專利名稱：基板緩沖單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于使在基板輸送路徑中輸送的、例如平板顯示器(FPD)所采用 的玻璃基板臨時自基板輸送路徑退避的基板緩沖單元，特別是涉及一種能夠高效率地以空 氣清洗緩沖裝置內(nèi)空間的基板緩沖單元。
背景技術(shù)：
在FPD的制造過程中，為了在FPD用的玻璃基板上形成電路圖案而采用光刻技術(shù)。 利用光刻法形成電路圖案如下所述這樣進行在玻璃基板上涂敷抗蝕液而形成抗蝕劑膜， 與電路圖案相對應(yīng)地使抗蝕劑膜曝光，對其進行顯影處理。為了形成電路圖案，采用沿著輸 送生產(chǎn)線(基板輸送路徑)設(shè)置進行抗蝕液的涂敷、顯影處理等處理的各處理單元而成的 制造生產(chǎn)線。玻璃基板在輸送生產(chǎn)線上被輸送的同時、在各處理單元被實施規(guī)定的處理。但是，在上述制造生產(chǎn)線上，通常，為了調(diào)整在各處理單元之間接收并交出基板的 時機，設(shè)有使玻璃基板自輸送生產(chǎn)線臨時退避來進行保管的緩沖裝置。作為該緩沖裝置，本案申請人在專利文獻1中公開有這樣的升降機式的緩沖裝置 (以下稱作升降機緩沖裝置)，即，通過使能夠多層載置玻璃基板的架部升降來搬出或搬入 基板。根據(jù)圖7簡單說明專利文獻1中公開的升降機緩沖裝置的基板退避動作。圖7的 (a) 圖7的(c)所示的升降機緩沖裝置200包括設(shè)置在輸送生產(chǎn)線上且具有以多層設(shè)置 的基板載置部202a 202f的架部205、以及能夠?qū)⒃摷懿?05支承為能升降移動的升降機 構(gòu) 206。在需要使基板退避到升降機緩沖裝置200中時，X方向下游側(cè)的輔助傳送帶機構(gòu) 210的驅(qū)動停止。并且，如圖7的(a)所示，從X方向上游側(cè)輸送來的第一個基板Gl通過殼 體201的搬入口 201a，整個基板載置在載置部202a上時，傳送帶機構(gòu)250a停止。由此，成 為基板Gl載置在載置部202a上的狀態(tài)。接著，在從X方向上游側(cè)將下一個基板G2輸送來時，傳送帶機構(gòu)250a與其驅(qū)動源 之間的連接被解除。然后，利用升降機構(gòu)206使架部205上升，使得載置部202b 202f中的任一個、例 如圖7的(b)所示那樣是載置部202b與輸送生產(chǎn)線的高度一致，將載置部202b的傳送帶機 構(gòu)250b連接于其驅(qū)動部而驅(qū)動該傳送帶機構(gòu)250b。在此，基板G 1成為與載置部202a — 同自輸送生產(chǎn)線退避的狀態(tài)。然后，整個基板G2載置在載置部202b上時，傳送帶機構(gòu)250b 的驅(qū)動被停止。通過反復(fù)該工序，直到基板輸送的待機狀態(tài)被解除為止，在輸送生產(chǎn)線上輸送來 的后續(xù)的基板G3、G4、...分別載置在載置部202c、202d、...上來進行保管(參照圖7的 (c))。但是，上述升降機緩沖裝置200與其他單元一同設(shè)置在清潔室內(nèi)。在清潔室的頂 部設(shè)有被稱作FFU(風(fēng)機過濾器單元)的清潔空氣供給裝置，由此，形成空氣向下方流動的垂直層流。以往，利用該下降流確保室內(nèi)的清潔度、進而確保收容有基板的架子部205內(nèi)的
清潔度。即，如圖8所示，作為外殼板的殼體201的上表面為了將從上方流向下方的清潔空 氣吸入到殼體201內(nèi)而開放。因此，清潔室內(nèi)的下降流從殼體201的上表面流入到殼體201 內(nèi)，形成從基板搬入搬出口 201a、201b流出的清潔空氣的流動。專利文獻1 日本特開2007-250671號公報但是，在上述構(gòu)造中，架子部205利用升降機構(gòu)206在殼體201內(nèi)升降移動時，如 圖9所示那樣架子部205下方的空間207的容積發(fā)生變化，破壞形成在殼體201內(nèi)的空氣 的流動，有可能產(chǎn)生不良情況。即，每次架子部205升降移動時，其下方的空間207的容積都發(fā)生變化而被壓縮膨 脹，因此，自升降機構(gòu)206卷起灰塵，灰塵流入到架子部205內(nèi)，產(chǎn)生在載置于架子部205內(nèi) 的基板上附著灰塵這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明即是在上述那樣的狀況下做成的，其目的在于提供一種使向一個方向輸送 的基板臨時退避的基板緩沖單元，其中，能夠高效率地以空氣清洗緩沖空間。為了解決上述問題，本發(fā)明的基板緩沖單元對在基板輸送路徑上輸送的基板進行 臨時收容，使該基板自上述基板輸送路徑退避，其特征在于，包括箱狀的殼體，其上表面開 放；載置部，其用于載置從上述基板輸送路徑被搬入到上述殼體內(nèi)的基板；箱狀的架子部， 其被設(shè)置成能夠?qū)⑸鲜鲚d置部移動到從上述基板輸送路徑離開的規(guī)定位置；空氣導(dǎo)入口， 其設(shè)置在上述架子部的一側(cè)面上，用于向上述載置部導(dǎo)入清潔空氣；排氣部件，其連接于上 述架子部，用于抽吸該架子部內(nèi)的空氣而將該空氣排出到上述殼體外；排氣窗，其設(shè)置在上 述殼體側(cè)面的比上述架子部靠下方的位置上，用于對該殼體內(nèi)的氣氛進行排氣。通過這樣設(shè)置排氣部件，在殼體內(nèi)，清潔空氣從架子部的一側(cè)面?zhèn)葟娭频乇粚?dǎo)入， 向一個方向流動而被排出。并且，通過在殼體的下部側(cè)面設(shè)置排氣窗，能夠高效率地排出未 被導(dǎo)入到架子部內(nèi)而流到架子部下方的清潔空氣。另外，在殼體內(nèi)，能夠始終使上部空間相對于下部空間處于正壓，從而能夠抑制在 下部空間中產(chǎn)生空氣的卷起。還最好上述排氣窗利用各自開閉自由地設(shè)置的多個開閉構(gòu)件使該排氣窗的開口 面積能多級地改變。該基板緩沖單元還最好包括用于檢測上述殼體內(nèi)的上部空間和下部空間的氣壓 或者用于檢測上述殼體內(nèi)的上部空間和下部空間其中任一個氣壓的氣壓檢測部件、能夠針 對每個上述開閉構(gòu)件進行開閉驅(qū)動的開閉驅(qū)動部件、以及至少控制上述開閉驅(qū)動部件和上 述排氣部件中的任一個的控制部件，上述控制部件根據(jù)上述氣壓檢測部件的檢測結(jié)果與規(guī) 定的氣壓值的比較結(jié)果，至少決定上述排氣窗的開口面積和上述排氣部件的排氣輸出中的 任一個，至少控制上述開閉驅(qū)動部件和上述排氣部件中的任一個。通過這樣地構(gòu)成，根據(jù)架子部的升降移動來改變排氣窗的開口面積及排氣部件的 排氣輸出，能夠在殼體內(nèi)形成穩(wěn)定的下降流。
因而，在殼體內(nèi)抑制空氣產(chǎn)生逆流、卷起，能夠防止自電動機等驅(qū)動系統(tǒng)產(chǎn)生的灰 塵流入到架子部中。還最好在上述箱狀架子部的側(cè)面上設(shè)有第一整流板，該第一整流板用于將在該架 子部的側(cè)方流下的清潔空氣引導(dǎo)到上述排氣窗。還最好在上述箱狀架子部的上表面上設(shè)有第二整流板，該第二整流板用于將從上 方流下的清潔空氣引導(dǎo)到該架子部的側(cè)方。通過這樣設(shè)置第一、第二整流板，將從上方導(dǎo)入的清潔空氣進行整流而抑制產(chǎn)生 湍流，能夠形成朝向架子部側(cè)方和排氣窗流動的被整流后的空氣流動。
采用本發(fā)明，能夠獲得使向一個方向輸送的基板臨時退避的基板緩沖單元，其中， 能夠高效率地以空氣清洗緩沖空間。


圖1是本發(fā)明的基板緩沖單元的側(cè)剖視圖。圖2是圖1中的A-A向視圖。圖3是圖2中的B-B向視圖。圖4是圖2中的C-C向視圖。圖5是用于說明圖1中的基板緩沖單元所具有的排氣窗的開閉控制的框圖。圖6是表示排氣窗的開口面積逐級變化的圖。圖7是用于對升降機緩沖裝置的基板退避動作進行說明的圖。圖8是表示以往的升降機緩沖裝置內(nèi)的空氣流動形成的剖視圖。圖9是表示以往的升降機緩沖裝置內(nèi)的另一空氣流動形成的剖視圖。
具體實施例方式下面，根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明的基板緩沖單元的實施方式。本發(fā)明的基板緩沖 單元設(shè)置在例如通過光刻工序形成電路圖案的制造生產(chǎn)線上，將作為被處理基板的FPD用 的玻璃基板臨時收容并使其退避。在以下的實施方式中，對應(yīng)用于升降機緩沖裝置的例子 進行說明。圖1是本發(fā)明的基板緩沖單元的側(cè)剖視圖，圖2是圖1中的A-A向視圖，圖3是圖 2中的B-B向視圖，圖4是圖2中的C-C向視圖。圖示的基板緩沖單元100包括能夠在單元殼體1內(nèi)以多層(圖中為5層)載置作 為被處理基板的玻璃基板G的箱狀的架子部2、以及從下方支承該架子部2并且使該架子部 2升降移動的升降機構(gòu)3。玻璃基板G從圖1所示的單元殼體1的搬入口 Ia被搬入到該基板緩沖單元100 中，在被收容于架子部2上之后，適當(dāng)?shù)貜南喾磦?cè)的搬出口 Ib被從該基板緩沖單元100搬
出ο上述殼體1中的搬入口 Ia和搬出口 Ib與設(shè)置在基板緩沖單元100的上游及下游 的所謂平流方式的基板輸送生產(chǎn)線(基板輸送路徑)的高度位置相對齊地設(shè)置。如圖1、2所示，架子部2具有箱狀的外殼20，在該外殼20內(nèi)例如以5層設(shè)有基板 G的載置部6。在外殼20中，在面向上述殼體1的搬入搬出口 la、lb的側(cè)面，與各層的載置部6相對應(yīng)地設(shè)有多個基板搬入口 2a和搬出口 2b。架子部2 (外殼20)利用升降機構(gòu)3能夠在殼體1內(nèi)升降移動，因此，在相對于規(guī) 定層的載置部6搬入或搬出玻璃基板G的情況下，架子部2被升降機構(gòu)3升降移動，使得該 規(guī)定層的載置部6成為上述搬入口 Ia及搬出口 Ib的高度。另外，在將基板G載置于規(guī)定的載置部6上之后，利用升降機構(gòu) 3使架子部2升降 移動至從基板輸送生產(chǎn)線離開的規(guī)定位置，從而能夠使該基板G自基板輸送生產(chǎn)線退避。另外，如圖2所示，在各載置部6中并列地設(shè)有用于輸送基板的多個滾輪輸送軸 13，在各軸13的一端部設(shè)有用于驅(qū)動各軸13旋轉(zhuǎn)的、由電動機等構(gòu)成的軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu) 14。另外，如圖1、圖2所示，殼體1的上表面開放。因此，在該緩沖單元100設(shè)置于清 潔室內(nèi)，利用下降流自其頂部供給清潔空氣的情況下，如圖所示那樣從殼體1的上方向殼 體1內(nèi)供給清潔空氣。在此，在架子部2的上表面設(shè)有整流板45 (第二整流板)，該整流板45的中央部鼓 成圓頂狀，將來自上方的下降流向架子部2的側(cè)方引導(dǎo)。在架子部2的一側(cè)面設(shè)有用于向各載置部6導(dǎo)入清潔空氣的空氣導(dǎo)入口 6a。從上 方流到架子部2側(cè)方的下降流的一部分從上述空氣導(dǎo)入口 6a流入到各載置部6，如圖2中 箭頭所示那樣形成清潔空氣的流動。在各載置部6中，上述軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)14設(shè)置在下游側(cè)，因此，來自驅(qū)動機構(gòu)的灰 塵不會流入到各載置部6。更詳細地說明，上述多個軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)14被罩構(gòu)件15覆蓋， 在罩構(gòu)件15的下部設(shè)有向下方延伸的排氣管16，該排氣管16連接于殼體外部的排氣裝置 30(排氣部件)。S卩，通過設(shè)置排氣裝置30，利用其抽吸力自上述空氣導(dǎo)入口 6a向各載置部6中導(dǎo) 入清潔空氣，在各載置部6中強制地形成一個方向的清潔空氣的流動。因此，清潔空氣通過 下游的軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)14之后，不會逆流而必定被排出到外部。另外，排氣裝置30最好為排氣輸出可變的構(gòu)造，在這種情況下，能夠根據(jù)例如被 供給到殼體1內(nèi)的下降流的狀態(tài)等來設(shè)定最佳的排氣輸出。另外，如圖3、圖4所示，在不是殼體1的基板搬入搬出面的殼體1的左右兩側(cè)面 上，在各面的下部例如橫向并列地設(shè)有2個為了對殼體1內(nèi)的氣氛進行排氣而能夠開閉的 排氣窗40。各排氣窗40分別具有多個開閉構(gòu)件、例如分別具有沿縱向并列設(shè)置的4張開閉板 41a、41b、41c、41d，這些開閉板41a 41d以能夠分別獨立地開閉的方式設(shè)置。優(yōu)選各開閉板41a 41d如圖5示意性地所示那樣被電動機等開閉驅(qū)動部件42a、 42b、42c、42d分別開閉動作，各驅(qū)動部件42a 42d利用由計算機構(gòu)成的控制部43 (控制部 件)來驅(qū)動控制。如圖1、圖2所示，還最好在殼體1內(nèi)設(shè)有檢測殼體1內(nèi)的上部空間的氣壓的氣壓 傳感器Sl (氣壓檢測部件)、以及檢測下部空間的氣壓的氣壓傳感器S2 (氣壓檢測部件)， 根據(jù)這些檢測結(jié)果控制上述排氣窗40的開口面積。在這種情況下，例如各傳感器Si、S2的檢測結(jié)果分別大于預(yù)先設(shè)定的規(guī)定壓力值 的情況，或者上述傳感器Si、S2之間的壓力差為規(guī)定壓力值以上等情況下，控制部43決定排氣窗40的開口面積，控制各開閉驅(qū)動部件42a 42d。在此，通過對開閉板41a 41d的開閉進行控制，使得無論架子部2如何升降移 動、殼體1內(nèi)的氣壓都始終是上部為正壓，從而能夠?qū)んw1內(nèi)的下部空間中的空氣流動進 行整流而抑制發(fā)生空氣卷起。此時，為了有效地抑制在殼體1的下部空間中空氣卷起，排氣窗40的各開閉板 41a 41d最好例如從下方的開閉板41a起按順序打開，分多級地改變排氣窗40的開口面 積。例如，圖5表示僅開閉板41a打開的狀態(tài)，圖6的(a)表示開閉板41a、41b打開的狀態(tài)， 圖6的(b)表示開閉板41a、41b、41c打開的狀態(tài)，圖6的(c)表示所有的開閉板41a 41d 打開的狀態(tài)。另外，在開閉板41a 41d的里側(cè)設(shè)有金屬絲網(wǎng)44，對排氣進行整流。還最好根據(jù)上述氣體傳感器S1、S2的檢測結(jié)果，控制部43進一步控制上述排氣裝 置30的排氣輸出，在這種情況下，能夠?qū)んw1內(nèi)的空氣流動進一步整流。另外，如圖2所示，在架子部2的側(cè)面上設(shè)有將來自上方的下降流中的、未流到載 置部6的清潔空氣引導(dǎo)到上述排氣窗40的整流板48 (第一整流板)。另外，流下到架子部2下方的清潔空氣除了從上述排氣窗40排出之外，還被抽吸 到圍著升降機構(gòu)3的外殼46內(nèi)。S卩，上述外殼46經(jīng)由排氣管47連接于上述排氣裝置30， 特別是在架子部2下降時(下方空間壓縮時)強制地抽吸僅利用自排氣窗40的排氣無法 完全排出的卷起空氣，利用排氣裝置30將該部分卷起空氣排出到外部。利用該構(gòu)造，能夠 使自升降機構(gòu)3產(chǎn)生的灰塵不會因空氣的卷起而流動到架子部2。如上所述，采用本發(fā)明的實施方式，通過設(shè)置排氣裝置30，在殼體1內(nèi)，清潔空氣 從架子部2的一側(cè)面?zhèn)葟娭频乇粚?dǎo)入，向一個方向流動而被排出。并且，用于高效率地排出 未吸入到架子部2內(nèi)而流到架子部2下方的清潔空氣的排氣窗40，以其開口面積可自由改 變的方式設(shè)置在殼體1的下部側(cè)面上。利用該構(gòu)造，在架子部2內(nèi)，清潔空氣在通過軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)14之后不會逆流而 必定被排出到外部。另外，在殼體1內(nèi)，上部空間始終相對于下部空間為正壓，能夠抑制在下部空間中 發(fā)生卷起。特別是，通過根據(jù)架子部2的升降移動來改變設(shè)置在上述殼體1的下部側(cè)面上 的排氣窗40的開口面積，能夠在殼體1內(nèi)形成穩(wěn)定的下降流。因而，在殼體1內(nèi)抑制空氣產(chǎn)生逆流、卷起，能夠防止自電動機等驅(qū)動系統(tǒng)產(chǎn)生的 灰塵流入到架子部2 (載置部6)中。另外，在上述實施方式中，作為檢測殼體1內(nèi)的氣壓的氣壓檢測部件，設(shè)置有用于 檢測上部空間的氣壓的氣壓傳感器Si、以及用于檢測下部空間的氣壓的氣壓傳感器S2，在 它們檢測到的氣壓值大于規(guī)定值的情況，或者它們的檢測結(jié)果的差大于規(guī)定值的情況下， 對排氣窗40的開閉板41a 41d的開閉進行控制。但是，本發(fā)明并不限于該構(gòu)造，也可以 在殼體1內(nèi)的上部空間或下部空間中的任一個設(shè)置氣壓傳感器作為氣壓檢測部件，在氣壓 傳感器檢測到的氣壓值大于規(guī)定值的情況下，對排氣窗40的開閉板41a 41d的開閉進行 控制。另外，在上述實施方式中，根據(jù)氣壓傳感器S1、S2的檢測結(jié)果，控制部43對開閉板41a 41d的開閉進行控制，更優(yōu)選控制部43控制排氣裝置30的排氣輸出。
但是，本發(fā)明并不限于此，也可以根據(jù)氣壓傳感器Si、S2的檢測結(jié)果，利用控制部 43至少控制開閉板41a 41d的開閉控制和排氣裝置30的排氣輸出中的任一個。
另外，在上述實施方式中，表示將本發(fā)明應(yīng)用于多層式的升降機緩沖裝置的例子， 但本發(fā)明并不限于該方式。例如，也可以不是多層式，也可以是一層的基板緩沖裝置，而且， 也能夠應(yīng)用于不采用架子部2的升降機構(gòu)3而利用機械手等搬出或搬入多個基板的緩沖裝 置。
權(quán)利要求
一種基板緩沖單元，其用于對在基板輸送路徑中輸送的基板進行臨時收容，使該基板自上述基板輸送路徑退避，其特征在于，包括箱狀的殼體，其上表面開放；載置部，其用于載置從上述基板輸送路徑被搬入到上述殼體內(nèi)的基板；箱狀的架子部，其被設(shè)置成能夠?qū)⑸鲜鲚d置部移動到從上述基板輸送路徑離開的規(guī)定位置；空氣導(dǎo)入口，其設(shè)置在上述架子部的一側(cè)面上，用于向上述載置部導(dǎo)入清潔空氣；排氣部件，其連接于上述架子部，用于抽吸該架子部內(nèi)的空氣而將該空氣排出到上述殼體外；排氣窗，其設(shè)置在上述殼體側(cè)面的比上述架子部靠下方的位置上，用于對該殼體內(nèi)的氣氛進行排氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板緩沖單元，其特征在于，利用各自開閉自由地設(shè)置的多個開閉構(gòu)件，使上述排氣窗的開口面積可多級地改變。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板緩沖單元，其特征在于，上述基板緩沖單元包括用于檢測上述殼體內(nèi)的上部空間和下部空間的氣壓或者上述 殼體內(nèi)的上部空間和下部空間中的任一個的氣壓的氣壓檢測部件、能夠針對每個上述開閉 構(gòu)件進行開閉驅(qū)動的開閉驅(qū)動部件、以及至少控制上述開閉驅(qū)動部件和上述排氣部件中的 任一個的控制部件；上述控制部件根據(jù)上述氣壓檢測部件的檢測結(jié)果與規(guī)定的氣壓值的比較結(jié)果，至少決 定上述排氣窗的開口面積和上述排氣部件的排氣輸出中的任一個，至少控制上述開閉驅(qū)動 部件和上述排氣部件中的任一個。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的基板緩沖單元，其特征在于，在上述箱狀架子部的側(cè)面上設(shè)有第一整流板，該第一整流板用于將在該架子部的側(cè)方 流下的清潔空氣引導(dǎo)到上述排氣窗。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的基板緩沖單元，其特征在于，在上述箱狀架子部的上表面上設(shè)有第二整流板，該第二整流板用于將從上方流下的清 潔空氣引導(dǎo)到該架子部的側(cè)方。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板緩沖單元。該基板緩沖單元使向一個方向輸送的基板臨時退避，能夠高效率地以空氣清洗緩沖空間。該基板緩沖單元將在基板輸送路徑中輸送的基板臨時收容，使基板自上述基板輸送路徑退避，其中，包括箱狀的殼體，其上表面開放；載置部，其用于載置從上述基板輸送路徑被搬入到上述殼體內(nèi)的基板；箱狀的架子部，其被設(shè)置成能夠?qū)⑸鲜鲚d置部移動到從上述基板輸送路徑離開的規(guī)定位置；空氣導(dǎo)入口，其設(shè)置在上述架子部的一側(cè)面上，用于向上述載置部導(dǎo)入清潔空氣；排氣部件，其連接于上述架子部，用于抽吸該架子部內(nèi)的空氣而將該空氣排出到上述殼體外；排氣窗，其設(shè)置在上述殼體側(cè)面的比上述架子部靠下方的位置上，用于對該殼體內(nèi)的氣氛進行排氣。
文檔編號H01L21/00GK101826448SQ20101012301
公開日2010年9月8日 申請日期2010年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月6日
發(fā)明者宮原昭德 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社