專利名稱：納米壓印用固化性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適于在縮微平版印刷領(lǐng)域，通過納米壓印加工以高精度形成微細圖案 的納米壓印用光固化性樹脂組合物及其固化物、用其制造微細結(jié)構(gòu)物的方法、及用該方法 制造的微細結(jié)構(gòu)物。
背景技術(shù)：
實質(zhì)上，析像度必須達到低于1 μ m范圍的電子部件的小型化可通過照相平版印 刷技術(shù)來實現(xiàn)。更小結(jié)構(gòu)的情況隨著ArF及其浸液技術(shù)的發(fā)展而得以實現(xiàn)，但從32nm左右 開始，由于與所用樹脂的大小相近，線邊緣粗糙度等問題變得明顯。另外，由于對析像度、壁 面傾斜以及縱橫比(析像度相對于高度的比)的要求越來越高，在使用掩模、掩模對準器以 及分節(jié)器等照相平版印刷法結(jié)構(gòu)化所必需使用的裝置的情況下，成本急劇增加。尤其是最 新的分節(jié)器價格高達數(shù)10億日元，成為制造微型芯片時高成本的重要原因。另外，進行了 使用電子射線以及X射線等短波放射線來實現(xiàn)精細化的研究，但從生產(chǎn)性方面考慮，仍殘 留有很多問題。作為其替代方法，期待納米壓印法。作為納米壓印法，已知主要有下述方法熱納 米壓印法，將熱塑性樹脂加熱、軟化后，壓上模具，制作圖案；以及UV-納米壓印法，將光固 性化合物涂布在基體材料上后，與模具接觸，通過曝光使組合物固化，制作圖案。這些均為 很優(yōu)異的方法，但由于UV-納米壓印法通過光來使之固化，不進行熱納米壓印法中的加熱 冷卻過程，因此期待能夠達到更高的產(chǎn)量。另外，由于使用透明的模具，可以簡便地達到更 高的位置精度，這也是其一大特征。而且，UV-納米壓印法中的組合物主要由液態(tài)單體組合 而成，與熱納米壓印法相比，能夠以非常低的轉(zhuǎn)壓印力制成圖案，這又是其一大特征。專利文獻1中記載了一種基于熱塑性變形的納米壓印法，所述熱塑性變形是因附 著在基板整個表面上的抗蝕劑(> ^ 7卜)的、剛性的印模上存在的起伏(> U —7 )而 導致的。在該方法中，使用熱塑性樹脂(聚甲基丙烯酸甲酯、PMMA)作為熱沖壓用抗蝕劑， 但由于貫穿整個晶片表面的約IOOnm厚的通常的變化寬度，無法使用剛性印模以一個工序 實現(xiàn)6、8以及12英寸晶片的結(jié)構(gòu)化。因此，必須使用復雜的“步進重復”法，但由于該方法 對已經(jīng)結(jié)構(gòu)化了的相鄰區(qū)域進行再加熱，因此不適宜。在專利文獻2、專利文獻3以及專利文獻4中，將印模用UV固化性抗蝕層(自身組 織化單膜、例如烷基硅氧烷)浸濕，然后壓在平滑的基板上。與以往的沖壓工藝相同，使印 模由基板表面升起時，殘留有結(jié)構(gòu)化了的抗蝕層材料。表明所用的抗蝕層材料對基板充分 浸濕，但不適于剝離方法，而且不具有充分的蝕刻耐性。另外，由于結(jié)構(gòu)物的大小為Iym左 右，超過大小的1個數(shù)量級，過大。專利文獻5報道了使用含氟聚合物提高模具剝離性的例子。但由于反應(yīng)體系為自 由基固化體系、而且為無溶劑體系，因此在提高模具剝離性的同時也犧牲了與基體材料的 貼合性，不適于形成良好的圖案。尤其是替代照相平板印刷法使用的情況下，雖然可以得到 低殘留膜，但使用該方法時與基體材料的貼合性不充分。
這些方法均不能實現(xiàn)本發(fā)明的目的。專利文獻1 美國專利第5，772，905號說明書專利文獻2 美國專利第5，900, 160號說明書專利文獻3 美國專利第5，925，259號說明書專利文獻4 美國專利第5，817，242號說明書專利文獻5 日本特開2007-1250號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的目的在于提供與基板的貼合性良好且從模具中剝離的剝離性良好的納 米壓印用光固化性樹脂組合物及其固化物，該組合物適用于納米壓印法，納米壓印法是通 過可獲得高析像度和優(yōu)異的縱橫比的照相平板印刷法實質(zhì)上實現(xiàn)線邊緣粗糙度良好、得到 更經(jīng)濟的電子部件等的微細結(jié)構(gòu)化法。本發(fā)明另一目的在于提供使用上述納米壓印用光固化性樹脂組合物制造微細結(jié) 構(gòu)物的方法、及用該方法制造的微細結(jié)構(gòu)物。解決問題的方法本發(fā)明人等經(jīng)過潛心研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)就轉(zhuǎn)印抗蝕層(納米壓印抗蝕層)而言，通 過向納米壓印用樹脂組合物中添加不明顯降低與基體材料的貼合性但能夠明顯提高模具 剝離性的特定化合物，可以提高轉(zhuǎn)印精度。也就是說，本發(fā)明涉及的是納米壓印用光固化性樹脂組合物，其含有固化性單體、 或含有固化性單體和粘合劑樹脂，其中，相對于所述固化性單體和粘合劑樹脂的總量100 重量份，同一分子骨架中具有反應(yīng)性官能團和疏水性官能團的化合物A的含量為0. 001
5重量份。在本發(fā)明的組合物中，優(yōu)選反應(yīng)性官能團為選自羥基、環(huán)氧基、乙烯基醚基、氧雜 環(huán)丁烷基(才3？力夕二&基)、烷氧基硅烷基、或具有自由基聚合性的乙烯基中的至少一種 官能團。另外，優(yōu)選疏水性官能團為選自含有氟原子的基團、烷基硅烷基、脂環(huán)式烴基、碳原 子數(shù)為4以上的脂肪族烴基中的至少一種官能團。另外，在本發(fā)明中，優(yōu)選光固化性樹脂組合物為含有陽離子固化性單體的陽離子 固化性組合物和/或含有具有自由基聚合性不飽和鍵的單體的自由基固化性組合物，該陽 離子固化性單體為選自環(huán)氧化合物、乙烯基醚化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物、碳酸酯化合物、 二硫代碳酸酯化合物中的至少一種化合物。此外，本發(fā)明的光固化性樹脂組合物優(yōu)選為含有下述化合物作為化合物A、含有環(huán) 氧化合物或氧雜環(huán)丁烷化合物作為固化性單體的陽離子固化性組合物，所述化合物含有乙 烯基作為反應(yīng)性官能團、含有具有氟原子的基團作為疏水性官能團。另外，本發(fā)明的光固化性樹脂組合物優(yōu)選含有丙烯酸類單體作為該固化性單體。此外，本發(fā)明還包括將上述光固化性樹脂組合物固化形成的固化物。另外，本發(fā)明還包括通過對上述光固化性樹脂組合物進行納米壓印加工來得到微 細結(jié)構(gòu)物的制造微細結(jié)構(gòu)物的方法。本發(fā)明的微細結(jié)構(gòu)物的制造方法優(yōu)選包括下述工序(1)在支持體上形成包含上述樹脂組合物的覆膜的工序；(2)使用經(jīng)過微細結(jié)構(gòu)化的壓印印模將圖案轉(zhuǎn)印到上述覆膜 上的工序；(3)使轉(zhuǎn)印有圖案的覆膜固化的工序；及(4)取下壓印印模，得到壓印后的微細 結(jié)構(gòu)的工序。需要說明的是，本發(fā)明包括用上述制造方法得到的微細結(jié)構(gòu)物。上述微細結(jié)構(gòu)物 包括半導體材料、平網(wǎng)印刷機、全息圖、波導、介質(zhì)用結(jié)構(gòu)體、精密機械部件或傳感器等。在本說明書中，所說的“納米壓印”不僅包括通過對設(shè)置在支持體上的覆膜按壓納 米印模來轉(zhuǎn)印圖案的通常的納米壓印(狹義的納米壓印)，而且還包括經(jīng)下述方法采用模 具進行的微細圖案轉(zhuǎn)印技術(shù)(廣義的納米壓印)，所述方法使用形成有微細圖案的模具代 替納米印模，向該模具上流入樹脂組合物，在其上重疊支持體，從最上面進行按壓。發(fā)明的效果按照本發(fā)明，通過使用陽離子固化系統(tǒng)和/或自由基固化性系統(tǒng)，在縮微平版印 刷領(lǐng)域作為半導體材料、平網(wǎng)印刷機、全息圖、介質(zhì)用結(jié)構(gòu)體、精密機械部件以及傳感器等 微細結(jié)構(gòu)化用抗蝕層，則可顯著提高成為嚴重阻礙圖案形成精度提高的模具剝離性。另外， 可得到缺陷少、良好的圖案形狀，尤其可穩(wěn)定地形成殘膜厚度小的圖案。按照本發(fā)明，可得 到與基板的貼合性好、且從模具剝離的剝離性優(yōu)異的納米壓印用固化性樹脂組合物及其固 化物。
具體實施例方式本發(fā)明的納米壓印用光固化性樹脂組合物為含有固化性單體、或含有固化性單體 和粘合劑樹脂的納米壓印用光固化性樹脂組合物，其中，相對于該固化性單體和粘合劑樹 脂的總量100重量份，同一分子骨架中具有反應(yīng)性官能團和疏水性官能團的化合物A的含 量為0. 001 5重量份。在化合物A中，疏水性官能團可有效降低從玻璃板等粘附板上剝離涂膜時與模具 的貼合性，可有效提高粘附板剝離性。反應(yīng)性官能團是用于將化合物A固定在固化性單體 的固化物中所不可缺少的，并可提高與玻璃板等基板的貼合性。在本說明書中，反應(yīng)性是指對固化性單體(具有的官能團)的反應(yīng)性。例如，羥基 與固化性單體的環(huán)氧基反應(yīng)，使用丙烯酸類硅烷化合物作為固化性單體的情況下，烷氧基 硅烷基與其甲硅烷基反應(yīng)。另外，為了在維持與基體材料的貼合性的同時提高模具剝離性，則在涂膜過程中， 有必要使添加的同一分子骨架中具有反應(yīng)性官能團和疏水性官能團的化合物發(fā)生偏析，有 必要降低與固化單體的相容性。因此，疏水性官能團是非常重要的。尤其是通過使用本方 法，用于平版印刷用途的情況下，可以穩(wěn)定地形成尤為重要的殘膜厚度小的圖案。反應(yīng)性官能團對于光固化時在骨架中的固定是不可或缺的，可以列舉例如，羥基、 環(huán)氧基、乙烯基醚基、氧雜環(huán)丁烷基、烷氧基硅烷基、或具有自由基聚合性的乙烯基等。在同一分子骨架中具有反應(yīng)性官能團和疏水性官能團的化合物A內(nèi)，作為疏水性 官能團，優(yōu)選例如、含有氟原子的基團、烷基硅烷基、脂環(huán)式烴基、碳原子數(shù)為4以上的脂肪 族烴基。另外，作為脂肪族烴基，還包括含有包含C-C鍵的聚合物鏈的基團。作為含有氟原子的基團，可以列舉例如，氟原子；C1,氟代烷基；氟代乙烯基；氟代 烯丙基；氟代環(huán)烷基；氟代橋聯(lián)脂環(huán)式基團；氟代苯基，氟代萘基等氟代芳基；氟代芳烷基寸。作為CV2tl氟代烷基，可以列舉例如，直鏈狀或支鏈狀烷基中的至少一個氫原子被 氟原子取代的直鏈狀或支鏈狀氟代烷基等。作為這樣的氟代烷基的代表例，可列舉，氟代甲 基(三氟甲基等)、氟代乙基(五氟乙基、2，2，2-三氟乙基等)、氟代丙基(七氟丙基、2，2， 3，3，3_五氟丙基、2，2，3，3_四氟丙基等)、氟代異丙基[2，2，2-三氟-1-(三氟甲基)乙基 等]、氟代丁基(九氟丁基、4，4，4-三氟丁基等)、氟代異丁基、氟代仲丁基、氟代叔丁基、氟 代戊基(i^一氟戊基、2，2，3，3，4，4，5，5，5-九氟戊基、2，2，3，3，4，4，5，5-八氟戊基等)、氟 代己基(十三氟己基、2，2，3，3，4，4，5，5，6，6，6-—^一氟己基、2，2，3，3，4，4，5，5，6，6-十氟 己基、3，3，4，4，5，5，6，6，6-九氟己基等)、氟代庚基(十五氟庚基、2，2，3，3，4，4，5，5，6，6， 7,7,7-十三氟庚基、2，2，3，3，4，4，5，5，6，6，7，7-十二氟庚基等)、氟代辛基(十七氟辛基、 2，2，3，3，4，4，5，5，6，6，7，7，8，8，8-十五氟辛基等)、氟代壬基(十九氟壬基、2，2，3，3，4，4， 5，5，6，6，7，7，8，8，9，9，9-十七氟壬基等)、氟代癸基(二i^一氟癸基、2，2，3，3，4，4，5，5，6， 6,7,7,8,8,9,9,10，10，10-十九氟癸基等)、氟代十二烷基、氟代十四烷基、氟代十六烷基、 氟代十八烷基等。作為氟代環(huán)烷基，可以列舉例如，環(huán)烷基的至少一個氫原子被氟原子取代的基 團(氟代環(huán)烷基)、例如、單氟環(huán)戊基、二氟環(huán)戊基、九氟環(huán)戊基、單氟環(huán)己基、二氟環(huán)己基、 十一氟環(huán)己基等3 20元氟代環(huán)烷基(優(yōu)選5 20元、特別優(yōu)選5 15元氟代環(huán)烷基)寸。作為氟代橋聯(lián)脂環(huán)式基團，可以列舉例如，氟代降冰片烷基、氟代金剛烷基(7 > 素化τ· ” >★>)、氟代冰片基、氟代異冰片基、氟代三環(huán)[5.2. 1. O2’6]癸基、氟代四環(huán) [4. 4. 0. I2’5. I7'10]十二烷基、氟代十氫萘基等。作為烷基硅烷基，可以列舉例如，甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基、 叔丁基、戊基、1，1- 二甲基丙基、2，2- 二甲基丙基、3-甲基丁基、己基、4-甲基戊基、1，3- 二 甲基丁基、1-異丙基丁基、1，1- 二甲基丁基、2-甲基戊基、3，3- 二甲基丁基、1，2，2-三甲基 丙基、2，2_二甲基丁基等碳原子數(shù)為1 6的直鏈狀或支鏈狀烷基的單取代甲硅烷基、二取 代甲硅烷基、三取代甲硅烷基等。作為脂環(huán)式烴基，可以列舉例如，環(huán)戊基、環(huán)己基，環(huán)辛基等環(huán)烷基；環(huán)烯基；降冰 片烷基、金剛烷基、冰片基、異冰片基、三環(huán)[5. 2. 1. O2'6]癸基、四環(huán)[4. 4. 0. I2'5. I7'10]十二 烷基、十氫萘基等交聯(lián)環(huán)式基團等。作為碳原子數(shù)為4以上(例如4 30左右)的脂肪族烴基，可以列舉例如，異丙 基、丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十二烷基、十四烷基、 十六烷基、十八烷基等直鏈狀或支鏈狀烷基；乙烯基、烯丙基等鏈烯基；乙炔基等炔基等。作為同一分子骨架中具有反應(yīng)性官能團和疏水性官能團的化合物A的具體例，可 以列舉下述化合物。<疏水性官能團為含有氟原子的基團的化合物>(i)作為反應(yīng)性官能團為羥基的化合物，可以列舉，碳原子數(shù)為2 20的氟代醇、 例如、TOSOH F-TECH公司制造的2，2，2-三氟乙醇、Central硝子公司制造的六氟_2_丙醇、 Daikin化學工業(yè)公司制造的2,2,3,3-四氟丙醇、2，2，3，3，4，4，5，5-八氟戊醇、旭硝子公司 制造的2-全氟烷基乙醇、Central硝子公司制造的2，2-雙(4-羥苯基)六氟丙烷等。
(ii)作為反應(yīng)性官能團為具有陽離子反應(yīng)性的環(huán)氧基、乙烯基醚基、氧雜環(huán)丁烷 基、烷氧基硅烷基的化合物，可以列舉，旭硝子公司制造的全氟丙基乙烯基醚、Toray Dow Corning公司制造的FS系列等。另外，還可使用含有環(huán)氧基的化合物作為三氟乙酸、三氟乙 酸酐的衍生物。(iii)作為反應(yīng)性官能團為(甲基)丙烯?；?、乙烯基等具有自由基聚合性的 乙烯基的化合物，可以列舉，共榮公司制造的全氟烷基乙基丙烯酸酯(FA-108)、Omnova Solutions Incorporated 公司制造的 PolyFox PF 系列等。<疏水性官能團為烷基硅烷基的化合物>(i)作為反應(yīng)性官能團為羥基的化合物，可以列舉，Toray Dow Corning公司制造 的作為羥基烷基末端二甲基硅氧烷的BY系列等。(ii)作為反應(yīng)性官能團為具有陽離子反應(yīng)性的環(huán)氧基、乙烯基醚基、氧雜環(huán)丁烷 基的化合物，可以使用經(jīng)烷基氯硅烷處理過的具有活性氫基的環(huán)氧化物(工《# )、乙烯 基醚、氧雜環(huán)丁烷化合物。其中包括，例如，使三烷基氯硅烷與Daicel化學工業(yè)公司制造的 環(huán)氧化四氫芐醇、丸善石油化學公司制造的2-羥基乙基乙烯基醚(HEVE)、一縮二乙二醇單 乙烯基醚(DEGV)、2_羥基丁基乙烯基醚(HBVE)、二縮三乙二醇二乙烯基醚、東亞合成公司 制造的3-乙基_3-(羥甲基)氧雜環(huán)丁烷等進行后應(yīng)制得的化合物等。(iii)作為反應(yīng)性官能團為(甲基)丙烯?；?、乙烯基等具有自由基聚合性的乙烯 基的化合物，可以使用經(jīng)烷基氯硅烷處理過的具有活性氫基的(甲基)丙烯酸酯。例如，包 括將三烷基氯硅烷與共榮公司制造的(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基 丁酯反應(yīng)得到的化合物等。<疏水性官能團為脂環(huán)式烴基的化合物>(i)作為反應(yīng)性官能團為羥基的化合物，包括氫化雙酚型的化合物等。另外，還可 使用具有羥基的金剛烷等所謂的被稱為cardo樹脂的化合物。(ii)作為反應(yīng)性官能團為具有陽離子反應(yīng)性的環(huán)氧基、乙烯基醚基、氧雜環(huán)丁烷 基的化合物，包括氫化雙酚A型縮水甘油醚。(iii)作為反應(yīng)性官能團為(甲基)丙烯?；?、乙烯基等的具有自由基聚合性的乙 烯基的化合物，可以列舉，Daicel化學工業(yè)公司制造的(甲基)丙烯酸金剛烷基(7夕‘7 > ★ > )酯、Daicel-cytec公司制造的(甲基)丙烯酸異冰片酯、日立化成工業(yè)公司制造 的(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯等。<疏水性官能團是碳原子數(shù)4以上的脂肪族烴基的化合物>(i)作為反應(yīng)性官能團為羥基的化合物，可以列舉，碳原子數(shù)為4 20的醇類、日 信化學工業(yè)公司制造的作為乙炔類醇的聚醚化合物Surfynol、三井化學公司制造的4-甲 基-I-戊烯_ α -烯烴共聚物末端為羥基的TPX系列等。(ii)作為反應(yīng)性官能團為具有陽離子反應(yīng)性的環(huán)氧基、乙烯基醚基、氧雜環(huán)丁烷 基的化合物，可以列舉，Daicel化學工業(yè)公司制造的作為具有長鏈烷基的單環(huán)氧化物的 AOE系列等。(iii)作為反應(yīng)性官能團為(甲基)丙烯?；?、乙烯基等具有自由基聚合性的乙烯 基的化合物，可以列舉，具有長鏈烷基的(甲基)丙烯酸酯等。同一分子骨架中具有反應(yīng)性官能團和疏水性官能團的化合物A的添加量，相對于
7固化性單體及粘合劑樹脂的總量100重量份為0. 001 5重量份、優(yōu)選0. 01 2重量份、更 優(yōu)選0.1 2重量份。添加量低于0.001重量份的情況下，不能充分提高模具剝離性。反 之，添加量超過5重量份的情況下，由于在提高模具剝離性的同時其與基體材料的貼合性 劣化，導致圖案精度變差。作為光固化性樹脂，可以使用光陽離子固化型或光陽離子固化型及光自由基固化 型、也可將這些類型組合使用。作為可用于陽離子固化性系統(tǒng)的單體(陽離子固化性單體)，可以列舉，環(huán)氧化合 物、乙烯基醚化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物、碳酸酯化合物、二硫代碳酸酯化合物等。顯示出光陽離子聚合性的官能團已知有很多，但作為實用性特別高的官能團，則 有環(huán)氧基、乙烯基、氧雜環(huán)丁烷基等廣為使用。作為含有環(huán)氧基的化合物(環(huán)氧化合物)，可以列舉，脂環(huán)式環(huán)氧樹脂(例如、 Daicel 化學工業(yè)(株)制造的 CELL0XIDE2000、2021、3000、EHPE3150CE ；三井石油化學 (株)制造的EPOMIC VG-3101 油化Shell環(huán)氧(株)制造的E-1031S ；三菱瓦斯化學(株) 制造的TETRAD-X、TETRAD-C ；日本曹達(株)制造的EPB-13，EPB-27等)等。另外，還可使 用含有環(huán)氧基和(甲基)丙烯酰基的雜合()、^寸'J , K )化合物。可以列舉例如，(甲 基)丙烯酸3，4_環(huán)氧環(huán)己基甲酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、乙烯基縮水甘油醚等。這些化 合物可單獨使用，也可混合使用。作為含有乙烯基的化合物(乙烯基醚化合物等)，只要是含有乙烯基的化合物即 可，沒有特別限制。作為市售品，可以列舉，丸善石油化學公司制造的2-羥基乙基乙烯基醚 (HEVE)、一縮二乙二醇單乙烯基醚(DEGV)、2-羥基丁基乙烯基醚(HBVE)、二縮三乙二醇二 乙烯基醚、ISP公司制造的RAPI-CURE系列、V-PYROL (注冊商標)(N-乙烯基-2-吡咯烷)、 V-CAPTM(N-乙烯基-2-己內(nèi)酰胺)等。另外，還可使用在α和/或β位具有烷基、烯丙基 等取代基的乙烯基化合物。另外，還可使用含有環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基的乙烯基醚化 合物。這些化合物可單獨使用，也可混合使用。作為含有氧雜環(huán)丁烷基的化合物(氧雜環(huán)丁烷化合物)，只要是含有氧雜環(huán)丁 烷基的化合物即可，沒有特別限制。作為市售品，可以列舉，東亞合成公司制造的3-乙 基-3_(苯氧基甲基)氧雜環(huán)丁烷(Ρ0Χ)、二 [1-乙基(3-氧雜環(huán)丁烷基)]甲基醚(D0X)、 3-乙基-3-(2-乙基己氧基甲基)氧雜環(huán)丁烷(EHOX)、3_乙基_3-{[3_(三乙氧基甲硅烷 基)丙氧基]甲基}氧雜環(huán)丁烷(TESOX)、氧雜環(huán)丁烷基倍半硅氧烷(Sil-sesqui-oxane) (OX-SQ)、酚醛清漆氧雜環(huán)丁烷(PN0X-1009)等。另外，還可使用含有氧雜環(huán)丁烷基和(甲 基)丙烯?；碾s合化合物。這些氧雜環(huán)丁烷類化合物可單獨使用，也可混合使用。作為碳酸酯化合物、二硫代碳酸酯化合物，只要是分子內(nèi)含有碳酸酯基、或二硫代 碳酸酯基的化合物即可，沒有特別限制。此外，本發(fā)明的光固化性樹脂組合物通過含有固化膨脹性化合物作為成分之一， 可以控制固化收縮，可制成良好的圖案形狀。具體包括下述化合物1及化合物2。(化合物1)化合物1為下述通式(1)所表示的含有雙環(huán)的環(huán)氧化合物，[化學式1]
權(quán)利要求
一種納米壓印用光固化性樹脂組合物，其含有固化性單體，或者含有固化性單體和粘合劑樹脂，其中，相對于該固化性單體和粘合劑樹脂的總量100重量份，同一分子骨架中具有反應(yīng)性官能團和疏水性官能團的化合物A的含量為0.001～5重量份。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印用光固化性樹脂組合物，其中，反應(yīng)性官能團為選 自羥基、環(huán)氧基、乙烯基醚基、氧雜環(huán)丁烷基、烷氧基硅烷基或具有自由基聚合性的乙烯基 中的至少一種官能團。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的納米壓印用光固化性樹脂組合物，其中，疏水性官能團為 選自含有氟原子的基團、烷基硅烷基、脂環(huán)式烴基、碳原子數(shù)為4以上的脂肪族烴基中的至 少一種官能團。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的納米壓印用光固化性樹脂組合物，其中，光固化 性樹脂組合物為含有陽離子固化性單體的陽離子固化性組合物和/或含有具有自由基聚 合性不飽和鍵的單體的自由基固化性組合物，該陽離子固化性單體為選自環(huán)氧化合物、乙 烯基醚化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物、碳酸酯化合物、二硫代碳酸酯化合物中的至少一種化合 物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項所述的納米壓印用光固化性樹脂組合物，所述納米壓 印用光固化性樹脂組合物是陽離子固化性組合物，所述陽離子固化性組合物包含化合物A， 還包含作為固化性單體的環(huán)氧化合物或氧雜環(huán)丁烷化合物，所述化合物A具有作為反應(yīng)性 官能團的乙烯基、作為疏水性官能團的含有氟原子的基團。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項所述的納米壓印用光固化性樹脂組合物，其中，固化性 單體包括丙烯酸類單體。
7.一種固化物，該固化物由權(quán)利要求1 6中任一項所述的光固化性樹脂組合物固化 而形成。
8.微細結(jié)構(gòu)物的制造方法，該方法包括，對權(quán)利要求1 6中任一項所述的光固化性樹 脂組合物進行納米壓印加工而得到微細結(jié)構(gòu)物。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微細結(jié)構(gòu)物的制造方法，該方法包括(1)在支持體上形成包含權(quán)利要求1 6中任一項所述的光固化性樹脂組合物的覆膜 的工序；(2)使用經(jīng)過微細結(jié)構(gòu)化的壓印印模將圖案轉(zhuǎn)印到上述覆膜上的工序；(3)使轉(zhuǎn)印有圖案的覆膜發(fā)生固化的工序；及(4)取下壓印印模，得到被壓印的微細結(jié)構(gòu)的工序。
10.一種微細結(jié)構(gòu)物，其是采用權(quán)利要求8或權(quán)利要求9中任一項所述的制造方法得到的。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的微細結(jié)構(gòu)物，其包括半導體材料、平網(wǎng)印刷機、全息圖、波 導、介質(zhì)用結(jié)構(gòu)體、精密機械部件或傳感器。
全文摘要
本發(fā)明的納米壓印用光固化性樹脂組合物含有固化性單體或含有固化性單體和粘合劑樹脂，相對于該固化性單體和粘合劑樹脂的總量100重量份，該納米壓印用光固化性樹脂組合物中進一步包含0.001～5重量份在同一分子骨架中具有反應(yīng)性官能團和疏水性官能團的化合物。優(yōu)選反應(yīng)性官能團為選自羥基、環(huán)氧基、乙烯基醚基、氧雜環(huán)丁烷基、烷氧基硅烷基、或具有自由基聚合性的乙烯基中的至少一種官能團，疏水性官能團為選自含有氟原子的基團、烷基硅烷基、脂環(huán)式烴基、碳原子數(shù)為4以上的脂肪族烴基中的至少一種官能團。
文檔編號H01L21/027GK101984756SQ200980102438
公開日2011年3月9日 申請日期2009年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月14日
發(fā)明者三宅弘人, 伊吉就三 申請人:大賽璐化學工業(yè)株式會社