專利名稱：三維彩色圖像傳感器及三維光學(xué)成像系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳感器，特別涉及一種接收物體的三維彩色圖像的深度與彩色圖 像信息的傳感器。
背景技術(shù)：
三維(three dimensional ；3D)光學(xué)成像系統(tǒng)，例如3D照相機(jī)，可對(duì)拍攝的物體進(jìn) 行距離測量而應(yīng)用在許多不同的用途上，例如對(duì)制造的商品進(jìn)行外觀檢查、計(jì)算機(jī)輔助設(shè) 計(jì)(computer-aided design ；CAD)的檢驗(yàn)、地理測量以及物體成像。3D照相機(jī)包含照射被拍攝景象的光源，為了拍攝景象并測定從照相機(jī)到景象中物 體的距離，通常使用由光源所發(fā)出的一連串光脈沖去照射景象，被景象中的物體所反射的 光脈沖的光會(huì)在3D照相機(jī)的感光表面上成像，從光源發(fā)出光脈沖到景象中的物體，以及被 反射的光脈沖回到照相機(jī)之間所消耗的時(shí)間被用來測定從3D照相機(jī)到物體的距離。一般而言，傳統(tǒng)的3D光學(xué)成像系統(tǒng)使用兩種傳感器以產(chǎn)生3D圖像，其中一種傳感 器為深度傳感器，用來測定從照相機(jī)到景象中物體的距離，并產(chǎn)生物體的3D深度圖像。另 一種傳感器為圖像傳感器，用以收集景象中物體的二維圖像信息，并產(chǎn)生物體的照片。由于 傳統(tǒng)的3D光學(xué)成像系統(tǒng)需要兩種傳感器來分別接收深度信息以及圖像信息，因此在傳統(tǒng) 的3D光學(xué)成像系統(tǒng)中，用以處理來自兩種傳感器的信息的信號(hào)處理器的演算法較為復(fù)雜。 同時(shí)，當(dāng)傳統(tǒng)的3D光學(xué)成像系統(tǒng)應(yīng)用在實(shí)時(shí)的3D圖像游戲時(shí)，因?yàn)閮煞N傳感器所導(dǎo)致的低 移動(dòng)感測靈敏度與低信號(hào)噪聲比(signal-to-noise ratio ；SNR)，使得使用者細(xì)微的手指 移動(dòng)無法被傳統(tǒng)的3D光學(xué)成像系統(tǒng)中的傳感器檢測到。因此，業(yè)界亟需一種3D彩色圖像傳感器，其可以接收物體的3D彩色圖像的深度信 息與彩色圖像信息。

發(fā)明內(nèi)容
為克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷，本發(fā)明提供一種3D彩色圖像傳感器，此3D彩色圖 像傳感器接收物體的3D彩色圖像的深度信息與彩色圖像信息。在一實(shí)施例中，3D彩色圖 像傳感器包括半導(dǎo)體基底，其具有多個(gè)第一光電二極管與多個(gè)第二光電二極管，導(dǎo)線層位 于半導(dǎo)體基底內(nèi)，形成于所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管之下。濾光 陣列層設(shè)置于所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管上，具有多個(gè)彩色濾光 圖案與多個(gè)紅外光濾光圖案，其中每個(gè)紅外光濾光圖案接收物體的三維彩色圖像的深度信 息，并對(duì)應(yīng)至第一光電二極管，且每個(gè)彩色濾光圖案接收物體的三維彩色圖像的彩色圖像 信息，并對(duì)應(yīng)至第二光電二極管。此外，本發(fā)明還提供一種3D光學(xué)成像系統(tǒng)。在一實(shí)施例中，3D光學(xué)成像系統(tǒng)包括 照射物體的光源，以及接收物體的三維彩色圖像的深度信息與彩色圖像信息，并轉(zhuǎn)換深度 信息與彩色圖像信息成為電子信號(hào)的三維彩色圖像傳感器。此外，還包含處理從三維彩色 圖像傳感器發(fā)出的電子信號(hào)的信號(hào)處理器，以產(chǎn)生物體的三維彩色圖像。其中，三維彩色圖像傳感器包括半導(dǎo)體基底，其具有多個(gè)第一光電二極管與多個(gè)第二光電二極管，以及導(dǎo)線 層位于半導(dǎo)體基底內(nèi)，形成于所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管之下。 另外，還包含濾光陣列層設(shè)置于所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管上， 具有多個(gè)彩色濾光圖案與多個(gè)紅外光濾光圖案，其中每個(gè)紅外光濾光圖案接收物體的三維 彩色圖像的深度信息，并對(duì)應(yīng)至第一光電二極管，且每個(gè)彩色濾光圖案接收物體的三維彩 色圖像的彩色圖像信息，并對(duì)應(yīng)至第二光電二極管。物體的三維彩色圖像的深度信息與彩色圖像信息都被同一個(gè)三維彩色圖像傳感 器接收，本發(fā)明的3D彩色圖像傳感器具有高度的移動(dòng)檢測靈敏度，在使用上可以更加具有 彈性及效率。為了讓本發(fā)明的上述目的、特征、及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，以下配合附圖進(jìn)行詳細(xì)說
明。


圖IA顯示依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，濾光陣列層的平面示意圖。圖IB顯示依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，濾光陣列層的平面示意2顯示依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，沿著圖IA的剖面線2-2’的三維彩色圖像傳感 器的剖面示意圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下100 半導(dǎo)體基底；112 第一光電二極管；114 第二光電二極管；116 絕緣 體；120 導(dǎo)線層；122、124 電路區(qū)；200 濾光陣列層；202 紅外光濾光圖案；204 彩 色濾光圖案；300 微透鏡陣列；302 第一微透鏡；304 第二微透鏡；400 三維彩色圖 像傳感器；510 紅外光；520 可見光。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的實(shí)施例提供一種三維彩色圖像傳感器(3D color image sensor)，用 以接收物體的三維彩色圖像的深度信息(depth information)與彩色圖像信息(color image information)，其中物體通過具有三維圖像傳感器于其中的三維光學(xué)成像系統(tǒng)(3D optical imaging system)而成像。三維圖像傳感器包含半導(dǎo)體基底，其具有多個(gè)第一光 電二極管(Photodiode)與多個(gè)第二光電二極管。第一光電二極管用來接收物體的三維彩 色圖像的深度信息，第二光電二極管則用來接收物體的三維彩色圖像的彩色圖像信息。導(dǎo) 線層(wiring layer)位于半導(dǎo)體基底內(nèi)，形成在所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二 光電二極管之下，導(dǎo)線層包含多個(gè)電路區(qū)，分別對(duì)應(yīng)至所述多個(gè)第一光電二極管與所述多 個(gè)第二光電二極管。濾光陣列層(light filter array layer)位于半導(dǎo)體基底上，設(shè)置于 所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管之上，具有多個(gè)彩色濾光圖案(color filter pattern)與多個(gè)紅外光濾光圖案(infrared light filterpattern)，這些彩色濾 光圖案與紅外光濾光圖案依序排列成陣列形式。每個(gè)紅外光濾光圖案接收物體的三維彩色 圖像的深度信息，并對(duì)應(yīng)至第一光電二極管。每個(gè)彩色濾光圖案接收物體的三維彩色圖像 的彩色圖像信息，并對(duì)應(yīng)至第二光電二極管。參閱圖1A，其顯示依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，濾光陣列層200的平面示意圖。濾光陣列層200包含多個(gè)紅外光濾光圖案202與多個(gè)彩色濾光圖案204。在一實(shí)施例中，紅外光濾 光圖案202的形狀可以是八邊形，而彩色濾光圖案204的形狀則可以是四邊形，每個(gè)彩色濾 光圖案204與四個(gè)紅外光濾光圖案202鄰接排列。紅外光濾光圖案202可由黑色光致抗蝕 劑形成，以允許紅外光穿透。彩色濾光圖案204可由彩色光致抗蝕劑形成，以允許可見光穿 透。彩色濾光圖案204可以是紅色、綠色或藍(lán)色的彩色濾光片(color filter)，分別允許紅 色、綠色或藍(lán)色的光穿透。在一實(shí)施例中，紅色、綠色與藍(lán)色的彩色濾光圖案204盡可能地 靠近排列，例如三個(gè)紅色、綠色與藍(lán)色的彩色濾光圖案204可以排列成三角形。 參閱圖1B，其顯示依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，濾光陣列層200的平面示意圖。在此 實(shí)施例中，紅外光濾光圖案202與彩色濾光圖案204的形狀都是圓形，紅外光濾光圖案202 與彩色濾光圖案204的材料以及其排列方式可以與上述實(shí)施例相同。依據(jù)本發(fā)明的示范性 實(shí)施例，紅外光濾光圖案202的尺寸大于彩色濾光圖案204的尺寸，且紅外光濾光圖案202 的尺寸與彩色濾光圖案204的尺寸的比值優(yōu)選為大于10。濾光陣列層200由紅外光濾光圖案202與彩色濾光圖案204組成，其中彩色濾 光圖案204可以是紅色、綠色或藍(lán)色的彩色濾光片，濾光陣列層200的圖案布局(pattern layout)方式可以如圖IA或圖IB所示，但不限于上述的圖案布局方式。在濾光陣列層200 中，紅外光濾光圖案202與彩色濾光圖案204的排列方式可依據(jù)三維彩色圖像傳感器的需 求，進(jìn)行彈性且有效的調(diào)整。本發(fā)明的一實(shí)施例提供三維光學(xué)成像系統(tǒng)，其中包含三維彩色圖像傳感器。一般 而言，三維光學(xué)成像系統(tǒng)包含光源，其提供一連串的光脈沖(a train oflight pulses)，優(yōu) 選為紅外光脈沖，用以照射被三維光學(xué)成像系統(tǒng)拍攝的物體。從光源來的紅外光會(huì)被物體 反射，并且被三維彩色圖像傳感器中的紅外光濾光圖案202接收，進(jìn)而產(chǎn)生物體的三維深 度圖像(3D depth map)。同時(shí)，來自自然界光線的可見光或來自三維光學(xué)成像系統(tǒng)的其他 光源的可見光也會(huì)被物體反射，并且被三維彩色圖像傳感器中的彩色濾光圖案204接收， 進(jìn)而產(chǎn)生物體的彩色圖像(color image) 0依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，物體的三維彩色圖像的 深度信息與彩色圖像信息都被同一個(gè)三維彩色圖像傳感器接收。因此，與傳統(tǒng)的三維光學(xué) 成像系統(tǒng)使用兩個(gè)傳感器分別接收物體的三維彩色圖像的深度信息與彩色圖像信息相較 之下，用于處理來自本發(fā)明的三維彩色圖像傳感器的數(shù)據(jù)的信號(hào)處理器的演算法可以較傳 統(tǒng)的三維光學(xué)成像系統(tǒng)所使用的演算法簡單。另外，依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，紅外光濾光圖 案202的尺寸與彩色濾光圖案204的尺寸的比值大于10，因此，當(dāng)本發(fā)明的三維彩色圖像傳 感器應(yīng)用于實(shí)時(shí)(real time)的三維圖像游戲時(shí)，使用者微小的手指移動(dòng)動(dòng)作也可以被檢 測到，這是因?yàn)楸景l(fā)明的三維彩色圖像傳感器具有尺寸較大且數(shù)量較多的紅外光濾光圖案 202，其對(duì)于物體的移動(dòng)具有高度的移動(dòng)傳感靈敏度。接著，請(qǐng)參閱圖2，其顯示依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，沿著圖IA圖的剖面線2-2’的三 維彩色圖像傳感器400的剖面示意圖。三維彩色圖像傳感器400包含半導(dǎo)體基底100，例如 為硅基底或其他半導(dǎo)體基底。半導(dǎo)體基底100具有多個(gè)第一光電二極管112與多個(gè)第二光 電二極管114形成于其中，第一光電二極管112與第二光電二極管114通過絕緣體116隔離 開來。絕緣體116可以是淺溝槽隔離區(qū)(shallow trench isolations ;STI)，其形成于第一 光電二極管112與第二光電二極管114之間。濾光陣列層200設(shè)置于第一光電二極管112 與第二光電二極管114之上，且位于半導(dǎo)體基底100上。濾光陣列層200包含多個(gè)紅外光濾光圖案202與多個(gè)彩色濾光圖案204，紅外光濾光圖案202與彩色濾光圖案204依序排列 成陣列形式，如圖IA圖或圖IB所示的濾光陣列層200。每個(gè)紅外光濾光圖案202接收物體 的三維彩色圖像的深度信息，亦即從物體反射的紅外光，并且對(duì)應(yīng)至第一光電二極管112。 每個(gè)彩色濾光圖案204接收物體的三維彩色圖像的彩色圖像信息，亦即從物體反射的可見 光，并且對(duì)應(yīng)至第二光電二極管114導(dǎo)線層120形成于第一光電二極管112與第二光電二極管114之下，且位于半導(dǎo) 體基底100內(nèi)。導(dǎo)線層120由數(shù)層金屬層與數(shù)層位于金屬層之間的介電層所組成，其可由 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟悉的半導(dǎo)體集成電路工藝技術(shù)形成，為了簡化附圖，在圖2中并 未繪出這些金屬層與介電層。導(dǎo)線層120包含多個(gè)電路區(qū)122與124，分別對(duì)應(yīng)至第一光電 二極管112與第二光電二極管114。從物體反射的紅外光以箭頭510表示，紅外光510穿過 紅外光濾光圖案202與第一光電二極管112，并通過第一光電二極管112轉(zhuǎn)換成電子信號(hào)， 然后此電子信號(hào)傳送至電路區(qū)122。因此，從物體反射的紅外光510會(huì)被轉(zhuǎn)換成物體的三維 彩色圖像的深度信息的電子信號(hào)，其代表從物體到三維光學(xué)成像系統(tǒng)的距離。同時(shí)，從物體 反射的可見光以箭頭520表示，可見光520穿過彩色濾光圖案204與第二光電二極管114， 并通過第二光電二極管114轉(zhuǎn)換成另一電子信號(hào)，此電子信號(hào)也傳送至電路區(qū)124。因此， 從物體反射的可見光520會(huì)被轉(zhuǎn)換成物體的三維彩色圖像的彩色圖像信息的電子信號(hào)，其 代表被三維光學(xué)成像系統(tǒng)拍攝的物體的彩色圖像。在一實(shí)施例中，三維彩色圖像傳感器400還包含微透鏡陣列 (micro-lensarray) 300，設(shè)置于濾光陣列層200之上，微透鏡陣列300具有多個(gè)第一微透鏡 302，對(duì)應(yīng)至紅外光濾光圖案202，以及多個(gè)第二微透鏡304，對(duì)應(yīng)至彩色濾光圖案204。微 透鏡陣列300可提高被紅外光濾光圖案202與彩色濾光圖案204接收的紅外光510與可見 光520的量。在一實(shí)施例中，第一微透鏡302的尺寸大體上與紅外光濾光圖案202的尺寸 相同，而第二微透鏡304的尺寸大體上與彩色濾光圖案204的尺寸相同。另外，微透鏡陣列 300的圖案布局大體上與濾光陣列層200的圖案布局方式相同，亦即第一微透鏡302與第二 微透鏡304可以采用與圖IA或圖IB所示的紅外光濾光圖案202與彩色濾光圖案204的排 列方式排列。一般而言，在半導(dǎo)體基底100中，具有電路形成于其上的表面稱為正面，而與正 面相反的表面則稱為背面。如果光線照射在傳感器的背面，則此傳感器稱為背面照射型 (backside illumination ;BSI)傳感器。依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在三維彩色圖像傳感器 中，用以接收紅外光510與可見光520的表面與具有電路區(qū)122與124形成于其上的表面 相反，因此，依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，三維彩色圖像傳感器可以是背面照射型傳感器。背面 照射型三維彩色圖像傳感器具有較大的空間可以設(shè)置導(dǎo)線層，因此其光接收效能(light receivingefficiency)不會(huì)降低。此外，依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，背面照射型三維彩色圖像傳 感器可具有較大的電路布局空間，以接收物體的三維彩色圖像的大量深度信息與大量彩色 圖像信息。依據(jù)上述實(shí)施例，三維彩色圖像傳感器可同時(shí)接收物體的三維彩色圖像的深度信 息與彩色圖像信息，因此，相較于傳統(tǒng)的三維光學(xué)成像系統(tǒng)，其使用兩個(gè)傳感器分別來接收 物體的三維彩色圖像的深度信息與彩色圖像信息，用以處理來自本發(fā)明的三維彩色圖像傳 感器的數(shù)據(jù)的信號(hào)處理器的演算法可以較傳統(tǒng)的三維光學(xué)成像系統(tǒng)所使用的信號(hào)處理器的演算法更簡單。同時(shí)，依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，紅外光濾光圖案的尺寸大于彩色濾光圖案的 尺寸，其可以提升三維彩色圖像傳感器對(duì)于紅外光的靈敏度。因此，當(dāng)本發(fā)明的三維彩色圖 像傳感器應(yīng)用在實(shí)時(shí)的三維彩色圖像游戲時(shí)，使用者手指的微小移動(dòng)也可以被三維彩色圖 像傳感器檢測到，因?yàn)槠渚哂懈叨鹊囊苿?dòng)檢測靈敏度。此外，三維彩色圖像傳感器的濾光陣 列 層的圖案布局可以調(diào)整，因此三維彩色圖像傳感器在使用上可以更加具有彈性及效率。
雖然本發(fā)明已公開優(yōu)選實(shí)施例如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域普通 技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可做些許更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范 圍當(dāng)視隨附的權(quán)利要求所界定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種三維彩色圖像傳感器，包括一半導(dǎo)體基底，具有多個(gè)第一光電二極管與多個(gè)第二光電二極管，以及一導(dǎo)線層形成 于所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管之下；以及一濾光陣列層，設(shè)置于所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管上，具有 多個(gè)彩色濾光圖案與多個(gè)紅外光濾光圖案，其中每個(gè)紅外光濾光圖案接收一物體的三維彩 色圖像的深度信息并對(duì)應(yīng)至所述第一光電二極管，且每個(gè)彩色濾光圖案接收所述物體的三 維彩色圖像的彩色圖像信息并對(duì)應(yīng)至所述第二光電二極管。
2.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，其中所述多個(gè)彩色濾光圖案與所述多個(gè) 紅外光濾光圖案的排列使得每個(gè)彩色濾光圖案鄰接四個(gè)紅外光濾光圖案。
3.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，其中所述紅外光濾光圖案的尺寸與所述 彩色濾光圖案的尺寸的比值大于10。
4.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，其中所述物體的三維彩色圖像的所述彩 色圖像信息由從所述物體反射的一可見光提供，且所述物體的三維彩色圖像的所述深度信 息由從所述物體反射的一紅外光提供。
5.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，還包括多個(gè)絕緣體分別設(shè)置在所述第一 光電二極管與所述第二光電二極管之間。
6.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，其中所述導(dǎo)線層包括多個(gè)電路區(qū)，分別 對(duì)應(yīng)至所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管，且其中對(duì)應(yīng)至所述多個(gè)第一 光電二極管的所述多個(gè)電路區(qū)提供數(shù)據(jù)以產(chǎn)生所述物體的三維深度圖像，對(duì)應(yīng)至所述多個(gè) 第二光電二極管的所述多個(gè)電路區(qū)提供數(shù)據(jù)以產(chǎn)生所述物體的彩色圖像。
7.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，還包括一微透鏡陣列設(shè)置在所述濾光陣 列層之上，其中所述微透鏡陣列包括多個(gè)第一微透鏡對(duì)應(yīng)至所述多個(gè)紅外光濾光圖案，以 及多個(gè)第二微透鏡對(duì)應(yīng)至所述多個(gè)彩色濾光圖案。
8.如權(quán)利要求7所述的三維彩色圖像傳感器，其中所述第一微透鏡的尺寸與所述紅外 光濾光圖案的尺寸相同，且所述第二微透鏡的尺寸與所述彩色濾光圖案的尺寸相同。
9.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，其中所述紅外光濾光圖案由一黑色光致 抗蝕劑形成，且所述紅外光濾光圖案允許一紅外光穿透。
10.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，其中所述彩色濾光圖案與所述紅外光 濾光圖案的形狀為圓形。
11.如權(quán)利要求1所述的三維彩色圖像傳感器，其中所述彩色濾光圖案的形狀為四邊 形，且所述紅外光濾光圖案的形狀為八邊形。
12.—種三維光學(xué)成像系統(tǒng)，包括一光源，用以照射一物體；一三維彩色圖像傳感器，用以接收所述物體的三維彩色圖像的深度信息與彩色圖像信 息，并轉(zhuǎn)換所述深度信息與所述彩色圖像信息成為電子信號(hào)；以及一信號(hào)處理器，用以處理從所述三維彩色圖像傳感器產(chǎn)生的所述電子信號(hào)，以產(chǎn)生所 述物體的三維彩色圖像，其中所述三維彩色圖像傳感器包括一半導(dǎo)體基底，具有多個(gè)第一光電二極管與多個(gè)第二光電二極管，以及一導(dǎo)線層形成于所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管之下；以及一濾光陣列層，設(shè)置于所述多個(gè)第一光電二極管與所述多個(gè)第二光電二極管上，具有 多個(gè)彩色濾光圖案與多個(gè)紅外光濾光圖案，其中每個(gè)紅外光濾光圖案接收所述物體的三維 彩色圖像的所述深度信息并對(duì)應(yīng)至所述第一光電二極管，且每個(gè)彩色濾光圖案接收所述物 體的三維彩色圖像的所述彩色圖像信息并對(duì)應(yīng)至所述第二光電二極管。
全文摘要
本發(fā)明提供一種三維彩色圖像傳感器及含有三維彩色圖像傳感器的三維光學(xué)成像系統(tǒng)，三維彩色圖像傳感器包含半導(dǎo)體基底，具有多個(gè)第一與第二光電二極管，以及導(dǎo)線層形成于所述多個(gè)第一與第二光電二極管之下，濾光陣列層設(shè)置于所述多個(gè)第一與第二光電二極管上，具有多個(gè)彩色濾光圖案與多個(gè)紅外光濾光圖案，其中每個(gè)紅外光濾光圖案接收物體的三維彩色圖像的深度信息并對(duì)應(yīng)至第一光電二極管，且每個(gè)彩色濾光圖案接收物體的三維彩色圖像的彩色圖像信息并對(duì)應(yīng)至第二光電二極管。本發(fā)明的三維彩色圖像傳感器具有高度的移動(dòng)檢測靈敏度，在使用上可以更加具有彈性及效率。
文檔編號(hào)H01L27/146GK102130139SQ20101018555
公開日2011年7月20日 申請(qǐng)日期2010年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月19日
發(fā)明者曾志翔, 賴邵弘, 陸震偉, 陳毅修 申請(qǐng)人:采鈺科技股份有限公司