一種具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，具有防腐蝕結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器設(shè)置入液管、出液管使得進(jìn)入液體制冷器內(nèi)的液體不易與負(fù)極連接塊（或正極連接塊）接觸，這樣將不易對電極連接塊進(jìn)行腐蝕，從而保證了金屬離子不會(huì)進(jìn)入液體制冷器內(nèi)部的液體通道內(nèi)，提高了液體制冷器的可靠性；同理，本實(shí)用新型設(shè)置入液墊塊和出液墊塊，使得液體不與正極電極連接塊（或負(fù)極連接塊）接觸，不易腐蝕正極連接塊，提高了整個(gè)半導(dǎo)體激光器件的可靠性。
【專利說明】一種具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于激光【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種半導(dǎo)體激光器，尤其是一種具有防腐蝕結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器。

【背景技術(shù)】
[0002]高功率半導(dǎo)體激光器具有體積小、重量輕、效率高、壽命長等優(yōu)點(diǎn)，已廣泛用于激光加工、激光醫(yī)療、激光顯示及科學(xué)研究領(lǐng)域，成為新世紀(jì)發(fā)展快、成果多、學(xué)科滲透廣、應(yīng)用范圍大的核心器件。
[0003]半導(dǎo)體激光器在應(yīng)用時(shí)對環(huán)境非常敏感，灰塵，濕度，溫度等條件對激光器的性能和使用壽命有著極大影響，此外，通常溫度在攝氏5度以下，物體表面就會(huì)結(jié)露，對于半導(dǎo)體激光器，結(jié)露將會(huì)導(dǎo)致其易短路。因此，為最大限度發(fā)揮半導(dǎo)體激光器的性能，迫切需要一種具有防腐蝕結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體激光器。
[0004]中國專利申請公布號CN 102055132 A，公開了一種真空密封半導(dǎo)體激光器，將半導(dǎo)體激光器密封在真空腔內(nèi)，所用的真空密封腔結(jié)構(gòu)復(fù)雜，此外在使用過程中存在真空泄露的風(fēng)險(xiǎn)，若真空泄露，在真空腔內(nèi)的灰塵不易除去，水分也不易除去，導(dǎo)致半導(dǎo)體激光器結(jié)露。
[0005]中國專利申請“戶外用半導(dǎo)體激光模塊”(CN 102237632 A)公開一種戶外用的半導(dǎo)體激光器，其結(jié)構(gòu)使用于風(fēng)冷散熱的半導(dǎo)體激光器，對于液體冷卻型的半導(dǎo)體激光器不適用，同時(shí)若本身結(jié)構(gòu)內(nèi)有水汽、潮氣不易導(dǎo)出。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種具有防腐蝕結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，具有防腐蝕的優(yōu)點(diǎn)。
[0007]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0008]一種具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，包括液體制冷器、半導(dǎo)體激光器芯片、正負(fù)極電極連接塊，液體制冷器上表面設(shè)有半導(dǎo)體激光器芯片，在液體制冷器上部設(shè)置正極連接塊，在液體制冷器的下部設(shè)置負(fù)極連接塊。
[0009]所述的液體制冷器上有入液孔，出液孔，通道孔徑為5 mm -5.5 mm。
[0010]所述的液體制冷型半導(dǎo)體激光器還包括入液管，出液管，入液墊塊，出液墊塊。
[0011]入液管設(shè)置在正極連接塊(或負(fù)極連接塊)上與液體制冷器的入液孔連接，出液管設(shè)置在正極連接塊(或負(fù)極連接塊)上與液體制冷器得出液孔連接，入液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊(或正極連接塊)上用于與液體制冷器上入液孔上部進(jìn)行連接；出液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊(或正極連接塊)上用于與連接液體制冷器上出液孔上部進(jìn)行連接。
[0012]此外，可在正極連接塊(或負(fù)極連接塊)上設(shè)置有一對連接孔，用于放置入液管和出液管，所述的入液管設(shè)置在正極連接塊(或負(fù)極連接塊)的一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器入液孔；所述的出液管設(shè)置在正極連接塊(或負(fù)極連接塊)的另一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器出液孔。
[0013]在負(fù)極連接塊(或正極連接塊)上設(shè)置一對墊塊沉槽，用于放置入液墊塊和出液墊塊。
[0014]入液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊(或正極連接塊)上一個(gè)墊塊沉槽中用于與液體制冷器上入液孔上部進(jìn)行連接；出液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊(或正極連接塊)上另一個(gè)墊塊沉槽中，用于與連接液體制冷器上出液孔上部進(jìn)行連接。
[0015]本實(shí)用新型設(shè)置入液墊塊和出液墊塊，液體從入液孔進(jìn)入后通過液體制冷器中的液體通道后從出液孔流出，在這個(gè)過程中，液體會(huì)接觸負(fù)極連接塊(正極連接塊)，對負(fù)極連接塊(正極連接塊)進(jìn)行液體沖刷，設(shè)置入液墊塊和出液墊塊后，液體沖刷至入液墊塊和出液墊塊上，不易沖蝕電極連接塊。
[0016]本實(shí)用新型設(shè)置入液管和出液管，液體通入時(shí)，從入液管通入，當(dāng)液體流出時(shí)，從出液管流出，液體將不直接與正極連接塊(負(fù)極連接塊)接觸，從而使得電極連接塊不易被液體沖蝕。
[0017]入液管和出液管的材料選用耐腐蝕的材料，可以選用塑料、陶瓷等。
[0018]入液墊塊和出液墊塊的材料選用耐腐蝕的材料,可以選用塑料、陶瓷等。
[0019]液體制冷器表面設(shè)置擴(kuò)散阻礙層，在擴(kuò)散阻礙層之上設(shè)置粘附層，半導(dǎo)體激光器芯片通過焊料焊接在粘附層上，擴(kuò)散阻礙層是為了阻止粘附層材料擴(kuò)散至液體制冷器本體上而形成擴(kuò)散空洞或者結(jié)合力差的脆性材料層，最終導(dǎo)致半導(dǎo)體激光器芯片從熱沉材料上脫落。
[0020]液體制冷器選用金屬材料，可以選用金屬銅，金屬銅鎢等。
[0021]擴(kuò)散阻礙層材料選擇金屬鎳，厚度為3 μ m - 6 μ m。
[0022]粘附層材料選用金，厚度為0.5 μ m -1 μ m。
[0023]液體制冷器內(nèi)部設(shè)置有液體通道,通道孔徑為100 μ m _300 μ m。
[0024]本實(shí)用新型中另一種具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其為N個(gè)焊接有半導(dǎo)體激光器芯片的液體制冷器疊加而成，N大于I,在最頂端液體制冷器上部設(shè)置正極電極連接塊，在最底端液體制冷器下部設(shè)置負(fù)極連接塊。
[0025]各液體制冷器上設(shè)置有入液孔和出液孔，同時(shí)液體制冷器連接的入液孔和出液孔中設(shè)置有密封圈，入液孔和出液孔的直徑為5.0_ - 5.5_。
[0026]在最底端液體制冷器入液孔中設(shè)置入液管，出液孔中設(shè)置出液管；在最頂端液體制冷器入液孔上部設(shè)置有入液墊塊用于連接正極連接塊，出液孔上部設(shè)置有出液墊塊用于連接正極連接塊。
[0027]在正極連接塊(或負(fù)極連接塊)上設(shè)置有一對連接孔，用于放置入液管和出液管，所述的入液管設(shè)置在正極連接塊(或負(fù)極連接塊)的一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器入液孔；所述的出液管設(shè)置在正極連接塊(或負(fù)極連接塊)的另一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器出液孔。
[0028]在負(fù)極連接塊(或正極連接塊)上設(shè)置一對墊塊沉槽，用于放置入液墊塊和出液墊塊。
[0029]入液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊(或正極連接塊)一個(gè)墊塊沉槽中用于與液體制冷器上入液孔上部進(jìn)行連接；出液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊(或正極連接塊)上另一個(gè)墊塊沉槽中，用于與連接液體制冷器上出液孔上部進(jìn)行連接。
[0030]所述入液管、出液管、入液墊塊和出液墊塊材料選用非金屬耐腐蝕的材料，選用塑料或者陶瓷，還可選用環(huán)氧玻璃鋼、聚酯玻璃鋼、環(huán)氧酚醛玻璃鋼，氧化鋁陶瓷。
[0031]本實(shí)用新型設(shè)置入液墊塊和出液墊塊，液體從入液孔進(jìn)入后通過液體制冷器中的液體通道后從出液孔流出，在這個(gè)過程中，液體會(huì)接觸負(fù)極連接塊(正負(fù)極連接塊)，對正負(fù)極連接塊進(jìn)行液體沖刷，設(shè)置入液墊塊和出液墊塊后，液體不易沖蝕電極連接塊。
[0032]液體制冷器表面設(shè)置擴(kuò)散阻礙層，在擴(kuò)散阻礙層之上設(shè)置粘附層，半導(dǎo)體激光器芯片通過焊料焊接在粘附層上。
[0033]液體制冷器內(nèi)部設(shè)置有液體通道,通道孔徑為100 μ m -300 μ m。
[0034]所述電極連接塊選用高導(dǎo)熱導(dǎo)電材料，可選用銀、銅等，并在其表面設(shè)置擴(kuò)散阻礙層，在擴(kuò)散阻礙層上設(shè)置粘附層。
[0035]擴(kuò)散阻礙層選用鎳、厚度為3 μ m - 6 μ m。
[0036]粘層選用金，厚度為0.5 μ m -1 μ m。
[0037]粘附層選有金是為保護(hù)電極連接層不生銹且便于焊接。
[0038]通常對于液體制冷的半導(dǎo)體激光器，制冷器及半導(dǎo)體激光器電極選用金屬材料，制冷器中通入水用于半導(dǎo)體激光器的制冷，液體會(huì)對半導(dǎo)體激光器的電極進(jìn)行沖刷，在沖刷的過程中，金屬與水接觸時(shí)，會(huì)發(fā)生原電池反應(yīng)，造成對金屬的電化學(xué)腐蝕，一方面水中的氧氣與金屬元素發(fā)生氧化反應(yīng)，另一方面即使液體制冷器中的水為去離子水，金屬中含有碳等雜質(zhì)，在有水的環(huán)境里，會(huì)形成原電池反應(yīng)而發(fā)生腐蝕。氧是主要的腐蝕劑，水中二氧化碳的含量和PH值對腐蝕程度影響較大水中存在溶解氣體、金屬和鹽類氧化物，以及其它有機(jī)物，這些眾多的雜質(zhì)使水具有導(dǎo)電性，也對金屬產(chǎn)生了腐蝕性作用，最終影響半導(dǎo)體激光器器件的壽命和可靠性。
[0039]目前，現(xiàn)有技術(shù)中的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，未單獨(dú)使用入液管、出液管，而只是通過液體制冷器上的入液孔和出液孔作為液體出入路徑，液體從入液孔進(jìn)入后通過液體制冷器中的液體通道后從出液孔流出，在這個(gè)過程中，液體會(huì)接觸正負(fù)極連接塊，對正負(fù)極連接塊進(jìn)行液體沖刷，一方面，與電極連接塊接觸的液體腐蝕其表面，導(dǎo)致電極連接塊表面層脫落；另一方面，液體接觸電極連接塊表面，電極連接塊表面發(fā)生電化學(xué)腐蝕，表面被氧化后，金屬離子會(huì)進(jìn)入液體制冷器內(nèi)部的液體通道內(nèi)，金屬離子吸附雜質(zhì)或進(jìn)行絡(luò)合后形成較大粒子，導(dǎo)致液體制冷器內(nèi)部的液體通道堵塞。
[0040]本實(shí)用新型設(shè)置入液管、出液管使得進(jìn)入液體制冷器內(nèi)的液體不易與負(fù)極連接塊(或正極連接塊)接觸，這樣將不易對電極連接塊進(jìn)行腐蝕，從而保證了金屬離子不會(huì)進(jìn)入液體制冷器內(nèi)部的液體通道內(nèi)，提高了液體制冷器的可靠性；同理，本實(shí)用新型設(shè)置入液墊塊和出液墊塊，使得液體不與正極電極連接塊(或負(fù)極連接塊)接觸，不易腐蝕正極連接塊，提高了整個(gè)半導(dǎo)體激光器件的可靠性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0041]圖1為本實(shí)用新型的液體制冷型半導(dǎo)體激光器的示意圖。
[0042]圖2為本實(shí)用新型的另一種液體制冷型半導(dǎo)體激光器的示意圖。
[0043]圖3為本實(shí)用新型設(shè)有墊塊沉槽的電極連接塊的示意圖。
[0044]附圖標(biāo)號說明:1為液體制冷器；2為半導(dǎo)體激光器芯片；3為正極連接塊；4為負(fù)極連接塊；5為入液管；6為出液管；7為入液墊塊；8為出液墊塊；9為連接孔；10為墊塊沉槽，11為入液孔，12為出液孔。

【具體實(shí)施方式】
[0045]圖1為本實(shí)用新型液體制冷型半導(dǎo)體激光器的示意圖，一種具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，包括液體制冷器1、半導(dǎo)體激光器芯片2、正負(fù)極電極連接塊，液體制冷器I上表面設(shè)置有半導(dǎo)體激光器芯片2，在液體制冷器I上部設(shè)置正極連接塊3，在液體制冷器的下部設(shè)置負(fù)極連接塊4。
[0046]所述的液體制冷型半導(dǎo)體激光器還包括入液管5，出液管6，入液墊塊7，出液墊塊8。
[0047]所述的液體制冷器上有入液孔11，出液孔12，液體制冷器I表面設(shè)置擴(kuò)散阻礙層，在擴(kuò)散阻礙層之上設(shè)置粘附層，半導(dǎo)體激光器芯片2通過焊料焊接在粘附層上，擴(kuò)散阻礙層是為了阻止粘附層材料擴(kuò)散至液體制冷器本體上而形成擴(kuò)散空洞或者脆性材料層，最終導(dǎo)致半導(dǎo)體激光器芯片從熱沉上脫落。
[0048]液體制冷器I選用金屬或金屬基復(fù)合材料，可以選用金屬銅，銅鎢合金，銅-金剛石復(fù)合材料等。
[0049]擴(kuò)散阻礙層材料選擇金屬鎳，厚度為3 μ m _ 6 μ m。
[0050]粘附層材料選用金，厚度為0.5 μ m -1 μ m。
[0051]液體制冷器I內(nèi)部設(shè)置有液體通道，通道孔徑為100 μ m -300 μ m。
[0052]在正極連接塊3 (或負(fù)極連接塊4)上設(shè)置有一對連接孔9，用于放置入液管5和出液管6，所述的入液管5設(shè)置在正極連接塊3 (或負(fù)極連接塊4)的一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器I入液孔11 ;所述的出液管6設(shè)置在正極連接塊3 (或負(fù)極連接塊4)的另一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器出液孔12。
[0053]在負(fù)極連接塊4 (或正極連接塊3)上設(shè)置一對墊塊沉槽10，用于放置入液墊塊7和出液墊塊8。
[0054]入液墊塊7設(shè)置在負(fù)極連接塊4 (或正極連接塊3)上一個(gè)墊塊沉槽10中用于與液體制冷器I上入液孔11上部進(jìn)行連接；出液墊塊8設(shè)置在負(fù)極連接塊4 (或正極連接塊3)上另一個(gè)墊塊沉槽10中，用于與連接液體制冷器I上出液孔12上部進(jìn)行連接。
[0055]圖2為本實(shí)用新型的另一種液體制冷型半導(dǎo)體激光器的示意圖，具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其為多個(gè)焊接有半導(dǎo)體激光器芯片2的液體制冷器I疊加而成，在最頂端液體制冷器I上部設(shè)置正極連接塊3(或負(fù)極連接塊4)，在最底端液體制冷器I下部設(shè)置負(fù)極連接塊4 (或正極連接塊3)。
[0056]各液體制冷器I連接的入液孔11和出液孔12中設(shè)置有密封圈。
[0057]在最底端液體制冷器I的入液孔11中設(shè)置入液管5，出液孔12中設(shè)置出液管6 ；在最頂端液體制冷器I的入液孔11上部設(shè)置有入液墊塊7用于連接正極連接塊3(或負(fù)極連接塊4)，出液孔12上部設(shè)置有出液墊塊8用于連接正極連接塊3 (或負(fù)極連接塊4)。
[0058]在正極連接塊3 (或負(fù)極連接塊4)上設(shè)置有一對連接孔9，用于放置入液管5和出液管6，所述的入液管3設(shè)置在正極連接塊3 (或負(fù)極連接塊4)的一個(gè)連接孔8上，用于連接液體制冷器I的入液孔11 ;所述的出液管6設(shè)置在正極連接塊3 (或負(fù)極連接塊4)的另一個(gè)連接孔9上，用于連接液體制冷器I出液孔12。
[0059]在負(fù)極連接塊4 (或正極連接塊3)上設(shè)置一對墊塊沉槽10，用于放置入液墊塊7和出液墊塊8。
[0060]入液墊塊7設(shè)置在負(fù)極連接塊4 (或正極連接塊3) —個(gè)墊塊沉槽10中用于與液體制冷器I上的入液孔11上部進(jìn)行連接；出液墊塊8設(shè)置在負(fù)極連接塊4 (或正極連接塊3)上另一個(gè)墊塊沉槽10中，用于與連接液體制冷器I上出液孔12上部進(jìn)行連接。
[0061]所述的液體制冷器I上有入液孔11，出液孔12，液體制冷器I表面設(shè)置擴(kuò)散阻礙層，在擴(kuò)散阻礙層之上設(shè)置粘附層，半導(dǎo)體激光器芯片2通過焊料焊接在粘附層上。
[0062]液體制冷器I內(nèi)部設(shè)置有液體通道，通道孔徑為Φ5.0_ - Φ5.5_。
[0063]所述入液管5、出液管6、入液墊塊7和出液墊塊8材料選用非金屬耐腐蝕的材料，選用塑料或者陶瓷，還可選用環(huán)氧玻璃鋼、聚酯玻璃鋼、環(huán)氧酚醛玻璃鋼，氧化鋁陶瓷。
[0064]所述液體制冷器I選用高導(dǎo)熱導(dǎo)電材料，可選用銀、銅等，并在其表面設(shè)置擴(kuò)散阻礙層，在擴(kuò)散阻礙層上設(shè)置粘附層，擴(kuò)散阻礙層選用鎳、厚度為3μπι - 6μπι。
[0065]粘層選用金，厚度為0.5 μ m -1 μ m。
[0066]粘附層選有金是為保護(hù)電極連接層不生銹且便于焊接。
[0067]目前，現(xiàn)有技術(shù)中的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，未單獨(dú)使用入液管、出液管，而只是通過液體制冷器上的入液孔和出液孔作為液體出入路徑，液體從入液孔進(jìn)入后通過液體制冷器中的液體通道后從出液孔流出，在這個(gè)過程中，液體會(huì)接觸正負(fù)極連接塊，對正負(fù)極連接塊進(jìn)行液體沖刷，一方面，與電極連接塊接觸的液體腐蝕其表面，導(dǎo)致電極連接塊表面層脫落；另一方面，液體接觸電極連接塊表面，電極連接塊表面發(fā)生電化學(xué)腐蝕，表面被氧化后，金屬離子會(huì)進(jìn)入液體制冷器內(nèi)部的液體通道內(nèi)，金屬離子吸附雜質(zhì)或進(jìn)行絡(luò)合后形成較大粒子，導(dǎo)致液體制冷器內(nèi)部的液體通道堵塞。
[0068]本實(shí)用新型設(shè)置入液管、出液管使得進(jìn)入液體制冷器內(nèi)的液體不易與負(fù)極連接塊接觸，這樣將不易對負(fù)極連接塊進(jìn)行腐蝕，從而保證了金屬離子不會(huì)進(jìn)入液體制冷器內(nèi)部的液體通道內(nèi)，提高了液體制冷器的可靠性；同理，本實(shí)用新型設(shè)置入液墊塊和出液墊塊，使得液體不與正極電極連接塊接觸，不易腐蝕正極連接塊，提高了整個(gè)半導(dǎo)體激光器件的可靠性。
【權(quán)利要求】
1.一種具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，包括液體制冷器、半導(dǎo)體激光器芯片、正負(fù)極電極連接塊，液體制冷器上表面設(shè)置有半導(dǎo)體激光器芯片，在液體制冷器上部設(shè)置正極連接塊，在液體制冷器的下部設(shè)置負(fù)極連接塊，液體制冷器上設(shè)置有入液孔和出液孔，其特征在于:還包括入液管，出液管，入液墊塊，出液墊塊，所述的入液管設(shè)置在正極連接塊上與入液孔連接，出液管設(shè)置在正極連接塊上與出液孔連接，入液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊上用于與液體制冷器上入液孔上部進(jìn)行連接；出液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊上用于與連接液體制冷器上出液孔上部進(jìn)行連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其特征在于:所述正極連接塊上設(shè)置有一對連接孔，用于放置入液管和出液管，所述的入液管設(shè)置在正極連接塊的一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器入液孔；所述的出液管設(shè)置在正極連接塊的另一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器出液孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其特征在于:入液管、出液管、入液墊塊和出液墊塊的材料為環(huán)氧玻璃鋼，或者聚酯玻璃鋼，或者環(huán)氧酹醛玻璃鋼，或者氧化鋁陶瓷。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其特征在于:液體制冷器表面設(shè)置擴(kuò)散阻礙層，在擴(kuò)散阻礙層表面之上設(shè)置粘附層，半導(dǎo)體激光器芯片通過焊料焊接在粘附層上，擴(kuò)散阻礙層材料為金屬鎳，厚度為3μπι - 6μπι，粘附層材料為金，厚度為0.5μηι - 1 μ m,液體制冷器內(nèi)部設(shè)置有液體通道，通道孔徑為100 μ m -300 μ m。
5.一種具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其為N個(gè)焊接有半導(dǎo)體激光器芯片的液體制冷器疊加而成，N大于1,在最頂端液體制冷器上部設(shè)置正極連接塊，在最底端液體制冷器下部設(shè)置負(fù)極連接塊，液體制冷器上設(shè)置有入液孔和出液孔，其特征在于:還包括入液管，出液管，入液墊塊，出液墊塊，所述的入液管設(shè)置在正極連接塊上與底端液體制冷器上的入液孔連接，所述的出液管設(shè)置在正極連接塊上與底端液體制冷器上的出液孔連接，所述的入液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊上用于與頂端液體制冷器上入液孔上部進(jìn)行連接；所述的出液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊上用于與頂端液體制冷器上入液孔上部進(jìn)行連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其為N個(gè)焊接有半導(dǎo)體激光器芯片的液體制冷器疊加而成，N大于1,在最頂端液體制冷器上部設(shè)置正極電極連接塊，在最底端液體制冷器下部設(shè)置負(fù)極連接塊，其特征在于:所述的正極連接塊上設(shè)置有一對連接孔，所述的入液管設(shè)置在正極連接塊的一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器入液孔；所述的出液管設(shè)置在正極連接塊的另一個(gè)連接孔上，用于連接液體制冷器出液孔；所述的負(fù)極連接塊上設(shè)置一對墊塊沉槽，所述的入液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊一個(gè)墊塊沉槽中用于與液體制冷器上入液孔上部進(jìn)行連接；出液墊塊設(shè)置在負(fù)極連接塊上另一個(gè)墊塊沉槽中，用于與連接液體制冷器上出液孔上部進(jìn)行連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其特征在于:入液管、出液管、入液墊塊和出液墊塊的材料為環(huán)氧玻璃鋼，或者聚酯玻璃鋼，或者環(huán)氧酹醛玻璃鋼，或者氧化鋁陶瓷。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有防腐結(jié)構(gòu)的液體制冷型半導(dǎo)體激光器，其特征在于:所述的液體制冷器表面設(shè)置擴(kuò)散阻礙層，在擴(kuò)散阻礙層之上設(shè)置粘附層，半導(dǎo)體激光器芯片通過焊料焊接在粘附層上，擴(kuò)散阻礙層材料為金屬鎳，厚度為3μπι - 6 μ m，粘附層材料為金，厚度為0.5μηι -1 μ m,液體制冷器內(nèi)部設(shè)置有液體通道,通道孔徑為100 μ m-300 μ mD
【文檔編號】H01S5/02GK204103246SQ201420247817
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年5月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月15日
【發(fā)明者】劉興勝, 宗恒軍, 王警衛(wèi), 穆建飛, 梁雪杰 申請人:西安炬光科技有限公司