專利名稱：檢測處理設(shè)備閑置模式的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實(shí)施例大體而言是關(guān)于處理設(shè)備，且更特定言是關(guān)于一種監(jiān)視此處理設(shè)備的裝置。
背景技術(shù)：
在(例如)半導(dǎo)體、平板、光電及其它硅或薄膜處理系統(tǒng)中，可能需要在處理設(shè)備處于閑置狀態(tài)時(shí)以低功率模式來操作該處理設(shè)備。舉例而言，可能需要在所有過程腔室處于閑置狀態(tài)時(shí)，以低功率模式來操作連接至一個(gè)或多個(gè)過程腔室的削減處理系統(tǒng) (abatement system)或其它設(shè)備。在一些系統(tǒng)中，監(jiān)視晶圓匣的存在或缺乏以用信號(hào)通知削減處理系統(tǒng)以低功率模式操作(例如，在晶圓匣不存在時(shí))。然而，此指示器并非為閑置設(shè)備的可靠量測，因?yàn)樵撛O(shè)備可能正操作無晶圓過程，諸如腔室清潔或調(diào)節(jié)。此外，可(例如)通過使監(jiān)視裝置與指示信號(hào)斷開而偶然或有意地旁路或蒙騙一些監(jiān)視裝置。因此，本發(fā)明的發(fā)明者已提供一種監(jiān)視處理設(shè)備的裝置，其可提供設(shè)備閑置且預(yù)備以低功率模式操作的可靠指示。

發(fā)明內(nèi)容
在本文中提一供種檢測半導(dǎo)體處理設(shè)備的閑置模式的方法及裝置。在一些實(shí)施例中，一種監(jiān)視處理系統(tǒng)的裝置可包括第一系統(tǒng)適配器，其用于監(jiān)視第一過程腔室及確定其狀態(tài)；及第一支持適配器，其用于與該第一系統(tǒng)適配器及連接至該過程腔室的第一支持系統(tǒng)通信，其中該第一支持適配器經(jīng)配置以響應(yīng)處于閑置模式的該第一過程腔室的該狀態(tài)， 而將在低功率模式下操作該第一支持系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)傳達(dá)至該支持系統(tǒng)的控制器。在一些實(shí)施例中，該裝置進(jìn)一步包含第二系統(tǒng)適配器，其用于監(jiān)視第二過程腔室及確定其狀態(tài)，其中該第二系統(tǒng)適配器經(jīng)配置以與該第一系統(tǒng)適配器通信。在一些實(shí)施例中，該裝置進(jìn)一步包含第二系統(tǒng)適配器，其用于監(jiān)視第二過程腔室及確定其狀態(tài)；及第二支持適配器，其用于與該第二系統(tǒng)適配器及連接至該第二過程腔室的第二支持系統(tǒng)通信，該第二支持適配器經(jīng)配置以響應(yīng)于該第二過程腔室的該狀態(tài)，而傳達(dá)在低功率模式下操作該第二支持系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)。在一些實(shí)施例中，種在基板處理系統(tǒng)中保存能量的方法可包括以下步驟提供連接至第一過程腔室的第一系統(tǒng)適配器；提供連接至第一支持系統(tǒng)的第一支持適配器；在該第一系統(tǒng)適配器與該第一支持適配器之間形成安全通信鏈路；監(jiān)視該第一過程腔室與該第一系統(tǒng)適配器以確定其狀態(tài)；及響應(yīng)于處于閑置模式的該過程腔室的該狀態(tài)，而將在低功率模式下操作該支持系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)傳達(dá)至該支持系統(tǒng)的控制器。
下文中提供本發(fā)明的發(fā)明方法及裝置的其它實(shí)施例。


所以，上述簡介的本發(fā)明的特征可參考對本發(fā)明更具體描述的實(shí)施例進(jìn)一步理解和敘述，部分實(shí)施例示出于附圖中。然而要指出的是，附圖僅說明本發(fā)明的典型實(shí)施例，因此不應(yīng)被視為其范圍的限制，本發(fā)明亦適用于其它具有同等功效的實(shí)施例。圖1示出根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例使用的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。圖2A至圖2C示出用于監(jiān)視根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的裝置。圖3示出用于監(jiān)視根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的裝置。圖4示出用于監(jiān)視根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的裝置。為清楚起見，附圖已簡化且未按比例繪制。為了便于理解，已經(jīng)在可能的情況下， 使用相同的組件符號(hào)指示各圖中相同的組件。意即，在一個(gè)實(shí)施例中所揭示的組件亦可用于其它實(shí)施例而無需特別指明。
具體實(shí)施例方式在本文中提供檢測處理設(shè)備的閑置模式的方法及裝置。該發(fā)明裝置有利地監(jiān)視多個(gè)指示器以在以低功率模式操作支持設(shè)備(諸如削減處理系統(tǒng))之前證實(shí)過程腔室處于閑置狀態(tài)。此外，該發(fā)明裝置是故障安全的(failsafe)，以確保削減處理或其它支持系統(tǒng)不以低功率模式不適當(dāng)?shù)夭僮?。通過提供系統(tǒng)適配器以用于確定過程腔室的狀態(tài)，及提供支持適配器以用于與該系統(tǒng)適配器通信并用于以低功率模式操作時(shí)指導(dǎo)連接至該過程腔室的支持系統(tǒng)(例如，削減處理系統(tǒng))，可將該裝置改型裝配于現(xiàn)有處理系統(tǒng)上。因此，該發(fā)明裝置有助于在閑置處理系統(tǒng)中減少能量消耗。圖1示出示范性處理系統(tǒng)100及用于監(jiān)視其的裝置101。可與本發(fā)明一起利用的示范性處理系統(tǒng)包括經(jīng)配置以用于半導(dǎo)體、平板、光電、太陽能、其它硅及薄膜處理及類似處理的那些處理系統(tǒng)。處理系統(tǒng)100包括連接至支持系統(tǒng)(諸如削減處理系統(tǒng)108)的過程腔室(諸如半導(dǎo)體過程腔室104)。用于監(jiān)視處理系統(tǒng)100的裝置101包括系統(tǒng)適配器102 及支持適配器(諸如削減處理適配器106)。系統(tǒng)適配器102連接至半導(dǎo)體過程腔室104以用于監(jiān)視該腔室的狀態(tài)。舉例而言，系統(tǒng)適配器102可監(jiān)視一或多個(gè)指示器以確定腔室104 是否處于閑置狀態(tài)。削減處理適配器106連接至削減處理系統(tǒng)108以用于將信號(hào)選擇性提供予削減處理系統(tǒng)108，以便削減處理系統(tǒng)108可在證實(shí)腔室104閑置后即以低功率模式操作。如下文所論述，系統(tǒng)適配器102及削減處理適配器106通過信號(hào)傳輸方法(如由105 所指示)來通信以確保正確操作。在一些實(shí)施例中，系統(tǒng)適配器102及削減處理適配器106 可利用系統(tǒng)適配器102與削減處理適配器106之間的故障安全的雙程通信協(xié)議來通信，以確保僅在過程腔室104處于閑置狀態(tài)時(shí)削減處理系統(tǒng)108以低功率模式操作。如本文中所使用，故障安全是指任何組件(包括系統(tǒng)適配器102或削減處理適配器106的信號(hào)傳輸組件)的失效會(huì)引起削減處理系統(tǒng)108以正常功率模式運(yùn)作，以避免削減處理系統(tǒng)108的任何偶然(或有意)旁路，此旁路可歸因于削減處理系統(tǒng)108不適當(dāng)?shù)匾缘凸β誓Ｊ竭\(yùn)作而導(dǎo)致將未經(jīng)削減處理的流出物(effluent)引入環(huán)境中。 過程腔室104可為用于處理基板(諸如半導(dǎo)體基板)的任何適合腔室。舉例而言，過程腔室104可經(jīng)配置以用于執(zhí)行氣相或液相過程。該氣相過程的非限制性實(shí)例可包括干式化學(xué)蝕刻、等離子體蝕刻、等離子體氧化、等離子體氮化、快速熱氧化、外延沉積及類似過程。該液相過程的非限制性實(shí)例可包括濕式化學(xué)蝕刻、物理液體沉積及類似過程。示范性過程腔室104可(例如)包括基板支撐件、用于提供一或多種過程氣體的氣體面板，及將該過程氣體分配于過程腔室中的工具(例如，蓮蓬頭或噴嘴)。該腔室可經(jīng)配置以用于提供電容性連接、電感性連接或遠(yuǎn)程等離子體。該腔室可(例如)在經(jīng)配置以用于快速熱過程 (RTP)或外延沉積過程時(shí)包括一或多個(gè)加熱燈。在過程腔室104中處理的基板可為在半導(dǎo)體過程腔室中處理的任何適合基板。該基板可包含諸如以下物質(zhì)的材料結(jié)晶硅(例如，Si<100>或Si<lll>)、氧化硅、應(yīng)變硅、鍺化硅、摻雜或未摻雜多晶硅、摻雜或未摻雜硅晶圓、經(jīng)圖案化或未經(jīng)圖案化的晶圓、絕緣物上硅(SOI)、碳摻雜氧化硅、氮化硅、摻雜硅、鍺、砷化鎵、玻璃、藍(lán)寶石或類似物。該基板亦可為晶圓，顯示器基板(諸如液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示器、電致發(fā)光(EL)燈顯示器或類似物)，太陽能電池陣列基板，發(fā)光二極管(LED)基板或類似物。該基板可具有各種尺寸，諸如200mm或300mm直徑的晶圓，以及矩形或正方形面板。過程腔室104可經(jīng)配置以(例如)將材料的層沉積于基板上，以將摻雜劑引入至基板，以蝕刻基板或沉積于基板上的材料，以用其它方式處理基板，或類似處理。沉積于基板上的層可包括用于半導(dǎo)體器件(例如，金氧半導(dǎo)體場效晶體管(MOSFET)或閃存器件)中的層。該層可包括含硅層，諸如多晶硅、氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、金屬硅化物；或另外，含金屬層，諸如含銅、鎳、金或錫層；或金屬氧化物層，例如，氧化鉿。其它沉積層可包括(例如)犧牲層，諸如蝕刻終止層、光阻層、硬質(zhì)罩幕層及類似層。過程腔室104可使用任何適合過程氣體及/或過程氣體混合物，例如以形成在基板的頂上的層，以從基板移除材料，或另外與暴露于基板上的材料層反應(yīng)，或類似處理。該過程氣體可包括含硅氣體，諸如硅烷(SiH4)、二氯硅烷(Cl2SiH2)或類似物；及/或含金屬的氣體，諸如有機(jī)金屬、金屬鹵化物或類似物。其它過程氣體可包括惰性氣體，諸如氦(He)、氬 (Ar)、氮(N2)或類似物；及/或反應(yīng)性氣體，諸如含鹵素氣體、氧(O2)、氟化氫(HF)、氯化氫 (HCl)、溴化氫(HBr)或類似物。因此，任何過程氣體或液體、過程氣體或液體混合物、基板、沉積材料、經(jīng)移除材料或其組合可包含及/或組合，以形成從過程腔室排出的流出物。該流出物可包括用于處理基板或清潔腔室及/或腔室組件(諸如可重用的過程套組或過程套組遮板)的過程氣體或化學(xué)劑的未反應(yīng)或過量部分。在該過程中產(chǎn)生的流出物可包括易燃及/或腐蝕性化合物、 次微米尺寸的過程殘余物微粒及氣相晶核材料，及其它有害或環(huán)境污染化合物的不同組合物。舉例而言，該流出物可含有含鹵素氣體、全氟化合物(PFC)、氯氟化合物(CFC)、有害空氣產(chǎn)物(HAP)、揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)、全球暖化氣體(GWG)、易燃及毒性氣體及類似物的不同組合物。來自過程腔室104的流出物(例如，經(jīng)由氣體或液體排氣系統(tǒng)排出)被導(dǎo)向至削減處理系統(tǒng)108。削減處理系統(tǒng)108操作以將該流出物轉(zhuǎn)化為環(huán)境安全材料。舉例而言，在經(jīng)配置以用于氣相過程的過程腔室中，氣態(tài)流出物可經(jīng)由過程腔室的泵口排出且可從過程腔室流動(dòng)至削減處理系統(tǒng)108中。削減處理系統(tǒng)108可為用于接收及處理來自半導(dǎo)體過程腔室(例如，過程腔室104)的流出物的任何適合的削減處理系統(tǒng)。削減處理系統(tǒng)108可用以削減處理單一過程腔室或工具，或多個(gè)過程腔室及/或工具。削減處理系統(tǒng)108可使用(例如)用于處理流出物的熱、濕式洗滌、干式洗滌、催化、等離子體及/或類似方式，以及用于將流出物轉(zhuǎn)化為較小毒性形式的過程。削減處理系統(tǒng)108可進(jìn)一步包括用于處理來自過程腔室104的特定類型的流出物的多個(gè)削減處理系統(tǒng)。示范性削減處理系統(tǒng)(例如)可包括洗滌器、熱反應(yīng)器(亦即，燃燒反應(yīng)器)、氫化反應(yīng)器或類似物中的一或多者。舉例而言，從經(jīng)配置以用于蝕刻過程的腔室排出的流出物可包括諸如氯(Cl2)的鹵素及諸如乙烯(C2H4)或丙烯(C3H6)的不飽和烴。舉例而言，可首先將流出物注入至氫化反應(yīng)器中，該氫化反應(yīng)器可用以將不飽和烴轉(zhuǎn)化為飽和烴，或?qū)Ⅺu素轉(zhuǎn)化為含氫氣體。舉例而言，可將氯(Cl2)轉(zhuǎn)化為氫氯酸(HCl)，且可將乙烯(C2H6)轉(zhuǎn)化為乙烷(C2H6)。在氫化反應(yīng)器中處理的流出物可接著流動(dòng)至洗滌器(諸如液體洗滌器(亦即，水洗滌器)或類似物)中。舉例而言，在水洗滌中，使用諸如經(jīng)由噴水器或類似物來氣泡化流出物的方法使流出物與水接觸。可溶于水的一些流出物可由洗滌器移除。舉例而言，諸如 HCl的流出物可溶于水中且從流出物流予以移除。未由洗滌器移除的流出物(例如，飽和烴)可流動(dòng)至熱反應(yīng)器(亦即，燃燒反應(yīng)器)中。或者，在流出物不需要?dú)浠蛳礈斓膶?shí)施例中，流出物可直接從過程腔室流動(dòng)至熱反應(yīng)器。示范性熱反應(yīng)器可(例如)在含氧氣體(諸如氧(O2))的氣氛下燃燒諸如飽和烴的流出物，以形成可釋放至環(huán)境中的二氧化碳(CO2)及水(H2O)。上文所描述的削減處理系統(tǒng)僅僅為示范性的，且其它削減處理或支持系統(tǒng)可受益于本文中所述的發(fā)明方法及裝置。舉例而言，催化削減處理系統(tǒng)可(例如)與洗滌器組合使用?？稍诹鞒鑫锪鲃?dòng)至催化反應(yīng)器中之前或之后使用洗滌器以移除流出物的氣態(tài)組份或微粒組份，該組份可損壞反應(yīng)器或降低催化反應(yīng)器的有效性。催化反應(yīng)器可包含催化表面， 該催化表面催化反應(yīng)，使流出物轉(zhuǎn)化為環(huán)境安全材料或轉(zhuǎn)化為可通過(例如)洗滌器或燃燒反應(yīng)器移除的材料。該催化表面可呈以下形式由催化材料制成的或支撐精細(xì)分開的催化劑的結(jié)構(gòu)、泡沫或團(tuán)粒(pellet)的床，或催化反應(yīng)器的壁或組件上的涂層。催化表面可位于(例如)包含陶瓷材料(諸如堇青石、Al2O3、碳化硅、氮化硅或類似物)的支撐結(jié)構(gòu)上。如上文所提及，用于監(jiān)視半導(dǎo)體處理系統(tǒng)100的裝置101包括可連接至過程腔室 104的系統(tǒng)適配器102及可連接至削減處理系統(tǒng)108的削減處理適配器106。系統(tǒng)適配器 102連接至削減處理適配器106且如105所指示與其通信。在一些實(shí)施例中，裝置101可有利地連接至現(xiàn)有處理設(shè)備(例如，過程腔室104及削減處理系統(tǒng)108)，從而有助于節(jié)省能量而無需投入全新的處理及/或削減處理設(shè)備。在圖2A中，進(jìn)一步詳細(xì)地示出用于監(jiān)視半導(dǎo)體處理系統(tǒng)100的裝置101。裝置101 包括可通過信號(hào)傳輸方法105通信的系統(tǒng)適配器102及削減處理適配器106。為了開始以低功率模式操作削減處理系統(tǒng)108的證實(shí)過程，系統(tǒng)適配器102通過從過程腔室104監(jiān)視指示器202i_N而證實(shí)過程腔室104的閑置狀態(tài)。指示器202i_N可包括從壓力感應(yīng)器、數(shù)字輸出、光學(xué)感應(yīng)器、RF發(fā)電機(jī)、排氣隔離閥、凈化氣源閥或類似物接收的一或多個(gè)輸入信號(hào)。 舉例而言，光學(xué)感應(yīng)器可連接至用于監(jiān)視晶圓匣的存在的負(fù)荷鎖定腔室?；蛘呋蛞越M合方式，數(shù)字輸出可將信號(hào)提供予電動(dòng)閥，其中電動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥，例如，使氣體面板(未圖示)與過程腔室104隔離的氣動(dòng)閥。此處，例如，指示器202i_N可為來自數(shù)字輸出的信號(hào)、來自安置于氣體面板與氣動(dòng)閥之間的壓力感應(yīng)器的信號(hào)，或來自兩者的信號(hào)。若壓力感應(yīng)器欲感應(yīng)壓力，則過程腔室104可處于操作狀態(tài)。其它指示器是可能的，例如，從系統(tǒng)控制器至過程腔室104及/或腔室組件的信號(hào)。或者或以組合方式，指示器可包括監(jiān)視腔室排氣隔離閥(例如，其安置于處理容積與排氣容積(亦即，排氣埠)之間)。若關(guān)閉隔離閥，則腔室可處于閑置狀態(tài)。其它指示器可包括(例如)控制前級管道凈化氣源的監(jiān)視閥。凈化氣源可用以凈化將排氣埠連接至泵及/或削減處理系統(tǒng)的排氣前級管道。即使關(guān)閉排氣隔離閥，亦可使凈化氣體流動(dòng)。因此，控制前級管道凈化氣源的監(jiān)視閥可進(jìn)一步證實(shí)過程腔室的閑置狀態(tài)。指示器202i_N進(jìn)入系統(tǒng)適配器102。如圖2A中所圖示，系統(tǒng)適配器102包括連接至心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208的狀態(tài)確定系統(tǒng)204。狀態(tài)確定系統(tǒng)204可接收并將指示器202i_N轉(zhuǎn)換為單一輸出信號(hào)，可將該單一輸出信號(hào)傳輸至心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208。由狀態(tài)確定系統(tǒng)204產(chǎn)生的輸出信號(hào)將過程腔室104的狀態(tài)指示為閑置或運(yùn)作。狀態(tài)確定系統(tǒng)204將指示器202i_N轉(zhuǎn)換為單一輸出信號(hào)，其中該輸出信號(hào)指示過程腔室104預(yù)備在低功率下削減處理。在圖2B中，進(jìn)一步詳細(xì)地圖示狀態(tài)確定系統(tǒng)204，且在一些實(shí)施例中，其包含用于接收各指示器202i_N的緩沖器203i_N及連接至各緩沖器203i_N 的邏輯門205以用于將指示器202i_N轉(zhuǎn)換為用于在低功率下削減處理的過程腔室104的預(yù)備狀態(tài)所指示的單一輸出信號(hào)。各緩沖器203i_N可為用于制造具有適合信號(hào)強(qiáng)度或類型的各指示器202i_N以使得指示器可由邏輯門205處理的任何適合緩沖器。示范性緩沖器可包括增益放大器、模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器或類似物。在緩沖之后，邏輯門205接收各指示器202i_N且將指示器202i_N轉(zhuǎn)換為單一輸出信號(hào)。邏輯門205可為任何適合邏輯門或邏輯門的組合，該邏輯門可用以證實(shí)過程腔室104 預(yù)備在低功率下削減處理。舉例而言且如圖2B中所圖示，可將邏輯門205配置為“非或” 門(NOR gate)。以此配置，當(dāng)所有指示器202^指示過程腔室104閑置時(shí)，從邏輯門205產(chǎn)生用于在低功率下操作削減處理系統(tǒng)108的輸出信號(hào)。若至少一個(gè)指示器202i_N不指示腔室104閑置，則從邏輯門205產(chǎn)生指示腔室仍運(yùn)作一或多個(gè)過程的輸出信號(hào)。邏輯門205 有利地提供故障安全機(jī)構(gòu)，從而在信號(hào)遺失、斷開或另外不同于預(yù)期的情況下，系統(tǒng)適配器 102將不向削減處理適配器106信號(hào)通知低功率預(yù)備狀態(tài)。如上文所論述，該邏輯門可包括經(jīng)配置以處理指示器202i_N的一或多個(gè)邏輯門，例如，經(jīng)配置以用于“與”(AND)，，門、“或 (OR)，，門、“非與(NAND)，，門及類似物的邏輯門。回到圖2A，邏輯門205所產(chǎn)生的輸出信號(hào)由心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208接收。心跳產(chǎn)生器206可為(例如)波形產(chǎn)生器或其類似物。心跳產(chǎn)生器206能夠?qū)⑿盘?hào)傳輸至削減處理適配器106且從削減處理適配器106接收信號(hào)。舉例而言，心跳產(chǎn)生器206 可在一或多個(gè)頻率及/或一或多個(gè)振幅下發(fā)送或接收周期信號(hào)，諸如方形波、正弦波或類似物。如下文關(guān)于圖3至圖4所論述，可在預(yù)定速率下重復(fù)發(fā)送周期信號(hào)，或根本不發(fā)送， 從而等待確認(rèn)系統(tǒng)配置。邏輯產(chǎn)生器208可為(例如)微控制器、微處理器、邏輯狀態(tài)機(jī)或類似物。邏輯產(chǎn)生器208能夠?qū)⒂嵪鬏斨料鳒p處理適配器106，且從削減處理適配器106 接收訊息。該訊息可包括加密訊息，諸如位串行訊息或類似物。如下文關(guān)于圖3至圖4所論述，可在預(yù)定速率下重復(fù)發(fā)送訊息，或根本不發(fā)送，從而等待確認(rèn)系統(tǒng)配置。
心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208所發(fā)送的周期信號(hào)及訊息皆由削減處理適配器 106接收。如圖2A中所示出，削減處理適配器106包括心跳產(chǎn)生器210、邏輯產(chǎn)生器212及削減處理控制系統(tǒng)214。心跳產(chǎn)生器210可將周期信號(hào)發(fā)送至系統(tǒng)適配器102，且從系統(tǒng)適配器102接收周期信號(hào)。舉例而言，心跳產(chǎn)生器210可將周期信號(hào)發(fā)送至系統(tǒng)適配器102的心跳產(chǎn)生器206，且從系統(tǒng)適配器102的心跳產(chǎn)生器206接收周期信號(hào)。邏輯產(chǎn)生器212可將訊息發(fā)送至系統(tǒng)適配器102，且從系統(tǒng)適配器102接收訊息。舉例而言，邏輯產(chǎn)生器212 可將訊息發(fā)送至系統(tǒng)適配器102的邏輯產(chǎn)生器212，且從系統(tǒng)適配器102的邏輯產(chǎn)生器212 接收訊息。心跳產(chǎn)生器210及邏輯產(chǎn)生器212連接至削減處理控制系統(tǒng)214，其中削減處理控制系統(tǒng)214可用信號(hào)通知削減處理系統(tǒng)108可基于從心跳產(chǎn)生器210及邏輯產(chǎn)生器212 接收的輸出信號(hào)而進(jìn)入低功率模式。 心跳產(chǎn)生器210及邏輯產(chǎn)生器212分別類似于心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208。 舉例而言，心跳產(chǎn)生器210可在一或多個(gè)頻率及/或一或多個(gè)振幅下發(fā)送或接收周期信號(hào)， 諸如方形波、正弦波或類似物。如下文關(guān)于圖3至圖4所論述，可在預(yù)定速率下重復(fù)發(fā)送周期信號(hào)，或根本不發(fā)送，從而等待確認(rèn)系統(tǒng)配置。邏輯產(chǎn)生器212可為(例如)微控制器、 微處理器、邏輯狀態(tài)機(jī)或類似物。邏輯產(chǎn)生器212能夠?qū)⒂嵪鬏斨吝壿嫯a(chǎn)生器208，且從邏輯產(chǎn)生器208接收訊息。該訊息可包括加密訊息，諸如位串行訊息或類似物。如下文關(guān)于圖3至圖4所論述，可在預(yù)定速率下重復(fù)發(fā)送訊息，或根本不發(fā)送，從而等待確認(rèn)系統(tǒng)配置。在圖2C中，進(jìn)一步詳細(xì)地圖示削減處理控制系統(tǒng)214，且其可包括邏輯門213及繼電器215或其它輸出開關(guān)器件。邏輯門213可為(例如)所示的“與”門。然而，可利用用以執(zhí)行“與”操作的其它適合邏輯門或邏輯門的組合。邏輯門213連接至繼電器215，且控制其操作。繼電器215可為(例如)適合的安全率固態(tài)器件，諸如固態(tài)繼電器或半導(dǎo)體開關(guān)、接觸器或類似物。舉例而言，當(dāng)由邏輯門213從心跳產(chǎn)生器210及邏輯產(chǎn)生器212接收的輸出信號(hào)證實(shí)過程腔室104的閑置狀態(tài)時(shí)，在繼電器215關(guān)閉的情況下，邏輯門213激活繼電器215。繼電器215的預(yù)設(shè)位置可打開，且因此其可通過激活繼電器215而關(guān)閉。舉例而言，當(dāng)由邏輯門213接收的輸出信號(hào)中的至少一者不證實(shí)過程腔室104的閑置狀態(tài)時(shí)， 邏輯門213將不激活繼電器215，且削減處理系統(tǒng)108在全功率下繼續(xù)操作。另外，繼電器 215的失效將不會(huì)信號(hào)通知削減處理系統(tǒng)108可進(jìn)入低功率模式。回到圖2A，系統(tǒng)適配器102及削減處理適配器106使用信號(hào)傳輸方法105通信。 如圖2A中所圖示，信號(hào)傳輸方法105為雙程信號(hào)傳輸方法，其中信號(hào)行進(jìn)至系統(tǒng)適配器102 及削減處理適配器106且從系統(tǒng)適配器102及削減處理適配器106行進(jìn)。信號(hào)傳輸方法 105可包括發(fā)送于系統(tǒng)適配器102的心跳產(chǎn)生器206與削減處理適配器106的心跳產(chǎn)生器 210之間的周期信號(hào)216 ；及發(fā)送于系統(tǒng)適配器102的邏輯產(chǎn)生器208與削減處理適配器 106的邏輯產(chǎn)生器212之間的訊息218。上文所論述的周期信號(hào)216可為方形波、正弦波或類似物?？稍诩sI-IOOOHz之間的頻率下發(fā)送周期信號(hào)216。在一些實(shí)施例中，周期信號(hào)216的頻率可在心跳產(chǎn)生器206與心跳產(chǎn)生器210之間的各次傳遞中變化。舉例而言，心跳產(chǎn)生器206可在第一頻率(例如， IHz)下將周期信號(hào)216發(fā)送至心跳產(chǎn)生器210。接著，心跳產(chǎn)生器210可在同一頻率(亦艮口，IHz)下將周期信號(hào)216傳回至心跳產(chǎn)生器206?？蓪⑸鲜鰧?shí)例視為周期信號(hào)于心跳產(chǎn)生器206與心跳產(chǎn)生器210之間的一次“傳遞”。心跳產(chǎn)生器206在接收從心跳產(chǎn)生器210 返回的周期信號(hào)216后，即可將周期信號(hào)216的頻率調(diào)整(例如)至10Hz，且將經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)216發(fā)送至心跳產(chǎn)生器210。在接收經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)216后，心跳產(chǎn)生器210將經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)傳回至心跳產(chǎn)生器206。因此，已在心跳產(chǎn)生器206與心跳產(chǎn)生器210之間以IOHz經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)完成第二次傳遞?？稍谛奶a(chǎn)生器之間執(zhí)行更多次傳遞，從而調(diào)整各次傳遞的周期信號(hào)216的頻率。心跳產(chǎn)生器之間的周期信號(hào)傳輸可提供故障安全操作的方式。舉例而言，周期信號(hào)隨心跳產(chǎn)生器之間的各次傳遞而調(diào)整，因此使得此調(diào)整信號(hào)難以通過另一方式來復(fù)制。另外，心跳產(chǎn)生器處于雙程通信，且在心跳產(chǎn)生器之間的傳遞調(diào)整周期 信號(hào)。調(diào)整周期信號(hào)的雙程通信的任何中斷將繼續(xù)在全功率下操作削減處理系統(tǒng)108。 在一些實(shí)施例中，心跳產(chǎn)生器經(jīng)進(jìn)一步配置以預(yù)期在某一規(guī)定間隔下從另一心跳產(chǎn)生器接收信號(hào)。因而，一個(gè)心跳產(chǎn)生器未能用信號(hào)通知下一心跳產(chǎn)生器將防止用信號(hào)通知削減處理系統(tǒng)可進(jìn)入低功率模式。如本文中所論述，在規(guī)定時(shí)段后，心跳產(chǎn)生器可再次開始傾聽來自鄰近心跳產(chǎn)生器的信號(hào)。上文所論述的訊息218可為加密訊息，諸如位串行訊息或類似物。在一些實(shí)施例中，訊息218可隨邏輯產(chǎn)生器208與邏輯產(chǎn)生器212之間的各次傳遞而變化。舉例而言，邏輯產(chǎn)生器208可將具有字符、數(shù)字、符號(hào)或類似物的第一加密串的訊息218發(fā)送至邏輯產(chǎn)生器212。接著，邏輯產(chǎn)生器212可將第一加密串(亦即，同一訊息)傳回至邏輯產(chǎn)生器208。 可將上述實(shí)例視為訊息218于邏輯產(chǎn)生器208與邏輯產(chǎn)生器212之間的一次“傳遞”。邏輯產(chǎn)生器208在接收從邏輯產(chǎn)生器212返回的具有第一串的訊息218后，即可將訊息218改變?yōu)?例如)具有字符、數(shù)字或類似物的第二串，且將第二串發(fā)送至邏輯產(chǎn)生器212。在接收第二串后，邏輯產(chǎn)生器212將經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)傳回至邏輯產(chǎn)生器208。因此，已在邏輯產(chǎn)生器208與邏輯產(chǎn)生器212之間用第二串完成第二次傳遞?？稍谶壿嫯a(chǎn)生器之間執(zhí)行更多次傳遞，從而調(diào)整各次傳遞的訊息218。類似于上文所述的周期信號(hào)傳輸，邏輯產(chǎn)生器之間的訊息傳遞可提供故障安全操作的方式。舉例而言，訊息218是唯一的且不可能予以復(fù)制。另外，訊息218在諸次傳遞之間變化，其在系統(tǒng)適配器102與削減處理適配器106之間提供安全通信的額外方式。另外，變化訊息218的雙程通信的任何中斷將繼續(xù)引起在全功率下操作削減處理系統(tǒng)108。在操作中，指示器202i_N可由狀態(tài)確定系統(tǒng)204監(jiān)視以確定過程腔室104是否處于閑置狀態(tài)。若任何一個(gè)指示器202用信號(hào)通知系統(tǒng)并非閑置，則不可從狀態(tài)確定系統(tǒng)204 產(chǎn)生輸出信號(hào)，或替代地，可產(chǎn)生指示過程腔室104并非處于閑置狀態(tài)的輸出信號(hào)且將其發(fā)送至心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208。因此，心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208不可將任何周期信號(hào)216或訊息218傳達(dá)至削減處理適配器106，或替代地，可在系統(tǒng)適配器與削減處理適配器218之間連續(xù)地通信同一(亦即，未變化的)周期信號(hào)216及訊息218作為保持系統(tǒng)適配器102與削減處理適配器106之間的通信鏈路的方式。舉例而言，作為故障安全操作的方式，若欲停用通信鏈路，則削減處理系統(tǒng)108將繼續(xù)在全功率下操作。舉例而言，若由狀態(tài)確定系統(tǒng)204監(jiān)視的指示器202i_N證實(shí)過程腔室104處于閑置狀態(tài)，則從狀態(tài)確定系統(tǒng)204產(chǎn)生輸出信號(hào)且將其發(fā)送至心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器 208。心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208接著通過發(fā)送第一周期信號(hào)及第一訊息，或替代地，發(fā)送新周期信號(hào)(例如，在不同頻率下)及新訊息(例如，不同訊息)而與削減處理適配器106的相應(yīng)心跳產(chǎn)生器210及邏輯產(chǎn)生器212通信。舉例而言，第一周期信號(hào)及第一訊息向削減處理適配器指示過程腔室閑置且預(yù)備以低功率模式削減處理。心跳產(chǎn)生器210 及邏輯產(chǎn)生器212將第一周期信號(hào)及第一訊息傳達(dá)回至心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208， 從而證實(shí)已接收第一周期信號(hào)及第一訊息。因此，如上文所論述，已使用第一周期信號(hào)及第一訊息完成第一次傳遞。在接收返回的第一周期信號(hào)及第一訊息后，心跳產(chǎn)生器206及邏輯產(chǎn)生器208接著將第二周期信號(hào)及第二訊息發(fā)送至心跳產(chǎn)生器210及邏輯產(chǎn)生器212。第二周期信號(hào)及第二訊息不同于第一周期信號(hào)及第一訊息。舉例而言，第二周期信號(hào)可具有不同頻率且第二訊息可為不同訊息。削減處理適配器106的心跳產(chǎn)生器210及邏輯產(chǎn)生器212接收第二周期信號(hào)及第二訊息，且將兩者發(fā)回至系統(tǒng)適配器102，因此完成第二次傳遞?？稍谙到y(tǒng)適配器102與削減處理適配器106之間執(zhí)行多次傳遞，各次傳遞具有與上述傳遞不同的周期信號(hào)及不同的訊息。在一些實(shí)施例中，各連續(xù)周期信號(hào)可比上述信號(hào)處于更高頻率。在一些實(shí)施例中，在系統(tǒng)適配器102與削減處理適配器106之間傳遞的各連續(xù)訊息可在內(nèi)容、電壓位準(zhǔn)、位速率或其組合上改變(例如)以便排除邏輯功能因臨時(shí)方式失敗。在一些實(shí)施例中，各連續(xù)適配器(例如，系統(tǒng)適配器102及削減處理適配器106)可于訊息內(nèi)改變或添加位字段以便指示主動(dòng)及兼容器件(例如，系統(tǒng)適配器102或削減處理適配器106中的任一者)已讀取傳入訊息且在再傳輸其之前確認(rèn)其有效性。在一些實(shí)施例中，可利用改變訊息的以上技術(shù)以達(dá)額外功能，諸如用于根據(jù)連接至其(例如，系統(tǒng)適配器102或削減處理適配器106中的另一者)的接收器件或削減處理設(shè)備的身分或狀態(tài)，將反饋提供給訊息發(fā)起者(例如，系統(tǒng)適配器102或削減處理適配器106中的一者)。在系統(tǒng)適配器102與削減處理適配器106之間變化周期信號(hào)及變化訊息足夠數(shù)量的傳遞后，系統(tǒng)適配器102已向削減處理適配器106傳達(dá)過程腔室104處于閑置狀態(tài)且預(yù)備低功率削減處理。在一些實(shí)施例中，可將足夠數(shù)量的傳遞界定為約一次，或介于約1次至約100次之間，或100次以上。在一些實(shí)施例中，足夠數(shù)量的傳遞為約50次。接著，心跳產(chǎn)生器210及邏輯產(chǎn)生器212用信號(hào)通知削減處理控制系統(tǒng)214可以較低功率模式操作削減處理系統(tǒng)108。作為故障安全操作的另一方式，心跳產(chǎn)生器210與邏輯產(chǎn)生器212必須認(rèn)定過程腔室104處于閑置狀態(tài)，以用信號(hào)通知削減處理系統(tǒng)108以較低功率模式操作。因此，削減處理控制系統(tǒng)214的邏輯門213將僅在其接收來自心跳產(chǎn)生器210與邏輯產(chǎn)生器 212的證實(shí)信號(hào)時(shí)關(guān)閉繼電器215。在接收來自各產(chǎn)生器的證實(shí)信號(hào)后，繼電器215關(guān)閉且用信號(hào)通知削減處理系統(tǒng)108可將其切換為低功率模式。削減處理系統(tǒng)108可以低功率模式操作，其限制條件為指示器202i_N指示過程腔室104處于閑置狀態(tài)。若至少一個(gè)指示器202改變或被斷開，則削減處理系統(tǒng)108將恢復(fù)在全功率下的削減處理。若系統(tǒng)適配器102與削減處理適配器106之間的通信鏈路斷開， 或心跳產(chǎn)生器或邏輯產(chǎn)生器之間的雙程通信中的至少一者斷開及/或中斷，則削減處理系統(tǒng)108將恢復(fù)在全功率下的削減處理。另外，若對于過程腔室、過程腔室組件、系統(tǒng)適配器、 削減處理適配器或經(jīng)配置以與處理系統(tǒng)100 —起操作的任何器件而言，功率中斷(例如，斷開)，則削減處理系統(tǒng)108將恢復(fù)在全功率下的操作。因此，若干冗余的故障安全機(jī)構(gòu)包括在裝置101中以用于在可證實(shí)過程腔室104處于閑置狀態(tài)時(shí)以較低功率模式操作削減處理系統(tǒng)108。
如下文在圖3及圖4中所述，本文中所述的發(fā)明裝置可與具有連接至一個(gè)削減處理系統(tǒng)的兩個(gè)或兩個(gè)以上過程腔室，或連接至兩個(gè)或兩個(gè)以上削減處理系統(tǒng)的兩個(gè)或兩個(gè)以上過程腔室的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)一起利用。舉例而言且如圖3中所圖示，裝置300可用于監(jiān)視包含第一過程腔室302、第二過程腔室304及削減處理系統(tǒng)306的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)，其中各過程腔室連接至削減處理系統(tǒng)306以用于向其將流出物排出。過程腔室302、304及削減處理系統(tǒng)306可為如上文所述的過程腔室或削減處理系統(tǒng)的任何適合配置。 裝置300包括用于監(jiān)視第一過程腔室302的狀態(tài)的第一系統(tǒng)適配器308及用于監(jiān)視第二過程腔室304的狀態(tài)的第二系統(tǒng)適配器310。第一系統(tǒng)適配器308及第二系統(tǒng)適配器310經(jīng)配置以與削減處理適配器312通信，其中削減處理適配器312連接至削減處理系統(tǒng)308且經(jīng)配置以響應(yīng)于過程腔室的狀態(tài)而傳達(dá)在低功率模式下操作削減處理系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)。第一系統(tǒng)適配器308、第二系統(tǒng)適配器310及削減處理適配器312通過信號(hào)傳輸方法313通信。第一系統(tǒng)適配器308可類似于上文所論述的系統(tǒng)適配器102的實(shí)施例。因而，第一系統(tǒng)適配器308包括連接至心跳產(chǎn)生器318及邏輯產(chǎn)生器320的狀態(tài)確定系統(tǒng)316。狀態(tài)確定系統(tǒng)316可接收來自第一過程腔室302的一或多個(gè)指示器314i_N并將其轉(zhuǎn)換為單一輸出信號(hào)，該單一輸出信號(hào)可傳輸至心跳產(chǎn)生器318與邏輯產(chǎn)生器320。由狀態(tài)確定系統(tǒng)316 產(chǎn)生的輸出信號(hào)將第一過程腔室302的狀態(tài)指示為閑置或運(yùn)作。另外，狀態(tài)確定系統(tǒng)316、 心跳產(chǎn)生器318及邏輯產(chǎn)生器320可類似于上文關(guān)于圖2A至圖2B所述的那些器件。舉例而言，心跳產(chǎn)生器318可發(fā)送及接收周期信號(hào)，且邏輯產(chǎn)生器320可發(fā)送及接收加密訊息。第二系統(tǒng)適配器310可類似于上文所論述的系統(tǒng)適配器102的實(shí)施例。因而，第二系統(tǒng)適配器310包括連接至心跳產(chǎn)生器326及邏輯產(chǎn)生器328的狀態(tài)確定系統(tǒng)324。狀態(tài)確定系統(tǒng)324可接收來自第二過程腔室304的一或多個(gè)指示器322i_N并將其轉(zhuǎn)換為單一輸出信號(hào)，該單一輸出信號(hào)可傳輸至心跳產(chǎn)生器326與邏輯產(chǎn)生器328。由狀態(tài)確定系統(tǒng)316 產(chǎn)生的輸出信號(hào)將第二過程腔室304的狀態(tài)指示為閑置或運(yùn)作。另外，狀態(tài)確定系統(tǒng)324、 心跳產(chǎn)生器326及邏輯產(chǎn)生器328可類似于上文關(guān)于圖2A至圖2B所述的那些器件。舉例而言，如上文所論述，心跳產(chǎn)生器326可發(fā)送及接收周期信號(hào)，且邏輯產(chǎn)生器328可發(fā)送及接收加密訊息。削減處理適配器312可類似于上文關(guān)于圖2A及圖2C所論述的削減處理適配器 106的實(shí)施例。因而，削減處理適配器312包括心跳產(chǎn)生器330、邏輯產(chǎn)生器332及削減處理控制系統(tǒng)334。心跳產(chǎn)生器330及邏輯產(chǎn)生器332連接至削減處理控制系統(tǒng)334，其中削減處理控制系統(tǒng)334可基于從心跳產(chǎn)生器330及邏輯產(chǎn)生器332接收的輸出信號(hào)而將削減處理系統(tǒng)306切換為低功率模式。另外，削減處理控制系統(tǒng)334、心跳產(chǎn)生器332及邏輯產(chǎn)生器334可類似于上文關(guān)于圖2A及圖2C所述的那些器件。舉例而言，如上文所論述，心跳產(chǎn)生器330可發(fā)送及接收周期信號(hào)，且邏輯產(chǎn)生器332可發(fā)送及接收加密訊息。信號(hào)傳輸方法313可大體上類似于信號(hào)傳輸方法105。信號(hào)傳輸方法313可包括周期信號(hào)315與訊息317于裝置300的適配器之間的通信。然而，與系統(tǒng)適配器102與削減處理適配器106之間的雙程信號(hào)傳輸相反，信號(hào)傳輸方法313包括循環(huán)或“向前傳遞(pass it along)”信號(hào)傳輸機(jī)制。舉例而言，可在第一系統(tǒng)適配器308處產(chǎn)生周期信號(hào)315或訊息317且接著將其傳遞至削減處理適配器312?？山又鴱南鳒p處理適配器312將周期信號(hào)315或訊息317傳遞至第二系統(tǒng)適配器310且最終傳回至第一系統(tǒng)適配器308。因而，如圖 3中所圖示，信號(hào)傳輸方法313經(jīng)由裝置300的適配器以順時(shí)針方向運(yùn)動(dòng)前進(jìn)。然而，該順時(shí)針方向運(yùn)動(dòng)僅僅為說明性的，且信號(hào)傳輸方法的其它配置是可能的。舉例而言，周期信號(hào) 315或訊息317可起源于第二系統(tǒng)適配器310處。可將周期信號(hào)315或訊息317從第二系統(tǒng)適配器310向前傳遞至第一系統(tǒng)適配器308 (亦即，呈順時(shí)針方向運(yùn)動(dòng))，或替代地，向前傳遞至削減處理適配器312 (亦即，呈逆時(shí)針方向運(yùn)動(dòng))。因此，周期信號(hào)315及訊息317可起源于第一系統(tǒng)適配器或第二系統(tǒng)適配器中的任一者處，其指示第一過程腔室或第二過程腔室中的任一者閑置且預(yù)備以低功率模式削減處理。作為故障安全操作的方式，裝置300 將用信號(hào)通知削減處理系統(tǒng)306僅在第一過程腔室及第二過程腔室皆處于閑置狀態(tài)時(shí)以低功率模式操作。在操作中且在一示范性配置中，指示器314i_N可由第一系統(tǒng)適配器308的狀態(tài)確定系統(tǒng)316監(jiān)視。如上文所論述，若指示器314i_N證實(shí)第一過程腔室302處于閑置狀態(tài)，則狀態(tài)確定系統(tǒng)316將輸出信號(hào)發(fā)送至心跳產(chǎn)生器318及邏輯產(chǎn)生器320以開始周期信號(hào)315 及訊息317，或替代地，調(diào)整現(xiàn)有周期信號(hào)及訊息。舉例而言，心跳產(chǎn)生器318可將周期信號(hào) 317調(diào)整至較高頻率(例如，從IHz至IOHz)，且邏輯產(chǎn)生器320可改變訊息315，其中經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息指示第一過程腔室302處于閑置狀態(tài)且預(yù)備在低功率下削減處理。將經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息從第一系統(tǒng)適配器308傳遞至削減處理適配器312 的相應(yīng)心跳產(chǎn)生器330及邏輯產(chǎn)生器332。削減處理適配器312接收經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息且經(jīng)由心跳產(chǎn)生器330及邏輯產(chǎn)生器332而將經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息再傳輸至第二系統(tǒng)適配器310的相應(yīng)心跳產(chǎn)生器3 及邏輯產(chǎn)生器328。若指示器322i_N指示第二過程腔室處于閑置狀態(tài)且預(yù)備在低功率下削減處理，則心跳產(chǎn)生器3 及邏輯產(chǎn)生器3 將經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息再傳回至第一系統(tǒng)適配器308。因此，向第一系統(tǒng)適配器308 傳達(dá)第二過程腔室302亦處于閑置狀態(tài)且預(yù)備在低功率下削減處理。然而，若第二過程腔室304并非處于閑置狀態(tài)，則第二系統(tǒng)適配器310不將經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息再傳輸至第一系統(tǒng)適配器302。在該實(shí)施例中，第二系統(tǒng)適配器310可繼續(xù)傳輸原始周期信號(hào)(亦即，在IHz下)及原始訊息，或替代地，可不將任何周期信號(hào)及訊息傳輸至第一系統(tǒng)適配器308，以作為用信號(hào)通知第二過程腔室304仍運(yùn)作且未預(yù)備在低功率下削減處理的方式。當(dāng)?shù)谝幌到y(tǒng)適配器308接收與所發(fā)送的經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息相反的原始周期信號(hào)及原始訊息時(shí)，第一系統(tǒng)適配器308可繼續(xù)發(fā)送經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息直至第一系統(tǒng)適配器308接收來自第二系統(tǒng)適配器310的經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息，其指示第二過程腔室304處于閑置狀態(tài)且預(yù)備在低功率下削減處理。在一些實(shí)施例中，在第二過程腔室304處于閑置狀態(tài)且預(yù)備在低功率下削減處理的情況下，則第二系統(tǒng)適配器308將經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息再傳輸至第一系統(tǒng)適配器 308，經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息起源于第一系統(tǒng)適配器308。因此，如上文所論述，經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息已繞裝置300的適配器進(jìn)行一次“傳遞”。在接收證實(shí)第二過程腔室 304亦處于閑置狀態(tài)的經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息后，第一系統(tǒng)適配器308即(例如)在 20Hz的頻率下將第二經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及第二新訊息傳輸至削減處理適配器312。在用第二經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及第二新訊息完成第二次傳遞后，第一系統(tǒng)適配器308即傳輸?shù)谌?jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及第三新訊息。第一系統(tǒng)適配器308繼續(xù)隨各次成功的傳遞傳輸新調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息直至削減處理適配器312已證實(shí)第一過程腔室及第二過程腔室皆處于閑置狀態(tài)且預(yù)備在低功率下削減處理。當(dāng)已進(jìn)行證實(shí)時(shí)，削減處理適配器312的心跳產(chǎn)生器330及邏輯產(chǎn)生器332將輸出信號(hào)傳輸至削減處理控制系統(tǒng)334以用信號(hào)通知削減處理系統(tǒng)306可以低功率模式操作。 作。本文中所述的發(fā)明裝置可與具有多個(gè)過程腔室及多個(gè)削減處理或支持系統(tǒng)的半導(dǎo)體或其它處理系統(tǒng)一起利用。舉例而言且如圖4中所圖示，裝置400可用于監(jiān)視包含第一過程腔室402、第二過程腔室404、第一削減處理系統(tǒng)406及第二削減處理系統(tǒng)408的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。舉例而言，在一些實(shí)施例中，第一過程腔室及第二過程腔室可將流出物排出至第一削減處理系統(tǒng)或第二削減處理系統(tǒng)中的任一者及/或兩者。第一過程腔室402、第二過程腔室404及第一削減處理系統(tǒng)406、第二削減處理系統(tǒng)408可為上文所述的過程腔室或削減處理系統(tǒng)的任何適合配置。裝置400包括用于監(jiān)視第一過程腔室402的狀態(tài)的第一系統(tǒng)適配器410及用于監(jiān)視第二過程腔室404的狀態(tài)的第二系統(tǒng)適配器412。第一系統(tǒng)適配器410及第二系統(tǒng)適配器412經(jīng)配置以與第一削減處理適配器414及第二削減處理適配器416通信，其中第一削減處理適配器414連接至第一削減處理系統(tǒng)406且第二削減處理適配器416連接至第二削減處理系統(tǒng)408。第一削減處理適配器及第二削減處理適配器可經(jīng)配置以響應(yīng)于過程腔室的狀態(tài)而傳達(dá)以低功率模式操作第一削減處理系統(tǒng)406及第二削減處理系統(tǒng)408的預(yù)備狀態(tài)。第一系統(tǒng)適配器410、第二系統(tǒng)適配器412、第一削減處理適配器414及第二削減處理適配器416通過信號(hào)傳輸方法445通信。信號(hào)傳輸方法445包括在裝置400的適配器之間傳遞周期信號(hào)446及訊息448。第一系統(tǒng)適配器410及第二系統(tǒng)適配器412可類似于上文所論述的任何系統(tǒng)適配器的實(shí)施例。因而，第一系統(tǒng)適配器410包括連接至心跳產(chǎn)生器422及邏輯產(chǎn)生器424 的狀態(tài)確定系統(tǒng)420。狀態(tài)確定系統(tǒng)420可接收來自第一過程腔室402的一或多個(gè)指示器 418,_ν并將其轉(zhuǎn)換為單一輸出信號(hào)，該單一輸出信號(hào)可傳輸至心跳產(chǎn)生器422及邏輯產(chǎn)生器424。由狀態(tài)確定系統(tǒng)420產(chǎn)生的輸出信號(hào)將第一過程腔室402的狀態(tài)指示為閑置或運(yùn)作。類似地，第二系統(tǒng)適配器412包括連接至心跳產(chǎn)生器430及邏輯產(chǎn)生器432的狀態(tài)確定系統(tǒng)428。狀態(tài)確定系統(tǒng)428可接收來自第二過程腔室404的一或多個(gè)指示器426^并將其轉(zhuǎn)換為單一輸出信號(hào)，該單一輸出信號(hào)可傳輸至心跳產(chǎn)生器430與邏輯產(chǎn)生器432。由狀態(tài)確定系統(tǒng)428產(chǎn)生的輸出信號(hào)將第二過程腔室404的狀態(tài)指示為閑置或運(yùn)作。此外， 狀態(tài)確定系統(tǒng)420、428、心跳產(chǎn)生器422、430及邏輯產(chǎn)生器424、432可類似于上文關(guān)于圖 2Α至圖2Β所述的那些器件。舉例而言，各心跳產(chǎn)生器可發(fā)送及接收周期信號(hào)，且各邏輯產(chǎn)生器可發(fā)送及接收加密訊息。第一削減處理適配器414及第二削減處理適配器416可類似于上文所論述的任何削減處理適配器的實(shí)施例。因而，第一削減處理適配器414包括心跳產(chǎn)生器434、邏輯產(chǎn)生器436及削減處理控制系統(tǒng)438。心跳產(chǎn)生器434及邏輯產(chǎn)生器436連接至削減處理控制系統(tǒng)438，其中削減處理控制系統(tǒng)438可基于從心跳產(chǎn)生器434及邏輯產(chǎn)生器436接收的輸出信號(hào)而將削減處理系統(tǒng)406切換為低功率模式。類似地，第二削減處理適配器416包括心跳產(chǎn)生器440、邏輯產(chǎn)生器442及削減處理控制系統(tǒng)444。心跳產(chǎn)生器440及邏輯產(chǎn)生器 442連接至削減處理控制系統(tǒng)444，其中削減處理控制系統(tǒng)444可基于從心跳產(chǎn)生器440及邏輯產(chǎn)生器442接收的輸出信號(hào)而將削減處理系統(tǒng)408切換為低功率模式。此外，削減處理控制系統(tǒng)438、444、心跳產(chǎn)生器434、440及邏輯產(chǎn)生器436、442可類似于上文關(guān)于圖2A 及圖2C所述的那些裝置。舉例而言，如上文所論述，各心跳產(chǎn)生器可發(fā)送及接收周期信號(hào)， 且各邏輯產(chǎn)生器可發(fā)送及接收加密訊息。信號(hào)傳輸方法445可大體上類似于信號(hào)傳輸方法313。信號(hào)傳輸方法445可包括周期信號(hào)446與訊息448在設(shè)備400的適配器之間的通信。信號(hào)傳輸方法445包括循環(huán)或 “向前傳遞”信號(hào)傳輸機(jī)制。舉例而言，可在第一系統(tǒng)適配器410處產(chǎn)生周期信號(hào)445或訊息448且接著將其傳遞至第一削減處理適配器414?？山又鴱牡谝幌鳒p處理適配器414將周期信號(hào)446或訊息448傳遞至第二削減處理適配器416?？蓮牡诙鳒p處理適配器416 將周期信號(hào)446或訊息448傳遞至第二系統(tǒng)適配器412且最終傳回至第一系統(tǒng)適配器410。 因而，如圖4中所圖示，信號(hào)傳輸方法445經(jīng)由裝置400的適配器以順時(shí)針方向運(yùn)動(dòng)前進(jìn)。 然而，如上文關(guān)于圖3所論述，此順時(shí)針方向運(yùn)動(dòng)僅僅為說明性的，且信號(hào)傳輸方法的其它配置是可能的。舉例而言，周期信號(hào)445或訊息448可起源于第二系統(tǒng)適配器412處?？蓪⒅芷谛盘?hào)445或訊息448從第二系統(tǒng)適配器412向前傳遞至第一系統(tǒng)適配器410 (亦即， 以順時(shí)針方向運(yùn)動(dòng))，或替代地，向前傳遞至第二削減處理適配器416(亦即，以逆時(shí)針方向運(yùn)動(dòng))。因此，周期信號(hào)445及訊息448可起源于第一系統(tǒng)適配器或第二系統(tǒng)適配器中的任一者處，其指示第一過程腔室或第二過程腔室中的任一者閑置且預(yù)備以低功率模式削減處理。作為故障安全操作的方式，裝置400將用信號(hào)通知第一削減處理系統(tǒng)406及第二削減處理系統(tǒng)408僅在第一過程腔室與第二過程腔室皆處于閑置狀態(tài)時(shí)可以低功率模式操作。在操作中且在一示范性配置中，指示器418i_N可由第一系統(tǒng)適配器410的狀態(tài)確定系統(tǒng)420監(jiān)視。如上文所論述，若指示器418i_N證實(shí)第一過程腔室402處于閑置狀態(tài)，則狀態(tài)確定系統(tǒng)420將輸出信號(hào)發(fā)送至心跳產(chǎn)生器422及邏輯產(chǎn)生器424以開始周期信號(hào)446 及訊息448，或替代地，調(diào)整現(xiàn)有周期信號(hào)及訊息。舉例而言，心跳產(chǎn)生器422可將周期信號(hào) 445調(diào)整至較高頻率(例如，從IHz至IOHz)，且邏輯產(chǎn)生器似4可改變訊息448，其中經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息指示第一過程腔室402處于閑置狀態(tài)且預(yù)備在低功率下削減處理。如圖4中所示出，可繞裝置400的適配器以順時(shí)針方向運(yùn)動(dòng)傳輸經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息。類似于信號(hào)傳輸方法313，經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息的一次“傳遞”由各適配器所傳輸及/或接收且傳回至適配器(亦即，第一系統(tǒng)適配器410)的經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息組成，其中經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息起源于該適配器(亦即，第一系統(tǒng)適配器 410)處。舉例而言且如上文所論述，若第二過程腔室412不處于閑置狀態(tài)，則將不允許經(jīng)調(diào)整的信號(hào)及新訊息完成一次傳遞。當(dāng)經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息完成一次傳遞時(shí)，經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及新訊息所起源的適配器可通過發(fā)送第二經(jīng)調(diào)整的周期信號(hào)及第二新訊息而作出響應(yīng)。隨各次成功的傳遞，起源適配器(亦即，第一系統(tǒng)適配器410)可調(diào)整周期信號(hào)且改變訊息直至第一削減處理適配器414及第二削減處理適配器416已證實(shí)第一過程腔室402與第二過程腔室404皆處于閑置狀態(tài)且預(yù)備以低功率削減。如上文所論述，在證實(shí)后，第一削減處理適配器414及第二削減處理適配器416即將第一削減處理系統(tǒng)406及第二削減處理系統(tǒng)408切換為低功率模式。如上文所論述，裝置400的適配器之間的通信回路的任何中斷、功率損失、第一過程腔室或第二過程腔室中的任一者上指示器的斷開將使削減處理系統(tǒng)406、408恢復(fù)在全功率下的操作。 本文中所述的發(fā)明裝置可與具有任何所要數(shù)量的過程腔室及削減處理系統(tǒng)的任何適合半導(dǎo)體處理系統(tǒng)一起利用。因而，該發(fā)明裝置可在處理系統(tǒng)可需要時(shí)包括任何適當(dāng)數(shù)量的系統(tǒng)適配器及削減處理適配器。如上文所述，系統(tǒng)適配器及削減處理適配器可經(jīng)配置以將周期信號(hào)及訊息“傳遞”至發(fā)明裝置的各適配器，以使得各削減處理適配器可在各系統(tǒng)適配器已證實(shí)各過程腔室處于閑置狀態(tài)且預(yù)備在低功率下削減處理時(shí)，以低功率模式操作各削減處理系統(tǒng)。如上文所述，發(fā)明方法及裝置亦可用以控制額外支持設(shè)備，諸如與處理設(shè)備相關(guān)聯(lián)的其它能量消耗設(shè)備。此支持設(shè)備的非限制以下實(shí)例，包括渦輪泵、低真空泵、凈化氣體供應(yīng)、過程水冷卻器、設(shè)施冷卻水回路、腔室冷卻回路、熱交換器以及其它設(shè)備。該設(shè)備亦可在晶圓處理閑置時(shí)間期間在切換至低能量模式時(shí)產(chǎn)生顯著能量節(jié)省。該發(fā)明裝置亦由于其模塊及可縮放設(shè)計(jì)而尤其有利地適于控制除控制削減處理設(shè)備的外的該器件。另外，發(fā)明方法及裝置無需限于半導(dǎo)體設(shè)備，且可與廣泛范圍的設(shè)備一起利用。舉例而言，該發(fā)明裝置可對發(fā)電設(shè)備、化學(xué)處理設(shè)備、精煉廠及類似設(shè)備上的削減處理及支持設(shè)備作改型裝配。該發(fā)明裝置可有利地比通常用于上述應(yīng)用中的傳統(tǒng)的電壓或電流回路連鎖裝置更穩(wěn)固、安全且更容易擴(kuò)展。因此，在本文中已提供用于監(jiān)視半導(dǎo)體過程腔室的方法及裝置。該發(fā)明裝置有利地監(jiān)視多個(gè)指示器以在以低功率模式操作削減處理系統(tǒng)之前證實(shí)過程腔室事實(shí)上處于閑置狀態(tài)。另外，該發(fā)明裝置包括故障安全機(jī)構(gòu)，以使得在任何指示器、系統(tǒng)與削減處理適配器之間的通信鏈路、系統(tǒng)功率或類似物斷開的情況下，削減處理系統(tǒng)將恢復(fù)在全功率下的操作。盡管上述內(nèi)容針對本發(fā)明的實(shí)施例，但可在不脫離本發(fā)明的基本范疇的情況下設(shè)計(jì)本發(fā)明的其它及另外的實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種監(jiān)視處理系統(tǒng)的裝置，其包含第一系統(tǒng)適配器，其用于監(jiān)視第一過程腔室及確定其狀態(tài)；及第一支持適配器，其用于與所述第一系統(tǒng)適配器及連接至所述第一過程腔室的第一支持系統(tǒng)通信，所述支持適配器經(jīng)配置以響應(yīng)處于閑置模式的所述過程腔室的所述狀態(tài)而將在低功率模式下操作所述支持系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)傳達(dá)至所述支持系統(tǒng)的控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一支持系統(tǒng)為削減處理系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一系統(tǒng)適配器進(jìn)一步包含狀態(tài)確定系統(tǒng)，其用于接收來自所述第一過程腔室的一個(gè)或多個(gè)指示信號(hào)且將所述一個(gè)或多個(gè)指示信號(hào)轉(zhuǎn)換為單輸出信號(hào)，所述單輸出信號(hào)指示所述第一過程腔室的閑置或操作狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，在所述一個(gè)或多個(gè)指示信號(hào)中的全部皆指示所述第一過程腔室處于閑置狀態(tài)時(shí)，所述單輸出信號(hào)指示在低功率模式下操作所述支持系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述第一系統(tǒng)適配器進(jìn)一步包含第一波形產(chǎn)生器，其連接至能夠發(fā)送及接收周期信號(hào)的所述狀態(tài)確定系統(tǒng)；及第一邏輯產(chǎn)生器，其連接至能夠發(fā)送及接收訊息的所述狀態(tài)確定系統(tǒng)；并且其中，所述支持適配器進(jìn)一步包含第二波形產(chǎn)生器，其能夠接收及再傳輸所述周期信號(hào)；及第二邏輯產(chǎn)生器，其能夠接收及再傳輸所述訊息。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述支持適配器進(jìn)一步包含控制系統(tǒng)，其連接至所述第二波形產(chǎn)生器及所述第二邏輯產(chǎn)生器，以用于用信號(hào)通知所述支持系統(tǒng)以低功率模式操作。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中，在所述第一過程腔室確定為處于操作狀態(tài)時(shí)，無周期信號(hào)及無訊息由所述系統(tǒng)適配器發(fā)送至所述支持適配器，或者其中，在所述第一過程腔室確定為處于操作狀態(tài)時(shí)，在所述系統(tǒng)適配器與所述支持適配器之間中繼相同的周期信號(hào)及相同的訊息。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中，第一周期信號(hào)及第一訊息由所述系統(tǒng)適配器發(fā)送至所述支持適配器，且其中，所述第一周期信號(hào)及所述第一訊息由所述支持適配器再傳輸至所述系統(tǒng)適配器。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中，在所述第一過程腔室已確定為處于閑置狀態(tài)時(shí)， 在接收所述經(jīng)再傳輸?shù)牡谝恢芷谛盘?hào)及所述經(jīng)再傳輸?shù)牡谝挥嵪⒑螅鱿到y(tǒng)適配器發(fā)送不同于所述第一周期信號(hào)及第一訊息的第二周期信號(hào)及第二訊息。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其進(jìn)一步包含第二系統(tǒng)適配器，其用于監(jiān)視第二過程腔室及確定其狀態(tài)，其中，所述支持系統(tǒng)是對于所述第一過程腔室和所述第二過程腔室兩者的共享資源，其中，所述第二系統(tǒng)適配器經(jīng)配置以與所述第一系統(tǒng)適配器通信并與所述第一支持適配器通信，并且其中，在所述第一過程腔室與所述第二過程腔室皆確定為處于閑置狀態(tài)時(shí)，所述第一支持適配器用信號(hào)通知所述支持系統(tǒng)以低功率模式操作。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其進(jìn)一步包含第二系統(tǒng)適配器，其用于監(jiān)視第二過程腔室及確定其狀態(tài)；及第二支持適配器，其用于與所述第二系統(tǒng)適配器及連接至所述第二過程腔室的第二支持系統(tǒng)通信，所述第二支持適配器經(jīng)配置以響應(yīng)于所述第二過程腔室的所述狀態(tài)而傳達(dá)在低功率模式下操作所述第二支持系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中，所述第二系統(tǒng)適配器經(jīng)配置以與所述第一系統(tǒng)適配器通信，并且其中，所述第二支持適配器經(jīng)配置以與所述第一支持適配器通信。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中，在所述第一過程腔室及所述第二過程腔室皆確定為處于閑置狀態(tài)時(shí)，所述第一支持適配器及所述第二支持適配器用信號(hào)通知所述第一支持系統(tǒng)及所述第二支持系統(tǒng)以低功率模式操作。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一系統(tǒng)適配器經(jīng)配置以通過在所要頻率下將周期信號(hào)發(fā)送至所述第一支持適配器，且通過將訊息發(fā)送至所述第一支持適配器，來將所述第一過程腔室的所述狀態(tài)傳達(dá)至所述第一支持適配器，并且其中，所述第一支持適配器經(jīng)配置以通過在所述所要頻率下將所述周期信號(hào)再傳輸至所述第一支持適配器，且通過將所述訊息再傳輸至所述第一支持適配器，來將在所述低功率模式下操作所述第一支持系統(tǒng)的所述預(yù)備狀態(tài)傳達(dá)至所述第一系統(tǒng)適配器。
15.一種在基板處理系統(tǒng)中保存能量的方法，其包含以下步驟提供連接至第一過程腔室的第一系統(tǒng)適配器；提供連接至第一支持系統(tǒng)的第一支持適配器；在所述第一系統(tǒng)適配器與所述第一支持適配器之間形成安全通信鏈路；以所述第一系統(tǒng)適配器監(jiān)視所述第一過程腔室以確定其狀態(tài)；及響應(yīng)于處于閑置模式的所述過程腔室的所述狀態(tài)，將在低功率模式下操作所述支持系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)傳達(dá)至所述支持系統(tǒng)的控制器。
全文摘要
本發(fā)明提供檢測處理設(shè)備的閑置模式的方法及裝置。在一些實(shí)施例中，一種監(jiān)視處理系統(tǒng)的裝置可包括第一系統(tǒng)適配器，其用于監(jiān)視第一過程腔室及確定其狀態(tài)；及第一支持適配器，其用于與連接至該第一過程腔室的第一支持系統(tǒng)及該第一系統(tǒng)適配器通信，該支持適配器經(jīng)配置以響應(yīng)于處于閑置模式的該第一過程腔室的該狀態(tài)而將在低功率模式下操作該第一支持系統(tǒng)的預(yù)備狀態(tài)傳達(dá)至該支持系統(tǒng)的控制器。
文檔編號(hào)H01L21/66GK102177576SQ200980140158
公開日2011年9月7日 申請日期2009年10月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月8日
發(fā)明者羅納德·維恩·肖爾 申請人:應(yīng)用材料公司