專利名稱：：檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本實用新型涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備，特別是涉及一種半導(dǎo)體制造用設(shè)備上的檢測裝置。
背景技術(shù)：
：目前，在半導(dǎo)體制造過程中，往往需要在硅片上生成Si02薄膜。而這些用來在硅片上生成Si02薄膜的機臺上需要設(shè)置加熱器部件，在這些加熱部件上交流電和射頻都接在同一個回路加熱線圈(sidecoil,特指機臺上的一個回路組合件)上面。該回路加熱線圈用來對機臺特定部分進行加熱，并且用來將射頻導(dǎo)入到該特定部位?？紤]到需要加熱的位置和射頻要導(dǎo)入的位置在機臺的同一位置，且安裝空間有限，故將交流加熱線圈與射頻導(dǎo)入線圈一同做在該回路加熱線圈上面。如圖1所示，交流電所接加熱圈與射頻所接射頻圈緊密固定在一起，組成所說的加熱線圈。正常情況下，交流電一直接在加熱線圈上對被加熱的陶瓷器件進行加熱；當(dāng)射頻開啟時，交流電從加熱線圈上斷開，射頻導(dǎo)入到加熱線圈上；當(dāng)射頻停掉的時候，交流電又重新接到加熱線圈上。這樣交流電和射頻在加熱線圈上交替出現(xiàn)，但不會同時出現(xiàn)。但是當(dāng)出現(xiàn)控制交流電通斷的器件壞掉等情況時，就會出現(xiàn)交流電和射頻同時出現(xiàn)在加熱線圈上的情況，時間久了加熱線圈就會因過熱被燒壞。目前，通過裝在射頻柜里的可編程邏輯控制器(PLC)來發(fā)出直流控制信號，這個信號來控制繼電器的通斷，從而來實現(xiàn)交流電和射頻交替加載到加熱線圈上的功能。目前設(shè)備存在的缺陷是這套東西只控制動作，沒有反饋監(jiān)控。當(dāng)PLC或繼電器出現(xiàn)問題時，無法及時發(fā)現(xiàn)當(dāng)射頻加到加熱線圈上時交流電仍沒有從加熱線圈上斷開。
實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種可以監(jiān)控是否存在交流電和射頻同時出現(xiàn)在加熱線圈上的裝置，能夠保護加熱線圈不因過熱被燒壞。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，交流檢測裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點，所述輸入端通過變壓器連接到固態(tài)繼電器的輸入端，使得當(dāng)接點的電壓高于一特定值時，固態(tài)繼電器導(dǎo)通，輸出一電壓至信號處理單元；射頻檢測裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點，當(dāng)射頻開啟或關(guān)閉時輸出一電壓至信號處理單元；信號處理單元，連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端，對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算，檢測到是否存在交流電和射頻共存的的情況。本實用新型的有益效果在于可以有效監(jiān)控是否存在交流電和射頻同時出現(xiàn)在加熱線圈上，從而保護加熱線圈不因長時間過熱被燒壞。以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進一步的詳細說明。圖1為目前交流電和射頻都接在同一個回路加熱線圈的示意圖；圖2為本實用新型實施例的示意圖。具體實施方式如圖2所示的本實用新型所述的實施例，當(dāng)交流電和射頻同時出現(xiàn)在加熱線圈上時，機臺可以發(fā)出報警。所以與報警裝置相連接一個檢測器，分別從加熱器和射頻接出一路信號作為監(jiān)測器的兩個輸入信號，檢測器的輸出信號送給機臺，作為機臺的報警信號。<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>只有當(dāng)交流電接到加熱線圈上，且射頻開啟的時候，監(jiān)測器沒有輸出，機臺會發(fā)出報警，其他情況下輸出都是+24V直流，機臺沒有報警。監(jiān)測器的輸入端——交流檢測裝置，從交流電接入加熱線圈的兩個連接點接出兩條線，作為監(jiān)測器交流電的輸入線。把這兩端接入監(jiān)測器的交流輸入端后，通過變壓器變壓，再連接到一個固態(tài)繼電器的輸入端，固態(tài)繼電器導(dǎo)通時的輸出端為24V直流，通過調(diào)節(jié)變壓器使得當(dāng)接點TB2-1與TB2-2(如圖2中所示)之間的電壓高于150V的時候，固態(tài)繼電器導(dǎo)通，稱繼電器輸出電壓為V1。監(jiān)測器的另一個輸入端——射頻檢測裝置，是用來表征射頻的開/關(guān)狀態(tài)，這個信號從繼電器2(即加熱圈前端繼電器)上獲得。當(dāng)射頻開啟的時候，這兩端上電壓為零；當(dāng)射頻關(guān)閉的時候，這兩端上有24V直流。將這兩端接入監(jiān)測器的直流輸入端。在檢測器內(nèi)再對直流輸入進來的信號取反，取反得到的信號稱之為V2。本實施例所述的監(jiān)測器內(nèi)信號處理包括在得到V1和V2后，對V1、V2作"與"運算，得出的結(jié)果為V3。輸入輸出對應(yīng)邏輯關(guān)系如下射頻開啟射頻關(guān)閉VI1010V21100V31000通過邏輯數(shù)字集成電路實現(xiàn)將直流輸入信號取反得到V2，并將V2和Vl作"與"運算，得出V3輸出，以及對V3取反得出V4。監(jiān)測器的輸出端，V3信號是一個24V或者0V的直流信號。再對這個信號取反，將取反得到的信號稱為V4，將V4連接到機臺系統(tǒng)控制器，從而將監(jiān)測器的信號送給主機臺。將機臺附屬機臺關(guān)聯(lián)保護功能開啟。這樣當(dāng)V4為24V直流時，機臺處于正常狀態(tài)；當(dāng)V4為0V時，機臺會有報警，這時就會知道交流電和射頻同時加到加熱線圈上了，要把機臺停下來做故障檢查。本實用新型并不限于上文討論的實施方式。以上對具體實施方式的描述旨在于為了描述和說明本實用新型涉及的技術(shù)方案。基于本實用新型啟示的顯而易見的變換或替代也應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為落入本實用新型的保護范圍。權(quán)利要求1.一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，包括交流檢測裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點，所述輸入端通過變壓器連接到固態(tài)繼電器的輸入端，使得當(dāng)接點的電壓高于一特定值時，固態(tài)繼電器導(dǎo)通，輸出一電壓至信號處理單元；射頻檢測裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點，當(dāng)射頻開啟或關(guān)閉時輸出一電壓至信號處理單元；信號處理單元，連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端，對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算，檢測到是否存在交流電和射頻共存的的情況。2.如權(quán)利要求1所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述射頻檢測裝置當(dāng)射頻開啟的時候，其兩端上電壓為零；當(dāng)射頻關(guān)閉的時候，其兩端上有直流電壓；所述射頻檢測裝置將上述電壓取反。3.如權(quán)利要求1所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號處理單元將所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行"與"運算，得到電壓V3。4.如權(quán)利要求3所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號處理單元將所述電壓V3取反得到電壓V4。5.如權(quán)利要求4所述的檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，其特征在于，所述的信號處理單元連接到機臺保護裝置，當(dāng)電壓V4顯示有交流電和射頻共存時，關(guān)閉加熱線圈。專利摘要本實用新型公開了一種檢測加熱圈上交流電和射頻共存的裝置，包括交流檢測裝置，其輸入端連接至交流電接入加熱線圈的連接點，所述輸入端通過變壓器連接到固態(tài)繼電器的輸入端；射頻檢測裝置，其輸入端連接至加熱線圈前端繼電器的控制電路的連接點，當(dāng)射頻開啟或關(guān)閉時輸出一電壓至信號處理單元；信號處理單元，連接交流檢測裝置和射頻檢測裝置的輸出端，對所述交流檢測裝置的輸出電壓和射頻檢測裝置的輸出電壓進行邏輯運算，檢測到是否存在交流電和射頻共存的情況。本實用新型可以有效監(jiān)控是否存在交流電和射頻同時出現(xiàn)在加熱線圈上，從而保護加熱線圈不因長時間過熱被燒壞。文檔編號H01L21/00GK201408745SQ200920073968公開日2010年2月17日申請日期2009年5月26日優(yōu)先權(quán)日2009年5月26日發(fā)明者徐伯山,林振芳,斌陸申請人:上海華虹Nec電子有限公司