專利名稱：磁頭懸浮組件、硬盤裝置、及其制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及磁頭懸浮組件的制造方法、硬盤裝置的制造方法、磁頭懸浮組件、和硬
舟te晉 InL 且 O
背景技術：
近年來，隨著硬盤裝置逐漸高密度大容量化，作為尋軌的高精度定位機構的薄膜 壓電致動器的必要性正在變高。通過在由磁頭滑塊和搭載磁頭滑塊的懸架構成的磁頭懸浮 組件上設置薄膜壓電致動器，能夠用該薄膜壓電致動器使磁頭滑塊進行微細的移位。由此 得到能夠高精度地控制磁頭滑塊的位置的磁頭懸浮組件。日本特開2004-281651號公報 中，記載了這樣的薄膜壓電致動器的例子。日本特開2004-281651號公報中記載的薄膜壓電致動器，由在基板的表面上以鏡 面對稱形狀配置的一對壓電元件單元1、2構成。壓電元件單元1由層疊的薄膜狀的2個壓 電元件4、5即2層壓電體層構成。壓電元件單元2也具有同樣的結構。將這樣具備一對壓 電元件單元(壓電疊層體)的薄膜壓電致動器設置在磁頭懸浮組件上時，通過使一對壓電 元件單元例如分別逆相地伸縮，能夠使磁頭滑塊較大地移位。

發(fā)明內(nèi)容
日本特開2004-281651號公報中記載的薄膜壓電致動器的一對壓電元件單元(壓 電疊層體)，因為如上所述分別具有2層壓電體層，所以具有結構復雜、量產(chǎn)性低、制造成本 高的缺點。與此相對，如果用分別具有單層壓電體層的一對壓電疊層體構成薄膜壓電致動 器，則這樣的缺點會得到改善。但是，用分別具有單層壓電體層的一對壓電疊層體構成的薄膜壓電致動器(以下 也稱為“單層型薄膜壓電致動器”)，在固定在懸架上時等施加應力的話，因壓電體中極化產(chǎn) 生的正壓電效應而在壓電體層內(nèi)產(chǎn)生電場。通過因該機械應力產(chǎn)生的電場(極化)，壓電體 層的自發(fā)極化的方向有時會偏移或反轉，由此薄膜壓電致動器的特性有時會降低。用分別具有2層壓電體層的一對壓電疊層體構成的薄膜壓電致動器(2層型薄膜 壓電致動器)的情況下，如上所述的壓電極化的方向偏移或反轉的缺陷，有時不會成為較 大的問題。這是因為，2層型薄膜壓電致動器，與單層型薄膜壓電致動器相比在結構上具有 剛性，所以在壓電體層內(nèi)難以產(chǎn)生正壓電效果引起的極化，并且即使因正壓電效應引起的 離子位移而在層疊的上下壓電體層內(nèi)分別產(chǎn)生電荷，也能夠對上下壓電體層相互接線以使 該電荷抵消。而在單層型薄膜壓電致動器中，如上所述的壓電極化方向偏移或反轉的缺陷 引起的薄膜致動器的特性降低，會成為較大的問題。本發(fā)明鑒于這樣的課題而做出，目的在于提供一種具備能夠抑制因壓電極化的方 向偏移或反轉而引起的特性降低的單層型薄膜壓電致動器的磁頭懸浮組件的制造方法、和 具備這樣的磁頭懸浮組件的硬盤裝置的制造方法、以及具備能夠抑制因壓電極化的方向偏 移或反轉而引起的特性降低的單層型薄膜壓電致動器的磁頭懸浮組件、和具備這樣的磁頭懸浮組件的硬盤裝置。 為了解決上述課題，本發(fā)明的磁頭懸浮組件的制造方法，是一種磁頭懸浮組件的 制造方法，上述磁頭懸浮組件包括具有對磁記錄介質進行記錄和再現(xiàn)中至少一者的薄膜 磁頭的磁頭滑塊、搭載磁頭滑塊的懸架、和使磁頭滑塊相對于懸架相對移位的薄膜壓電致 動器，制造方法包括準備薄膜壓電致動器的工序，薄膜壓電致動器包括具有第一電極 層、第二電極層、和在第一電極層與第二電極層之間設置的第一壓電體層的第一壓電疊層 體，和具有第三電極層、第四電極層、和在第三電極層與第四電極層之間設置的第二壓電體 層的第二壓電疊層體，第一壓電體層具有第一極化矢量，該第一極化矢量具有從第一電極 層朝向第二電極層的方向的成分，第一壓電疊層體不具有第一壓電體層以外的壓電體層， 第二壓電體層具有第二極化矢量，該第二極化矢量具有從第三電極層朝向第四電極層的方 向的成分，第二壓電疊層體不具有第二壓電體層以外的壓電體層，第一壓電疊層體和第二 壓電疊層體不是以在其厚度方向上疊層的方式一體形成的，第一電極層、第二電極層、第三 電極層和第四電極層相互非導通；準備懸架的懸架準備工序，上述懸架包括用于與第一 電極層、第二電極層、第三電極層和第四電極層分別電連接的第一電極部、第二電極部、第 三電極部和第四電極部，和設置第一壓電疊層體的第一區(qū)域和設置第二壓電疊層體的第二 區(qū)域構成的薄膜壓電致動器搭載區(qū)域；固定工序，將薄膜壓電致動器固定在懸架的薄膜壓 電致動器搭載區(qū)域；電連接工序，將第一電極層、第二電極層、第三電極層和第四電極層分 別與第一電極部、第二電極部、第三電極部和第四電極部電連接；第一再極化處理工序，在 固定工序后，對第一電極層與第二電極層之間施加電壓，使得在第一壓電體層內(nèi)產(chǎn)生從第 一電極層朝向第二電極層的方向的電場、且在第二壓電體層內(nèi)不產(chǎn)生與從第三電極層朝向 第四電極層的方向相反的方向的電場，由此對第一壓電體層進行再極化處理；第二再極化 處理工序，在固定工序后，對第三電極層與第四電極層之間施加電壓，使得在第二壓電體層 內(nèi)產(chǎn)生從第三電極層朝向第四電極層的方向的電場、且在第一壓電體層內(nèi)不產(chǎn)生與從第一 電極層朝向第二電極層的方向相反的方向的電場，由此對第二壓電體層進行再極化處理； 和將磁頭滑塊固定在懸架上的工序。根據(jù)本發(fā)明的磁頭懸浮組件的制造方法，可以得到具備由分別具有單層壓電體層 的一對壓電疊層體構成的薄膜壓電致動器、即單層型的薄膜壓電致動器的磁頭懸浮組件。 進而，根據(jù)本發(fā)明的磁頭懸浮組件的制造方法，在將薄膜壓電致動器固定在懸架上后，對第 一壓電體層和第二壓電體層分別進行再極化處理。由此，即使在將薄膜壓電致動器固定在 懸架上時，對薄膜壓電致動器施加應力，因正壓電效應而在第一壓電體層和第二壓電體層 內(nèi)產(chǎn)生電場，因該電場而使第一壓電體層和第二壓電體層的壓電極化方向偏移或反轉，也 能夠使第一壓電體層和第二壓電體的壓電極化方向恢復或接近原來的狀態(tài)。結果，能夠抑 制因壓電極化的方向偏移或反轉而引起的薄膜壓電致動器的特性降低。另外，本發(fā)明的磁頭懸浮組件的制造方法，優(yōu)選懸架準備工序中準備的懸架的第 一電極部、第二電極部、第三電極部和第四電極部相互非導通；還具有電極部間連接工序， 將第一電極部與第三電極部和第四電極部的一方電連接，且將第二電極部與第三電極部和 第四電極部的另一方電連接。由此，在使薄膜壓電致動器動作時，僅在2處施加電壓，就能夠對第一電極部、第 二電極部、第三電極部和第四電極部都施加電壓。結果，應用在硬盤裝置上時，可以得到能夠簡化電路結構的磁頭懸浮組件。另外，本發(fā)明的磁頭懸浮組件的制造方法中，優(yōu)選電極部間連接工序在第一再極 化處理工序和第二再極化處理工序之后進行；電極部間連接工序中，將第一電極部與第四 電極部電連接，且將第二電極部與第三電極部電連接。由此，能夠以第一壓電體層和第二壓電體層相互逆相地伸縮的方式、具體而言以 第一壓電體層在其厚度方向上拉伸時(即第一壓電體層在其面內(nèi)方向上收縮時)、第二壓 電體層在其厚度方向上收縮(即第二壓電體層在其面內(nèi)方向上拉伸)的方式，使薄膜壓電 致動器動作。由此，能夠增大磁頭滑塊的位移范圍。另外，本發(fā)明的磁頭懸浮組件的制造方法中，優(yōu)選在懸架準備工序中準備的上述 懸架，還包括與第一電極部、第四電極部雙方相鄰且電絕緣的第一導電部件，和與第二電 極部、第三電極部雙方相鄰且電絕緣的第二導電部件；電連接工序在第一再極化處理工序 和第二再極化處理工序之后進行；電極部間連接工序中的第一電極部與第四電極部的電連 接、和第二電極部與第三電極部的電連接，通過在電連接工序中進一步將第一電極部和第 四電極部與第一導電部件電連接、且將第二電極部和第三電極部與第二導電部件電連接而 實現(xiàn)。由此，因為能夠在電連接工序中也進行電極部間連接工序，所以制造工序得以簡 化。本發(fā)明的硬盤裝置的制造方法，包括用上述任意一種方法制造磁頭懸浮組件的 工序；和電源連接工序，將第一電極部、第二電極部、第三電極部和第四電極部分別與電源 電連接。根據(jù)本發(fā)明的硬盤裝置的制造方法，能夠抑制將薄膜壓電致動器固定在懸架上時 因第一壓電體和第二壓電體的壓電極化方向偏移或反轉引起的薄膜壓電致動器的特性降 低。另外，本發(fā)明的硬盤裝置的制造方法，優(yōu)選在電源連接工序中，以能夠使第一壓電 體層和第二壓電體層相互逆相伸縮的方式，將第一電極部、第二電極部、第三電極部和第四 電極部分別與電源電連接。由此，能夠以第一壓電體層和第二壓電體層相互逆相地伸縮的方式使薄膜壓電致 動器動作。結果，能夠增大薄膜壓電致動器引起的磁頭滑塊的位移范圍。本發(fā)明的磁頭懸浮組件，包括具有對磁記錄介質進行記錄和再現(xiàn)中至少一者的薄膜磁頭的磁頭滑塊、搭載磁頭滑塊的懸架、和使磁頭滑塊相對于懸架相對移位的薄膜壓 電致動器，薄膜壓電致動器包括具有第一電極層、第二電極層、和在第一電極層與第二電 極層之間設置的第一壓電體層的第一壓電疊層體；和具有第三電極層、第四電極層、和在第 三電極層與第四電極層之間設置的第二壓電體層的第二壓電疊層體，第一壓電體層具有第 一極化矢量，該第一極化矢量具有從第一電極層朝向第二電極層的方向的成分，第一壓電 疊層體不具有第一壓電體層以外的壓電體層，第二壓電體層具有第二極化矢量，該第二極 化矢量具有從第三電極層朝向第四電極層的方向的成分，第二壓電疊層體不具有第二壓電 體層以外的壓電體層，第一壓電疊層體和第二壓電疊層體不是以在其厚度方向上層疊的方 式一體形成的，第一電極層、第二電極層、第三電極層和第四電極層相互非導通，懸架包括 用于與第一電極層、第二電極層、第三電極層和第四電極層分別電連接的第一電極部、第二電極部、第三電極部和第四電極部；和由設置第一壓電疊層體的第一區(qū)域和設置第二壓電 疊層體的第二區(qū)域構成的薄膜壓電致動器搭載區(qū)域，第一電極部、第二電極部、第三電極部 和第四電極部相互非導通，薄膜致動器固定在懸架的薄膜壓電致動器搭載區(qū)域。本發(fā)明的磁頭懸浮組件，是具備由分別具有單層壓電體層的一對壓電疊層體構成 的薄膜壓電致動器、即單層型的薄膜壓電致動器的磁頭懸浮組件。進而，本發(fā)明的磁頭懸浮 組件中，第一電極層、第二電極層、第三電極層和第四電極層相互非導通，且第一電極部、第 二電極部、第三電極部和第四電極部相互非導通。由此，根據(jù)本發(fā)明的磁頭懸浮組件，即使 在將薄膜壓電致動器固定在懸架上時等對薄膜壓電致動器施加應力，因正壓電效應而在第 一壓電體層和第二壓電體層內(nèi)產(chǎn)生電場，因該電場而使第一壓電體層和第二壓電體層的壓 電極化方向偏移或反轉，也能夠通過對第一電極層與第二電極層之間施加電壓使得第一壓 電體層內(nèi)產(chǎn)生從第一電極層朝向第二電極層的方向的電場，使第一壓電層的壓電極化方向 恢復或接近原來的狀態(tài)，且能夠通過對第三電極層與第四電極層之間施加電壓使得第二壓 電體層內(nèi)產(chǎn)生從第三電極層朝向第四電極層的方向的電場，使第二壓電體層的壓電極化方 向恢復或接近原來的狀態(tài)。結果，能夠抑制因壓電極化方向偏移或反轉而引起的薄膜壓電 致動器的特性降低。
本發(fā)明的硬盤裝置，包括上述磁頭懸浮組件；與第一電極部、第二電極部、第三 電極部和第四電極部分別電連接的薄膜壓電致動器驅動用電源。根據(jù)本發(fā)明的硬盤裝置，能夠抑制如上所述的因壓電極化方向偏移或反轉而引起 的薄膜壓電致動器的特性降低。本發(fā)明的硬盤裝置，優(yōu)選以能夠使第一壓電體層和第二壓電體層相互逆相地伸縮 的方式，將薄膜壓電致動器驅動用電源與第一電極部、第二電極部、第三電極部和第四電極 部分別電連接。由此，能夠以第一壓電體層和第二壓電體層相互逆相地伸縮的方式使薄膜壓電致 動器動作。結果，能夠增大磁頭滑塊的位移范圍。本發(fā)明的硬盤裝置，優(yōu)選還包括用于對第一壓電體層和第二壓電體層進行再極 化處理的再極化處理電源；從第一電極部、第二電極部、第三電極部和第四電極部分別與薄 膜壓電致動器驅動用電源電連接的第一狀態(tài)，可逆地切換到第一電極部、第二電極部、第三 電極部和第四電極部分別與再極化處理電源電連接的第二狀態(tài)的切換器。由此，即使因硬盤裝置使用中的極化疲勞等原因而使第一壓電體層和第二壓電體 層的極化方向偏移或反轉，也能夠用再極化處理電源，對第一壓電體層和第二壓電體層進 行再極化，使其極化方向恢復原來的狀態(tài)，或者接近原來的狀態(tài)。結果，即使因硬盤裝置使 用中的極化疲勞等原因而使薄膜壓電致動器的特性降低，也能夠容易地使其特性恢復。根據(jù)本發(fā)明，可提供一種具備能夠抑制因壓電極化的方向偏移或反轉而引起的特 性降低的單層型的薄膜壓電致動器的磁頭懸浮組件的制造方法，和具備這樣的磁頭懸浮組件 的硬盤裝置的制造方法，以及具備能夠抑制因壓電極化的方向偏移或反轉而引起的特性降低 的單層型的薄膜壓電致動器的磁頭懸浮組件，和具備這樣的磁頭懸浮組件的硬盤裝置。


圖1是具備第一實施方式的HGA的硬盤裝置的示意圖。
圖2是圖1的HGA的放大立體圖。圖3是圖2的HGA的立體分解圖。圖4是沿圖3的IV-IV線的薄膜壓電致動器的截面圖。圖5是表示第一實施方式的HGA的制造方法和硬盤裝置的制造方法的流程圖。圖6是用于說明固定工序的立體圖。圖7是剛完成固定工序的薄膜壓電致動器的截面圖。圖8是用于說明電連接工序的電配線圖。圖9是用于說明第一再極化處理工序和第二再極化處理工序的電配線圖。圖10是用于說明電源連接工序的電配線圖。圖11是用于說明電源連接工序的電配線圖。圖12是表示第二實施方式的HGA的制造方法和硬盤裝置的制造方法的流程圖。圖13是用于說明電極部間連接工序的電配線圖。圖14是剛完成第二再極化處理工序的彎曲部的部分放大平面圖。圖15是用于說明電極部間連接工序的彎曲部的部分放大平面圖。圖16是用于說明第二實施方式的電源連接工序的電配線圖。圖17是用第二實施方式制造的HGA和用第二實施方式制造的硬盤裝置的示意圖。
具體實施例方式以下參照附圖詳細說明實施方式的磁頭懸浮組件(HGA)、硬盤裝置、及其制造方 法。其中，各附圖中，在可能的情況下對于相同的要素使用相同的附圖標記。此外，附圖中 的結構要素內(nèi)和結構要素之間的尺寸比例，為了附圖易于觀看而分別設為任意的。(第一實施方式)對第一實施方式的HGA和硬盤裝置進行說明。圖1是具備本實施方式的HGA的硬 盤裝置的示意圖。硬盤裝置1使HGAlO工作，在高速旋轉的作為磁記錄介質的硬盤5的記 錄面上，通過磁頭滑塊50的薄膜磁頭記錄和再現(xiàn)磁信息。硬盤裝置1，在殼體3內(nèi)，具備硬盤5、對其記錄和再現(xiàn)磁信息的HGAlO、進行HGAlO 對硬盤5記錄再現(xiàn)磁信息的控制等的控制部7、用于使薄膜磁頭預先從硬盤5上退避的坡道 機構9。硬盤5由馬達使之旋轉。HGAlO能夠通過音圈馬達(VCM) 21繞支軸23旋轉運動， 具有與硬盤5對應地安裝的磁頭滑塊50?？刂撇?具有用于驅動后述的薄膜壓電致動器的電源部11，和用于變更薄膜壓電 致動器與電源部11的電連接關系的切換部15。接著，詳細說明HGAlO的結構。圖2是圖1的HGA的放大立體圖，圖3是圖2的HGA的立體分解圖。如圖2和圖3所示，HGAlO具有懸架臂20和彎曲部30構成的懸架22、 在彎曲部30上設置的薄膜壓電致動器40、在懸架22上搭載的磁頭滑塊50。薄膜壓電致動 器40使磁頭滑塊50相對于懸架臂20相對移位，因HGAlO具有薄膜壓電致動器40，HGAlO 能夠使薄膜磁頭51以2個階段進行變動。即，薄膜磁頭51的比較大的移動通過VCM21對 懸架22整體的驅動來控制，微小的移動通過薄膜壓電致動器40對磁頭滑塊50的驅動來控 制。
懸架臂20由金屬構成。在懸架臂20的前端，形成有用于在磁頭滑塊50退避至坡 道機構9時將其架上斜坡的引板26。彎曲部30，如圖3所示，由例如由聚酰亞胺樹脂等樹脂形成的具有可撓性的配線 基板37、和例如由不銹鋼等金屬形成并局部貼合在配線基板37的底面的支撐板34構成。 彎曲部30通過激光點焊等被接合在懸架臂20上。配線基板37具有薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36和磁頭滑塊搭載區(qū)域38。薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36，具有與薄膜壓電致動器40的形狀對應的形狀。具體而言，薄膜壓電致 動器搭載區(qū)域36，具有前端側的區(qū)域即搭載薄膜壓電致動器40的第一區(qū)域36a、第二區(qū)域 36b，和后端側的區(qū)域即形成有薄膜壓電致動器40用的第一電極凸起39a(第一電極部)、第 二電極凸起39b (第二電極部)、第三電極凸起39c (第三電極部)、第四電極凸起39d(第四 電極部)、用于磁頭滑塊50的記錄用電極和再現(xiàn)用電極等的電極凸起(未圖示)的電極凸 起區(qū)域36c。第一區(qū)域36a和第二區(qū)域36b，以沿從彎曲部30的基端側朝向前端側的直線 的方向為長度方向，以夾著該直線的方式分別形成。此外，第一區(qū)域36a和第二區(qū)域36b，在 與該直線正交的方向上隔開距離。磁頭滑塊搭載區(qū)域38是設置在比薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36的第一區(qū)域36a和 第二區(qū)域36b更靠近彎曲部30的前端側的區(qū)域。在磁頭滑塊搭載區(qū)域38，設置有與磁頭滑 塊50的記錄用凸起和再現(xiàn)用凸起分別連接的記錄用電極(未圖示)和再現(xiàn)用電極(未圖 示)。該記錄用電極和再現(xiàn)用電極，用焊料球接合(solder-ball bonding)等方法，通過在 配線基板37上形成的多個配線，與對應的電極凸起區(qū)域36c上的電極凸起電連接。在彎曲部30，在薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36的從第一區(qū)域36a的前端部至第二 區(qū)域36b的前端部的區(qū)域上設置有與磁頭滑塊搭載區(qū)域38隔開距離地配置的位移傳遞板 33。在位移傳遞板33上，搭載磁頭滑塊50的后端部。位移傳遞板33通過與從薄膜壓電致 動器搭載區(qū)域36的電極凸起區(qū)域36c上貼合的支撐板34沿第一區(qū)域36a和第二區(qū)域36b 的外部邊緣延伸的曲線狀的翼部35連接，而與支撐板34 —體化。在薄膜壓電致動器搭載 區(qū)域36搭載薄膜壓電致動器40、在磁頭滑塊搭載區(qū)域38和位移傳遞板33上搭載磁頭滑塊 50時，位移傳遞板33的上表面與磁頭滑塊50的下表面相對，位移傳遞板33的下表面與薄 膜壓電致動器40的上表面相對。此外，位移傳遞板33具有在薄膜壓電致動器40動作時將 薄膜壓電致動器40的位移傳遞到磁頭滑塊50的功能。其中，位移傳遞板33和翼部35，與 支撐板34同樣由例如不銹鋼等金屬構成。接著，參照圖3和圖4，說明薄膜壓電致動器40的詳細情況。圖4是沿圖3的IV-IV 線的薄膜壓電致動器的截面圖。如圖3所示，薄膜壓電致動器40，具有相互分離的第一壓電疊層體41和第二壓電 疊層體42。第一壓電疊層體41搭載在薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36的第一區(qū)域36a中，第 二壓電疊層體42搭載在薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36的第二區(qū)域36b中。因此，第一壓電 疊層體41和第二壓電疊層體42，在分別搭載在薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36中的狀態(tài)下，以 沿著從彎曲部30的基端側朝向前端側的直線的方向為長度方向，相互在與該直線正交的 方向即與各自的疊層方向正交的方向上隔開距離。此外，第一壓電疊層體41和第二壓電疊層體42，在薄膜壓電致動器40的基端區(qū)域 40R以外的區(qū)域中，各自相互對置的內(nèi)側的邊相互隔開距離地平行延伸，各自的寬度從基端區(qū)域40R向前端側逐漸變窄。其中，第一壓電疊層體41和第二壓電疊層體42，也可以在例如薄膜壓電致動器40的基端區(qū)域40R中相互連接。在第一壓電疊層體41的基端區(qū)域40R中，設置有施加驅動電壓的電極41E1、41E2， 在第二壓電疊層體42的基端區(qū)域40R中，設置有施加驅動電壓的電極42E1、42E2。薄膜壓 電致動器40的第一壓電疊層體41和第二壓電疊層體42，利用例如紫外線硬化型樹脂等粘 合劑，分別固定在彎曲部30的薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36的第一區(qū)域36a和第二區(qū)域36b 中。電極41E1、41E2、42E1、42E2，分別與第一電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸 起39c、第四電極凸起39d電連接。如圖4所示，第一壓電疊層體41，是第一電極層411、第一壓電體層413和第二電 極層412按順序層疊而成的。同樣的，第二壓電疊層體42，是第三電極層421、第二壓電體 層423和第四電極層422按順序疊層而成的。第一電極層411、第二電極層412、第三電極 層421和第四電極層，分別由導電性材料構成，例如用鉬(Pt)、鉻(Cr)、銅(Cu)、鎳(Ni)、金 (Au)、鈀(Pd)等金屬、包含這些金屬的至少一種的合金、或者SrRuO3等導電性陶瓷等構成。 第一電極層411、第二電極層412、第三電極層421和第四電極層的厚度沒有特別限制，能夠 為例如0. Olym 2μπ 。第一壓電體層413和第二壓電體層423，分別由壓電材料構成，例如由鋯鈦酸鉛 (Pb(Zr-Ti)O3)等強電介材料構成。第一壓電體層413和第二壓電體層423的厚度沒有不 特別限制，能夠為例如0. 1 μ m 10 μ m。第一壓電體層413，具有從第一電極層411朝向第二電極層412的方向、具體而言 為在第一壓電體層的厚度方向上從第一電極層411朝向第二電極層412的方向的第一極化 矢量41V。本實施方式中，第一壓電體層413的第一極化矢量41V，與第一壓電體層413的 厚度方向平行，但第一壓電體層413的第一極化矢量41V，只要具有第一壓電體層413的厚 度方向的成分，則也可以不與第一壓電體層413的厚度方向平行。第二壓電體層423也是同樣的。即，第二壓電體層423，具有從第三電極層421朝 向第四電極層422的方向、具體而言為在第二壓電體層的厚度方向上從第三電極層421朝 向第四電極層422的方向的第二極化矢量42V。本實施方式中，第二壓電體層423的第二極 化矢量42V，與第二壓電體層423的厚度方向平行，但是第二壓電體層423的第二極化矢量 42V，只要具有第二壓電體層423的厚度方向的成分，則也可以不與第二壓電體層423的厚 度方向平行。此外，本實施方式中，第一極化矢量41V與第二極化矢量42V平行。其中，第一壓電體層413和第二壓電體層423，也可以由多個極化區(qū)域構成。該情 況下，第一壓電體層413的第一極化矢量41V，是將第一壓電體層413的各極化區(qū)域的極化 矢量合成而得到的，第二壓電體層423的第二極化矢量42V，是將第二壓電體層423的各極 化區(qū)域的極化矢量合成而得到的。電極41E1、41E2、42E1、42E2，分別通過接觸孔等，與第一電極層411、第二電極層 412、第三電極層421、第四電極層422電連接。然后，如后詳細所述，電極凸起39a、第二電 極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電極凸起39d，分別通過切換器15，與用于驅動薄膜壓 電致動器40的電源部11電連接(參照圖1)。接著，說明本實施方式的HGA的制造方法和硬盤裝置的制造方法。圖5是表示本實施方式的HGA的制造方法和硬盤裝置的制造方法的流程圖。
如圖5的流程圖100所示，本實施方式的硬盤裝置的制造方法，主要具有HGA制造 工序S100H，和將電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電極凸起39d與 電源電連接的電源連接工序S 115。此外，HGA制造工序中，主要能夠進行準備薄膜壓電致 動器40的致動器準備工序S101，準備懸架22的懸架準備工序S103，將薄膜壓電致動器40 固定在懸架22上的固定工序S105，將第一 第四電極層411、412、421、422分別與電極凸起 39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電極凸起39d電連接的電連接工序S107，對 第一壓電體層413進行再極化處理的第一再極化處理工序S109，對第二壓電體層423進行 再極化處理的第二再極化處理工序S111，將磁頭滑塊固定在懸架上的固定工序S113。
(致動器準備工序和懸架準備工序)致動器準備工序SlOl和懸架準備工序S103中，分別準備如上所述的致動器40和 懸架22 (參照圖1、圖2和圖3)。
(固定工序)圖6是用于說明固定工序的立體圖。如圖6所示，固定工序S105中，將薄膜壓電 致動器40的第一壓電疊層體41固定在薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36的第一區(qū)域36a(參照 圖3)中，將薄膜壓電致動器40的第二壓電疊層體42用粘合劑等固定在薄膜壓電致動器搭 載區(qū)域36的第二區(qū)域36b (參照圖3)中，由此將薄膜壓電致動器40固定在懸架22上。圖7是剛完成固定工序的薄膜壓電致動器的截面圖。將薄膜壓電致動器40固定 在懸架22上時，可能會對薄膜壓電致動器40的第一壓電體層413和第二壓電體層423施 加應力。由此，在第一壓電體層413和第二壓電體層423內(nèi)因正壓電效應而產(chǎn)生電場。產(chǎn) 生這樣的電場時，第一壓電體層413和第二壓電體層423的壓電極化的方向可能偏移或反 轉。即，用粘合劑等將薄膜壓電致動器40固定在懸架22上時，第一壓電體層413和第二壓 電體層423中會發(fā)生變形。因該變形而使第一壓電體層413和第二壓電體層423的晶體內(nèi) 的離子位移的方向變化，會對進行了取向的第一壓電體層413和第二壓電體層423的自發(fā) 極化造成影響。結果，第一極化矢量41V和第二極化矢量42V的方向和大小會變化。該變化的大 小，依賴于對第一壓電體層413和第二壓電體層423施加的應力的大小、以及膜剛性和自發(fā) 極化的大小等第一壓電體層413和第二壓電體層423的特性。圖7中，表示了第一極化矢 量41V反轉、第二極化矢量42V的大小減小的例子。當?shù)谝粯O化矢量41V和第二極化矢量 42V這樣變化之后，薄膜壓電致動器40不能以所希望的方式動作，所以薄膜壓電致動器40 的特性有時會降低。(電連接工序)圖8是用于說明電連接工序的電配線圖。如圖8所示，電連接工序S107中，將第 一壓電疊層體41的電極41E1、41E2和第二壓電疊層體42的電極42E1、42E2分別與懸架22 的第一電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電極凸起39d電連接。該 電連接例如能夠通過焊料球接合進行。本實施方式的HGAlO中，電極41E1、41E2、42E1、42E2 相互非導通，電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電極凸起39d也相互 非導通，所以第一電極層411、第二電極層412、第三電極層421、第四電極層422也相互非導(第一再極化處理工序和第二再極化處理工序)
圖9是用于說明第一再極化處理工序和第二再極化處理工序的電配線圖。如圖9 所示，第一再極化處理工序S109和第二再極化處理工序Slll中，用電源61對第一壓電體 層413和第二壓電體層423進行再極化處理。具體而言，將電源61的正極與第一電極凸起 39a和第三電極凸起39c電連接，并且將電源61的負極與第二電極凸起39b和第四電極凸 起39d電連接。由此，在第一壓電體層413內(nèi)產(chǎn)生從第一電極層411朝向第二電極層412的方向 的電場41E，第一極化矢量41V恢復或接近進行固定工序S105前的狀態(tài)。如此，對第一壓 電體層413進行再極化處理。從有效地進行第一壓電體層413的再極化處理的觀點出發(fā)， 優(yōu)選電場41E的大小大于構成第一壓電體層413的材料的矯頑場。此外，電場41E的大小， 根據(jù)對第一壓電體層413施加的應力的大小和第一壓電體層413 的離子位移的強度適當調(diào) 節(jié)。此外，對第一壓電體層413進行再極化處理時，因為本實施方式中第一電極層411、第二 電極層412、第三電極層421和第四電極層422相互非導通，所以在第二電極層423內(nèi)不會 產(chǎn)生與從第三電極層421朝向第四電極層422的方向相反方向的電場，所以不會使第二壓 電體層423的壓電極化方向進一步偏移或反轉。此外，在第一壓電體層413的再極化處理的同時，也對第二壓電體層423進行再極 化處理。即，在第二壓電體層423內(nèi)產(chǎn)生從第三電極層421朝向第四電極層422的方向的 電場42E，第二極化矢量42V恢復或接近進行固定工序S105前的狀態(tài)。如此，對第二壓電 體層423也進行再極化處理。從有效地進行第二壓電體層423的再極化處理的觀點出發(fā)， 優(yōu)選電場42E的大小大于構成第二壓電體層423的材料的矯頑場。此外，電場42E的大小， 根據(jù)對第二壓電體層423施加的應力的大小和第二壓電體層423的離子位移的強度適當調(diào) 節(jié)。此外，對第二壓電體層423進行再極化處理時，因為本實施方式中第一電極層411、第二 電極層412、第三電極層421和第四電極層422相互非導通，所以在第一壓電體層413內(nèi)不 會產(chǎn)生與從第一電極層411朝向第二電極層412的方向相反方向的電場，所以不會使第一 壓電體層413的壓電極化方向進一步偏移或反轉。如上所述，所謂再極化處理，就是通過對第一壓電體層413 (或第二壓電體層423) 施加電場41E (或電場42E)，使第一壓電體層413 (或第二壓電體層423)內(nèi)的離子位移恢復 或接近原來的狀態(tài)。通過進行這樣的再極化處理，使變形了的第一壓電體層413(或第二壓 電體層423)的形狀恢復或接近原來的形狀。其中，本實施方式中，同時進行第一再極化處理工序S109和第二再極化處理工序 S111，但也可以分別進行這些工序。此外，本實施方式中，第一再極化處理工序S109和第二 再極化處理工序Slll在電連接工序S107之后進行，但第一再極化處理工序S109和第二再 極化處理工序S111，也可以在電連接工序S107之前進行。該情況下，第一壓電體層413的 再極化處理，能夠通過將電源61的正極與電極41E1電連接、負極與電極41E2電連接而進 行，第二壓電體層423的再極化處理，能夠通過將電源61的正極與電極42E1電連接、負極 與電極42E2電連接而進行。經(jīng)過以上的工序，得到本實施方式的HGA10。(電源連接工序)圖10是用于說明電源連接工序的電配線圖。如圖10所示，電源連接工序S 115 中，通過切換器15將電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電極凸起39d分別與電源部11的薄膜壓電致動器驅動用電源IlEl電連接。電源部11具有薄膜壓電致動器驅動用電源11E1，再極化處理電源11E2，和與薄膜 壓電致動器驅動用電源IlEl連接的2個輸出端子lla、llb，和與再極化處理電源11E2連接 的2個輸出端子llc、lld。本實施方式中，再極化處理電源11E2為直流電源，其正極與輸出 端子Ilc連接、負極與輸出端子Ild連接。切換器15具有4個輸入端子15r、15s、15t、15u，和4個輸出端子15a、15b、15c、 15d。此外，在輸出端子15a上連接開關元件SW1，能夠通過開關元件SWl使輸出端子15a的 連接目標成為輸入端子15r和輸入端子15t的任一個。同樣的，在輸出端子15 b上連接開 關元件SW2，能夠通過開關元件SW2使輸出端子15b的連接目標成為輸入端子15s和輸入 端子15u的任一個，在輸出端子15c上連接開關元件SW3，能夠通過開關元件SW3使輸出端 子15c的連接目標成為輸入端子15s和輸入端子15t的任一個，在輸出端子15d上連接開 關元件SW4，能夠通過開關元件SW4使輸出端子15d的連接目標成為輸入端子15r和輸入端 子15u的任一個。切換器15具有使電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電極凸 起39d與電源部11的電連接關系在2個狀態(tài)之間可逆地切換的功能。圖10表示該電連接 關系為第一狀態(tài)的情況下的電配線圖。電連接關系為第一狀態(tài)時，輸出端子15a和輸出端 子15d分別與輸入端子15r連接，輸出端子15b和輸出端子15c分別與輸入端子15s連接。電源連接工序S115中，將電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第 四電極凸起39d分別與輸出端子15a、15b、15c、15d電連接，將輸入端子15r和輸入端子15s 分別與輸出端子Ila和輸出端子lib電連接，將輸入端子15t和輸入端子15u分別與輸出 端子Ilc和輸出端子Ild電連接。由此，將第一電極凸起39a和第四電極凸起39d與電源 部11的輸出端子Ila電連接，且將第二電極凸起39b和第三電極凸起39c與電源部11的 輸出端子lib電連接。該工序后，將HGAlO與殼體3、硬盤5、控制部7、坡道機構9等組合，由此完成如圖 1所示的本實施方式的硬盤裝置1。如圖10所示，在第一電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電 極凸起39d與電源部11的電連接關系為第一狀態(tài)的情況下，能夠通過薄膜壓電致動器驅動 用電源IlEl使第一壓電體層413和第二壓電體層423相互逆相地伸縮。例如，從薄膜壓電 致動器驅動用電源IlEl對輸出端子Ila和輸出端子lib施加電壓使得輸出端子Ila為正 電位、輸出端子lib為負電位時，對第一壓電體層413施加與第一極化矢量41V相同方向的 電壓，與此相對，對第二壓電體層423施加與第二極化矢量42V相反方向的電壓。因此，第 一壓電體層413在其厚度方向上拉伸(即在其面內(nèi)方向上收縮)，與此相對，第二壓電體層 423在其厚度方向上收縮(即在其面內(nèi)方向上拉伸)。此外，從薄膜壓電致動器驅動用電源IlEl對輸出端子Ila和輸出端子lib之間施 加電壓使得輸出端子Ila為負電位、輸出端子lib為正電位時，第一壓電體層413在其厚度 方向上收縮(即在其面內(nèi)方向上拉伸)，與此相對，第二壓電體層423在其厚度方向上拉伸 (即在其面內(nèi)方向上收縮)。像這樣使第一壓電體層413和第二壓電體層423伸縮時對輸 出端子Ila和輸出端子lib之間施加的電壓值的范圍，調(diào)節(jié)為在第一壓電體層413內(nèi)和第 二壓電體層423內(nèi)產(chǎn)生的電場的大小的最大值小于第一壓電體層413和第二壓電體層423的材料的矯頑場。第一壓電疊層體41和第二壓電疊層體42，在分別搭載在薄膜壓電致動器搭載區(qū)域36中的狀態(tài)下，以沿著從彎曲部30的基端側朝向前端側的直線的方向為長度方向(參 照圖3)，所以第一壓電疊層體41和第二壓電疊層體42，特別在各自的長度方向上較大地伸 縮。因此，例如從薄膜壓電致動器驅動用電源IlEl對輸出端子Ila和輸出端子lib之間施 加電壓使得輸出端子Ila為正電位、輸出端子lib為負電位時，第一壓電疊層體41在圖3 的箭頭Al的方向上尤為收縮，第二壓電疊層體42在圖3的箭頭A2的方向上尤為拉伸。此外，從薄膜壓電致動器驅動用電源IlEl對輸出端子Ila和輸出端子lib之間施 加電壓使得輸出端子Ila為負電位、輸出端子lib為正電位時，第一壓電疊層體41在與圖 3的箭頭Al的方向相反的方向上尤為拉伸，第二壓電疊層體42在與圖3的箭頭A2的方向 相反的方向上尤為收縮。這樣的第一壓電疊層體41和第二壓電疊層體42的位移，通過位移傳遞板33傳遞 到磁頭滑塊50。由此，能夠通過薄膜壓電致動器40使磁頭滑塊50在尋軌寬度方向上移位。 硬盤裝置1動作時，基于薄膜磁頭51從硬盤5讀取的位置信息，適當改變薄膜壓電致動器 驅動用電源IlEl對薄膜壓電致動器40施加的電壓的大小和極性，由此能夠將磁頭滑塊50 持續(xù)保持在適當?shù)奈恢蒙?。從薄膜壓電致動器驅動用電? IEl對薄膜壓電致動器40施加 的電壓信號的形狀，例如可以為極性隨時間變化的矩形狀。此外，本實施方式中，如上所述 使第一壓電疊層體41和第二壓電疊層體42逆相地移位，所以能夠增大磁頭滑塊50的位移 范圍。圖11是通過切換器將第一 第四電極凸起與電源部的電連接關系切換為第二狀 態(tài)的情況下的電配線圖。如圖11所示，第二狀態(tài)下，通過切換開關元件SW1、SW2、SW3、SW4， 將輸出端子15a和輸出端子15c分別與輸入端子15t電連接，將輸出端子15b和輸出端子 15d分別與輸入端子15u電連接。即使在硬盤裝置1完成后，在硬盤裝置1使用中，也可能因持續(xù)對薄膜壓電致動器 40驅動時的極化疲勞等原因，而使第一壓電體層413和第二壓電體層423的壓電極化的方 向偏移或反轉，使薄膜壓電致動器40的特性降低。但是，圖11所示的第二狀態(tài)的情況下， 能夠通過再極化處理電源11E2對這樣的狀態(tài)的第一壓電體層413和第二壓電體層423進 行再極化處理。具體而言，通過再極化處理電源11E2對輸入端子15t和輸入端子15u之間施加直 流電壓，由此在第一壓電體層413內(nèi)產(chǎn)生從第一電極層411朝向第二電極層412的方向的 電場，在第二壓電體層423內(nèi)產(chǎn)生從第三電極層421朝向第四電極層422的方向的電場。此 時，優(yōu)選在第一壓電體層413內(nèi)產(chǎn)生比第一壓電體層413的材料的矯頑場大的電場，此外， 在第二壓電體層423內(nèi)產(chǎn)生比第二壓電體層423的材料的矯頑場大的電場。由此，能夠使 第一壓電體層413和第二壓電體層423的極化方向恢復或接近原來的狀態(tài)。因此，即使因 硬盤裝置1使用中的極化疲勞等原因而使薄膜壓電致動器40的特性降低，也能夠容易地使 該特性恢復。根據(jù)如上所述的本實施方式的HGAlO的制造方法，可以得到具備由分別具有單 層的壓電體層(第一壓電體層413、第二壓電體層423)的一對壓電疊層體(第一壓電疊 層體41、第二壓電疊層體42)構成的薄膜壓電致動器40、即單層型薄膜壓電致動器40的HGAlO (參照圖3和圖4)。進而，根據(jù)本實施方式的HGAlO的制造方法，將薄膜壓電致動器40固定在懸架22上之后，對第一壓電體層413和第二壓電體層423分別進行再極化處理(參照圖9)。由此， 即使在將薄膜壓電致動器40固定在懸架22上時，對薄膜壓電致動器40施加應力，因正壓 電效應而在第一壓電體層413和第二壓電體層423內(nèi)產(chǎn)生電場，因該電場而使第一壓電體 層413和第二壓電體層423的壓電極化的方向偏移或反轉，也能夠使第一壓電體層413和 第二壓電體層423的壓電極化方向恢復或接近原來的狀態(tài)(參照圖7和圖9)。結果，能夠 抑制因壓電極化的方向偏移或反轉而引起的薄膜壓電致動器40的特性降低。此外，根據(jù)如上所述的本實施方式的硬盤裝置1的制造方法，能夠抑制將薄膜壓 電致動器40固定在懸架22上時因第一壓電體層413和第二壓電體層423的壓電極化方向 偏移或反轉而引起的薄膜壓電致動器40的特性降低。此外，如上所述的本實施方式的HGA10，是具備由分別具有單層的壓電體層(第一 壓電體層413、第二壓電體層423)的一對壓電疊層體(第一壓電疊層體41、第二壓電疊層 體42)構成的薄膜壓電致動器、即單層型薄膜壓電致動器40的HGAlO (參照圖3和圖4)。進而，如上所述的本實施方式的HGAlO中，第一電極層411、第二電極層412、第三 電極層421和第四電極層422相互非導通，且第一電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電 極凸起39c、第四電極凸起39d也相互非導通(參照圖3和圖8)。因此，根據(jù)如上所述的本 實施方式的HGA10，即使在將薄膜壓電致動器40固定在懸架22上時等對薄膜壓電致動器 40施加應力，因正壓電效應而在第一壓電體層413和第二壓電體層423內(nèi)產(chǎn)生電場，因該電 場而使第一壓電體層413和第二壓電體層423的壓電極化方向偏移或反轉，也能夠對第一 電極層411與第二電極層412之間施加電壓，使得在第一壓電體層413內(nèi)產(chǎn)生從第一電極 層411朝向第二電極層412的方向的電場，并能夠對第三電極層421與第四電極層422之 間施加電壓，使得在第二壓電體層423內(nèi)產(chǎn)生從第三電極層421朝向第四電極層422的方 向的電場。由此，能夠使第一壓電體層413和第二壓電體層423的壓電極化方向恢復或接 近原來的狀態(tài)。結果，能夠抑制因壓電極化的方向偏移或反轉而引起的薄膜壓電致動器40 的特性降低。此外，根據(jù)如上所述的本實施方式的硬盤裝置1，因為具備如上所述的HGA10，所 以能夠抑制因壓電極化的方向偏移或反轉而引起的薄膜壓電致動器40的特性降低。(第二實施方式)接著，說明第二實施方式的HGA的制造方法和硬盤裝置的制造方法。圖12是表示本實施方式的HGA的制造方法和硬盤裝置的制造方法的流程圖。如圖 12的流程圖IOOa所示，本實施方式的硬盤裝置的制造方法，在與第一實施方式的HGA制造 工序S100H對應的HGA制造工序SlOOHa中，電連接工序S107在第一再極化處理工序S109 和第二再極化處理工序Slll之后進行這一點、和在電連接工序S107之后具有將第一電極 凸起39a與第四電極凸起39d電連接并將第二電極凸起39b與第三電極凸起39c電連接的 電極部間連接工序S112這一點、以及懸架準備工序中準備的懸架的結構上，與第一實施方 式不同。此外，本實施方式的硬盤裝置的制造方法，在電源部不具有切換器這一點上，與第 一實施方式不同。圖13是用于說明電極部間連接工序的電配線圖。圖13的懸架22a，對應于第一實施方式的懸架22。本實施方式的懸架22a，在具有兩個端子31t、32t這一點上與第一實施 方式的懸架22不同。然后，在電極部間連接工序S112中，將與第一實施方式中的第一電極 凸起39a和第四電極凸起39d分別對應的第一電極凸起39al和第四電極凸起39dl電連接 到端子31t，并且將與第一實施方式中的第二電極凸起39b和第三電極凸起39c分別對應的 第二電極凸起39bl和第三電極凸起39cl電連接到端子32t。由此，將第一電極凸起39al 和第四電極凸起39dl電連接，并將第二電極凸起39bl和第三電極凸起39cl電連接。用圖14和圖15說明進行電極部間連接工序S112的具體方法。圖14是第二再極 化處理工序后的彎曲部的部分放大平面圖。如圖14所示，本實施方式中，與第一實施方式 的彎曲部30對應的彎曲部30a，在第一電極凸起39al、第二電極凸起39bl、第三電極凸起 39cl、第四電極凸起39dl的形狀，以及具備第一導電部件31和第二導電部件32這一點上， 與第一實施方式不同。第一導電部件31，具有分別具有凹凸部的第一凹凸電極31a和第四凹凸電極31d， 分別與端子31t電連接。第一電極凸起39al和第四電極凸起39dl，分別具有與第一凹凸電 極31a和第四凹凸電極31d的凹凸部對應的形狀的凹凸部。而且，第一電極凸起39al與第 一凹凸電極31a以一方的凹部與另一方的凸部相對置的方式相鄰，第四電極凸起39dl與第 四凹凸電極31d以一方的凹部與另一方的凸部相對置的方式相鄰。第二導電部件32，具有分別具有凹凸部的第二凹凸電極32b和第三凹凸電極32c， 分別與端子32t電連接。第二電極凸起39bl和第三電極凸起39cl，也分別具有與第二凹 凸電極32b和第三凹凸電極32c的凹凸部對應的形狀的凹凸部。然后，第二電極凸起39bl 與第二凹凸電極32b以一方的凹部與另一方的凸部相對置的方式相鄰，第三電極凸起39cl 與第三凹凸電極32c以一方的凹部與另一方的凸部相對置的方式相鄰。圖15是用于說明電極部間連接工序的彎曲部的部分放大平面圖。如圖15所示，本 實施方式中，電連接工序S107和電極部間連接工序S112同時進行。具體而言，將電極41E1 與第一電極凸起39al與第一凹凸電極31a例如通過焊料球80a電連接，將電極41E2和第二 電極凸起39bl以及第二凹凸電極32b例如通過焊料球80b電連接，將電極42E1與第三電 極凸起39cl與第三凹凸電極32c例如通過焊料球80c電連接，將電極42E2和第四電極凸 起39dl以及第四凹凸電極31d例如通過焊料球80d電連接。這樣，同時進行將電極41E1、 41E2、電極42E1、42E2分別與第一電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四 電極凸起39d電連接的工序(電連接工序S 107)，和將第一電極凸起39al和第四電極凸起 39dl與端子31t電連接、并且將第二電極凸起39bl和第三電極凸起39cl與端子32t電連 接的工序(電極部間連接工序S112)。本實施方式中，因為能夠這樣同時進行2個工序，所 以制造工序得以簡化。其中，電極部間連接工序S112，也可以與電連接工序S107分別進行。該情況下， 電連接工序S107，也可以在第一再極化處理工序S109和第二再極化處理工序Slll之前進 行。此外，電極部間連接工序S112，也可以不使用第一導電部件31和第二導電部件32進行。具體而言，可以使在懸架準備工序S103中準備的懸架與第一實施方式相同(即，使 其為不具有第一導電部件31和第二導電部件32的懸架)，用金屬導線、焊錫、導電性樹脂等 導電性材料，將第一電極凸起39al和第四電極凸起39dl與端子31t電連接，并將第二電極凸起39bl和第三電極凸起39cl與端子32t電連接。圖16是用于說明本實施方式的電源連接工序的電配線圖。本實施方式中，與第一 實施方式的電源部11對應的電源部IlX不具有切換器15 (參照圖10和圖11)。如圖16所 示，電源連接工序S115中，將電源部Ilx的輸出端子Ila與端子31t電連接，輸出端子lib 與端子32t電連接，由此將電極凸起39al、第二電極凸起39bl、第三電極凸起39cl、第四電 極凸起39dl分別與電源部Ilx的薄膜壓電制動器驅動用電源IlEl電連接。圖17是用本 實施方式制造的HGA和用本實施方式制造的硬盤裝置的示意圖。圖17的硬盤裝置Ia和 HGAlOa，分別對應于第一實施方式的硬盤裝置1和HGA10。硬盤裝置la，在與第一實施方式 的控制部7對應的控制部7a不具有切換器15 (參照圖1、圖10和圖11)這一點上，與第一 實施方式不同。 根據(jù)如上所述的本實施方式的HGAlOa的制造方法，因為與第一實施方式的HGAlO 的制造方法的情況同樣的理由，能夠得到具備單層型的薄膜壓電致動器40的HGAlOa，并且 抑制因壓電極化方向偏移或反轉而引起的薄膜壓電致動器40的特性降低。進而，根據(jù)本實施方式的HGAlOa的制造方法，因為具有將第一電極凸起39al與第 四電極凸起39dl電連接、并將第二電極凸起39bl與第三電極凸起39cl電連接的電極部間 連接工序Sl 12 (參照圖13)，所以在使薄膜壓電致動器40動作時，僅對2處(端子31t和端 子32t)施加電壓，就能夠對第一電極凸起39al、第二電極凸起39bl、第三電極凸起39cl和 第四電極凸起39dl都施加電壓。結果，可以得到在用于硬盤裝置Ia時能夠簡化電路結構 的 HGAlOa。進而，根據(jù)本實施方式的HGAlOa的制造方法，因為在電極部間連接工序Sl 12中進 行了如上所述的電連接，所以能夠以第一壓電體層413和第二壓電體層423逆相地伸縮的 方式使薄膜壓電致動器40動作(參照圖13和圖16)。由此，能夠增大磁頭滑塊50的位移 范圍。此外，根據(jù)如上所述的本實施方式的硬盤裝置Ia的制造方法，因為與第一實施方 式的硬盤裝置1的制造方法的情況相同的理由，能夠抑制將薄膜壓電致動器40固定在懸架 22a時因第一壓電體層413和第二壓電體層423的壓電極化方向偏移或反轉而引起的薄膜 壓電致動器40的特性降低。本發(fā)明并不限定于上述實施方式，能夠有各種變形方式。例如，上述各實施方式中，以第一壓電體層413和第二壓電體層423相互逆相伸 縮的方式進行第一電極凸起39a(第一電極凸起39al)、第二電極凸起39b(第二電極凸起 39bl)、第三電極凸起39c (第三電極凸起39cl)、第四電極凸起39d(第四電極凸起39dl)與 電源部11 (電源部1 Ix)的電連接(參照圖10、圖11和圖16)，但是也可以以第一壓電體層 413和第二壓電體層423相互同相伸縮的方式進行該電連接。例如，可以在第一實施方式的 電源連接工序S115中，電極凸起39a、第二電極凸起39b、第三電極凸起39c、第四電極凸起 39d與電源部11的電連接關系為第一狀態(tài)時(參照圖10)，將第一電極凸起39a和第三電 極凸起39c與電源部11的輸出端子Ila電連接，將第二電極凸起39b和第四電極凸起39d 與電源部11的輸出端子lib電連接，且在電連接關系為第二狀態(tài)時(參照圖11)，將第一電 極凸起39a和第三電極凸起39c與電源部11的輸出端子Ilc電連接，將第二電極凸起39b 和第四電極凸起39d與電源部11的輸出端子Ild電連接。此外，例如在第二實施方式的電極部間連接工序S112中，可以將第一電極凸起39al與第三電極凸起39cl電連接，并將第 二電極凸起39bl與第四電極凸起39dl電連接。此外，上述第一實施方式的電源連接工序Sl 15中，也可以是電源部11具備2個薄 膜壓電致動器驅動用電源，將第一薄膜壓電致動器驅動用電源電連接在第一電極凸起39a 與第二電極凸起39b之間，將第二薄膜壓電致動器驅動用電源連接在第二電極凸起39b與 第四電極凸起39d之間。該情況下，這些電連接可以以第一壓電體層413和第二壓電體層 423相互逆相或同相伸縮的方式進行。由此，因為能夠用第一和第二薄膜壓電致動器驅動用 電源，對第一壓電體層413和第二壓電體層423分別獨立地施加電壓，所以能夠更加精密地 進行薄膜壓電致動器40對磁頭滑塊50的驅動。此外，上述各實施方式中，也可以將硬盤裝置1(硬盤裝置la)的薄膜壓電致動 器40用作例如應變傳感器、位移傳感器、變形傳感器或壓力傳感器等傳感器。例如對 HGAlO (HGAlOa)施加加速度、或磁頭滑塊50與硬盤5接觸時，薄膜壓電致動器40內(nèi)的第一壓電體層413和第二壓電體層423發(fā)生應變，因正壓電效應而在第一電極層411與第二電 極層412之間、以及第三電極層421與第四電極層422之間產(chǎn)生電壓。該電壓的大小和極 性由薄膜壓電致動器40的應變的方式所決定，所以通過設置測定第一電極層411與第二電 極層412之間、以及第三電極層421與第四電極層422之間的電壓的電壓計，就能夠將薄膜 壓電致動器40用作應變傳感器。此外，例如磁頭滑塊50與硬盤5上的突起等磁撞時，磁頭滑塊50發(fā)生位移，所以 薄膜壓電致動器40內(nèi)的第一壓電體層413和第二壓電體層423發(fā)生應變。因此，通過設置 測定第一電極層411與第二電極層412之間、以及第三電極層421與第四電極層422之間 的電壓的電壓計，能夠將薄膜壓電致動器40用作檢測磁頭滑塊50與硬盤5的突起等沖突 的位移傳感器。此外，例如磁頭滑塊50的位移被固定，HGAlO (HGAlOa)變形時，薄膜壓電致動器40 內(nèi)的第一壓電體層413和第二壓電體層423的應變也被固定。因此，通過設置測定第一電 極層411與第二電極層412之間、以及第三電極層421與第四電極層422之間的電壓的電 壓計，能夠將薄膜壓電致動器40用作對HGAlO (HGAlOa)的變形進行檢測的變形傳感器。作為這樣的設置電壓計的方式，例如，在上述第一實施方式中，可以考慮在控制部 7中設置2個電壓計，對切換器15進一步賦予從如圖10所示的第一電連接關系切換到在第 一電極凸起39a與第二電極凸起39b之間電連接第一電壓計、在第三電極凸起39c與第四 電極凸起39d之間電連接第二電壓計的第三電連接關系的功能。此外，上述第二實施方式 中，可以考慮在控制部7a中設置1個電壓計，并進一步在控制部7a內(nèi)設置具有從圖16所 示的電連接關系切換到在端子31t與端子32t之間連接該電壓計的電連接關系的功能的切 換器。此外，上述各實施方式中，第一極化矢量41V和第二極化矢量42V的方向相互平 行，但第一極化矢量41V和第二極化矢量42V的方向，也可以相互逆向平行。該情況下，第 一壓電體層413的上下電極層中，第一極化矢量41V的基端側的電極層為第一電極層，第一 極化矢量41V的前端側的電極層為第二電極層，且第二壓電體層423的上下電極層中，第二 極化矢量42V的基端側的電極層為第三電極層，第二極化矢量42V的前端側的電極層為第 四電極層。
此外，上述各實施方式中，第一壓電體層413和第二壓電體層423分別由單一的層 構成，但也可以由層疊了多個分別用壓電材料構成的層而得到的疊層膜構成。該情況下，將 構成該疊層膜的多個壓電材料構成的層各自的極化矢量合成而得到的極化矢量，成為第一
極化矢量和第二極化矢量。此外，上述各實施方式中，第一電極層411、第二電極層412、第三電極層421和第 四電極層422分別由單一層構成，但也可以由層疊了多個分別用導電性材料構成的層而得 到的疊層膜構成。 此外，上述第一實施方式中，電源部11具有薄膜壓電致動器驅動用電源IlEl和再 極化處理電源11E2這2個電源(參照圖10和圖11)。但是，只要是除了用于壓電致動器驅 動用電源IlEl驅動薄膜壓電制動器40的電壓之外，還能夠與該電壓重疊地產(chǎn)生用于對第 一壓電體層413和第二壓電體層423進行再極化處理的直流電壓，則電源部11也可以不具 有再極化處理電源11E2。該情況下，只要將輸出端子Ila不僅與輸入端子15ι 也與輸入端 子15t電連接、輸出端子lib不僅與輸入端子15s也與輸入端子15u電連接即可。
權利要求
一種磁頭懸浮組件的制造方法，所述磁頭懸浮組件包括具有對磁記錄介質進行記錄和再現(xiàn)中至少一者的薄膜磁頭的磁頭滑塊、搭載所述磁頭滑塊的懸架、和使所述磁頭滑塊相對于所述懸架相對移位的薄膜壓電致動器，所述制造方法的特征在于，包括準備所述薄膜壓電致動器的工序，所述薄膜壓電致動器包括具有第一電極層、第二電極層、和在所述第一電極層與所述第二電極層之間設置的第一壓電體層的第一壓電疊層體，和具有第三電極層、第四電極層、和在所述第三電極層與所述第四電極層之間設置的第二壓電體層的第二壓電疊層體，所述第一壓電體層具有第一極化矢量，該第一極化矢量具有從所述第一電極層朝向所述第二電極層的方向的成分，所述第一壓電疊層體不具有所述第一壓電體層以外的壓電體層，所述第二壓電體層具有第二極化矢量，該第二極化矢量具有從所述第三電極層朝向所述第四電極層的方向的成分，所述第二壓電疊層體不具有所述第二壓電體層以外的壓電體層，所述第一壓電疊層體和所述第二壓電疊層體不是以在其厚度方向上疊層的方式一體形成的，所述第一電極層、所述第二電極層、所述第三電極層和所述第四電極層相互非導通；準備所述懸架的懸架準備工序，所述懸架包括用于與所述第一電極層、所述第二電極層、所述第三電極層和所述第四電極層分別電連接的第一電極部、第二電極部、第三電極部和第四電極部，和設置所述第一壓電疊層體的第一區(qū)域和設置所述第二壓電疊層體的第二區(qū)域構成的薄膜壓電致動器搭載區(qū)域；固定工序，將所述薄膜壓電致動器固定在所述懸架的所述薄膜壓電致動器搭載區(qū)域；電連接工序，將所述第一電極層、所述第二電極層、所述第三電極層和所述第四電極層分別與所述第一電極部、所述第二電極部、所述第三電極部和所述第四電極部電連接；第一再極化處理工序，在所述固定工序后，對所述第一電極層與所述第二電極層之間施加電壓，使得在所述第一壓電體層內(nèi)產(chǎn)生從所述第一電極層朝向所述第二電極層的方向的電場、且在所述第二壓電體層內(nèi)不產(chǎn)生與從所述第三電極層朝向所述第四電極層的方向相反的方向的電場，由此對所述第一壓電體層進行再極化處理；第二再極化處理工序，在所述固定工序后，對所述第三電極層與所述第四電極層之間施加電壓，使得在所述第二壓電體層內(nèi)產(chǎn)生從所述第三電極層朝向所述第四電極層的方向的電場、且在所述第一壓電體層內(nèi)不產(chǎn)生與從所述第一電極層朝向所述第二電極層的方向相反的方向的電場，由此對所述第二壓電體層進行再極化處理；和將所述磁頭滑塊固定在所述懸架上的工序。
2.如權利要求1所述的磁頭懸浮組件的制造方法，其特征在于在所述懸架準備工序中準備的所述懸架的所述第一電極部、所述第二電極部、所述第 三電極部和所述第四電極部相互非導通，所述制造方法還包括電極部間連接工序，將所述第一電極部與所述第三電極部和所 述第四電極部的一方電連接，且將所述第二電極部與所述第三電極部和所述第四電極部的 另一方電連接。
3.如權利要求2所述的磁頭懸浮組件的制造方法，其特征在于所述電極部間連接工序在所述第一再極化處理工序和所述第二再極化處理工序之后 進行，在所述電極部間連接工序中，將所述第一電極部與所述第四電極部電連接，且將所述第二電極部與所述第三電極部電連接。
4.如權利要求3所述的磁頭懸浮組件的制造方法，其特征在于 在所述懸架準備工序中準備的所述懸架，還包括與所述第一電極部、所述第四電極部雙方相鄰且電絕緣的第一導電部件；和 與所述第二電極部、所述第三電極部雙方相鄰且電絕緣的第二導電部件， 所述電連接工序在所述第一再極化處理工序和所述第二再極化處理工序之后進行， 所述電極部間連接工序中的所述第一電極部與所述第四電極部的電連接、和所述第二 電極部與所述第三電極部的電連接，通過在所述電連接工序中進一步將所述第一電極部和 所述第四電極部與所述第一導電部件電連接、且將所述第二電極部和所述第三電極部與所 述第二導電部件電連接來實現(xiàn)。
5.一種硬盤裝置的制造方法，其特征在于，包括用如權利要求1 4中任意一項所述的方法制造所述磁頭懸浮組件的工序；和 電源連接工序，將所述第一電極部、所述第二電極部、所述第三電極部和所述第四電極 部分別與電源電連接。
6.如權利要求5所述的硬盤裝置的制造方法，其特征在于在所述電源連接工序中，以能夠使所述第一壓電體層和所述第二壓電體層相互逆相伸 縮的方式，將所述第一電極部、所述第二電極部、所述第三電極部和所述第四電極部分別與 所述電源電連接。
7.一種磁頭懸浮組件，包括具有對磁記錄介質進行記錄和再現(xiàn)中至少一者的薄膜磁 頭的磁頭滑塊、搭載所述磁頭滑塊的懸架、和使所述磁頭滑塊相對于所述懸架相對移位的 薄膜壓電致動器，所述磁頭懸浮組件的特征在于所述薄膜壓電致動器包括具有第一電極層、第二電極層、和在所述第一電極層與所述第二電極層之間設置的第 一壓電體層的第一壓電疊層體；和具有第三電極層、第四電極層、和在所述第三電極層與所述第四電極層之間設置的第 二壓電體層的第二壓電疊層體，所述第一壓電體層具有第一極化矢量，該第一極化矢量具有從所述第一電極層朝向所 述第二電極層的方向的成分，所述第一壓電疊層體不具有所述第一壓電體層以外的壓電體 層，所述第二壓電體層具有第二極化矢量，該第二極化矢量具有從所述第三電極層朝向所 述第四電極層的方向的成分，所述第二壓電疊層體不具有所述第二壓電體層以外的壓電體 層，所述第一壓電疊層體和所述第二壓電疊層體不是以在其厚度方向上層疊的方式一體 形成的，所述第一電極層、所述第二電極層、所述第三電極層和所述第四電極層相互非導 通，所述懸架包括用于與所述第一電極層、所述第二電極層、所述第三電極層和所述第四電極層分別電 連接的第一電極部、第二電極部、第三電極部和第四電極部；和由設置所述第一壓電疊層體的第一區(qū)域和設置所述第二壓電疊層體的第二區(qū)域構成的薄膜壓電致動器搭載區(qū)域，所述第一電極部、所述第二電極部、所述第三電極部和所述第四電極部相互非導通，所述薄膜致動器固定在所述懸架的所述薄膜壓電致動器搭載區(qū)域。
8.一種硬盤裝置，其特征在于，包括如權利要求7所述的磁頭懸浮組件；和與所述第一電極部、所述第二電極部、所述第三電極部和所述第四電極部分別電連接 的薄膜壓電致動器驅動用電源。
9.如權利要求8所述的硬盤裝置，其特征在于以能夠使所述第一壓電體層和所述第二壓電體層相互逆相地伸縮的方式，所述薄膜壓 電致動器驅動用電源與所述第一電極部、所述第二電極部、所述第三電極部和所述第四電 極部分別電連接。
10.如權利要求8或9所述的硬盤裝置，其特征在于，還包括用于對所述第一壓電體層和所述第二壓電體層進行再極化處理的再極化處理電源；和從所述第一電極部、所述第二電極部、所述第三電極部和所述第四電極部分別與所述 薄膜壓電致動器驅動用電源電連接的第一狀態(tài)，可逆地切換到所述第一電極部、所述第二 電極部、所述第三電極部和所述第四電極部分別與所述再極化處理電源電連接的第二狀態(tài) 的切換器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種磁頭懸浮組件的制造方法，硬盤裝置的制造方法，磁頭懸浮組件，和硬盤裝置。本發(fā)明的HGA的制造方法，包括準備具備具有第一壓電體層的第一壓電疊層體、和具有第二壓電體層的第二壓電疊層體的薄膜壓電致動器的工序；準備懸架的工序；將薄膜壓電致動器固定在懸架上的固定工序；在固定工序后對第一壓電體層進行再極化處理的第一再極化處理工序；在固定工序后對第二壓電體層進行再極化處理的第二再極化處理工序。
文檔編號H01L41/08GK101840705SQ20101013455
公開日2010年9月22日 申請日期2010年3月16日 優(yōu)先權日2009年3月16日
發(fā)明者秦健次郎 申請人:Tdk株式會社;新科實業(yè)有限公司