專利名稱：引線焊接裝置及焊接方法
技術領域：
本發(fā)明涉及引線焊接裝置(wire bonding apparatus)的結構以及由引線焊接裝置實行的焊接方法。
背景技術：
在IC等半導體的組裝工序中，使用以引線連接半導體芯片的焊接點(pad)和引腳框的引腳之間的引線焊接裝置。在引線焊接裝置中，使得引線伸出到毛細管的前端，通過放電焊槍等使得該引線成為初始球后，將該初始球焊接在焊接點上，此后，一邊輸出引線一邊使得毛細管上升，朝著引腳成環(huán)后，將引線焊接在第二焊接點。并且，向引腳的焊接一結束， 則使得毛細管上升，將引線輸出到毛細管前端，此后關閉夾持器，進一步使得毛細管和夾持器上升，在使得所定長度的尾線伸出到毛細管前端的狀態(tài)下，切斷引線。然后，使得毛細管移動到放電焊槍的位置，使得該尾線形成初始球后，在下一個第一焊接點進行焊接。反復這樣的焊接周期，順序連接焊接點和引腳之間。之所以在向引腳焊接后，用夾持器握持引線提升，進行引線切斷，是因為焊接在引腳的引線的端部被毛細管壓塌，其截面積比其他引線部分細，引線在該部分能簡單地切斷。但是，根據焊接條件不同，有時焊接在引腳的引線的端部不太細。這種場合，即使用夾持器握持引線提升，也不能簡單地切斷引線，對引線施加大的張力后切斷引線。于是， 引線因切斷時施加的大的拉伸力的反力向上跳起，夾持器下部的引線或尾線彎曲成S字狀。尾線彎曲有時會因放電等引起球形成不良。另外，即使球形成順利，由于毛細管內部以及毛細管和夾持器之間的引線殘留彎曲，若由該彎曲引線進行下一焊接，則焊接點和引腳之間的連接引線彎曲成S字狀，有時產生鄰接連接引線之間接觸等不良問題。于是，提出了以下方法在用夾持器握持引線提升尾線前，為了使得毛細管及夾持器的上下移動的中心線與焊接端部一致，橫向移動毛細管和夾持器的位置后，用夾持器握持引線，提升、切斷引線的方法(例如，參照專利文獻1)，或者焊接時施加超聲波振動同時， 橫方向移動毛細管的方法(例如，參照專利文獻幻。又，提出了以下方法將夾持器打開， 導出尾線后，通過使得毛細管以尾線的固有頻率振動，使得尾線共振，通過該振動切斷尾線的方法(例如，參照專利文獻3)，焊接時以毛細管將引線擠壓在焊接面期間，使得毛細管進行擦拭(scrub)動作的方法(例如，參照專利文獻4)。另外，提出了以下方法根據焊接條件不同，在焊接中途，有時會發(fā)生引線斷開，引線從毛細管脫落的引線脫落場合。當發(fā)生引線脫落時，關閉引線保持用夾持器，打開引線切斷用夾持器，使得引線切斷用夾持器與毛細管一起上升比引線保持用夾持器多，使得引線通過毛細管的方法(例如，參照專利文獻5)。[專利文獻1]日本專利第2723277號說明書[專利文獻2]日本專利第3128718號說明書[專利文獻3]日本專利第四69953號說明書[專利文獻4]日本專利第25302M號說明書
[專利文獻5]日本特公平1-35500號公報但是，在專利文獻1或專利文獻3記載的以往技術的焊接方法中，當將引線焊接到引腳時，需要調整毛細管的擠壓力等，以便使得焊接在引腳的引線端部的截面積比其他引線部分細。若毛細管的推壓力過大，則焊接在引腳上同時，引線被切斷，成為引線從毛細管脫落的引線脫落，若毛細管的推壓力過小，則即使專利文獻1或專利文獻3中記載的方法， 也需要以大的力提升引線，產生引線變形為S字狀的問題。又，在專利文獻2或專利文獻4 記載的以往技術中，當毛細管朝橫向移動時，若不預先調整使得引線不斷開，則如專利文獻 1或專利文獻3記載的以往技術那樣，存在引線斷開，產生引線脫落的問題。S卩，在從專利文獻1至專利文獻4記載的以往技術中，雖然能抑制引線脫落或引線彎曲的發(fā)生，但是，若毛細管的推壓力等沒有時常調整到某一定的幅度，則存在不能抑制引線脫落或引線彎曲的發(fā)生的問題。又，在從專利文獻1至專利文獻4記載的以往技術中，為了將推壓力設為一定的幅度，存在有時不能確保引線和引腳的接合強度的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于，更有效地控制引線脫落或弓丨線彎曲。解決上述課題的手段如下本發(fā)明的引線焊接裝置的特征在于，包括毛細管，引線插入穿通，將上述引線焊接在焊接對象上；第一夾持器，與上述毛細管連動而移動；第二夾持器，沿著插入穿通在上述毛細管的上述引線的延伸方向，與上述第一夾持器并列配置；以及控制部，開閉上述第一夾持器及上述第二夾持器；上述控制部包括引線切斷手段，通過上述毛細管焊接上述引線后，在關閉上述第一夾持器的狀態(tài)下，使得上述毛細管和上述第一夾持器上升，切斷上述引線；以及引線伸出手段(wire extending means)，使得上述毛細管上升后，將上述第一夾持器設為打開，上述第二夾持器設為關閉，使得上述毛細管和上述第一夾持器上升，使得上述引線伸出上述毛細管前端。又，較好的是，上述引線切斷手段在焊接上述引線時，使得上述毛細管實行擦拭動作。本發(fā)明的焊接方法的特征在于，包括準備工序，準備引線焊接裝置，該引線焊接裝置包括毛細管，引線插入穿通，將上述引線焊接在焊接對象上；第一夾持器，與上述毛細管連動而移動；以及第二夾持器，沿著插入穿通在上述毛細管的上述引線的延伸方向，與上述第一夾持器并列配置；引線切斷工序，通過上述毛細管焊接上述引線后，在關閉上述第一夾持器的狀態(tài)下，使得上述毛細管和上述第一夾持器上升，切斷上述引線；以及引線伸出工序，使得上述毛細管上升后，將上述第一夾持器設為打開，上述第二夾持器設為關閉，使得上述毛細管和上述第一夾持器上升，使得上述引線伸出上述毛細管前端。
又，較好的是，上述引線切斷工序在焊接上述引線時，使得上述毛細管實行擦拭動作。下面說明本發(fā)明效果。本發(fā)明具有能更有效地抑制引線脫落及引線彎曲的效果。


圖1是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置結構的系統(tǒng)圖。圖2A是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖2B是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖2C是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖2D是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖2E是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖2F是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖2G是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖2H是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖21是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖2J是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖觀是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的動作的說明圖。圖3是表示本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置的第一，第二夾持器的開閉動作和毛細管的高度和超聲波振子的接通/斷開和毛細管的擦拭動作的時間圖。圖4是表示本發(fā)明另一實施形態(tài)的引線焊接裝置的第一，第二夾持器的開閉動作和毛細管的高度和超聲波振子的接通/斷開的動作狀態(tài)的時間圖。符號說明如下10-引線焊接裝置11-卷線筒12-引線13-焊接臂14-焊接臺15-超聲波振子16-毛細管17a-第一夾持器、17b-第二夾持器18-移動機構19-焊接頭20-XY 臺21-半導體芯片22-焊接點23-引腳框24-引腳26-放電焊槍
5
27a-第一夾持器開閉機構、27b_第二夾持器開閉機構28-照相機29-毛細管高度檢測手段30-控制部32-數據總線34-存儲部41-夾持器開閉接口42-毛細管高度檢測接口43-超聲波振子接口44-移動機構接口45-球形成手段接口51-尾線52-初始球53-壓焊球60-計算機。
具體實施例方式下面參照

本發(fā)明較佳實施形態(tài)。先參照圖1說明作為本發(fā)明實施形態(tài)的引線焊接裝置10的整體構成。在圖1中，信號線用點劃線表示。如圖1所示，引線焊接裝置10的焊接頭19設置在XY臺20上，焊接臂13安裝在焊接頭19上。焊接臂13由Z方向電機驅動繞回轉中心回轉，其前端構成為相對作為焊接面的半導體芯片21的焊接點面進行弧狀接離動作(相接/脫離動作)。焊接臂13的前端在半導體芯片21的焊接點面或引腳框23的表面附近，沿著上下方向即Z方向移動。焊接臂13的前端安裝作為焊接工具的毛細管16。XY臺20和焊接頭19構成移動機構18，移動機構18能通過XY臺20使得焊接頭19在沿著焊接面的面內(XY面內)移動到隨意位置，通過用Z方向電機驅動安裝在焊接頭19上的焊接臂13，能使得焊接臂13前端以及安裝在焊接臂13前端的毛細管16在X、Y、 Z方向移動自如。在XY臺20的焊接臂13的前端側設有吸附固定引腳框23的焊接臺14。毛細管16是具有圓錐臺形狀的前端部的開孔圓柱，能使得金線等制造的引線12 插入穿通中心部的引線孔。引線12從安裝在焊接頭19上的卷線筒11供給。焊接臂13通過超聲波振子15將超聲波能量供給毛細管16，具有將插入穿通在毛細管16的引線12推壓到作為焊接面的半導體芯片21的焊接點面以及引腳框23的引腳上使其接合的功能。又， 在毛細管16的前端位置附近，設有放電焊槍沈，加熱從毛細管16前端延伸出來的引線使其成為初始球。在焊接頭19上設有用于握持、釋放插入穿通在毛細管16中的引線12的第一夾持器17a以及第二夾持器17b。第一夾持器17a與焊接臂13連動，在X、Y、Z方向移動，第二夾持器17b與焊接臂連動，在X、Y方向移動，Z方向的高度被固定。第一夾持器17a設有第一夾持器開閉機構27a，通過該第一夾持器開閉機構27a的動作對第一夾持器17a進行開閉驅動，第二夾持器17b設有第二夾持器開閉機構27b，通過該第二夾持器開閉機構27b的動作對第二夾持器17b進行開閉驅動。
上述引線焊接裝置10通過在內部具有CPU的控制部30，檢測各部分的位置，進行動作控制，通過引線12連接半導體芯片21和引腳框23之間。在XY臺20，設有檢測焊接頭19的X、Y方向位置的XY位置檢測手段。又，在焊接頭19上，設有毛細管高度檢測手段四，通過檢測焊接臂13的繞回轉中心的回轉角度，檢測毛細管16前端的Z方向高度。毛細管高度檢測手段四也可以不檢測回轉角度，而是直接檢測焊接臂13前端或毛細管16前端的位置。又，毛細管高度檢測手段四既可以是非接觸式，也可以是接觸式。在焊接頭19上安裝作為攝像手段的照相機觀，用于取得半導體芯片21、引腳框23 等的圖像，根據由照相機觀所攝的圖像進行毛細管16的X、Y方向的定位。照相機觀只要能取得圖像信號，也可以由光圈機構或無快門等的攝像元件及透鏡等構成。上述毛細管高度檢測手段四的檢測信號分別通過毛細管高度檢測接口(I/F)42 經數據總線32與控制部30連接，各信號輸入控制部30。又，由XY臺20和焊接頭19構成的移動機構18通過移動機構接口(I/F) 44經數據總線32與控制部30連接，第一夾持器開閉機構27a、第二夾持器開閉機構27b通過夾持器開閉接口(I/F)41經數據總線32與控制部30連接，超聲波振子15通過超聲波振子驅動接口(I/F)43經數據總線32與控制部30 連接，放電焊槍26通過球形成手段接口(I/F)45經數據總線32與控制部30連接，根據來自包含CPU的控制部30的指令，使得各設備動作。存儲部34與數據總線32連接。存儲部34保持對于控制部30進行的位置檢測處理以及控制指令輸出動作來說必要的控制數據，根據來自控制部30的指令，向控制部30輸出控制數據，或者存儲、保持輸入的信號數據等。控制部30、數據總線32、存儲部34、以及各接口 41-45是構成為一體的計算機60，在存儲部34中，除了控制數據，還存儲用于控制焊接控制全體的控制程序，作為引線切斷手段的引線切斷程序，作為引線伸出手段的引線伸出程序。參照圖2A-圖I，圖3說明上述構成的引線焊接裝置10的焊接動作。首先，控制部30讀出存儲在存儲部34的整體控制程序，引線切斷程序，引線伸出程序，以及控制用數據，存儲在內部存儲器。又，如圖2A所示，在毛細管16的前端形成初始球52。在該狀態(tài)下， 第一夾持器17a關閉，第二夾持器17b打開。如圖2A所示，控制部30輸出使得毛細管16的前端移動到半導體芯片21的焊接點22的正上方的指令。根據該指令，來自移動機構接口 44的指令傳遞到XY臺20，XY臺20 使得焊接頭19的位置移動，進行對位，使得毛細管16的位置來到焊接點22的正上方。如圖2B所示，對位一結束，控制部30輸出使得毛細管16下降到焊接點22的指令。 根據該指令，從移動機構接口 44輸出驅動焊接頭19的Z方向電機的信號，根據該信號，Z方向電機回轉，毛細管16向著焊接點22下降，將初始球52推壓在焊接點22，作為壓焊球53， 將引線12焊接在焊接點22上接合。與毛細管16下降同時，控制部30輸出將第一夾持器 17a設為打開的指令。根據該指令，從夾持器開閉接口 41輸出將第一夾持器17a設為打開的信號。根據該信號，通過第一夾持器開閉機構27a打開第一夾持器17a。若引線12向焊接點22的接合結束，第一夾持器17a、第二夾持器17b都成為打開狀態(tài)，則如圖2C所示，控制部30使得毛細管16上升后，朝著與引腳M相反側的方向水平移動，進而，輸出使其上升的指令。根據該指令，從移動機構接口 44輸出驅動焊接頭19的Z 方向電機使得毛細管16上升的信號，以及驅動XY臺20將毛細管16的前端位置設為與引腳M相反側的位置的信號。根據上述信號，驅動焊接頭19的Z方向電機和XY臺20，毛細管16在焊接點22位置垂直上升后，向著與引腳M相反方向移動后，進一步上升。此后，如圖2D所示，控制部30輸出使得毛細管16—邊下降一邊向著引腳M成環(huán)的指令，以及將第一夾持器17a設為關閉的指令。根據該指令，從移動機構接口 44輸出驅動XY臺20將毛細管16的前端位置設為引腳M位置的信號，以及驅動焊接頭19的Z方向電機使得毛細管16進一步下降的信號。根據上述信號，驅動焊接頭19的Z方向電機和XY 臺20，毛細管16向著引腳M —邊下降一邊成環(huán)。另外，根據控制部30的指令從夾持器開閉接口 41輸出將第一夾持器17a設為關閉的信號。根據該信號，通過第一夾持器開閉機構 27a關閉第一夾持器17a。接著，如圖2E所示，控制部30輸出若毛細管16來到引腳4上方，則使得毛細管16 進一步下降焊接到引腳M的指令。根據該指令，從移動機構接口 44輸出驅動焊接頭19的 Z方向電機使得毛細管16下降的信號，根據該信號，驅動焊接頭19的Z方向電機，毛細管 16向著引腳M進一步下降，用其前端將引線12推壓在引腳M上，將引線12焊接在引腳 24上接合。從成環(huán)動作開始到毛細管16向引腳M進行焊接期間，第一夾持器17a保持關閉狀態(tài)，第二夾持器17b保持打開狀態(tài)。圖3是表示向引腳M焊接時的第一夾持器17a，第二夾持器17b的開閉狀態(tài)，毛細管16的前端高度，超聲波振子15的接通/斷開，以及毛細管16的擦拭動作狀態(tài)的圖線，圖中的線a表示第一夾持器17a的開閉狀態(tài)，線b表示第二夾持器17b的開閉狀態(tài)，線ζ表示毛細管16的前端高度的變化，線c表示超聲波振子15的接通/斷開狀態(tài)的變化，線d表示毛細管16的擦拭動作狀態(tài)的變化。如圖3所示，若毛細管16在時間、開始下降，則第一夾持器17a從打開成為關閉。 接著，在時間t1;毛細管16與引腳M接觸，如圖2E所示，毛細管16與引腳M接合。從時間、至時間t3期間，控制部30使得毛細管16前端推壓在引腳M上，同時，接通超聲波振子15使得引線12和引腳M接合。又，如圖2F所示，從通過毛細管16將引線12推壓在引腳24的時間、至時間t3期間，控制部30實行使得XY臺20朝著焊接點22和引腳24的方向往復移動的擦拭動作。又，通過毛細管16的擦拭動作，在插入穿通毛細管16的引線12 的部分和引腳M的接合部之間，產生微小裂紋，易切斷引線12。擦拭動作并不局限于焊接點22和引腳M的方向，可以在水平面內朝著任意方向往復動作，也可以使得毛細管16按圓弧狀或橢圓狀移動。又，也可以僅僅使得毛細管16從焊接點22向著引腳M的方向橫向移動。若成為圖3所示時間t3，則如圖2G所示，控制部30輸出使得毛細管16的前端上升到高度&的指令。根據該指令，從移動機構接口 44輸出驅動焊接頭19的Z方向電機的信號，根據該信號，驅動Z方向電機使得毛細管16上升。這時，第一夾持器17a保持關閉狀態(tài)，與握持引線12的毛細管16—起，開始上升。由于引線12與引腳M接合，因此，若第一夾持器17a上升，則對引線12施加朝上的拉伸力。又，由于引線12的向引腳M的接合部分附近因焊接被壓塌，比引線12的截面積細，以及因毛細管16的擦拭動作在引線12和引腳M的接合部之間，產生微小裂紋，引線12因張力在引線12的與引腳M接合部分的附近，引線12被切斷(引線切斷工序)。這時，控制部30在圖3所示時間t4至時間t5期間， 接通超聲波振子15使得毛細管16的前端振動，使得引線12更容易被切斷。
在本實施形態(tài)中，在引線切斷工序中，從向引腳M焊接，進行毛細管16上升時，如圖3所示，使得第一夾持器17a設為關閉狀態(tài)。因此，當向引腳M焊接時，即使引線12斷開場合，引線12也不會從毛細管16脫落。但是，不是使得尾線51伸出到毛細管16的前端后進行引線切斷，因此，尾線51不會伸出到毛細管16的前端。如圖3所示，控制部30通過圖1所示毛細管高度檢測接口 42取得由毛細管高度檢測手段四取得的毛細管16的前端高度的信號，與高度H1比較。接著，若毛細管16的前端高度成為H1，則從移動機構接口 44輸出停止Z方向電機的信號，停止毛細管16上升。如圖2H所示，若在圖3所示時間t6毛細管16的前端高度成為高度H1，則控制部 30輸出使得第二夾持器17b設為關閉的指令。根據該指令，從夾持器開閉接口 41輸出使得第二夾持器17b實行關閉動作的信號，根據該信號，第二夾持器開閉機構27b實行關閉動作，第二夾持器17b成為關閉，握持引線12。接著，若在圖3所示時間t7第二夾持器17b完成關閉動作，則控制部30輸出使得第一夾持器17a設為打開的指令。根據該指令，從夾持器開閉接口 41向第一夾持器開閉機構27a輸出打開動作信號，根據該打開動作信號，第一夾持器開閉機構27a實行打開動作，由此，第一夾持器17a成為打開，第一夾持器17a開放握持的引線12。控制部30若在圖3所示時間t8將引線12的握持夾持器從第一夾持器17a變更為第二夾持器17b，則輸出使得毛細管16的前端高度從H1上升到吐的指令。根據該指令， 驅動焊接頭19的Z方向電機，毛細管16開始上升。這種場合，第二夾持器17b成為關閉， 在高度方向握持引線12，因此，引線12的高度方向位置不變，僅僅毛細管16和第一夾持器 17a的位置從H1上升到H2。由此，如圖21所示，尾線51伸出毛細管16前端。又，如圖3的從時間、至、所示那樣，控制部30使得毛細管16上升同時，接通超聲波振子15，使得毛細管16前端振動，引線12平滑地通過毛細管16的孔。通過毛細管高度檢測手段四檢測毛細管16的前端高度，若該高度成為高度H2, 則控制部30向移動機構接口 44輸出停止毛細管16上升的指令。根據該指令，移動機構接口 44輸出使得Z方向電機停止的信號，根據該信號，Z方向電機停止，毛細管16的上升停止。若毛細管16停止，則尾線51從毛細管16前端僅僅伸出圖3所示高度H1和高度H2的差L(引線伸出手段)。若尾線51的伸出動作結束，則控制部30在圖3所示時間t1(l輸出將第一夾持器 17a設為關閉的指令。如圖2J所示，根據該指令，從夾持器開閉接口 41輸出使得第一夾持器17a成為關閉的信號，根據該信號，通過第一夾持器開閉機構27a關閉第一夾持器17a。 接著，若在圖3所示時間tn第一夾持器17a成為關閉，則控制部30輸出將第二夾持器17b 設為打開的指令。根據該指令，從夾持器開閉接口 41輸出打開第二夾持器17b的信號，根據該信號，通過第二夾持器開閉機構27b打開第二夾持器17b。接著，若在圖3所示時間t12 第二夾持器17b成為打開，引線12的握持夾持器從第二夾持器17b變更為第一夾持器17a， 則控制器30通過移動機構18，使得毛細管16如圖I所示，移動到初始球形成位置，為了下一個引線焊接，形成初始球52。如圖觀所示，控制部30向移動機構接口 44輸出使得毛細管16的前端位置移動到初始球形成位置的指令。根據該指令，驅動XY臺20，毛細管16的前端位置移動到初始球形成位置。若毛細管16移動到所定位置，控制部30向球形成手段接口 45輸出初始球形成
9指令。根據該指令，驅動放電焊槍沈，加熱伸出到毛細管16的前端的尾線51，形成初始球 52。形成初始球52 —結束，控制部30使得毛細管16移動到下一個焊接點22上，進行下一次焊接。在上述說明的本實施形態(tài)中，在關閉第一夾持器17a狀態(tài)下，焊接在引腳M，因此，即使焊接時引線12斷開也不會發(fā)生引線12從毛細管16脫落，能有效地抑制引線脫落。 又，毛細管16的推壓力可以預先調整到能通過焊接切斷引線程度，焊接時，即使引線12沒有切斷場合，也可以預先大大地壓塌引線12的向引腳M的接合部分附近的引線，使得其截面積更小，因此，與以往技術相比，能抑制切斷引線12時的引線12的回跳力，使其變小，具有能更有效地抑制引線12彎曲的效果。又，在本實施形態(tài)中，當通過毛細管16將引線12 推壓到引腳M時，使得毛細管16實行擦拭動作，在引線12和接合部分之間產生微小裂紋， 使得引線12易被切斷，但是，即使該擦拭動作時引線12被切斷場合，由第一夾持器17a保持引線12，因此，不需精細地調整擦拭動作，能有效抑制引線脫離。再有，能充分實行擦拭動作，因此，能增大引線12和引腳M的接合強度。在本實施形態(tài)中，說明將毛細管16推壓到引腳M期間，使得毛細管16實行擦拭動作，但是，也可以如圖4所示，不實行毛細管16的擦拭動作，進行焊接。在上述說明的各實施形態(tài)中，說明了在向引腳M進行焊接后切斷引線12，但是， 本發(fā)明也可以適用于將初始球52焊接在引腳M，接合在焊接點22后，切斷引線12的焊接。本發(fā)明并不局限于上述說明的實施形態(tài)，包含不脫離由權利要求書規(guī)定的本發(fā)明技術范圍或本質的全部變更及修正，它們都屬于本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.一種引線焊接裝置，包括毛細管，引線插入穿通，將上述引線焊接在焊接對象上；第一夾持器，與上述毛細管連動而移動；第二夾持器，沿著插入穿通在上述毛細管的上述引線的延伸方向，與上述第一夾持器并列配置；以及控制部，開閉上述第一夾持器及上述第二夾持器；上述控制部包括引線切斷手段，通過上述毛細管焊接上述引線后，在關閉上述第一夾持器的狀態(tài)下，使得上述毛細管和上述第一夾持器上升，切斷上述引線；以及引線伸出手段，使得上述毛細管上升后，將上述第一夾持器設為打開，上述第二夾持器設為關閉，使得上述毛細管和上述第一夾持器上升，使得上述引線伸出上述毛細管前端。
2.根據權利要求1記載的引線焊接裝置，其特征在于上述弓I線切斷手段在焊接上述弓I線時，使得上述毛細管實行擦拭動作。
3.一種焊接方法，包括準備工序，準備引線焊接裝置，該引線焊接裝置包括毛細管，引線插入穿通，將上述引線焊接在焊接對象上；第一夾持器，與上述毛細管連動而移動；以及第二夾持器，沿著插入穿通在上述毛細管的上述引線的延伸方向，與上述第一夾持器并列配置；引線切斷工序，通過上述毛細管焊接上述引線后，在關閉上述第一夾持器的狀態(tài)下，使得上述毛細管和上述第一夾持器上升，切斷上述引線；以及引線伸出工序，使得上述毛細管上升后，將上述第一夾持器設為打開，上述第二夾持器設為關閉，使得上述毛細管和上述第一夾持器上升，使得上述引線伸出上述毛細管前端。
4.根據權利要求3記載的焊接方法，其特征在于上述弓I線切斷工序在焊接上述弓I線時，使得上述毛細管實行擦拭動作。
全文摘要
包括引線切斷手段，通過毛細管焊接引線后，在關閉第一夾持器的狀態(tài)下，使得毛細管和第一夾持器上升，切斷引線；以及引線輸出手段，使得毛細管上升后，將第一夾持器設為打開，第二夾持器設為關閉，使得毛細管和第一夾持器上升，使得引線伸出毛細管前端。由此，在引線焊接裝置中，更有效地抑制引線脫落及引線彎曲。
文檔編號H01L21/60GK102272911SQ20098015348
公開日2011年12月7日 申請日期2009年7月13日 優(yōu)先權日2009年1月7日
發(fā)明者富山俊彥, 鄭森介 申請人:株式會社新川