽磨片機磨盤為縱橫2mm*15mm (寬*深)溝槽，研磨過 程中產(chǎn)生硅屑和研磨砂順著溝槽，排到設(shè)備外邊，同時減少硅片研磨中的旋 轉(zhuǎn)阻力，這樣大大降低研磨工程中的碎片。與此同時研磨砂與硅屑也會沉積 在溝槽里，如不及時清理會產(chǎn)生研磨硅片大量劃傷。常用的清理溝槽的裝置 一般厚度l. 5mm鋼板進行疏通，該裝置存在不易把持、摩擦阻力大、磨損快、 容易變形等缺點。
鑒于此，實有必要設(shè)計一種新的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，用 于提高疏通溝槽效率、操作簡單的裝置。

實用新型內(nèi)容
本實用新型要解決的技術(shù)問題在于提供一種用于清理開槽磨片機上溝槽 的裝置，用滾動摩擦替代滑動摩擦，減小清理磨盤溝槽阻力，同時進行人性 化設(shè)計增加該裝置美觀和易把持特性，提高該裝置壽命。
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用如下技術(shù)方案用于清理開槽磨 片機上溝槽的裝置，該裝置包括支架，安裝于支架一端的手柄以及卡持于支架另一端的滾輪。
優(yōu)選的，所述手柄一端凹設(shè)有螺紋孔，所述支架一端設(shè)有與所述螺紋孔配合的外螺紋。
優(yōu)選的，所述支架另一端設(shè)有收容滾輪的通槽。
優(yōu)選的，所述滾輪中部設(shè)有通孔，所述支架另一端設(shè)有與通槽垂直的開孔，所述開孔與滾輪中部的通孔用螺栓連接。
優(yōu)選的，所述滾輪包括自中心向邊緣厚度順次減小的中間部分、過渡部分以及邊緣部分。
本實用新型通過采用一種滾動式清理開槽磨盤裝置設(shè)計，減小清理磨盤溝槽阻力，有效提高清理效率，同時對該裝置手柄進行人性化設(shè)計增加該裝置美觀和易把持特性，提高該裝置壽命。


圖1是本實用新型用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置的側(cè)視圖；圖2是本實用新型用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置中的滾輪結(jié)構(gòu)示意圖3是本實用新型用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置的支架結(jié)構(gòu)示意
圖4是本實用新型用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置的手柄結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
請參見圖l所示，用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，該裝置包括支架2，安裝于支架2 —端的手柄1以及卡持于支架2另一端的滾輪4。所述手柄1 一端凹設(shè)有螺紋孔ll，所述支架2 —端設(shè)有與所述螺紋孔11配合的外螺紋23。所述支架2另一端設(shè)有收容滾輪4的通槽22。所述滾輪4中部"i殳有通孔411，所述支架2另一端"^殳有與通槽22垂直的開孔21,所述開孔21與滾4侖4中部的通孔411用螺栓3 (包括螺母31 )連接。所述滾輪4包括自中心向邊緣厚度順次減小的中間部分41、過渡部分42以及邊緣部分43。
具體實施例一，加工適合清理USP-22B開槽磨片才幾清理開槽磨片機上的磨盤的裝置。
在滾輪4材質(zhì)選用裝置鋼TIO，該材質(zhì)具有較好的硬度，再經(jīng)過熱處理使得硬度達到HRC65，與開槽磨盤的材質(zhì)為球墨鑄鐵的硬度相差不大，不會對磨盤造成損壞。滾輪4直徑尺寸50~150鵬，優(yōu)選的滾輪尺寸為IOO鵬，為增強滾輪強度與美觀，滾輪4上有三種厚度，與支架連接部分厚度為5 ~ 10mm，優(yōu)選的采用7mm,滾輪中間過渡區(qū)厚度為2~5mm，優(yōu)選的采用4mm，清理溝槽部分厚度為1 ~ 2mm，優(yōu)選的厚度為1. 5mm(USP-22B磨片機溝槽寬度為2mm )。具體尺寸參考圖2清理溝槽裝置的滾輪。
支架2選用不銹鋼(1Crl7Mn6Ni5N、 1Crl7Ni7等牌號)該材質(zhì)具有較好硬度同時具有美觀的外表。優(yōu)選鋼號為1Crl7Mn6Ni5N的不銹鋼。支架長度為50~ 300mm,直徑為10 ~ 30mm,本專利采用170mm，直徑為20mm，具體尺寸參考圖3清理溝槽裝置的支架。
手柄1采用經(jīng)濟的尼龍材料，該材料具有加工方便，手 好，具有一定韌性不易折斷的特性。手柄長度為100~ 500mm，直徑為20 ~ 40mm,優(yōu)選的采用長度300mm,直徑為26,,具體尺寸參考圖4清理溝槽裝置的手柄。本實用新型滾輪設(shè)計減少清理溝槽過程阻力；選用裝置鋼no作為滾輪
的材質(zhì)；為增加滾輪硬度，進行熱處理，硬度達到HRC56;整體采用圓形設(shè)計減少變形和延長使用壽命；手柄采用尼龍，增強該裝置易把持性能。
本實用新型的描述和應(yīng)用是說明性的，并非想將本實用新型的范圍限制在上述實施例中。這里所披露的實施例的變形和改變是可能的，對于那些本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說實施例的替換和等效的各種部件是公知的。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該清楚的是，在不脫離本實用新型的精神或本質(zhì)特征的情況下，本實用新型可以以其他形式來實現(xiàn)。在不脫離本實用新型范圍和精神的情況下，可以對這里所4皮露的實施例進行其他變形和改變。
權(quán)利要求1.用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在于該裝置包括支架(2)，安裝于支架(2)一端的手柄(1)以及卡持于支架(2)另一端的滾輪(4)。
2. 如權(quán)利要求1所述的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在于 所述手柄(1) 一端凹設(shè)有螺紋孔(11 )，所述支架(2 ) —端設(shè)有與所述螺紋 孔(11)配合的外螺紋(23)。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征 在于所述支架(2)另一端設(shè)有收容滾輪(4)的通槽(22)。
4. 如權(quán)利要求3所述的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在 于所述滾l侖(4)中部設(shè)有通孔(411),所述支架(2)另一端設(shè)有與通槽(22 )垂直的開孔(21),所述開孔(21)與滾輪(4 )中部的通孔(411 )用 螺栓(3 )連接。
5. 如權(quán)利要求4所述的用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，其特征在 于所述滾輪(4)包括自中心向邊緣厚度順次減小的中間部分(41)、過渡 部分(42)以及邊緣部分(43)。
專利摘要本實用新型涉及用于清理開槽磨片機上溝槽的裝置，該裝置包括支架，安裝于支架一端的手柄以及卡持于支架另一端的滾輪。本實用新型用滾動摩擦替代滑動摩擦，減小清理磨盤溝槽阻力，同時進行人性化設(shè)計增加該裝置美觀和易把持特性，提高該裝置壽命。
文檔編號H01L21/304GK201405264SQ20092007134
公開日2010年2月17日 申請日期2009年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月29日
發(fā)明者強 李, 欒興偉, 洪羿達 申請人:上海合晶硅材料有限公司