專利名稱：自動清潔表面的激光打標(biāo)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及激光打標(biāo)系統(tǒng)，尤其是半導(dǎo)體器件封裝中使用的掃描式激光打標(biāo) 系統(tǒng)，屬于激光應(yīng)用技術(shù)及激光打標(biāo)技術(shù)領(lǐng)域。
技術(shù)背景目前，半導(dǎo)體器件封裝后的標(biāo)識大多采用掃描式激光打標(biāo)，連續(xù)激光器10產(chǎn)生的 連續(xù)激光通過擴束準(zhǔn)直鏡11后的激光束照射到X/Y偏轉(zhuǎn)鏡1上，偏轉(zhuǎn)鏡1在計算機的控制 下對激光束進(jìn)行偏轉(zhuǎn)運動，然后激光束經(jīng)過聚焦透鏡2照射到被標(biāo)識物體12的表面，物體 的表面物質(zhì)燃燒在激光掃描的軌跡上產(chǎn)生標(biāo)識。如圖1所示。掃描式激光打標(biāo)特點是打 標(biāo)內(nèi)容可以任意設(shè)定，能量密度高，標(biāo)刻深度大，標(biāo)識清晰，不易脫落和涂抹。但缺點是產(chǎn)生 的灰塵量也非常大，易使器件定位槽表面骯臟和其真空孔堵塞，造成丟料和影響打標(biāo)質(zhì)量 等問題。解決的辦法一般采用人工清潔，即用特制的鋼針和刷子等工具對真空孔和定位槽 表面定時清潔。缺點是增加了操作人員的工作負(fù)擔(dān)，并且耗時，平均清潔一次需用時30分 鐘左右，另外，頻繁用鋼針對定位孔清潔會損壞真空孔及定位槽表面，從而也會降低器件的 吸附力，器件在高速運動中會造成丟料。激光技術(shù)也用于模具的清潔。它實現(xiàn)的方法是將模具拆下后放置在專用的夾具 上。然后用一定功率的激光束對它表面進(jìn)行掃描將它表面的殘余物質(zhì)燃燒從而完成模具表 面的清潔。這種清潔一般都是離線式的，也就是說需要將模具取下后重新定位才能完成清 潔。在實際的運用過程中，操作起來非常麻煩。所以應(yīng)用并不廣泛。

實用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有的激光打標(biāo)系統(tǒng)人工清潔的上述不足，本實用新型提供一種可有效 地自動清潔器件定位槽及真空孔的激光打標(biāo)系統(tǒng)。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是自動清潔表面的激光打標(biāo)系 統(tǒng)，包括連續(xù)激光器、擴束準(zhǔn)直鏡、X/Y偏轉(zhuǎn)鏡、聚焦鏡和器件定位槽，在聚焦鏡和器件定位 槽之間設(shè)有清潔系統(tǒng)，其主體形狀是上部為圓柱管道、下部為圓臺管道，其上端與聚焦鏡相 連，下端與器件定位槽槽口相通，圓柱管道上部一側(cè)連接有橫向抽風(fēng)管。在清潔系統(tǒng)的作用下，器件定位槽上和真空孔中產(chǎn)生灰塵經(jīng)過下部的圓臺管道， 到上部的圓柱管道，再到抽風(fēng)管被排出。另外，對激光打標(biāo)的模式進(jìn)行擴展，即增加清潔模式。在正常工作模式下，激光打 標(biāo)系統(tǒng)用于對器件表面進(jìn)行標(biāo)識。在工作一定的時間段后，在控制系統(tǒng)的作用下，將打標(biāo)模 式轉(zhuǎn)化為清潔模式。激光束在計算機的控制下對器件定位槽表面進(jìn)行有規(guī)律的掃描，從而 實現(xiàn)器件定位槽表面的清潔。本實用新型的有益效果是，省時、省力，清潔過程自動化進(jìn)行，避免了因為激光粉 塵堵塞定位槽造成的丟料，保證了打標(biāo)質(zhì)量，系統(tǒng)工作效率顯著提高。
圖1是本實用新型激光打標(biāo)模式工作狀態(tài)示意圖；圖2是本實用新型清潔系統(tǒng)工作狀態(tài)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。自動清潔表面的激光打標(biāo)系統(tǒng)，包括連續(xù)激光器、擴束準(zhǔn)直鏡、X/Y偏轉(zhuǎn)鏡1、聚焦 鏡2和器件定位槽3，在聚焦鏡2和器件定位槽3之間設(shè)有清潔系統(tǒng)，其主體形狀是上部為 圓柱管道4、下部為圓臺管道5，其上端與聚焦鏡2相連，下端與器件定位槽3槽口相通，圓 柱管道4上部一側(cè)連接有橫向抽風(fēng)管6。圓柱管道4側(cè)壁上開有進(jìn)風(fēng)口 7，位于與抽風(fēng)管6相對的一側(cè)的上部。進(jìn)風(fēng)口 7的形狀為扁平矩形。器件定位槽3的下部設(shè)有由電磁閥控制的吹氣裝置8。激光打標(biāo)系統(tǒng)在計算機的控制下可以在打標(biāo)模式和清潔模式間切換。在正常操作 下，激光系統(tǒng)用于對器件的打標(biāo)，參見圖1。當(dāng)打標(biāo)次數(shù)達(dá)到設(shè)定值后，程序自動清空器件， 打標(biāo)模式自動轉(zhuǎn)換到清潔模式，一定能量的激光束在計算機的控制下對器件定位槽3進(jìn)行 掃描，激光束按照設(shè)定的軌跡對被清潔表面燒蝕，如圖3，并重復(fù)掃描一定的次數(shù)。同時控制 電磁閥和吹氣裝置8對定位槽真空孔9施加一定的壓縮空氣進(jìn)行輔助吹氣，在激光和壓縮 空氣的共同作用下，吸附在真空孔9內(nèi)和定位槽3底部的灰塵就會被完全清潔干凈，同時被 上部的清潔系統(tǒng)排出。清潔系統(tǒng)采用吹吸結(jié)合的方式，管道采用變徑設(shè)計，保證了在抽風(fēng)口處，即器件定 位槽3和真空口處有較快的空氣流速，可以保證灰塵被有效地抽離器件定位槽3表面，同時 設(shè)計了專門的新鮮空氣進(jìn)氣口 7，在聚焦鏡2表面形成一層空氣阻擋層，參見圖2，可以保證 聚焦鏡2不會被灰塵污染，從而保證了打標(biāo)質(zhì)量。在激光對器件定位槽3清潔的同時，吹氣 裝置8在電磁閥的控制下用壓縮空氣對器件定位槽3進(jìn)行吹氣，灰塵可以完全徹底地被吹 離器件定位槽3表面，進(jìn)入清潔系統(tǒng)中，達(dá)到理想的清潔效果。
權(quán)利要求一種自動清潔表面的激光打標(biāo)系統(tǒng)，包括連續(xù)激光器(10)、擴束準(zhǔn)直鏡(11)、X/Y偏轉(zhuǎn)鏡(1)、聚焦鏡(2)和器件定位槽(3)，其特征在于，在聚焦鏡(2)和器件定位槽(3)之間設(shè)有清潔系統(tǒng)，其主體形狀是上部為圓柱管道(4)、下部為圓臺管道(5)，其上端與聚焦鏡(2)相連，下端與器件定位槽(3)槽口相通，圓柱管道(4)上部一側(cè)連接有橫向抽風(fēng)管(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動清潔表面的激光打標(biāo)系統(tǒng)，其特征在于，所述的圓柱管 道(4)側(cè)壁上開有進(jìn)風(fēng)口(7)，位于與抽風(fēng)管(6)相對的一側(cè)的上部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動清潔表面的激光打標(biāo)系統(tǒng)，其特征在于，所述的進(jìn)風(fēng)口 (7)的形狀為扁平矩形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動清潔表面的激光打標(biāo)系統(tǒng)，其特征在于，所述的器件定 位槽(3)的下部設(shè)有由電磁閥控制的吹氣裝置(8)。
專利摘要本實用新型公開了一種自動清潔表面的激光打標(biāo)系統(tǒng)，屬于激光應(yīng)用技術(shù)及激光打標(biāo)技術(shù)領(lǐng)域。它包括連續(xù)激光器、擴束準(zhǔn)直鏡、X/Y偏轉(zhuǎn)鏡、聚焦鏡和器件定位槽，在聚焦鏡和器件定位槽之間設(shè)有清潔系統(tǒng)，其主體形狀是上部為圓柱管道、下部為圓臺管道，其上端與聚焦鏡相連，下端與器件定位槽槽口相通，圓柱管道上部一側(cè)連接有橫向抽風(fēng)管。本實用新型省時、省力，清潔過程自動化進(jìn)行，避免了丟料，保證了打標(biāo)質(zhì)量，系統(tǒng)工作效率顯著提高。適合作為半導(dǎo)體器件的打標(biāo)和對其定位裝置的自動清潔使用。
文檔編號H01L21/00GK201562668SQ200920080939
公開日2010年8月25日 申請日期2009年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月18日
發(fā)明者楊奎林, 王躍, 趙小東 申請人:樂山-菲尼克斯半導(dǎo)體有限公司