專利名稱：拋光墊及拋光墊的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種拋光墊，詳細(xì)地說，用于拋光需進(jìn)行平坦化或鏡面化處理的各種 器件、各種基板等各種產(chǎn)品(例如半導(dǎo)體基板、半導(dǎo)體器件、化合物半導(dǎo)體器件、化合物半 導(dǎo)體基板、化合物半導(dǎo)體產(chǎn)品、LED基板、LED產(chǎn)品、裸硅晶片、硅晶片、硬盤基板、玻璃基板、 玻璃產(chǎn)品、金屬基板、金屬產(chǎn)品、塑料基板、塑料產(chǎn)品、陶瓷基板、陶瓷產(chǎn)品等)的拋光墊，以 及其制造方法。
背景技術(shù)：
近年來，隨著集成電路的高集成化及多層布線化，要求形成有集成電路的半導(dǎo)體 晶片具有高精度的平坦性。作為用于拋光半導(dǎo)體晶片的拋光法，已知的是化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)。CMP是一邊滴下顆粒性漿料一邊利用拋光墊來拋光被拋光 基材表面的方法。下述專利文獻(xiàn)1至4公開了由高分子發(fā)泡體構(gòu)成的用于CMP的拋光墊，該高分子 發(fā)泡體是通過將雙液硬化型聚氨酯(two-component curing polyurethane)發(fā)泡成形而制 成并具備獨(dú)立氣泡結(jié)構(gòu)。此類拋光墊與后述的無紡布拋光墊相比剛性較強(qiáng)，因而用于要求 高精度的平坦性的半導(dǎo)體晶片的拋光等比較理想。由具備獨(dú)立氣泡結(jié)構(gòu)的高分子發(fā)泡體構(gòu)成的拋光墊，例如是通過將雙液硬化型聚 氨酯鑄模發(fā)泡成形而制成。此類拋光墊因具有相對較高的剛性，所以在拋光時容易選擇性 地對被拋光基材的凸部施加負(fù)荷，結(jié)果導(dǎo)致拋光速率(拋光速度)變得相對較高。但是，如 果拋光面上存在團(tuán)聚的磨粒，由于負(fù)荷也會被選擇性地施加到團(tuán)聚的磨粒上，因此容易對 拋光面造成劃傷(劃痕)。尤其，如非專利文獻(xiàn)1中所記載的，在對具有易被劃傷的銅布線 的基材或者界面的粘結(jié)性較弱的低介電常數(shù)材料進(jìn)行拋光時，劃痕或界面剝離特別容易產(chǎn) 生。而且，在鑄模發(fā)泡成形時，由于難以使高分子彈性體均勻地發(fā)泡，被拋光基材的平坦性 和拋光時的拋光速率易不穩(wěn)定。進(jìn)而，在具有獨(dú)立孔的拋光墊中，磨?；驋伖庑紩掣接谠?于獨(dú)立孔的空隙。這導(dǎo)致在長時間使用時，隨著拋光的進(jìn)行拋光速率會降低(此種特性也 稱作拋光穩(wěn)定性)。另一方面，作為其他類型的拋光墊，專利文獻(xiàn)5至14公開了通過使聚氨酯樹脂含 浸在無紡布中并使之濕式凝固而獲得的無紡布拋光墊。無紡布拋光墊柔性優(yōu)異。因此抑制 了當(dāng)在被拋光基材的拋光面上存在團(tuán)聚的磨粒時，因拋光墊變形導(dǎo)致負(fù)荷選擇性地施加在 團(tuán)聚的磨粒上。但是，無紡布拋光墊存在拋光特性容易隨時間變化的傾向，具有難以用于精 密的平坦化加工的問題。而且具有下述問題，即由于過于柔軟，拋光墊會迎合被拋光基材的 表面形狀而變形，因此無法獲得較高的平坦化性能(使被拋光基材變得平坦的特性)，以及 纖度高達(dá)2分特(decitex)至10分特，從而無法避免局部的應(yīng)力集中。關(guān)于此種無紡布拋光墊，近年來已知的有以獲得更高的平坦化性能等為目的且使 用由超細(xì)纖維束形成的無紡布而獲得的無紡布拋光墊(例如，下述專利文獻(xiàn)15至18)。具
3體而言，例如，專利文獻(xiàn)15記載了基于由無紡布和高分子彈性體構(gòu)成的片狀物而形成的拋 光墊，其中該無紡布是由將平均纖度為0. OOOldtex至0. Oldtex的聚酯超細(xì)纖維束絡(luò)合而 成，該高分子彈性體以該無紡布內(nèi)部空間存在的聚氨酯為主成分。根據(jù)記載，基于此種拋光 墊實現(xiàn)了比以往更高精度的拋光加工。但是，專利文獻(xiàn)15至18中所記載的拋光墊，由于使用了通過對纖度較小的短纖維 的超細(xì)纖維進(jìn)行針刺處理而獲得的無紡布，所以表觀密度低，空隙率也高。因此只能獲得易 彎曲且剛性低的拋光墊，從而易迎合表面形狀而變形，這導(dǎo)致無法充分獲得較高的平坦化 性能。而且，關(guān)于此種無紡布拋光墊，高分子彈性體的細(xì)節(jié)在任何文獻(xiàn)中均未記載，隨時 間經(jīng)過的穩(wěn)定性方面的記載也不充分。專利文獻(xiàn)1 日本專利公開公報特開2000-178374號專利文獻(xiàn)2 日本專利公開公報特開2000-248034號專利文獻(xiàn)3 日本專利公開公報特開2001-89548號專利文獻(xiàn)4 日本專利公開公報特開平11_32觀78號專利文獻(xiàn)5 日本專利公開公報特開2002-9026號專利文獻(xiàn)6 日本專利公開公報特開平11-99479號專利文獻(xiàn)7 日本專利公開公報特開2005-212055號專利文獻(xiàn)8 日本專利公開公報特開平3-234475號專利文獻(xiàn)9 日本專利公開公報特開平10-U8674號專利文獻(xiàn)10 日本專利公開公報特開2004-311731號專利文獻(xiàn)11 日本專利公開公報特開平10-225864號專利文獻(xiàn)12 日本專利公開公報特表2005_51擬86號專利文獻(xiàn)13 日本專利公開公報特開2003-201676號專利文獻(xiàn)14 日本專利公開公報特開2005-334997號專利文獻(xiàn)15 日本專利公開公報特開2007-54910號專利文獻(xiàn)16 日本專利公開公報特開2003-170347號專利文獻(xiàn)17 日本專利公開公報特開2004-130395號專利文獻(xiàn)18 日本專利公開公報特開2002-172555號非專利文獻(xiàn)1 柏木正弘等人，((CMP的科學(xué)》，株式會社科學(xué)論壇，1997年8月20 0,113 至 119 頁

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種不易產(chǎn)生劃痕且具有優(yōu)異的平坦化性能和拋光效率 的拋光墊。本發(fā)明所涉及的拋光墊，包括超細(xì)纖維絡(luò)合體，由平均纖度為0. 01 dt eχ至 0. Sdtex的超細(xì)纖維形成；和高分子彈性體，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下，23°C及50°C的 溫度之下的儲能模量(storage moduli)為90MPa至900MPa，在50°C下使該高分子彈性體 吸水飽和時的吸水率為0. 2質(zhì)量％至5質(zhì)量％。本發(fā)明的目的、特征、方案及優(yōu)點(diǎn)可通過以下的詳細(xì)說明而進(jìn)一步明確。
具體實施例方式由超細(xì)纖維構(gòu)成的基材通常具有表面積大、彎曲彈性低的特性。因此，通過在由以 往所知的超細(xì)纖維構(gòu)成的無紡布中含浸高分子彈性體而得到的拋光墊與被拋光基材的接 觸面積增大，能夠進(jìn)行柔軟的拋光，但僅能得到較低的剛性，在平坦化特性、隨時間經(jīng)過的 拋光穩(wěn)定性方面存在問題。另外，無紡布的空隙成為漿料存積處，磨粒漿料的保液性較高， 因此易于提高拋光速率，但由于空隙占毛體積的一半以上，因此通過在以往所知的無紡布 中含浸高分子彈性體而得到的拋光墊能夠進(jìn)行高效的拋光，但剛性較低，在平坦化性、隨時 間經(jīng)過的拋光穩(wěn)定性方面存在問題。本發(fā)明的發(fā)明者基于以下發(fā)現(xiàn)推出本發(fā)明1)通過使用由超細(xì)纖維構(gòu)成的超細(xì) 纖維絡(luò)合體和具有特定的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度、儲能模量及吸水率的高分子彈性體，能夠得到 具有高剛性的拋光墊，在拋光中也能維持其結(jié)構(gòu)，隨時間經(jīng)過的拋光穩(wěn)定性提高；2)在拋 光墊的表面，拋光時纖維容易原纖化，與被拋光基材的接觸面積增大并且膨潤性提高，因此 保持磨粒漿料的能力提高，結(jié)果拋光速率提高；幻拋光墊的表面通過超細(xì)纖維柔軟地進(jìn)行 接觸，因此能夠抑制拋光處理時的應(yīng)力集中，從而不易在被拋光基材上產(chǎn)生劃痕。此外發(fā) 現(xiàn)，通過將拋光墊的空隙率設(shè)為50%以上，能夠提高保持磨粒漿料的能力，同時兼具高剛 性，尤其適宜裸硅晶片的拋光。S卩，本發(fā)明所涉及的拋光墊的特征在于，包括超細(xì)纖維絡(luò)合體與高分子彈性體，其 中，所述超細(xì)纖維絡(luò)合體由平均纖度為0. Oldtex至0. Sdtex的超細(xì)纖維形成，所述高分子 彈性體的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下，23°C及50°C的溫度之下的儲能模量為90MPa至 900MPa，且在50°C下使之吸水飽和時的吸水率為0. 2質(zhì)量％至5質(zhì)量％。以下說明本實施方式的拋光墊的結(jié)構(gòu)、制造方法及其使用方法。[拋光墊的結(jié)構(gòu)]超細(xì)纖維絡(luò)合體由平均纖度為0. Oldtex至0. 8dtex的超細(xì)纖維形成，優(yōu)選 0. 05dteX至0. 5dtex的范圍。如果所述超細(xì)纖維的平均纖度不足0. Oldtex，則拋光墊表面 附近的超細(xì)纖維束將無法充分分離，結(jié)果保持磨粒漿料的能力降低，拋光速率及拋光均勻 性容易下降。另一方面，如果所述超細(xì)纖維的平均纖度超過0. 8dtex，則拋光墊的表面將變 得過粗糙而導(dǎo)致拋光速率降低，而且，纖維引起的拋光中的應(yīng)力增大，從而容易產(chǎn)生劃痕。另外，超細(xì)纖維絡(luò)合體優(yōu)選由5根至70根超細(xì)纖維集束而成的超細(xì)纖維束構(gòu)成， 進(jìn)一步優(yōu)選由10根至50根超細(xì)纖維集束而成的超細(xì)纖維束構(gòu)成。如果超細(xì)纖維的集束根 數(shù)超過70根，則拋光墊表面附近的超細(xì)纖維將無法充分分離，結(jié)果保持磨粒漿料的能力降 低。另一方面，如果所述超細(xì)纖維束的根數(shù)不足5根，則實質(zhì)上纖度容易變大或表面的纖維 密度容易降低，拋光墊的表面將變得過粗糙而導(dǎo)致拋光速率降低，而且，纖維引起的拋光中 的應(yīng)力增大，從而容易產(chǎn)生劃痕。作為超細(xì)纖維的具體例，例如有由聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、間苯二甲酸改性 聚對苯二 甲酸乙二酉旨(isophthalic acid-modified polyethylene terephthalate)、磺 酸基間苯二甲酸改性聚對苯二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯、聚對苯二甲酸己二酯 (polyhexamethylene terephthalate)等形成的芳香族聚酯纖維；由聚乳酸、聚丁二酸乙二 醇酯、聚丁二酸丁二醇酯、聚丁二酸己二酸丁二酯、聚羥基丁酸酯-聚羥基戊酸酯共聚物等形成的脂肪族聚酯纖維；由聚酰胺6、聚酰胺66、聚酰胺10、聚酰胺11、聚酰胺12、聚酰胺 6-12等形成的聚酰胺纖維；聚丙烯、聚乙烯、聚丁烯、聚甲基戊烯、氯系聚烯烴等聚烯烴纖 維；由含有25mol%至70mOl%的乙烯單元的變性聚乙烯醇等形成的改性聚乙烯醇纖維；以 及由聚氨酯系彈性體、聚酰胺系彈性體、聚酯系彈性體等彈性體等形成的彈性體纖維等。這 些材料既可分別單獨(dú)使用，也可將兩種以上組合使用。特別是，從能夠形成致密且高密度的 纖維絡(luò)合體方面考慮，優(yōu)選本實施方式的超細(xì)纖維由聚酯纖維形成。所述超細(xì)纖維中，優(yōu)選由玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)為50°C以上、進(jìn)一步優(yōu)選60°C以 上，且在50°C下使之吸水飽和時的吸水率為0. 2質(zhì)量％至2質(zhì)量％的熱塑性樹脂形成的纖 維。如果所述熱塑性樹脂的玻璃轉(zhuǎn)變溫度處于上述范圍，可維持更高的剛性，因而平坦化性 能更高，而且在拋光時剛性也不會隨時間下降，可獲得拋光穩(wěn)定性及拋光均勻性優(yōu)異的拋 光墊。對于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的上限并無特別限定，但工業(yè)制造時，優(yōu)選300°C以下，進(jìn)一步優(yōu) 選150°C以下。并且，本實施方式的超細(xì)纖維優(yōu)選由在50°C下使之吸水飽和時的吸水率為0. 2質(zhì) 量％至2質(zhì)量％的熱塑性樹脂形成，換言之，使形成超細(xì)纖維的熱塑性樹脂在50°C下吸水 飽和時的吸水率優(yōu)選為0. 2質(zhì)量％至2質(zhì)量％。通過將吸水率設(shè)為0. 2質(zhì)量％以上，則磨 粒漿料容易保液，拋光效率及拋光均勻性易于提高。在2質(zhì)量％以下的情況下，會因拋光 墊不會過度吸收磨粒漿料而進(jìn)一步抑制剛性隨時間經(jīng)過的下降。在這樣的情況下，平坦化 性能隨時間經(jīng)過的下降得到遏制，并且可獲得拋光速率及拋光均勻性不易波動的拋光墊。 在吸水性之外，從易于得到或制造性優(yōu)良等方面考慮，形成本發(fā)明的超細(xì)纖維的熱塑性樹 脂優(yōu)選聚酯系聚合物，尤其優(yōu)選以芳香族成分作為原料成分之一的半芳香族聚酯系聚合物 (semi-aromatic polyester polymer)。作為熱塑性樹脂的具體例，例如有由聚對苯二甲酸乙二酯(PET，\為77°C，在 50°C下使之吸水飽和時的吸水率(以下簡稱為“吸水率”)為1質(zhì)量％ )、間苯二甲酸改性聚 對苯二甲酸乙二酯(Tg*67°C至77°C，吸水率為1質(zhì)量％)、磺酸基間苯二甲酸改性聚對苯 二甲酸乙二酯(Tg*67°C至77°C，吸水率為1質(zhì)量％至3質(zhì)量％)、聚萘二甲酸丁二酯(??；為 85°C，吸水率為1質(zhì)量％)、聚萘二甲酸乙二酯(Tg*124°C，吸水率為1質(zhì)量％)等形成的芳 香族聚酯系纖維；由對苯二甲酸、壬二醇及甲基辛二醇共聚聚酰胺(??；為125°C至140°C，吸 水率為1質(zhì)量％至3質(zhì)量％)等形成的半芳香族聚酰胺系纖維(semi-aromatic polyamide fiber)等。由于在后述的由以海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)合片(entangledinterlocked web sheet)形成超細(xì)纖維的濕熱處理工序中會大幅度地卷曲，從能夠致密地形成高密度的 纖維絡(luò)合體、易提高拋光片的剛性及在拋光時不易因水分而隨時間發(fā)生變化等觀點(diǎn)出發(fā)， 尤其優(yōu)選PET及間苯二甲酸改性PET等改性PET絡(luò)合。本實施方式所涉及的拋光墊優(yōu)選包括由上述超細(xì)纖維集束得到的超細(xì)纖維束形 成的超細(xì)纖維絡(luò)合體；和高分子彈性體。作為本實施方式所用的高分子彈性體的具體例，只要滿足后述的玻璃化轉(zhuǎn)變溫 度、儲能模量、吸水率即可，并無特別限定。例如有由聚氨酯系樹脂、聚酰胺系樹脂、(甲基) 丙烯酸酯系樹脂、(甲基)丙烯酸酯-苯乙烯系樹脂、(甲基)丙烯酸酯-丙烯腈系樹脂、(甲 基)丙烯酸酯-烯烴系樹脂、(甲基)丙烯酸系酯-(氫化)異戊二烯系樹脂、(甲基)丙烯 酸酯-丁二烯系樹脂、苯乙烯-丁二烯系樹脂、苯乙烯-氫化異戊二烯系樹脂、丙烯腈-丁二烯系樹脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯系樹脂、乙酸乙烯系樹脂、(甲基)丙烯酸酯-乙酸 乙烯系樹脂、乙烯-乙酸乙烯系樹脂、乙烯-烯烴系樹脂、硅樹脂、氟樹脂及聚酯樹脂等構(gòu)成 的彈性體。作為本實施方式的高分子彈性體，從對超細(xì)纖維的集束性、束集粘合超細(xì)纖維束 的能力較高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選氫鍵結(jié)合性高分子彈性體(hydrogen-bonding po 1 ymeric elastomer)。所謂形成氫鍵結(jié)合性高分子彈性體的樹脂，是指像聚氨酯系樹脂、聚酰胺系樹 脂、聚乙烯醇系樹脂那樣，利用氫鍵結(jié)合而結(jié)晶化或者凝聚的高分子彈性體。氫鍵結(jié)合性高 分子彈性體的粘結(jié)性高，可提高纖維束的束集性，而且可抑制纖維的脫落。本實施方式中使用的高分子彈性體的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下。如果玻璃化 轉(zhuǎn)變溫度高于-10°C，則高分子彈性體變脆，高分子彈性體容易拋光中脫落，從而容易產(chǎn)生 劃痕。并且，高分子彈性體的超細(xì)纖維集束力減弱，拋光中的隨時間經(jīng)過的穩(wěn)定性容易惡 化。玻璃化轉(zhuǎn)變溫度優(yōu)選為_15°C以下。對于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的下限并無特別限定，但從 易于得到等方面考慮優(yōu)選為-ioo°c以上左右。另外，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度根據(jù)動態(tài)粘彈性測定 中的拉伸模式下的損失模量的峰值溫度算出。玻璃化轉(zhuǎn)變溫度取決于高分子彈性體的α 分散的峰值溫度，因此為了將高分子彈性體的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度設(shè)為-io°c以下，優(yōu)選適宜地 選擇構(gòu)成高分子彈性體的成分。例如，使用聚氨酯系樹脂作為高分子彈性體時，為了將玻璃 化轉(zhuǎn)變溫度設(shè)為-io°c以下，而選擇構(gòu)成軟質(zhì)成分的多元醇的組成，或硬質(zhì)成分(異氰酸酯 成分、鏈延長劑成分)與軟質(zhì)成分的比率。具體而言，較為理想的是，選擇玻璃化轉(zhuǎn)變溫度 為-10°C以下、優(yōu)選為-20°C以下的二元醇，且采用將聚氨酯中的多元醇成分的質(zhì)量比率設(shè) 為30質(zhì)量％、優(yōu)選為40質(zhì)量％以上的結(jié)構(gòu)。另外，本實施方式中使用的高分子彈性體在23°C及50°C的溫度之下的儲能模量 處于90MPa至900MPa的范圍內(nèi)。一般的聚氨酯的23°C及50°C下的儲能模量不足90MPa。 在23°C和50°C的范圍內(nèi)的儲能模量不足90MPa的情況下，束集纖維束的高分子彈性體容 易變形，拋光時的拋光墊剛性不足，平坦化性降低。并且，高分子彈性體在拋光中容易因漿 料等而膨潤，存在經(jīng)時穩(wěn)定性降低的傾向。如果在23°C和50°C的范圍內(nèi)的儲能模量超過 900MPa,則高分子彈性體變脆，高分子彈性體容易拋光中脫落，從而容易產(chǎn)生劃痕。并且，超 細(xì)纖維集束力減弱，拋光中的隨時間經(jīng)過的穩(wěn)定性容易惡化。在23°C和50°C的范圍內(nèi)的儲 能模量優(yōu)選為200MI^至SOOMPa。高分子彈性體的儲能模量取決于高分子彈性體的組成，即 構(gòu)成高分子彈性體的硬質(zhì)成分和軟質(zhì)成分各自的彈性率及其質(zhì)量比率，因此為了得到上述 范圍的儲能模量，優(yōu)選選擇硬質(zhì)成分和軟質(zhì)成分的組成及其質(zhì)量比率。例如，使用聚氨酯系樹脂作為高分子彈性體時，作為軟質(zhì)成分(多元醇成分)，例 如有聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇、聚(甲基丁二醇)等聚醚系多元醇及其共聚物 ’聚己 二酸丁二醇酯、聚癸二酸丁二醇酯、聚己二酸己二醇酯、聚(3-甲基-1，5-己二酸亞戊基 酯)二醇(poly (3-methyl-l, 5-pentylene adipate) diol)、聚(3-甲基 _1，5-癸二酸亞 戊基酯)二醇(poly (3-methyl-l，5-pentylene sebacate) diol)、間苯二 甲酸共聚多元 醇、對苯二甲酸共聚多元醇、環(huán)己二醇共聚多元醇、聚己內(nèi)酯二醇等聚酯系多元醇及其共 聚物；聚碳酸六甲基酯二醇、聚(3-甲基-1，5-碳酸亞戊基酯)二醇、聚碳酸戊撐酯二醇 (polypentamethylene carbonate diol)、聚碳酸四甲基酯二醇、聚(甲基-1，8_碳酸亞辛 基酯)二醇、聚碳酸亞壬基酯二醇、聚碳酸環(huán)己酯等聚碳酸酯系多元醇及其共聚物；聚酯碳酸酯多元醇等。而且，也可根據(jù)需要并用三羥甲基丙烷等三官能醇或季戊四醇等四官能醇 等多官能醇，或者乙二醇、丙二醇、1，4_ 丁二醇、1，6_己二醇等短鏈醇。這些材料既可單獨(dú) 使用也可將兩種以上組合使用。從由于對于拋光中使用的漿料的耐性較高從而拋光中的隨 時間經(jīng)過的穩(wěn)定性良好、以及易于將吸水性和儲能模量設(shè)為上述本實施方式的范圍等方面 考慮，特別優(yōu)選使例如脂環(huán)式聚碳酸酯系多元醇、直鏈狀聚碳酸酯系多元醇、具有支鏈的聚 碳酸酯系多元醇等的聚碳酸酯系多元醇占多元醇成分總量的60質(zhì)量％至100質(zhì)量％，尤其 優(yōu)選使融點(diǎn)為0°C以下的非晶性聚碳酸酯系多元醇占多元醇成分總量的60質(zhì)量％至100質(zhì) 量％。為了將23°C及50°C的范圍內(nèi)的儲能模量設(shè)為90MPa至900MPa的范圍，優(yōu)選選擇 玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下、進(jìn)一步優(yōu)選-20°c以下的多元醇。具體而言，例如有如上所 述的具有支鏈的聚碳酸酯系多元醇；聚丙二醇、聚丁二醇、聚(甲基丁二醇)等聚醚系多元 醇及其共聚物；聚癸二酸丁二醇酯、聚(3-甲基-1，5-己二酸亞戊基酯)二醇、聚(3-甲 基-1，5-癸二酸亞戊基酯)二醇、聚己內(nèi)酯二醇等聚酯系多元醇及其共聚物；聚(3-甲 基-1，5-碳酸亞戊基酯)二醇、聚(甲基-1，8-碳酸亞辛基酯)二醇、等聚碳酸酯系多元醇 及其共聚物；聚酯碳酸酯多元醇等。另外，除上述的多元醇之外，還可采用通過共聚而將玻 璃化轉(zhuǎn)變溫度設(shè)為-io°c以下的多元醇。另外，從含有碳數(shù)5以下、特別是含有碳數(shù)3以下的聚烯烴醇基(polyalkylene glycol group)的聚氨酯樹脂對水潤濕能力特別良好的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選采用含有0. 1質(zhì) 量％至10質(zhì)量％程度的所述聚烯烴醇基的聚氨酯樹脂。通過使用具有-10°C以下的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度的軟質(zhì)成分(多元醇成分)使聚氨酯 的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下，或者選擇這樣的多元醇成分來調(diào)整聚氨酯中的多元醇成 分的質(zhì)量比率，能夠?qū)⒕郯滨サ?3°c及50°C的溫度之下的儲能模量設(shè)為90MPa至900MPa 的范圍。使用聚氨酯系樹脂作為高分子彈性體時，硬質(zhì)成分(異氰酸酯成分、鏈延長劑成 分)中，作為異氰酸酯成分，可采用以六亞甲基二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯、降冰片 烯二異氰酸酯、4，4' -二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯為代表的脂肪族或脂環(huán)族二異氰酸酯等 的無黃變型二異氰酸酯；或者，以2，4_甲苯二異氰酸酯、2，6_甲苯二異氰酸酯、4，4' - 二 苯基甲烷二異氰酸酯、亞二甲苯基二異氰酸酯聚氨酯為代表的芳香族二異氰酸酯。而且，也 可根據(jù)需要并用三官能異氰酸酯或四官能異氰酸酯等多官能異氰酸酯。這些酯既可單獨(dú)使 用也可將兩種以上組合使用。這些酯中，從可獲得對超細(xì)纖維的粘結(jié)性高、超細(xì)纖維的集束 力提高而且硬度高的拋光墊的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選4，4' -二環(huán)己基甲烷二異氰酸酯、2，4_甲苯 二異氰酸酯、2，6_甲苯二異氰酸酯、4，4' -二苯基甲烷二異氰酸酯、亞二甲苯基二異氰酸 另外，作為鏈延長劑成分，可選擇由短鏈多元醇和短鏈聚酰胺等的組合構(gòu)成的團(tuán) 聚性高、彈性率高的硬質(zhì)成分，其中，所述短鏈多元醇以乙二醇、丙二醇、1，4_ 丁二醇、1， 4-二(β_羥乙氧基)苯、1，4_環(huán)己二醇等二醇類；三羥甲基丙烷等三醇類；季戊四醇等四 醇類；胺基乙醇、胺基丙醇等胺基醇類為代表；所述短鏈聚酰胺以胼、乙二胺、丙二胺、己二 胺、間苯二甲胺(xylylenediamine)、異佛爾酮二胺、哌嗪及其衍生物、己二酸二酰胼、間苯 二甲酸二酰胼等二胺類；二乙烯三胺等三胺類；三乙烯四胺等四胺類為代表。而且，在鏈延長反應(yīng)進(jìn)行時，也可與鏈延長劑一起并用乙基胺、丙基胺、丁基胺等單胺類；4-胺基丁酸， 6-胺基己酸等含羧基的單胺化合物；甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等單醇類(monool)，通過并用 2，2_ 二(羥甲基)丙酸、2，2_ 二(羥甲基)丁酸、2，2_ 二(羥甲基)戊酸等含羧基的二醇 等，將羧基等離子性基導(dǎo)入聚氨酯系彈性體的骨架，由此可進(jìn)一步提高對水潤濕能力。而且，從將聚氨酯的23°C及50°C的溫度下的儲能模量設(shè)為90MPa至900MPa的范 圍的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選將軟質(zhì)成分(多元醇成分)的比率設(shè)為40質(zhì)量％至65質(zhì)量％，進(jìn)一步 優(yōu)選45質(zhì)量％至60質(zhì)量％。如果軟質(zhì)成分的量不足40質(zhì)量％，則23°C及50°C的范圍內(nèi) 的儲能模量的溫度依存性變高，難以成為90MPa至900MPa的范圍。另一方面，如果軟質(zhì)成 分的量超過65質(zhì)量％，則儲能模量容易不足90MPa。作為軟質(zhì)成分，從易于提高聚氨酯的儲能模量這一方面考慮，特別優(yōu)選以具有支 鏈的聚碳酸酯多元醇；聚(3-甲基-1，5-碳酸亞戊基酯)二醇、聚(甲基-1，8-碳酸亞辛基 酯)二醇；將聚(3-甲基-1，5-碳酸亞戊基酯)二醇、聚(甲基-1，8-碳酸亞辛基酯)二醇、 聚碳酸六甲基酯二醇、聚碳酸四甲基酯二醇、聚碳酸亞壬基酯二醇、聚碳酸環(huán)己酯等聚碳酸 酯系多元醇共聚而成的聚碳酸酯多元醇等為代表的聚碳酸酯系多元醇。進(jìn)而，優(yōu)選本實施方式的高分子彈性體的23°C的溫度之下的儲能模量與50°C的 溫度之下的儲能模量之比(23°C的溫度之下的儲能模量/50°C的溫度之下的儲能模量)為 4以下。通過將23°C的溫度之下的儲能模量與50°C的溫度之下的儲能模量之比(23°C的溫 度之下的儲能模量/50°C的溫度之下的儲能模量)設(shè)為4以下，即使在發(fā)生拋光中的溫度變 化的情況下也不易引起儲能模量的變化，因此拋光中的隨時間經(jīng)過的穩(wěn)定性提高。特別優(yōu) 選23°C的溫度之下的儲能模量與50°C的溫度之下的儲能模量之比(23°C的溫度之下的儲 能模量/50°C的溫度之下的儲能模量)為3以下。另外關(guān)于該下限值并無特別限定，但從不 易發(fā)生拋光中的溫度引起的儲能模量變化的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選1/3以上。為了形成上述范圍，可通過適宜調(diào)整用于形成所述的儲能模量的范圍的軟質(zhì)成分 或硬質(zhì)成分而實現(xiàn)。例如，使用聚氨酯系樹脂作為高分子彈性體時，優(yōu)選使用具有-10°C以下的玻璃化 轉(zhuǎn)變溫度的軟質(zhì)成分(多元醇成分)使聚氨酯的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下，并且作為硬 質(zhì)成分(異氰酸酯成分與鏈延長劑成分)，選擇脂環(huán)族二異氰酸酯或芳香族二異氰酸酯與 由短鏈多元醇和短鏈聚酰胺等的組合構(gòu)成的團(tuán)聚性高、彈性率高的鏈延長劑成分，其中，所 述短鏈多元醇以二醇類、三醇類、四醇類為代表，所述短鏈聚酰以二胺類、三胺類、四胺類為 代表，并將軟質(zhì)成分的比率設(shè)為40質(zhì)量％至65質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選45質(zhì)量％至60質(zhì)量％。 另外，作為軟質(zhì)成分，從易于提高聚氨酯的彈性率的角度出發(fā)，優(yōu)選軟質(zhì)成分為聚碳酸酯系 多元醇。作為高分子彈性體，也可含有兩種以上的高分子彈性體以調(diào)節(jié)拋光墊的性能或制 造性等，此時的高分子彈性體的23°C至50°C的溫度下的儲能模量理論上可以將各高分子 彈性體的儲能模量乘以質(zhì)量比所得的值相加而算出。另外，本實施方式的高分子彈性體在50°C下使之吸水飽和時的吸水率為0. 2質(zhì) 量％至5質(zhì)量％。如果吸水率低于0. 2質(zhì)量％，則難以保持磨粒漿料，拋光效率及拋光均勻 性容易降低。如果超過5質(zhì)量％，則容易因束集纖維束的高分子彈性體吸水軟化而導(dǎo)致拋 光中的經(jīng)時變化增大。而且，優(yōu)選在50°C下使之吸水飽和時的吸水率為0. 5質(zhì)量％至3質(zhì)量％的范圍。如果高分子彈性體的吸水率處于上述范圍，可在拋光時維持磨粒漿料對拋光 墊的高膨潤性，同時可進(jìn)一步抑制剛性隨時間經(jīng)過的下降。由此，可維持高拋光速率、拋光 均勻性及拋光穩(wěn)定性。另外，所謂高分子彈性體的吸水率，是指將經(jīng)過干燥處理的高分子彈性體薄膜浸 漬到室溫的水中使之膨潤達(dá)到飽和時的吸水率，具體將在后述。當(dāng)含有兩種以上的高分子 彈性體時，理論上可以將各高分子彈性體的吸水率乘以質(zhì)量比所得的值相加而計算出。具有上述吸水率的高分子彈性體，可通過調(diào)整構(gòu)成高分子彈性體的高分子的組 成、交聯(lián)密度、導(dǎo)入親水性的官能基、以及選擇其量等而實現(xiàn)。例如通過向高分子彈性體導(dǎo)入從由羧基、磺酸基及碳數(shù)為3以下的聚烷撐二醇基 (polyalkylene glycol group)構(gòu)成的組中選擇的至少一種親水性基，可調(diào)整吸水率及親 水性。由此，可提高拋光時磨粒漿料對拋光墊的膨潤性。上述親水性基，可通過將作為制造 高分子彈性體時的單體成分來使用的具有上述親水性基的單體成分共聚，而被導(dǎo)入高分子 彈性體。作為具有此類親水性基的單體成分的共聚比例，從既可將吸水引起的膨潤軟化抑 制到最小限度又可提高吸水率及膨潤性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選0. 1質(zhì)量％至10質(zhì)量％，進(jìn)一步 優(yōu)選0. 5質(zhì)量％至5質(zhì)量％。高分子彈性體既可分別單獨(dú)使用也可將兩種以上組合使用。這些材料中，從將超 細(xì)纖維集束起來或者將纖維束彼此束集、粘合起來的粘結(jié)性優(yōu)異，而且可提高拋光墊的硬 度，拋光的經(jīng)時穩(wěn)定性優(yōu)異的觀點(diǎn)出點(diǎn)，優(yōu)選聚氨酯系樹脂。另外，從可使拋光墊的剛性、膨 潤性及拋光的經(jīng)時穩(wěn)定性較高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選具有從由羧基、磺酸基及碳數(shù)為3以下的 聚烷撐二醇基構(gòu)成的組中選擇的至少一種親水性基的聚氨酯系樹脂。高分子彈性體為聚氨酯系樹脂時，作為羧基的具體例，例如有2，2- 二(羥甲基) 丙酸、2，2_ 二(羥甲基)丁酸、2，2_ 二(羥甲基)戊酸等化合物中的羧基，通過并用含有 這些羧基的二醇等，能夠?qū)Ⅳ然鶎?dǎo)入聚氨酯系彈性體的骨架。作為碳數(shù)為3以下的聚烷撐 二醇基的具體例，例如有聚乙二醇、聚丙二醇及其共聚物。具有從由羧基、磺酸基及碳數(shù)為 3以下的聚烷撐二醇基構(gòu)成的組中選擇的至少一種親水性基的聚氨酯系樹脂具有膨潤性提 高的優(yōu)點(diǎn)，但存在吸水率變高的傾向，一般吸水率為5質(zhì)量％至15質(zhì)量％。因此，為了實現(xiàn) 本實施方式的0.2質(zhì)量％至5質(zhì)量％的吸水率，優(yōu)選將從由羧基、磺酸基及碳數(shù)為3以下的 聚烷撐二醇基構(gòu)成的組中選擇的至少一種親水性基的量設(shè)為0. 1質(zhì)量％至10質(zhì)量％，進(jìn)一 步優(yōu)選0. 5質(zhì)量％至5質(zhì)量％，此外，作為多元醇，優(yōu)選使用吸水性低的成分，例如上述的聚 酯系多元醇、聚碳酸酯多元醇等。例如，高分子彈性體為作為多元醇成分并用非晶性聚碳酸酯系二醇和含有羧基 的二醇且作為二異氰酸酯成分使用脂環(huán)族二異氰酸酯而得到的聚氨酯系樹脂時，從易于使 該高分子彈性體的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下、23°C及50°C的溫度之下的儲能模量為 90MPa至900MPa、且在50°C下使之吸水飽和時的吸水率為0. 2質(zhì)量％至5質(zhì)量％的觀點(diǎn)出 發(fā)，優(yōu)選使用這樣的高分子彈性體。作為本發(fā)明中使用的聚氨酯系樹脂的硬質(zhì)成分(異氰酸酯成分和鏈延長劑成 分)，例如可以選擇上述的異氰酸酯成分和團(tuán)聚性高的上述的鏈延長劑成分。而且，優(yōu)選 軟質(zhì)成分(多元醇成分)的比率為65質(zhì)量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為60質(zhì)量％以下。如果軟 質(zhì)成分的量超過65質(zhì)量％，則吸水率容易變高。另外，如果高分子彈性體為水性聚氨酯(aqueous polyurethane)，為了實現(xiàn)0. 2質(zhì)量％至5質(zhì)量％的吸水率，優(yōu)選該水性聚氨酯的 平均粒徑為0. 01 μ m至0. 2 μ m。如果該平均粒徑小于0. 01 μ m或者大于0. 2 μ m，則吸水率
容易超過5質(zhì)量％。當(dāng)高分子彈性體為聚氨酯樹脂時，為了控制其吸水率及儲能模量，另外優(yōu)選的是， 通過添加在分子內(nèi)含有兩個以上能與形成聚氨酯的單體單元所具備的官能基反應(yīng)的官能 基的交聯(lián)劑或者聚異氰酸酯系化合物、多官能封閉異氰酸酯系化合物等自交聯(lián)性的化合 物，來形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。作為所述單體單元所具備的官能基與交聯(lián)劑的官能基的組合，例如有羧基與呃 唑啉基、羧基與碳化二亞胺基、羧基與環(huán)氧基、羧基與環(huán)碳酸酯基、羧基與氮丙啶基、羰基與 胼衍生物或酰胼衍生物等。這些組合中，從易交聯(lián)及所獲得的拋光墊的剛性及耐磨耗性優(yōu) 異的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選具有羧基的單體單元與具有呃唑啉基、碳化二亞胺基或者環(huán)氧基 的交聯(lián)劑的組合；具有氫氧基或者氨基的單體單元與具有封閉異氰酸酯基的交聯(lián)劑的組 合；以及具有羰基的單體單元與胼衍生物或者酰胼衍生物的組合。另外，從可維持高分子 彈性體的水性液的穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選交聯(lián)結(jié)構(gòu)是在向纖維絡(luò)合體中含浸聚氨酯樹脂 的水性液之后的熱處理工序中形成。這些官能基中，特別優(yōu)選交聯(lián)性能及水性液的適用期 (pot life)特性優(yōu)異而且安全方面也沒有問題的碳化二亞胺基及/或呃唑啉基。作為具 有碳化二亞胺基的交聯(lián)劑，例如有日清紡織株式會社(Nisshinbo Industries, Inc.)制的 “Carbodilite E-01”、“Carbodilite E_02，，、“Carbodilite V-02，，等的水分散碳化二亞胺 系化合物。另外，作為具有呃唑啉基的交聯(lián)劑，例如有日本觸媒株式會社(Nippon Syokubai Co. , Ltd.)制的 “Epocros K-2010E，，、“Epocros K-2020E，，、“Epocros WS-500，，等水分散呃 唑啉系化合物。作為交聯(lián)劑的配合量，優(yōu)選相對于聚氨酯樹脂，交聯(lián)劑的有效成分為1質(zhì) 量％至20質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選1. 5質(zhì)量％至10質(zhì)量％。另外，從提高與超細(xì)纖維的粘結(jié)性且提高纖維束的剛性的觀點(diǎn)，和從易于調(diào)整玻 璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下、23°C及50°C的溫度之下的儲能模量為90MPa至900MPa的范 圍、且在50°C下使之吸水飽和時的吸水率為0.2質(zhì)量％至5質(zhì)量％等的觀點(diǎn)出發(fā)，作為聚氨 酯樹脂中的多元醇成分的含有率，優(yōu)選65質(zhì)量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選60質(zhì)量％以下。另外， 從可通過賦予適度的彈性抑制劃痕的產(chǎn)生的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選40質(zhì)量％以上，進(jìn)一步優(yōu)選45 質(zhì)量％以上。另外，在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，聚氨酯系樹脂也可進(jìn)一步含有滲透劑、消 泡劑、潤滑劑、防水劑、防油劑、增粘劑、增量劑(bulking agent)、硬化促進(jìn)劑、抗氧化劑、紫 外線吸收劑、防霉劑、發(fā)泡劑、聚乙烯醇、羧甲基纖維素等水溶性高分子化合物、染料、顏料、 無機(jī)微粒子等。對于高分子彈性體，優(yōu)選存在于由5根至70根形成超細(xì)纖維絡(luò)合體的平均纖度為 0. Oldtex至0. 8dtex以下的超細(xì)纖維集束而成的超細(xì)纖維束的內(nèi)部。而且，超細(xì)纖維由存 在于超細(xì)纖維束的內(nèi)部的高分子彈性體集束，隨著超細(xì)纖維被集束，纖維束內(nèi)部的一部分 或全體被集束，并且超細(xì)纖維束被束集。從提高拋光墊的剛性、且改善平坦化性能、拋光均 勻性、經(jīng)時穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選超細(xì)纖維被集束且超細(xì)纖維束被束集。另外，從兼具拋光墊的適度剛性和保液性的觀點(diǎn)出發(fā)，在拋光墊中，優(yōu)選除了空隙 以外部分的體積比例(以下，也稱作拋光墊填充率)為40%至95%，即空隙率成為5%至60%的范圍內(nèi)而存在空隙。此時，從兼具漿料保液性和適度剛性以及緩沖性因而拋光裸硅晶片的性能優(yōu)異的 觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含浸了所述高分子彈性體的拋光墊的空隙率為50%以上。另外，從以裸硅晶 片拋光為代表的粗拋光時的拋光高速性和平坦性優(yōu)異的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選此時的上限為70% 以下。從漿料的保液性改善的觀點(diǎn)出發(fā)，進(jìn)一步優(yōu)選空隙的一部分形成連通拋光墊內(nèi)部 的連通孔。另外，從拋光漿料的膨潤性良好的觀點(diǎn)出發(fā)，高分子彈性體優(yōu)選為水性聚氨酯，該 水性聚氨酯優(yōu)選具有0. 01 μ m至0. 2 μ m的平均粒徑。平均粒徑為0. 01 μ m以上時，耐水性 良好，拋光中的隨時間經(jīng)過的穩(wěn)定性優(yōu)異。平均粒徑為0. 2μπι以下時，纖維束的束集力提 高，平坦化性優(yōu)異，拋光中的拋光墊壽命延長，隨時間經(jīng)過的穩(wěn)定性優(yōu)異。另外，為了調(diào)整上 述的粒徑，優(yōu)選例如高分子彈性體含有從由羧基、磺酸基及碳數(shù)為3以下的聚烷撐二醇基 構(gòu)成的組中選擇的至少一種親水性基。另外，優(yōu)選所述超細(xì)纖維絡(luò)合體與所述高分子彈性體的比率(超細(xì)纖維絡(luò)合體/ 高分子彈性體)以質(zhì)量比計為55/45至95/5。所述超細(xì)纖維絡(luò)合體的所述質(zhì)量比率為55% 以上時，拋光中的隨時間經(jīng)過的穩(wěn)定性優(yōu)異，存在拋光效率提高的傾向。所述超細(xì)纖維絡(luò)合 體的質(zhì)量比率為95%以下時，纖維束內(nèi)部的高分子彈性體的束集力得以維持，平坦化性優(yōu) 異，拋光中的拋光墊磨損減小。特別優(yōu)選所述超細(xì)纖維絡(luò)合體與所述高分子彈性體的比率 作為質(zhì)量比為60/40至90/10。從維持良好的保持漿料的能力及維持高剛性狀態(tài)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選本實施方式的 拋光墊的表觀密度為0. 4g/cm3至1. 2g/cm3，進(jìn)一步優(yōu)選為0. 5g/cm3至1. Og/cm3。并且，在用 于拋光裸硅晶片時，從兼具較高拋光速率和平坦性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0. 3g/cm3至0. 75g/ cm3，進(jìn)一步優(yōu)選為 0. 4g/cm3 至 0. 65g/cm3。在本實施方式中，對于超細(xì)纖維束的平均長度并無特別限定，但是，從可易于提高 超細(xì)纖維的纖維密度的觀點(diǎn)、易于提高拋光墊的剛性的觀點(diǎn)以及可抑制纖維脫落的觀點(diǎn)出 發(fā)，優(yōu)選IOOmm以上，進(jìn)一步優(yōu)選200mm以上。如果所述纖維束的長度過短，將難以實現(xiàn)超 細(xì)纖維的高密度化，而且無法充分獲得高剛性，進(jìn)而存在拋光中超細(xì)纖維容易脫落的傾向。 對于纖維束的平均長度的上限并無特別限定，例如含有由利用后述的紡粘法(spunbonding method)制造的無紡布而來的纖維絡(luò)合體時，只要物理學(xué)上看未斷開，也可包括數(shù)米、數(shù)百 米、數(shù)千米或更長的纖維。優(yōu)選本實施方式的拋光墊具有高分子彈性體被填充于所述纖維絡(luò)合體并與其進(jìn) 行了復(fù)合的結(jié)構(gòu)。對于本實施方式的拋光墊，從提高拋光墊的剛性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選高分子彈性體 存在于超細(xì)纖維束的內(nèi)部。進(jìn)一步優(yōu)選形成超細(xì)纖維集束的超細(xì)纖維由高分子彈性體集束 而成。這樣，通過使超細(xì)纖維集束起來，拋光墊的剛性進(jìn)一步變高。通過使超細(xì)纖維集束起 來，各超細(xì)纖維難以隨意移動，因此拋光墊的剛性提高，易于獲得高平坦化性能。而且，纖維 的脫落會減少，能夠防止磨粒聚集在脫落的纖維上，由此不易導(dǎo)致劃痕的產(chǎn)生。這里，所謂 超細(xì)纖維集束起來，是指存在于超細(xì)纖維束內(nèi)部的超細(xì)纖維的大部分(就根數(shù)而言，優(yōu)選 10 %以上、進(jìn)一步優(yōu)選20 %以上、更加優(yōu)選50 %以上、最優(yōu)選60 %以上)通過存在于超細(xì)纖維束內(nèi)部的高分子彈性體粘結(jié)而束集起來的狀態(tài)。另外，也優(yōu)選多根超細(xì)纖維束彼此通過存在于超細(xì)纖維束的外側(cè)的高分子彈性體 而粘合，以塊狀(bulk state)存在。這樣，通過將超細(xì)纖維束彼此粘合起來，拋光墊的形狀 穩(wěn)定性提高，拋光穩(wěn)定性提高。超細(xì)纖維的集束、束集狀態(tài)及超細(xì)纖維束彼此的粘合狀態(tài)，可通過拋光墊的剖面 的電子顯微鏡照片來確認(rèn)。選優(yōu)的是，將超細(xì)纖維集束起來的高分子彈性體及將超細(xì)纖維束彼此粘合起來的 高分子彈性體為非多孔質(zhì)狀。這里，所謂非多孔質(zhì)狀，是指實質(zhì)上不具備多孔質(zhì)狀或者海綿 狀(以下也簡稱作多孔質(zhì)狀)的高分子彈性體所具有的空隙(獨(dú)立氣泡)的狀態(tài)。具體而 言，例如是指并非是通過使溶劑基聚氨酯(solvent-based polyurethane)凝固而獲得的具 有大量微細(xì)氣泡的高分子彈性體。如果集束或者粘合起來的高分子彈性體是非多孔質(zhì)狀 時，拋光穩(wěn)定性將變高，拋光時的漿料屑或墊屑不易堆積在空隙內(nèi)，因而不易磨耗，能夠長 時間維持較高的拋光速率。進(jìn)而，由于對超細(xì)纖維的粘結(jié)強(qiáng)度變高，因而能夠抑制因纖維脫 落引起的劃痕的產(chǎn)生。進(jìn)而，因可獲得更高的剛性，故而可獲得平坦化性能優(yōu)異的拋光墊。另外，就本實施方式的拋光墊而言，優(yōu)選在以50°C的溫水使之膨潤達(dá)到飽和時的 吸水率為10質(zhì)量％至80質(zhì)量％，進(jìn)一步優(yōu)選15質(zhì)量％至70質(zhì)量％。所述吸水率為10質(zhì) 量％以上時，存在容易保持磨粒漿料、拋光速率提高、而且拋光均勻性改善的傾向。所述吸 水率為80質(zhì)量％以下時，可獲得高拋光速率，而且拋光中硬度等特性難以發(fā)生變化，因而 存在平坦化性能的經(jīng)時穩(wěn)定性優(yōu)異的傾向。根據(jù)本實施方式的拋光墊，通過實施打光等墊平坦化處理、在進(jìn)行使用金剛石 等墊打磨的拋光前實施時效處理(seasoning treatment)(調(diào)整處理(conditioning treatment))及在拋光時實施打磨處理(dressing treatment)，將存在于表面附近的超細(xì) 纖維束分離或原纖化，由此可使拋光墊的表面形成超細(xì)纖維。作為拋光墊表面的超細(xì)纖維 的纖維密度，優(yōu)選600根/mm2以上，進(jìn)一步優(yōu)選1000根/mm2以上，特別優(yōu)選2000根/mm2以 上。如果所述纖維密度過低，存在保持磨粒的能力將不充分的傾向。對于所述纖維密度的 上限并無特別限定，從生產(chǎn)率方面考慮，上限為1000000根/mm2左右。拋光墊表面的超細(xì) 纖維既可直立(stand upright)，也可不直立。如果超細(xì)纖維是直立，拋光墊的表面將變得 更柔軟，所以劃痕的降低效果將更高。另一方面，如果超細(xì)纖維的直立程度較低，對于重視 微觀平坦性的用途將有利。優(yōu)選根據(jù)用途來適當(dāng)選擇表面狀態(tài)。[拋光墊的制造方法]接著，對本實施方式的拋光墊的制造方法的一例進(jìn)行詳細(xì)說明。本實施方式的拋光墊例如可通過如下所述的拋光墊的制造方法而獲得，該制造方 法包括網(wǎng)制造工序，制造由將水溶性熱塑性樹脂與非水溶性熱塑性樹脂熔體紡絲所得的 海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的長纖維網(wǎng)；網(wǎng)絡(luò)合工序，通過將多張所述長纖維網(wǎng)重疊使之纏結(jié)從 而形成網(wǎng)絡(luò)合片；濕熱收縮處理工序，通過對所述網(wǎng)絡(luò)合片進(jìn)行濕熱收縮處理而使其收縮 成面積收縮率為30%以上；纖維絡(luò)合體形成工序，通過使所述網(wǎng)絡(luò)合片中的所述水溶性熱 塑性樹脂在熱水中溶解而形成由超細(xì)纖維構(gòu)成的纖維絡(luò)合體；以及高分子彈性體填充工 序，使高分子彈性體的水性液含浸在所述纖維絡(luò)合體中并使之干燥凝固。所述制造方法，由于經(jīng)過了使含有長纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮的工序，因此與使含有短纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮的情況相比，可使網(wǎng)絡(luò)合片大幅度地收縮，故此，超細(xì)纖維 的纖維密度變得致密。并且，所述制造方法通過溶解抽出網(wǎng)絡(luò)合片的水溶性熱塑性樹脂，形 成由超細(xì)纖維束構(gòu)成的纖維絡(luò)合體。此時，在水溶性熱塑性樹脂被溶解抽取的部分形成空 隙。接著，使高濃度的高分子彈性體的水性液充分含浸在該空隙內(nèi)并使之干燥凝固，由此使 得構(gòu)成超細(xì)纖維束的超細(xì)纖維集束起來，并且超細(xì)纖維束彼此也集束起來。通過這樣的方 式，獲得纖維密度高、空隙率低、超細(xì)纖維被集束起來的高剛性的拋光墊。另外，通過調(diào)整所述收縮處理，或者通過調(diào)整含浸在空隙中的高分子彈性體的量， 將拋光墊的空隙率設(shè)為50%以上，由此能夠得到兼具適度剛性、保持磨粒漿料的能力和較 好緩沖性的、適用于裸硅晶片的拋光墊。以下對各工序進(jìn)行詳細(xì)說明。(1)網(wǎng)制造工序在本工序中，首先制造由將水溶性熱塑性樹脂與非水溶性熱塑性樹脂熔體紡絲所 得的海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的長纖維網(wǎng)。所述海島型復(fù)合纖維是通過將水溶性熱塑性樹脂及與所述水溶性熱塑性樹脂的 溶混性低的非水溶性熱塑性樹脂分別熔體紡絲之后使之復(fù)合(combining)而獲得。接著， 從這樣的海島型復(fù)合纖維中將水溶性熱塑性樹脂溶解除去或者分解除去，由此形成超細(xì)纖 維。從工業(yè)方面考慮，海島型復(fù)合纖維的厚度優(yōu)選0. 5分特至3分特。另外，在本實施方式中，詳細(xì)說明海島型復(fù)合纖維作為用于形成超細(xì)纖維的復(fù)合 纖維，但也可使用多層疊層型剖面纖維等公知的超細(xì)纖維發(fā)生型纖維取代海島型纖維。作為所述水溶性熱塑性樹脂，優(yōu)選使用可利用水、堿性水溶液、酸性水溶液等溶解 除去或者分解除去且可熔體紡絲的熱塑性樹脂。作為此類水溶性熱塑性樹脂的具體例，例 如有聚乙烯醇、聚乙烯醇共聚物等聚乙烯醇系樹脂(PVA系樹脂)；含有聚乙二醇及/或磺 酸堿金屬鹽作為共聚成分的改性聚酯；聚氧化乙烯等。這些材料中，基于以下理由，特別優(yōu) 選使用PVA系樹脂。當(dāng)使用以PVA系樹脂作為水溶性熱塑性樹脂成分的海島型復(fù)合纖維時，通過溶解 PVA系樹脂而形成的超細(xì)纖維會大幅卷曲。由此可獲得高纖維密度的纖維絡(luò)合體。另外，當(dāng) 使用以PVA系樹脂作為水溶性熱塑性樹脂成分的海島型復(fù)合纖維時，在使PVA系樹脂溶解 時，所形成的超細(xì)纖維及高分子彈性體在實質(zhì)上不會被分解或者溶解，因此不易引起超細(xì) 纖維及高分子彈性體的物性下降。而且對環(huán)境的負(fù)荷也小。PVA系樹脂可通過將以乙烯酯單元為主體的共聚物皂化而獲得。作為用于形成乙 烯酯單元的乙烯單體的具體例，例如有乙酸乙烯酯、甲酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、戊酸乙烯酯、 癸酸乙烯酯、月桂酸乙烯酯、硬脂酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、新戊酸乙烯酯及叔碳酸乙烯酯 等。這些材料既可單獨(dú)使用也可將兩種以上組合使用。這些材料中，從工業(yè)出發(fā)考慮，優(yōu)選 乙酸乙烯酯。PVA系樹脂既可為只由乙烯酯單元構(gòu)成的均聚乙烯醇(homo-PVA)，也可為含有乙 烯酯單元以外的共聚單體單元作為構(gòu)成單元的改性PVA。從可控制熔體紡絲性、水溶性、纖 維物性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選改性PVA。作為乙烯酯單元以外的共聚單體單元的具體例，例如有 乙烯、丙烯、1- 丁烯、異丁烯等碳數(shù)為4以下的α -烯烴類；甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、 η-丙基乙烯基醚、異丙基乙烯基醚、η-丁基乙烯基醚等乙烯基醚類等。作為乙烯酯單元以
14外的共聚單體單元的含有比例，優(yōu)選lmol%至20mol%，進(jìn)一步優(yōu)選4mol%至15mol%，特 別優(yōu)選6mol %至13mol %。這些PVA中，從海島型復(fù)合纖維的物性變高的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選含 有4mol%至15mol%、進(jìn)一步優(yōu)選6mol%至13mol %的乙烯單元的乙烯改性PVA。從可形成穩(wěn)定的海島結(jié)構(gòu)、熔體紡絲性可呈現(xiàn)優(yōu)異的熔融粘度、以及溶解時的溶 解速度較快的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選PVA系樹脂的粘度平均聚合度為200至500，進(jìn)一步優(yōu)選為 230至470，特別優(yōu)選為250至450。另外，所述聚合度是依照J(rèn)IS_K67^而測定。S卩，將PVA 樹脂再皂化、精制后，基于在30°C的水中測定出的極限粘度[η ]，通過下式算出。粘度平均聚合度P= ([n] X 103/8. 29) (1/0. 62)作為PVA系樹脂的皂化度，優(yōu)選90mol %至99. 99mol %，進(jìn)一步優(yōu)選93mol %至 99. 98mol%，特別優(yōu)選 94mol%至 99. 97mol %，進(jìn)一步特別優(yōu)選 96mol %至 99. 96mol%。當(dāng) 所述皂化度處于這樣的范圍時，可獲得水溶性優(yōu)異、熱穩(wěn)定性良好、熔體紡絲性優(yōu)異、而且 生物降解性也優(yōu)異的PVA系樹脂。作為所述PVA系樹脂的融點(diǎn)，從機(jī)械性能和熱穩(wěn)定性優(yōu)異、以及熔體紡絲性優(yōu)異 的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選160°C至250°C，進(jìn)一步優(yōu)選170°C至227°C，特別優(yōu)選175°C至2M°C，進(jìn) 一步特別優(yōu)選180°C至220°C。另外，如果所述PVA系樹脂的融點(diǎn)過高，由于融點(diǎn)與分解溫 度接近，所以在熔體紡絲時會發(fā)生分解，由此存在熔體紡絲性降低的傾向。另外，如果所述PVA系樹脂的融點(diǎn)與所述非水溶性熱塑性樹脂的融點(diǎn)相比過低 時，熔體紡絲性會降低，因而不理想?；谶@樣的觀點(diǎn)，優(yōu)選PVA系樹脂的融點(diǎn)不低于所述 非水溶性熱塑性樹脂的融點(diǎn)60°C以上，進(jìn)一步優(yōu)選不低于所述非水溶性熱塑性樹脂的融點(diǎn) 低30°C以上。作為所述非水溶性熱塑性樹脂，優(yōu)選使用不能由水、堿性水溶液、酸性水溶液等來 溶解除去或者分解除去且可熔體紡絲的熱塑性樹脂。作為所述非水溶性熱塑性樹脂的具體例，可使用如上所述的用于形成構(gòu)成拋光墊 的超細(xì)纖維的各種熱塑性樹脂。所述非水溶性熱塑性樹脂也可含有各種添加劑。作為所述添加材的具體例，例如 有催化劑、著色抑制劑、耐熱劑、阻燃劑、潤滑劑、防污劑、熒光增白劑、消光劑、著色劑、光澤 改良劑、抗靜電劑、芳香劑、除臭劑、抗菌劑、防虱劑、無機(jī)微粒子等。接著詳細(xì)說明將所述水溶性熱塑性樹脂與所述非水溶性熱塑性樹脂熔體紡絲而 形成海島型復(fù)合纖維，再由所得海島型復(fù)合纖維形成長纖維網(wǎng)的方法。所述長纖維網(wǎng)例如可通過將所述水溶性熱塑性樹脂與所述非水溶性熱塑性樹脂 熔體紡絲而復(fù)合化之后，利用紡粘法延伸后堆積而獲得。這樣，藉由通過紡粘法形成網(wǎng)，可 獲得由纖維脫落少、纖維密度高、形態(tài)穩(wěn)定性良好的海島型復(fù)合纖維構(gòu)成的長纖維網(wǎng)。另 外，所謂長纖維，是指不經(jīng)過制造短纖維時的切斷工序而制造的纖維。在海島型復(fù)合纖維的制造中，將水溶性熱塑性樹脂與非水溶性熱塑性樹脂分別熔 體紡絲而復(fù)合化。作為水溶性熱塑性樹脂與非水溶性熱塑性樹脂的質(zhì)量比，優(yōu)選5/95至 50/50，進(jìn)一步優(yōu)選10/90至40/60。如果水溶性熱塑性樹脂與非水溶性熱塑性樹脂的質(zhì)量 比處于這樣的范圍，可獲得高密度的纖維絡(luò)合體，而且，超細(xì)纖維的形成性也優(yōu)異。以下詳細(xì)說明將水溶性熱塑性樹脂與非水溶性熱塑性樹脂通過熔體紡絲而復(fù)合 化之后，利用紡粘法形成長纖維網(wǎng)的方法。
首先，將水溶性熱塑性樹脂及非水溶性熱塑性樹脂分別通過不同的壓出機(jī)熔融混 煉，使熔融樹脂的線股(strand)從各不相同的噴絲頭同時噴出。接著，使噴出的線股經(jīng)復(fù) 合噴嘴復(fù)合之后從紡絲頭的噴嘴孔噴出，由此形成海島型復(fù)合纖維。在熔融復(fù)合紡絲中，從 可縮小單纖維纖度，獲得高纖維密度的纖維束的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選海島型復(fù)合纖維中的島數(shù) 為4島/纖維至4000島/纖維，進(jìn)一步優(yōu)選為10島/纖維至1000島/纖維。所述海島型復(fù)合纖維在經(jīng)冷卻裝置冷卻之后，使用噴氣嘴等吸引裝置，通過以相 當(dāng)于IOOOm/分鐘至6000m/分鐘的收線速度(take-up speed)的速度流動的高速氣流被 延伸以便達(dá)到目標(biāo)纖度。隨后，通過將延伸后的復(fù)合纖維堆積到移動式捕集面(movable collecting surface)上形成長纖維網(wǎng)。另外，此時也可根據(jù)需要將堆積起來的長纖維網(wǎng) 局部地壓縮。從可獲得均勻的纖維絡(luò)合體和工業(yè)性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選纖維網(wǎng)的克重(basis weight)處于20g/m2至500g/m2的范圍內(nèi)。(2)網(wǎng)絡(luò)合工序接著說明通過使多張所得的所述長纖維網(wǎng)重疊絡(luò)合而形成網(wǎng)絡(luò)合片的網(wǎng)絡(luò)合工序。網(wǎng)絡(luò)合片是通過使用針刺(needle punching)或高壓水流處理等公知的無紡布制 造方法對長纖維網(wǎng)進(jìn)行絡(luò)合處理而形成。以下對作為代表例的基于針刺的絡(luò)合處理進(jìn)行詳 細(xì)說明。首先，對長纖維網(wǎng)涂抹用于防止針斷的油劑、抗靜電油劑、用于改善絡(luò)合的油 劑等硅酮系油劑或者礦物油系油劑。另外，為了降低克重波動，也可通過交叉鋪網(wǎng)機(jī) (cross-lapper)使兩張以上的纖維網(wǎng)重疊后再涂抹油劑。隨后，例如，通過針刺進(jìn)行使纖維三維絡(luò)合的絡(luò)合處理。通過進(jìn)行針刺處理，可獲 得纖維密度高、不易發(fā)生纖維脫落的網(wǎng)絡(luò)合片。另外，網(wǎng)絡(luò)合片的克重可根據(jù)拋光墊的目標(biāo) 厚度等適當(dāng)選擇，但從易操作的觀點(diǎn)出發(fā)，具體而言，例如優(yōu)選100g/m2至1500g/m2。油劑的種類及量，和針刺時的針形狀、針深度、針眼數(shù)等有關(guān)針的條件可適當(dāng)選 擇，以便使網(wǎng)絡(luò)合片的層間剝離力較高。鉤(barb)數(shù)在不會發(fā)生斷針的范圍內(nèi)越多越好， 具體而言，例如可從1至9個鉤中選擇。優(yōu)選設(shè)定針深度，以便使鉤貫通至重疊的網(wǎng)表面， 并且，針刺后的圖案不會明顯顯露在網(wǎng)表面。另外，針眼數(shù)根據(jù)針形狀、油劑的種類和使用 量等而調(diào)整，具體而言，優(yōu)選500針眼/cm2至5000針眼/cm2。另外，從可獲得高纖維密度 的纖維絡(luò)合體，而且可減少纖維的脫落的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選以如下條件進(jìn)行絡(luò)合處理，所述條 件為以質(zhì)量比計時使絡(luò)合處理后的基重為絡(luò)合處理前的基重的1. 2倍以上，進(jìn)一步優(yōu)選為 1.5倍以上。對于上限并無特別限定，但從可避免因處理速度的下降導(dǎo)致的制造成本的增大 的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選4倍以下。另外，作為裸硅晶片拋光用拋光墊時，優(yōu)選將拋光墊的空隙率設(shè)為50%以上，也可 以對應(yīng)于為此而提高或降低所述纖維密度的情況，通過高分子彈性體的填充量進(jìn)行調(diào)整。從可獲得形態(tài)保持性良好且纖維的脫落少、纖維密度高的纖維絡(luò)合體的觀點(diǎn)出 發(fā)，優(yōu)選網(wǎng)絡(luò)合片的層間剝離力為^g/2. 5cm以上，進(jìn)一步優(yōu)選為4kg/2. 5cm以上。另外， 層間剝離力是三維絡(luò)合的程度的量度。如果層間剝離力過小，纖維絡(luò)合體的纖維密度將不 夠高。對于絡(luò)合無紡布的層間剝離力的上限并無特別限定，但從絡(luò)合處理效率考慮優(yōu)選 30kg/2. 5cm 以下。
另外，為了調(diào)節(jié)拋光墊的硬度，也可在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)，根據(jù)需要在 以上述方式獲得的無紡布即網(wǎng)絡(luò)合片上進(jìn)一步重疊由超細(xì)纖維構(gòu)成的針織物或者梭織物 (編織物)，再通過針刺處理及/或者高壓水流處理進(jìn)行絡(luò)合處理，由此將編織物經(jīng)過絡(luò)合 一體化成為絡(luò)合無紡布，例如編織物/絡(luò)合無紡布、絡(luò)合無紡布/編織物/絡(luò)合無紡布等疊 層結(jié)構(gòu)體用作網(wǎng)絡(luò)合片。對于構(gòu)成所述編織物的超細(xì)纖維并無特別限定。具體而言，例如優(yōu)選使用由聚對 苯二甲酸乙二酯(PET)、聚對苯二甲酸丙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯(PBT)、聚酯彈性體等 形成的聚酯系纖維；由聚酰胺6、聚酰胺66、芳香族聚酰胺、聚酰胺彈性體等形成的聚酰胺 系纖維；由氨酯系聚合物、烯烴系聚合物、丙烯腈系聚合物等構(gòu)成的纖維。這些纖維中，從工 業(yè)方面考慮，優(yōu)選由PET、PBT、聚酰胺6、聚酰胺66等形成的纖維。作為形成所述編織物的海島型復(fù)合纖維的去除成分的具體例，例如有聚苯乙烯及 其共聚物、聚乙烯、PVA系樹脂、共聚聚酯、共聚聚酰胺等。這些材料中，從在溶解除去時會 大幅度地收縮的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用PVA系樹脂。(3)濕熱收縮處理工序接著說明用于通過使網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮來提高網(wǎng)絡(luò)合片的纖維密度及絡(luò)合程度 的濕熱收縮處理工序。另外，本工序通過使含有長纖維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮，與使含有短纖 維的網(wǎng)絡(luò)合片濕熱收縮的情況相比，可使網(wǎng)絡(luò)合片大幅度地收縮，因此，超細(xì)纖維的纖維密 度特別高。濕熱收縮處理優(yōu)選通過蒸汽加熱來進(jìn)行。作為蒸汽加熱條件，優(yōu)選環(huán)境溫度為 60°C至130°C，相對濕度為75%以上，進(jìn)一步優(yōu)選相對濕度為90%以上，進(jìn)行60秒至600 秒的加熱處理。在這樣的加熱條件的情況下，可使網(wǎng)絡(luò)合片以高收縮率收縮，因而比較理 想。另外，如果相對濕度過低，接觸到纖維的水分會迅速蒸干，由此存在收縮變得不充分的 傾向。濕熱收縮處理優(yōu)選以使所述網(wǎng)絡(luò)合片收縮至面積收縮率為30%以上，進(jìn)一步優(yōu)選 35%以上，更加優(yōu)選40%以上來進(jìn)行。通過這樣以高收縮率使之收縮，可獲得高纖維密度。 對于所述面積收縮率的上限并無特別限定，但從收縮的限度及處理效率方面考慮，優(yōu)選約 為80%以下。另外，面積收縮率(％ )通過下述式(1)來計算。
權(quán)利要求
1.一種拋光墊，其特征在于包括超細(xì)纖維絡(luò)合體，由平均纖度為0. Oldtex至0. 8dtex的超細(xì)纖維形成；和 高分子彈性體，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下，23°C及50°C的溫度之下的儲能模量為 90MPa至900MPa，在50°C下使該高分子彈性體吸水飽和時的吸水率為0. 2質(zhì)量％至5質(zhì)量％。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于所述超細(xì)纖維絡(luò)合體由5根至70根所述超細(xì)纖維集束而成的超細(xì)纖維束構(gòu)成，所述高 分子彈性體存在于所述超細(xì)纖維束的內(nèi)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的拋光墊，其特征在于 所述超細(xì)纖維由聚酯纖維形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的拋光墊，其特征在于所述超細(xì)纖維由熱塑性樹脂形成，該熱塑性樹脂在50°C下使之吸水飽和時的吸水率為 0. 2質(zhì)量％至2質(zhì)量％。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的拋光墊，其特征在于所述高分子彈性體為使用多元醇、聚酰胺和聚異氰酸酯獲得的聚氨酯系樹脂，所述多 元醇的60質(zhì)量％至100質(zhì)量％為非晶性聚碳酸酯系二醇。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光墊，其特征在于所述高分子彈性體是作為所述多元醇并用非晶性聚碳酸酯系二醇和含羧基的二醇且 作為所述聚異氰酸酯使用脂環(huán)族二異氰酸酯來獲得的聚氨酯系樹脂。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的拋光墊，其特征在于所述高分子彈性體的23°C的溫度之下的儲能模量與50°C的溫度之下的儲能模量之 比，亦即23°C的溫度之下的儲能模量/50°C的溫度之下的儲能模量為4以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的拋光墊，其特征在于 所述高分子彈性體是平均粒徑為0. 01 μ m至0. 2 μ m的水性聚氨酯。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的拋光墊，其特征在于所述超細(xì)纖維絡(luò)合體與所述高分子彈性體的比率，亦即所述超細(xì)纖維絡(luò)合體/所述高 分子彈性體以質(zhì)量比計為55/45至95/5。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的拋光墊，其特征在于 所述拋光墊中的空隙部分的體積比例為50%以上。
11.一種拋光墊的制造方法，其特征在于在平均纖度為0. Oldtex至0. Sdtex的超細(xì)纖維集束而成的超細(xì)纖維束的內(nèi)部，充填玻 璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10°C以下、23°C及50°C的溫度之下的儲能模量為90MPa至900MPa、且在 50°C下使之吸水飽和時的吸水率為0. 2質(zhì)量％至5質(zhì)量％的高分子彈性體。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的拋光墊的制造方法，其特征在于在由所述超細(xì)纖維集束而成的超細(xì)纖維束構(gòu)成的超細(xì)纖維絡(luò)合體的內(nèi)部填充所述高 分子彈性體，以使拋光墊中的空隙部分的體積比例為50%以上。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種不易產(chǎn)生劃痕且平坦化性能和拋光穩(wěn)定性優(yōu)異的拋光墊。本發(fā)明所涉及的拋光墊，包括超細(xì)纖維絡(luò)合體，由平均纖度為0.01dtex至0.8dtex的超細(xì)纖維形成；和高分子彈性體，玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為-10℃以下，23℃及50℃的溫度之下的儲能模量為90MPa至900MPa，在50℃下使該高分子彈性體吸水飽和時的吸水率為0.2質(zhì)量％至5質(zhì)量％。
文檔編號H01L21/304GK102119069SQ200980131008
公開日2011年7月6日 申請日期2009年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月8日
發(fā)明者中山公男, 加藤充, 菊池博文, 高岡信夫 申請人:可樂麗股份有限公司