專利名稱：被加工件的表面保護方法和臨時固定方法
技術領域：
本發(fā)明涉及加工各種材料時該被加工件的表面保護方法和臨時固定方法。更具 體地說，本發(fā)明提出對光學用構件、半導體晶片等進行加工時，通過在被加工件的表面 設置由固化性組合物形成的保護膜(以下 也有時稱為固化體)，以保護不加工的部分免受 加工時的異物附著、損傷等為目的的被加工件的表面保護方法。此外，本發(fā)明還提出被 加工件的臨時固定方法，其特征在于，通過將該被加工件與基材粘合，將被加工件加工 后，將粘合部分浸漬于溫水中，將上述保護膜取下，從而回收被加工件。
背景技術：
在金屬板、模具、鋁框、塑料板、半導體晶片、電路基板、陶瓷、玻璃、石英 等工學部件和傳感器等電子、電氣部件的加工，特別是切割、研削、研磨等精密加工等 時，為了防止對該被加工件的已加工面、電路、傳感器部位等的損傷、異物附著，廣泛 使用了暫時將部件保護的表面保護膜。作為該表面保護膜，主要使用了壓敏粘合性片。例如，進行半導體晶片、光學部件等的薄型化時，采用所謂背面研削方法進行 加工。所謂背面研削方法，是用表面保護片保護晶片的電路面、光學部件的非加工面， 同時通過上述表面保護片將該等部件臨時固定于基板，對與電路面相反側的背面進行研 削的方法。但是，現在使用的壓敏粘合性的表面保護片在對于半導體晶片的電路的凹凸的 追隨性上存在極限。因此，由在晶片和表面保護層之間進入研削液等產生的污染常常成 為問題。此外，將半導體晶片切割(Dicing)時，對于典型的半導體表面保護片，不能追 隨以凸點為代表的ΙΟΟμιη以上的突起，存在產生污染、碎屑飛散的問題。以往的表面保護片一般是在聚合物膜材料上具有粘接劑層作為表面保護層的 片，為了追隨電路面的凹凸，將粘接劑設計為具有低彈性模量。但是，如果彈性模量過 低，將片從晶片剝離除去時對晶片施加大的應力，導致晶片的破損。因此，開發(fā)了將片剝離前通過照射紫外線等能量線而使粘接劑固化，使晶 片-保護片間的粘合力降低的能量線易剝離型保護片。但是，研削期間粘接劑層為未固 化的狀態(tài)，存在因過于柔軟，晶片在研削中破損的問題。專利文獻1公開了如下的晶片研削方法將上述的能量線易剝離型保護片粘貼 于形成有電路的晶片，用能量線將粘接劑層固化后，進行晶片的背面研削。但是，由于 粘接劑不是流體，因此對于晶片電路面的凹凸的追隨性不足。另一方面，專利文獻2中，公開了熱熔型的半導體表面保護片。通過加熱到 60 100°C而熔融并顯示流動性的熱熔型片，能夠追隨電路面的凹凸，顯示優(yōu)異的研削 性。但是，該片存在溫度每次超過熔點時均會熔融的性質。為了解決上述問題，本發(fā)明人提出了一種含有包含特定的(甲基)丙烯酸單體 的樹脂的樹脂組合物，該樹脂組合物不僅對光學部件的電路面的凹凸具有充分的的追隨 性，而且作為研削時的支持體也具有足夠的剛性(參照專利文獻3和4)。上述樹脂組合物對于背面研削時的表面保護有效。但是，表面保護時，要求表面完全固化的樹脂組合 物。這是因為，如果表面研削-切割時的表面保護時受到由氧引起的阻聚，有時表面不 能完全固化。另一方面，與表面保護片不同地，研究了在加工物表面涂布溶解于特定有機溶 劑的紫外線固化型粘合劑，使其紫外線固化而被覆，保護表面免受加工時的切削屑等的 方法。但是，由于使用有機溶劑，洗滌處理工序繁雜，作業(yè)環(huán)境方面存在問題，而且在 存在微細的凹凸時，有機溶劑不能充分浸透，不能完全將保護膜除去，因此產生了該被 加工物的外觀上的問題。作為對于晶片、光學部件等的電路面的凹凸的追隨性充分并且作為研削時的支 持體具有足夠剛性的組合物，提出了以(甲基)丙烯酸單體和含有環(huán)戊二烯骨架的樹脂為 成分的樹脂組合物(參照專利文獻5)?，F有技術文獻專利文獻專利文獻1 日本特開平11-026406號公報 專利文獻2 日本特開2000-038556號公報專利文獻3 國際公開W02007/004620小冊子專利文獻4 國際公開W02006/100788小冊子專利文獻5 日本特開2007-186587號公報

發(fā)明內容
但是，上述專利文獻5中，對于使用上述樹脂組合物在被加工件的表面設置保 護膜，并且設置在80 150°C進行加熱處理的加熱工序沒有記載。而且也沒有記載設置 了加熱工序時，即使進行切割在加工時保護膜也不脫落。本發(fā)明人為了解決上述問題進行了深入研究，結果發(fā)現在被加工件的表面設置 了由上述固化性組合物形成的保護膜后，進行保護膜的加熱處理，然后進行被加工件的 加工，在加工時保護膜不脫落的情況下能夠保護上述被加工件的表面，從而完成了本發(fā) 明。S卩，本發(fā)明涉及被加工件的表面保護方法，其特征在于在被加工件的表面設 置由固化性組合物形成的保護膜的被加工件的表面保護方法中，在被加工件的表面層合 保護膜后，經過對保護膜進行加熱處理的工序，然后進行被加工件的加工。此外，本發(fā)明涉及被加工件的臨時固定方法，其特征在于在被加工件的表面 設置由固化性組合物形成的保護膜，進行加熱處理后，進行被加工件的加工，然后浸漬 于90°C以下的溫水將由上述固化性組合物形成的保護膜從上述被加工件取下。具體地，本發(fā)明如下所述。本發(fā)明涉及在被加工件的表面層合保護膜的被加工件的表面保護方法，其特征 在于，具有以下工序在被加工件的表面層合由固化體構成的保護膜的層合工序，該固 化體由含有下述(A)、(B)和(C)的固化性組合物形成；在層合工序后在80 150°C進 行加熱處理的加熱工序；以及在加熱工序后對被加工件進行加工的加工工序。(A)多官能(甲基)丙烯酸酯
(B)單官能(甲基)丙烯酸酯
(C)光聚合引發(fā)劑
此外，涉及第1項所述的被加工件的表面保護方法，其中，上述保護膜含有(D) 具有環(huán)戊二烯骨架的樹脂。
此外，涉及該被加工件的表面保護方法，其中，上述(D)具有環(huán)戊二烯骨架的 樹脂在分子內含有酯基或羥基。
此外，涉及該被加工件的表面保護方法，其中，上述(A)多官能(甲基)丙烯酸 酯和上述(B)單官能(甲基)丙烯酸酯均為疏水性。
此外，涉及該被加工件的表面保護方法，其中，上述固化性組合物在(A)和 (B)的合計量100質量份中，含有5 50質量份(A)多官能(甲基)丙烯酸酯和50 95質量份(B)單官能(甲基)丙烯酸酯，相對于(A)和(B)的合計量100質量份，含有 0.1 20質量份(C)光聚合引發(fā)劑和0.1 50質量份(D)具有環(huán)戊二烯骨架的樹脂。
此外，涉及在被加工件的表面層合保護膜的被加工件的臨時固定方法，其特征 在于，具有以下工序在被加工件的表面層合由固化體構成的保護膜的層合工序，該固 化體由含有下述(A)、(B)和(C)的固化性組合物形成；在層合工序后在80 150°C進 行加熱處理的加熱工序；在加熱工序后進行被加工件的加工的加工工序；以及在加工工 序后將被加工件浸漬于90°C以下的溫水中，將上述保護膜從上述被加工件取下的取下工 序。
(A)多官能(甲基)丙烯酸酯
(B)單官能(甲基)丙烯酸酯
(C)光聚合引發(fā)劑
本發(fā)明的被加工件的表面保護方法獲得即使進行切割等加工，保護膜也不脫落 的效果，能夠防止對被加工件的已加工面、電路、傳感器部位等的損傷、異物附著。
具體實施方式
本發(fā)明涉及被加工件的表面保護方法，其特征在于在被加工件的表面設置由 固化性組合物形成的保護膜后，將保護膜在80 150°C進行加熱處理，然后進行被加工 件的加工，從而防止加工時的保護膜的脫落。
從保持保護膜的剝離性的觀點出發(fā)，加熱處理的溫度優(yōu)選80 150°C，更優(yōu)選 90 120°C。如果為80°C以上，能夠獲得加熱處理產生的效果，如果為150°C以下，剝 離性良好。
本發(fā)明中作為保護膜使用的固化性組合物，在獲得上述發(fā)明的效果方面，優(yōu)選 含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)單官能(甲基)丙烯酸酯、(C)光聚合引發(fā)劑 和(D)含有環(huán)戊二烯骨架的樹脂。
作為上述固化性組合物中使用的(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，可以使用具有2 個以上(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物/單體。例如，作為 多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物，可以列舉1，2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲 基)丙烯酸酯(例如，日本曹達公司制、“TE-2000”、“TEA-1000”)、上述的氫化物 (例如，日本曹達公司制、“TEAI-1000”)、1，4-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，大阪有機化學公司制、“BAC-45”)、聚異戊二烯末端(甲基)丙烯酸 酯、聚氨酯丙烯酸酯(例如，日本合成公司制“UV-7000B”)、聚酯系氨基甲酸酯(甲 基)丙烯酸酯(例如，日本合成公司制、“UV-3000B”)、聚醚系氨基甲酸酯(甲基)丙 烯酸酯、聚酯(甲基)丙烯酸酯、雙酚A型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯(例如，大阪有機化學 公司制、“Biscoat那40”、昭和高分子公司制、“BiscoatVR-77” )等。這些中，在剝 離性的效果大的方面，優(yōu)選選自1，2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、聚氨 酯丙烯酸酯低聚物和聚酯系氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物中的1種或2種以上，更優(yōu)選1， 2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯。
此外，作為2官能(甲基)丙烯酸酯單體，可以列舉二(甲基)丙烯酸1，3-丁 二醇酯、二(甲基)丙烯酸1，4-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸1，6-己二醇酯、二(甲 基)丙烯酸1，9-壬二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烷基 (dicyclopentanyl)酯、2-乙基-2-丁基-丙二醇(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羥甲 基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲 基)丙烯酸酯、2，2-雙甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2，2-雙甲 基)丙烯酰氧基丙氧基苯基)丙烷、2，2-雙(甲基)丙烯酰氧基四乙氧基苯基)丙烷寸。
作為3官能(甲基)丙烯酸酯單體，可以列舉三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸 酯、三[(甲基)丙烯酰氧基乙基]異氰脲酸酯等。
作為4官能以上的(甲基)丙烯酸酯單體，可以列舉二羥甲基丙烷四(甲基)丙 烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四 醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。
這些中，在剝離性的效果大的方面，優(yōu)選二(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烷基酯和/或 二(甲基)丙烯酸1，6-己二醇酯，更優(yōu)選二(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烷基酯。
在(A)多官能(甲基)丙烯酸酯中，在剝離性的效果大的方面，優(yōu)選將具有2個 以上的(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和2官能(甲基)丙 烯酸酯單體并用。具有2個以上的(甲基)丙烯?；亩喙倌?甲基)丙烯酸酯低聚物 /聚合物和2官能(甲基)丙烯酸酯單體的混合比例(質量比)，在剝離性的效果大的方 面，優(yōu)選30 100 70 0，更優(yōu)選50 65 50 35。
本發(fā)明中使用的(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，更優(yōu)選為疏水性。疏水性的情 況下，能夠防止水溶性的情況下常常發(fā)生的現象，即加工時固化性組合物的固化體溶脹 而引起位置偏離，加工精度差的現象。其中，所謂疏水性的多官能(甲基)丙烯酸酯， 是指不具有羥基的(甲基)丙烯酸酯。例如，可以列舉上述的多官能(甲基)丙烯酸酯 等。其中，優(yōu)選選自1，2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙 烯酸1，6-己二醇酯和二(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烷基酯中的1種或2種以上。即使是親 水性，如果其固化性組合物的固化體不由于水而大幅度溶脹或一部分溶解，也可使用。
(A)多官能(甲基)丙烯酸酯的使用量，在(A)和后述的(B)單官能(甲基)丙 烯酸酯成分的合計量100質量份中，優(yōu)選5 50質量份，更優(yōu)選20 40質量份。如果 為5質量份以上，能夠防止剝離性降低、或固化性組合物的固化體不成為膜狀，如果為 50質量份以上，不會擔心固化收縮變大，初期的粘合性降低。
作為上述固化性組合物中使用的(B)單官能(甲基)丙烯酸酯單體，可以列舉 (甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、 (甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基) 丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烷基酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯基酯、 (甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、甲氧基化環(huán)癸三烯(甲基) 丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸 3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸 2-羥基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、ω-羧基-聚己內酯單(甲基)丙 烯酸酯、己內酯改性(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羥基丙酯、(甲 基)丙烯酸N，N-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N，N-二乙基氨基乙酯、(甲基) 丙烯酸叔丁基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基羰基甲酯、苯酚環(huán)氧乙烷改性(甲基)丙 烯酸酯、苯酚(環(huán)氧乙烷2摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、苯酚(環(huán)氧乙烷4摩爾改性) (甲基)丙烯酸酯、對枯基苯酚環(huán)氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚環(huán)氧乙烷改性 (甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(環(huán)氧乙烷4摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(環(huán) 氧乙烷8摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(環(huán)氧丙烷2.5摩爾改性)(甲基)丙烯 酸酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧乙烷改性鄰苯二甲酸(甲基)丙烯酸 酯、環(huán)氧乙烷改性琥珀酸(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟乙酯、丙烯酸、甲基丙 烯酸、馬來酸、富馬酸、ω-羧基-聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二甲酸單羥基乙 基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二聚體、β -(甲基)丙烯酰氧基乙基氫化琥珀酸 酯、正_(甲基)丙烯酰氧基烷基六氫鄰苯二甲酰亞胺、2-(1，2-環(huán)己烷二羧基酰亞胺) 乙基(甲基)丙烯酸酯等。
這些中，在剝離性的效果大的方面，優(yōu)選選自2_(1，2-環(huán)己烷二羧基酰亞胺) 乙基(甲基)丙烯酸酯、苯酚環(huán)氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二 環(huán)戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸芐酯、ω-羧基-聚己內酯單(甲基)丙烯酸酯和(甲 基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯中的1種或2種以上，更優(yōu)選2_(1，2-環(huán)己烷二羧基 酰亞胺)乙基(甲基)丙烯酸酯和/或苯酚環(huán)氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯。苯 酚環(huán)氧乙烷2摩爾改性(甲基)丙烯酸酯與2-(1，2-環(huán)己烷二羧基酰亞胺)乙基(甲基) 丙烯酸酯的混合比例(質量比)，在剝離性的效果大的方面，優(yōu)選20 70 80 30， 更優(yōu)選30 45 70 55。
(B)單官能(甲基)丙烯酸酯優(yōu)選與(A)成分同樣地為疏水性。
其中，所謂疏水性，是指不具有羥基的(甲基)丙烯酸酯。疏水性的情況下， 能夠防止水溶性的情況下常常發(fā)生的現象，即加工時固化性組合物的固化體溶脹而引起 位置偏離，加工精度差的現象。即使是親水性，如果其固化性組合物的固化體不由于水 而大幅度溶脹或一部分溶解，也可使用。
(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的使用量，在(A)成分和(B)成分的合計量100質 量份中，優(yōu)選50 95質量份，更優(yōu)選60 80質量份。如果為50質量份以上，不會擔 心初期的粘合性降低，如果為95質量份以下，剝離性不會降低，能夠以膜狀得到固化性 組合物的固化體。
此外，上述 組成的(A)成分和(B)成分中，通過進一步并用(甲基)丙烯酰氧 乙基酸式磷酸酯、二丁基2-(甲基)丙烯酰氧乙基酸式磷酸酯、二辛基2-(甲基)丙烯酰 氧乙基磷酸酯、二苯基2-(甲基)丙烯酰氧乙基磷酸酯、(甲基)丙烯酰氧乙基聚乙二醇 酸式磷酸酯等具有乙烯基或(甲基)丙烯?；牧姿狨?，能夠使與金屬面的密合性進一步 提尚。上述固化性組合物中使用的(C)光聚合引發(fā)劑用于利用可見光線、紫外線的活 性光線使其增感而促進固化性組合物的光固化，可以使用公知的各種光聚合引發(fā)劑。具 體地，可以列舉二苯甲酮及其衍生物、苯偶酰及其衍生物、蒽醌及其衍生物、苯偶姻、 苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶酰二甲基縮酮等苯偶姻衍 生物、二乙氧基苯乙酮、4-叔丁基三氯苯乙酮等苯乙酮衍生物、苯甲酸2-二甲基氨基乙 酯、苯甲酸對-二甲基氨基乙酯、二苯基二硫醚、噻噸酮及其衍生物、樟腦醌、7，7-二 甲基-2，3-二氧代雙環(huán)[2.2.1]庚烷-1-羧酸、7，7-二甲基-2，3-二氧代雙環(huán)[2.2.1] 庚烷-1-羧基-2-溴乙酯、7，7-二甲基-2，3-二氧代雙環(huán)[2.2.1]庚烷-1-羧基-2-甲 酯、7，7-二甲基-2，3-二氧代雙環(huán)[2.2.1]庚烷-1-羧酰氯等樟腦醌衍生物、2-甲 基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代 苯基)-丁酮-1等α-氨基烷基苯酮衍生物、苯甲酰基二苯基氧化膦、2，4，6-三甲基苯 甲?；交趸?、苯甲?；已趸趸ⅰ?，4，6-三甲基苯甲?；籽趸?基氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲?；已趸交趸⒌弱；趸⒀苌锏?。(C) 光聚合引發(fā)劑可以使用其中的1種或者將2種以上組合使用。(C)光聚合引發(fā)劑的使用量，相對于(A)成分和(B)成分的合計量100質量份， 優(yōu)選0.1 20質量份，更優(yōu)選3 10質量份。如果為0.1質量份以上，能可靠地獲得促 進固化的效果，如果為20質量份以下，能夠實現充分的固化速度。作為更優(yōu)選的形態(tài)， 通過使用3質量份以上的(C)成分，能夠不依賴于光照射量而固化。本發(fā)明中使用的(D)具有環(huán)戊二烯骨架的樹脂，只要是具有環(huán)戊二烯骨架的樹 月旨，可以是任何樹脂，但軟化點優(yōu)選50 200°C，在(A)成分、(B)成分中的溶解性方 面，更優(yōu)選數均分子量(Mn)為300 600的樹脂。軟化點的測定按照JIS K 2207環(huán)球 式。數均分子量的測定按照GPC (凝膠滲透色譜法)聚苯乙烯換算值。作為(D)，可以 列舉以從C5餾分中提取的環(huán)戊二烯為主原料制造的石油樹脂，具體地，可以列舉日本瑞 翁公司制的 “Quintone 1700”、“Quintone 1500”、“Quintone 1325” 等。其中，在粘 合性方面，優(yōu)選含有羥基。作為含有羥基的樹脂，可以列舉“QUintOne 1700”等。(D)具有環(huán)戊二烯骨架的樹脂的使用量，相對于(A)成分和(B)成分的合計量 100質量份，優(yōu)選0.5 50質量份，更優(yōu)選5 30質量份。如果為0.5質量份以上，不 會沒有形成膜而以糊的形式殘留，如果為50質量份以下，粘合性不會降低。本發(fā)明的固化性組合物，為了提高其貯藏穩(wěn)定性，可以使用少量的阻聚劑。例 如，作為阻聚劑，可以列舉甲基氫醌、氫醌、2，2-亞甲基-雙(4-甲基-6-叔丁基苯 酚)、兒茶酚、氫醌單甲醚、單叔丁基氫醌、2，5-二叔丁基氫醌、對苯醌、2，5-二苯 基-對-苯醌、2，5-二叔丁基-對苯醌、苦味酸、檸檬酸、吩噻嗪、叔丁基兒茶酚、 2- 丁基-4-羥基茴香醚和2，6- 二叔丁基-對-甲酚等。這些中，優(yōu)選選自2，2-亞甲基-雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、氫醌單甲醚和對苯醌中的1種或2種以上，更優(yōu)選2，2-亞甲基-雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)。這些阻聚劑的使用量，相對于(A)成分和(B)成分的合計量100質量份，優(yōu)選 0.001 3質量份，更優(yōu)選0.01 2質量份。如果為0.001質量份以上，貯存穩(wěn)定性充 分，如果為3質量份以下，能夠獲得可靠的粘合性，不必擔心未固化。 本發(fā)明中使用的固化性組合物，在不損害本發(fā)明的目的的范圍內，可以使用一 般使用的丙烯酸橡膠、聚氨酯橡膠、丙烯腈_ 丁二烯_苯乙烯橡膠等各種彈性體，無機填 料、溶劑、增量材料、增強材料、增塑劑、增粘劑、染料、顏料、阻燃劑、硅烷偶聯劑 和表面活性劑等添加劑。本發(fā)明涉及被加工件的表面保護方法，其特征在于，在被加工件的表面設置由 上述固化性組合物形成的保護膜，對保護膜進行加熱處理后，進行被加工件的加工，從 而防止加工時的保護膜的脫落，保護被加工件的表面。作為在被加工件的表面層合保護膜的層合工序，優(yōu)選在被加工件的表面涂布厚 20 200 μ m、優(yōu)選50 150 μ m的固化性組合物而設置保護膜，在波長365nm、累積光 量1000 4000mJ/cm2、優(yōu)選1500 3000mJ/cm2的條件下固化的工序。作為層合工序后進行加熱處理的加熱工序，優(yōu)選如下工序在80 150°C、優(yōu) 選80 120°C下將保護膜加熱處理5 30分鐘。作為加熱工序后加工被加工件的加工工序，優(yōu)選如下工序在轉數5000 40000rpm> 優(yōu)選 10000 35000rpm、輸送速度 0.2 50mm/sec、優(yōu)選 0.5 30mm/sec、 切片尺寸0.5 15mm見方的條件下進行切割。此外，本發(fā)明涉及被加工件的臨時固定方法，其特征在于，在被加工件的表面 設置由固化性組合物形成的保護膜，進行加熱處理后，進行被加工件的加工，然后，具 有浸漬于70 90°C以下的溫水、優(yōu)選75 85°C的溫水中，從上述被加工件取下由上述 固化性組合物形成的保護膜的取下工序。將上述固化性組合物的固化體取下時，由于能以膜狀從部件回收，因此獲得作 業(yè)性優(yōu)異的效果。再有，對于固化體與溫水接觸的方法，連同被加工件一起浸漬于溫水 中的方法簡便，因此推薦。實施例以下列舉實施例對本發(fā)明更詳細地說明，但本發(fā)明并不受實施例限定而解釋。再有，實驗例I-I 1-15為本發(fā)明的實施例，實驗例II-I II-5為比較例。(實驗例1-1)在由作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酯的日本曹達公司制、“TE-2000”(1， 2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯甲基丙烯酸酯、以下簡寫為“TE-2000”)20質量份，二丙烯 酸二環(huán)戊烷基酯(日本化藥公司制、“KAYARADR-684”以下簡稱為“R-684”)15質 量份，作為(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的2-(1，2-環(huán)己烷二羧基酰亞胺)乙基丙烯酸酯 (東亞合成公司制、“AronixM-140”、以下簡稱“M-140”)40質量份和苯酚環(huán)氧乙烷2 摩爾改性丙烯酸酯(東亞合成公司制、“AronixM-lOlA”、以下簡稱為“M-101A”)25 質量份組成的組合物的100質量份中，配合作為(C)光聚合引發(fā)劑的2-甲基-1-[4-(甲 硫基)苯基]-2_嗎啉代丙烷-1-酮(汽巴精化公司制、“IRGACURE907”、以下簡稱
“1-907”)6質量份，作為(D)含有環(huán)戊二烯骨架的樹脂的環(huán)戊二烯骨架樹脂(日本瑞翁公司制、“QUintOne 1700”、含有羥基、軟化點為100°C、數均分子量為380。以下簡稱 為“Quintone 1700” ) 10質量份，作為阻聚劑的2，2-亞甲基-雙(4-甲基-6-叔丁基苯 酚)(以下簡稱為“MDP”)0.1質量份，制作固化性組合物。使用得到的固化性組合物， 采用以下所示的評價方法進行拉伸剪切粘合強度的測定、密合性試驗和剝離試驗。將結 果示于表1。(評 價方法)粘合強度(拉伸剪切粘合強度)粘合強度(拉伸剪切粘合強度)按照JIS K 6850測定。具體地，使用耐熱 Pyrex(注冊商標)玻璃(25mmX25mmX2.0mm(縱X橫X厚))作為被粘合材料。粘 合部位為直徑8mm的圓形，以厚度100 μ m用制作的固化性組合物將2片耐熱Pyrex (注 冊商標)玻璃貼合，通過使用了無電極放電燈的FUSION公司制固化裝置，在365nm的 波長的累積光量2000mJ/Cm2的條件下使其固化，制作拉伸剪切粘合強度試驗片。對于制 作的試驗片，使用萬能試驗機，在溫度23°C、濕度50%的環(huán)境下以拉伸速度lOmm/min 測定拉伸剪切粘合強度。切割后的保護膜的保持狀況(密合性試驗)在溫度23°C、濕度50%的環(huán)境下進行了密合性的試驗。在硅片上將固化性組 合物涂布為厚100 μ m，通過使用了無電極放電燈的FUSION公司制固化裝置，在365nm 的波長的累積光量2000mJ/Cm2的條件下使固化性組合物固化，制作保護膜。然后，在 100°C下對保護膜加熱處理10分鐘后，在轉數30000rpm、輸送速度l.Omm/sec、切片尺寸 Imm見方的條件下進行切割，觀察切割后是否保持著保護膜。計測25片切片中保持著 保護膜的切片的片數。80°C溫水剝離時間(剝離試驗)對于在上述切割后仍保持著保護膜的試驗體，浸漬于溫水(80°C )中后，測定直 至保護膜從硅片剝離的時間。剝離狀態(tài)的觀察(剝離試驗)在采用上述80°C溫水的剝離時間(剝離試驗)的試驗后，觀察剝離的保護膜。[表1]- - ^^ " - ^^ - t I_^^_
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權利要求
1.在被加工件的表面層合保護膜的被加工件的表面保護方法，其特征在于，具有以 下工序在被加工件的表面層合由固化體構成的保護膜的層合工序，該固化體由含有下 述(A)、(B)和(C)的固化性組合物形成；在層合工序后在80 150°C進行加熱處理的 加熱工序；以及在加熱工序后對被加工件進行加工的加工工序，(A)多官能(甲基)丙烯酸酯(B)單官能(甲基)丙烯酸酯(C)光聚合引發(fā)劑。
2.根據權利要求1所述的被加工件的表面保護方法，其中，所述保護膜含有(D)具有 環(huán)戊二烯骨架的樹脂。
3.根據權利要求2所述的被加工件的表面保護方法，其中，所述(D)具有環(huán)戊二烯骨 架的樹脂在分子內含有酯基或羥基。
4.根據權利要求1 3中任一項所述的被加工件的表面保護方法，其中，所述(A)多 官能(甲基)丙烯酸酯和所述(B)單官能(甲基)丙烯酸酯均為疏水性。
5.根據權利要求2 4中任一項所述的被加工件的表面保護方法，其中，所述固化性 組合物在(A)和(B)的合計量100質量份中，含有5 50質量份(A)多官能(甲基)丙 烯酸酯和50 95質量份⑶單官能(甲基)丙烯酸酯，相對于㈧和⑶的合計量100 質量份，含有0.1 20質量份(C)光聚合引發(fā)劑和0.1 50質量份(D)具有環(huán)戊二烯骨 架的樹脂。
6.在被加工件的表面層合保護膜的被加工件的臨時固定方法，其特征在于，具有以 下工序在被加工件的表面層合由固化體構成的保護膜的層合工序，該固化體由含有下 述(A)、(B)和(C)的固化性組合物形成；在層合工序后在80 150°C進行加熱處理的 加熱工序；在加熱工序后進行被加工件的加工的加工工序；以及在加工工序后將被加工 件浸漬于90°C以下的溫水中，將所述保護膜從所述被加工件取下的取下工序，(A)多官能(甲基)丙烯酸酯(B)單官能(甲基)丙烯酸酯(C)光聚合引發(fā)劑。
全文摘要
本發(fā)明提供即使進行切割等加工，保護膜也不脫落的表面保護方法。在被加工件的表面層合保護膜的被加工件的表面保護方法，其特征在于，具有以下工序在被加工件的表面層合由固化體構成的保護膜的層合工序，該固化體由含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)單官能(甲基)丙烯酸酯和(C)光聚合引發(fā)劑的固化性組合物形成；在層合工序后在80～150℃進行加熱處理的加熱工序；以及加熱工序后對被加工件進行加工的加工工序。此外，上述保護膜優(yōu)選含有(D)具有環(huán)戊二烯骨架的樹脂。
文檔編號H01L21/304GK102026807SQ20098011714
公開日2011年4月20日 申請日期2009年5月11日 優(yōu)先權日2008年5月12日
發(fā)明者中島剛介, 南云貴之, 大島和宏 申請人:電氣化學工業(yè)株式會社