專利名稱：激光諧振腔、固體激光器以及激光諧振腔的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種激光諧振腔及采用所述激光諧振腔的固體激光器；另外，本發(fā)明還涉及一種激光諧振腔的制造方法。
背景技術(shù)：
固體激光器主要包括泵浦源、諧振腔和工作物質(zhì)三大部分，諧振腔是指光波在其中來回反射從而形成激光增益的空腔，工作物質(zhì)是指可將外界提供的能量通過諧振腔的振蕩發(fā)射出激光的材料?，F(xiàn)有的固體激光器的諧振腔由全反鏡和部分反射鏡組成，能夠振蕩發(fā)出激光的激光晶體和部分反射鏡以及全反鏡均是分離放置的，這種固體激光器在工作時需要對諧振腔進(jìn)行調(diào)整。由于諧振腔的兩個腔鏡的平行度要求非常高，通常在秒級，若調(diào)整不當(dāng)將嚴(yán)重影響激光器的工作特性，因此需要操作人員具有極強(qiáng)的專業(yè)知識，諧振腔平行度的調(diào)整耗時耗力，即使是專業(yè)操作人員生產(chǎn)效率也比較低。此外，由于激光諧振腔的腔內(nèi)元件均為分離狀態(tài)，而且處于分離狀態(tài)的兩個腔鏡的平行度在激光器應(yīng)用過程中容易發(fā)生變化，造成系統(tǒng)的機(jī)械抗振能力較差。由此可見，采用分離形式構(gòu)成的激光諧振腔不光對固體激光器的批量化生產(chǎn)造成一定的限制，也同時影響著最終生產(chǎn)出來的固體激光器的光學(xué)以及機(jī)械穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種可以大批量生產(chǎn)的激光諧振腔， 所述激光諧振腔具有平行度高、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的特點；同時，本發(fā)明也公開了一種采用所述激光諧振腔的固體激光器；另外，本發(fā)明也提供了一種平行度高且適合大規(guī)模生產(chǎn)的一體化激光諧振腔的制造方法。為了實現(xiàn)本發(fā)明的第一個目的，本發(fā)明提供了一種可以大批量生產(chǎn)的激光諧振腔，其具體技術(shù)方案如下面所描述一種激光諧振腔，包括輸入部件、輸出部件和連接體，所述輸入部件的入射面和輸出部件的出射面互相平行并構(gòu)成使激光振蕩的諧振腔，所述輸入部件和輸出部件的通光面分別鍍制有相應(yīng)波段的膜層，所述連接體通過光學(xué)膠將輸入部件和輸出部件連接固定。進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述輸入部件的入射面和所述輸出部件的出射面的平行度小于等于15秒。進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述輸入部件為激光晶體，所述輸出部件為輸出鏡或非線性晶體。進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述輸入部件為激光晶體，所述輸出部件為輸出鏡，在所述激光晶體和輸出鏡之間還設(shè)置有非線性晶體，所述非線性晶體固定在所述連接體上， 其通光面和諧振腔的腔面平行。
進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述輸入部件、輸出部件以及連接體使用相同基質(zhì)或者膨脹系數(shù)相近的材料。進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述激光晶體選自而1￥04或而146或而11^或 Nd:GdVO4。進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述連接體選自YVO4或YAG或YLF或GdVO4或硅片或陶瓷片或玻璃。進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述非線性晶體選自PI3KTP或PPLN或PPLT或LBO或 BBO 或 BiBO 或 LN 或 KNO3 或 KTA 或 CBO 或 CLBO 或 PPMgOLN 或 KN 或 LiI。為了實現(xiàn)本發(fā)明的第二個目的，本發(fā)明提供了一種可以大批量生產(chǎn)的激光諧振腔，其具體技術(shù)方案如下面所描述一種固體激光器，包括能夠輸出泵浦光的泵浦源，其中，還包括激光諧振腔，所述泵浦源輸出的泵浦光直接入射到所述諧振腔的入射面。進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，還設(shè)置有對所述泵浦光進(jìn)行耦合的光學(xué)耦合元件，泵浦源、光學(xué)耦合元件、激光諧振腔依次排列在一條直線上，所述泵浦源輸出的泵浦光經(jīng)過光學(xué)耦合元件的整形和聚焦后入射到所述諧振腔的入射面。進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述泵浦源為半導(dǎo)體激光器，所述光學(xué)耦合元件為耦合
^Mi ο進(jìn)一步地，優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是，所述泵浦源為矩陣模式排列的多個半導(dǎo)體激光器，所述光學(xué)耦合元件為與半導(dǎo)體激光器輸出光路對應(yīng)的多個自聚焦透鏡。為了實現(xiàn)本發(fā)明的第三個目的，本發(fā)明提供了一種可以大批量生產(chǎn)的激光諧振腔，其具體技術(shù)方案如下面所描述一種激光諧振腔的制造方法，包括(a)選用大尺寸的匹配的輸入部件材料、輸出部件材料以及連接體材料；(b)通過所述連接體材料將所述輸入部件材料和輸出部件材料連接固定，得到諧振腔胚胎；(c)對所述諧振腔胚胎進(jìn)行切割。進(jìn)一步地，優(yōu)選的方法是，步驟(C)中，對所述諧振腔胚胎進(jìn)行切割根據(jù)輸入部件或輸出部件材料的高度方向所需尺寸沿著與所述高度方向垂直的平面進(jìn)行。進(jìn)一步地，優(yōu)選的方法是，所述連接體材料通過光學(xué)膠將所述輸入部件材料和輸出部件材料連接固定。進(jìn)一步地，優(yōu)選的方法是，在步驟(a)和(b)之間對輸入部件和輸出部件的通光面進(jìn)行相應(yīng)波段的鍍膜。進(jìn)一步地，優(yōu)選的方法是，在步驟(b)中調(diào)整輸入部件的入射面和輸出部件的出射面的平行度，使其小于等于15秒。進(jìn)一步地，優(yōu)選的方法是，當(dāng)在步驟(b)之前未對輸入部件和輸出部件的通光面進(jìn)行相應(yīng)波段的鍍膜時，在步驟(b)中連接固定后調(diào)節(jié)輸入部件的入射面和輸出部件的出射面平行度小于等于15秒，然后對其進(jìn)行相應(yīng)波段的鍍膜。進(jìn)一步地，優(yōu)選的方法是，所述輸入部件為激光晶體，所述輸出部件為輸出鏡或者非線性晶體。
采用了本發(fā)明所公開的激光諧振腔的制造方法以后，生產(chǎn)出來的一體化的激光諧振腔的腔鏡平行度高，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，應(yīng)用時只需要配備半導(dǎo)體泵浦源和制冷系統(tǒng)即可獲得激光輸出，因此操作人員不需要極強(qiáng)的專業(yè)知識即可使用諧振腔進(jìn)行固體激光器的組裝，操作程序簡單快捷，且組裝的固體激光器結(jié)構(gòu)和性能穩(wěn)定。本發(fā)明激光諧振腔的制造方法有望在固體激光器的大規(guī)模生產(chǎn)中獲得廣泛的應(yīng)用。


通過下面結(jié)合附圖對其示例性實施例進(jìn)行的描述，本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點將會變得更加清楚和容易理解。圖1為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4所涉及的激光諧振腔的中沿A-A方向的剖視圖；圖6為本發(fā)明所涉及的固體激光器的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明所涉及的固體激光器的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為圖7所涉及的固體激光器的中沿A-A方向剖視圖；圖9為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的制造方法的具體實施例的流程圖。
具體實施例方式下面依據(jù)附圖和具體實施例詳細(xì)地描述本發(fā)明。首先，結(jié)合附圖對本發(fā)明所涉及的激光諧振腔進(jìn)行詳細(xì)的描述。實施例1 圖1為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，所述的輸入部件采用激光晶體，所述的輸出部件采用輸出鏡。具體來說，所述激光諧振腔包括激光晶體101，輸出鏡102，連接體103。在該實施例中，所述輸出鏡102為平平鏡。其中，激光晶體101、輸出鏡102和連接體103采用熱膨脹系數(shù)相近的材料，可以降低熱效應(yīng)對諧振腔整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的影響。其中激光晶體101入射面(Si面)的中心和輸出鏡102的出射面(S2面)的中心位于同一軸線，激光晶體101的通光面和輸出鏡102的通光面鍍上基頻光相應(yīng)的膜層(膜層未在圖中畫出)，激光晶體101的S 1面和輸出鏡102的S2面的平行度小于等于15秒， 二者共同構(gòu)成激光諧振腔。連接體103利用紫外膠粘結(jié)在激光晶體101和輸出鏡102的非通光面的相對兩側(cè) (Χ0Υ面)。此激光諧振腔的Sl面?zhèn)瓤梢灾苯优渲闷ヅ涞陌雽?dǎo)體泵浦源，此激光諧振腔即可輸出基頻光。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)能理解，此處的紫外膠也可用其他常用光學(xué)膠替代。采用了本實施例中的激光諧振腔，激光器組裝速度快，簡單易行，對操作人員的專業(yè)技能要求較低，諧振腔平行度高，可以大大提高固體激光器的生產(chǎn)速度，便于批量化生產(chǎn)；由于連接體103與激光晶體101及輸出鏡102粘連在一起，提高了系統(tǒng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性；同時可快速將激光晶體101內(nèi)的熱量散出，降低系統(tǒng)熱效應(yīng)，提高激光器輸出光穩(wěn)定
6性。此激光諧振腔有望在固體激光器的大規(guī)模生產(chǎn)中獲得廣泛的應(yīng)用。本實施例中，激光晶體101采用NchYVO4晶體，還可根據(jù)需要產(chǎn)生的激光采用 Nd: YAG, Nd: YLF或Nd = GdVO4中的一種，輸出鏡102和連接體103采用YVO4，還可采用YAG、 YLF、GdVO4晶體、硅片、陶瓷片或玻璃等中的一種，總之，連接體103的熱膨脹系數(shù)與激光晶體101的熱膨脹系數(shù)越相近越好，三者為同基質(zhì)材料當(dāng)然更佳。另外，所述激光諧振腔的腔型除平-平腔外，還可以是平-凹腔、平-凸腔、雙凹腔或雙凸腔等；激光諧振腔中的連接體103也可以粘結(jié)在激光晶體非通光面的相鄰兩側(cè)，當(dāng)然，如果加工工藝能保證牢固性，為了光學(xué)冷加工過程中方便操作和日后使用中的清潔保養(yǎng)，也可以只用一個連接體粘結(jié)在非通光面的一側(cè)，此種情況不再贅述。實施例2 圖2為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，所述輸出部件采用經(jīng)過鍍膜處理的倍頻晶體。其中包括激光晶體201、倍頻晶體202、連接體203。本實施例中，激光晶體201的通光面和倍頻晶體202的通光面鍍有關(guān)于基頻光和倍頻光相應(yīng)的膜層，激光晶體201的入射面和倍頻晶體的出射面構(gòu)成激光諧振腔，此激光諧振腔為平-平腔。所述激光諧振腔進(jìn)行工作時，在激光晶體201的入射面端配置半導(dǎo)體泵浦源端面泵浦于激光晶體201，在激光諧振腔內(nèi)首先產(chǎn)生基頻光，經(jīng)過倍頻晶體202后變?yōu)楸额l光， 經(jīng)過倍頻晶體202出射面發(fā)射。本實施例中沒有使用輸出鏡，而是在倍頻晶體202的出射面鍍上基頻光的高反膜和倍頻光的高透膜，使入射面和出射面構(gòu)成激光器諧振腔，此結(jié)構(gòu)省去了輸出鏡使得結(jié)構(gòu)更加簡單，且可以直接獲得可見光。實施例3 圖3為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，本實施例中，激光諧振腔采用輸出鏡和激光晶體構(gòu)成諧振腔。具體來說，所述激光諧振腔包括激光晶體301、倍頻晶體302、連接體303和輸出鏡304。其中輸出鏡304為平-凹鏡，所述的諧振腔中的倍頻晶體302的在諧振腔制造過程中即粘結(jié)在兩側(cè)的連接體303上，并且其通光面和諧振腔的腔面平行，此處不再詳細(xì)描述。本實施例中所述倍頻晶體采用PPKTP。在實施例2和3中，倍頻晶體是非線性晶體的一種，其作用是對激光晶體產(chǎn)生的基頻光進(jìn)行倍頻得到想要的倍頻光，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)能理解，根據(jù)實際需要，倍頻晶體也可以換成其他非線性晶體，如和頻晶體、差頻晶體，參量振蕩晶體(OPO)、參量放大晶體 (OPA)或周期極化晶體等。具體為采用 PPLN、PPLT、LB0、BB0、BiB0、LN、KN03、KTA、CB0、CLB0、 PPMgOLN, KN 或 Li I 中的一種。實施例4:圖4為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，圖5為圖4 所涉及的激光諧振腔的中沿A-A方向的剖視圖，具體來說，其中包括激光晶體401，輸出鏡 402，連接體403。輸出鏡402為平-凹鏡，諧振腔為平-凹腔。本實施例所公開的激光諧振腔與圖1所表示的具體實施例的唯一區(qū)別是輸出鏡的類型不同。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)能理解，實施例3和4中的輸出鏡為平-凹鏡，其作為諧振腔的一部分使激光產(chǎn)生振蕩，因此其凹面為諧振腔的出射面，鍍制有相應(yīng)工作波長的膜，一般情況下，其凹面朝向諧振腔內(nèi)部放置，某些場合凹面也可朝向諧振腔外部放置。此外，對于本發(fā)明的激光諧振腔，也可以輸入部件為光學(xué)平片，輸出部件為激光晶體或非線性晶體或光學(xué)平片。下面，對本發(fā)明所涉及的固體激光器進(jìn)行詳細(xì)的描述。實施例5 圖6為本發(fā)明所涉及的固體激光器的一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，具體來說， 其包括半導(dǎo)體泵浦源601、耦合鏡602、激光諧振腔603和倍頻晶體604。半導(dǎo)體泵浦源601 采用半導(dǎo)體激光器；激光諧振腔603包括Nd = YVO4激光晶體6031、輸出鏡YVO4晶體6032和連接體YVO4晶體6033 ；倍頻晶體604為PPKTP晶體。倍頻晶體604放置于諧振腔603的腔內(nèi)，其Z軸向的兩個側(cè)面與諧振腔603分離， 倍頻晶體604和諧振腔603利用膠或焊接等方法共同固定在熱沉(此處未畫出)上。NdiYVO4激光晶體6031的入射面和輸出鏡YVO4晶體6032出射面構(gòu)成激光諧振腔 603，諧振腔603腔面平行度小于等于15秒，諧振腔603的各腔面和倍頻晶體304的通光面均鍍有相應(yīng)工作波長需要的膜層，此激光諧振腔為平-平腔。半導(dǎo)體泵浦源601發(fā)射激光經(jīng)耦合鏡602整形聚焦后泵浦于NchYVO4晶體6031的入射面，在激光諧振腔603內(nèi)首先產(chǎn)生基頻光，經(jīng)過PHiTP晶體后變?yōu)楸额l光，經(jīng)過輸出鏡 6032發(fā)射。此處，若半導(dǎo)體泵浦源601的出光質(zhì)量滿足直接泵浦的要求或?qū)︸詈闲室蟛桓?，也可不使用耦合鏡602，而是將半導(dǎo)體泵浦源601產(chǎn)生的泵浦光直接泵浦于NchYVO4 晶體6031的入射面。實施例6:圖7為本發(fā)明所涉及的固體激光器的另一個具體實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，圖8為圖 7所涉及的固體激光器的中沿A-A方向剖視圖。如圖所示，所公開的固體激光器為陣列式固體激光器。其中包括泵浦源701、光學(xué)耦合系統(tǒng)702、平-凹激光諧振腔703和倍頻晶體 704。具體進(jìn)行描述，所述平-凹激光諧振腔703由Nd:YAG激光晶體7031、YAG晶體輸出鏡 7032和YAG晶體連接體7033構(gòu)成；倍頻晶體704采用KTP晶體；泵浦源701采用12個半導(dǎo)體激光器組成，按照4X3的矩陣模式排列在YOZ面內(nèi)。此外，所述光學(xué)耦合系統(tǒng)702包含 12個自聚焦透鏡，12個自聚焦透鏡分別放置于12個半導(dǎo)體激光器的輸出光路上且與12束半導(dǎo)體激光一一對應(yīng)。Nd: YAG晶體的入射面和輸出鏡的出射面構(gòu)成12組激光諧振腔，每組諧振腔均為平-凹腔。具體進(jìn)行描述，所述諧振腔的各個腔面以及倍頻晶體704的通光面鍍上基頻光和倍頻光的相應(yīng)膜層，半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生的12束并行的激光，分別經(jīng)12個自聚焦透鏡聚焦后端面泵浦于Nd:YAG晶體7031，形成陣列式多點泵浦，激光諧振腔703內(nèi)首先產(chǎn)生基頻光，基頻光經(jīng)過KTP倍頻晶體7032后轉(zhuǎn)化為倍頻光經(jīng)過輸出鏡7033的出射面輸出12束倍頻光。所述陣列式固體激光器采用多點泵浦，更好的實現(xiàn)熱力分散，減小了晶體熱負(fù)載密度，激光晶體的表面積和體積越大，散熱效果越好，因此在初期制作激光諧振腔時候即可采用大尺寸晶體，不再進(jìn)行切割。下面詳細(xì)描述本發(fā)明所述的一體化激光諧振腔的制造方法。在此，主要以圖1所述的實施例所涉及的激光諧振腔的結(jié)構(gòu)為例，在此，所述實施例僅僅是例示性的，元件的材料、尺寸和諧振腔腔型的區(qū)別不影響其制造方法的本質(zhì)。圖9為本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的制造方法的具體實施例的流程圖。本發(fā)明所涉及的激光諧振腔的制造方法可按照下面的步驟進(jìn)行步驟(a) 901 首先選用大尺寸的匹配的激光晶體材料、輸出鏡材料和連接體材料 (所述“大尺寸”是指選用的各材料在Y軸方向的尺寸比制造的單個激光諧振腔各構(gòu)成材料在Y軸方向的尺寸大至少一倍)。一般來說，本實施例中，所述大尺寸的激光晶體101采用NchYVO4晶體，也可根據(jù)需要采用Nd:YAG、Nd: YLF或Nd = GdVO4中的一種，輸出鏡102和連接體103采用YVO4，也可根據(jù)需要采用YAG、YLF、GdV04晶體、硅片、陶瓷片或玻璃中的一種，總之，其熱膨脹系數(shù)與激光晶體的熱膨脹系數(shù)越相近越好，三者為同基質(zhì)材料當(dāng)然更佳。此外，在圖2所示的實施例中所述的激光諧振腔中，所述倍頻晶體采用ΡΗ ΤΡ，也可根據(jù)需要采用 PPLN、PPLT, LB0、ΒΒ0、BiBO, LN、KNO3> KTA、CBO、CLBO, PPMgOLN, KN 或 LiI 中的一種。步驟(b)902 選擇是否先對激光晶體和輸出鏡進(jìn)行鍍膜；步驟903 若選擇“是”，則將激光晶體401的入射面和出射面、輸出鏡402的入射面和出射面進(jìn)行相應(yīng)波段的鍍膜，(鍍膜未畫出)；然后利用紫外膠將連接體403粘結(jié)在激光晶體401和輸出鏡402側(cè)面上，此時紫外膠并沒有固化，各個晶體仍然可以進(jìn)行位置上的反復(fù)調(diào)節(jié)；利用平行度檢測儀檢測激光晶體401的入射面和輸出鏡402的出射面是否平行， 當(dāng)激光晶體401的入射面和輸出鏡的出射面402平行度小于等于15秒時，立即用紫外光照射使得紫外膠固化，獲得如圖4所示的高平行度諧振腔胚胎。步驟904 若選擇“否”，則將未鍍膜的激光晶體401和輸出鏡402利用紫外膠粘結(jié)在連接體403上；同時利用平行度檢測儀進(jìn)行檢測，調(diào)節(jié)激光晶體401的入射面和輸出鏡 402的出射面平行度小于等于15秒；然后利用鍍膜機(jī)對激光晶體401通光面和輸出鏡402 的通光面鍍制相應(yīng)的膜層，獲得如圖4所示的高平行度諧振腔胚胎。連接體103利用紫外膠粘結(jié)在激光晶體和輸出鏡的非通光面的相對兩側(cè)(Χ0Υ 面)，激光諧振腔中的連接體103也可以粘結(jié)在激光晶體非通光的相鄰兩側(cè)，當(dāng)然，也可以只用一個連接體粘結(jié)在非通光面的一側(cè)，在此，不再贅述。步驟(c)905 獲得諧振腔胚胎后，根據(jù)激光晶體401的高度方向(Y軸方向)所需尺寸利用切割技術(shù)沿著XOZ面進(jìn)行切割，獲得多組一體化平-凹激光諧振腔，當(dāng)輸出鏡為平-凹或平-凸等形狀時，進(jìn)行切割的時候就要注意不能破壞其凹面或凸面結(jié)構(gòu)，在其鄰接處進(jìn)行切割。采用切割的目的是提高激光諧振腔的生產(chǎn)效率，此方法比較適合容易生長出大尺寸的NchYVO4晶體等，可以通過切割獲得多組激光諧振腔，提高諧振腔生產(chǎn)效率，當(dāng)然，也可以不采用切割方法，直接選取尺寸適當(dāng)?shù)木w制作激光諧振腔，在此不再贅述。需要注意的是，雖然上面針對所述激光諧振腔具體描述了本發(fā)明的原理以及具體實施方式
，但是，在本發(fā)明的上述教導(dǎo)下，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在上述實施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行各種改進(jìn)和變形，而這些改進(jìn)或者變形落在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，上面的具體描述只是為了解釋本發(fā)明的目的，并非用于限制本發(fā)明。本發(fā)明的保護(hù)范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求
1.一種激光諧振腔，包括輸入部件、輸出部件和連接體，所述輸入部件的入射面和輸出部件的出射面互相平行并構(gòu)成使激光振蕩的諧振腔，所述輸入部件和輸出部件的通光面分別鍍制有相應(yīng)波段的膜層，所述連接體通過光學(xué)膠將輸入部件和輸出部件連接固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光諧振腔，其特征在于，所述輸入部件的入射面和所述輸出部件的出射面的平行度小于等于15秒。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光諧振腔，其特征在于，所述輸入部件為激光晶體，所述輸出部件為輸出鏡或非線性晶體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光諧振腔，其特征在于，所述輸入部件為激光晶體，所述輸出部件為輸出鏡，在所述激光晶體和輸出鏡之間還設(shè)置有非線性晶體，所述非線性晶體固定在所述連接體上，其通光面和諧振腔的腔面平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光諧振腔，其特征在于，所述輸入部件、輸出部件以及連接體使用相同基質(zhì)或者膨脹系數(shù)相近的材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光諧振腔，其特征在于，所述激光晶體選自NchYVO4或 Nd YAG 或 Nd YLF 或 Nd GdVO4。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光諧振腔，其特征在于，所述連接體選自YVO4或YAG或YLF 或GdVO4或硅片或陶瓷片或玻璃。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光諧振腔，其特征在于，所述非線性晶體選自PH(TP或 PPLN 或 PPLT 或 LBO 或 BBO 或 BiBO 或 LN 或 KNO3 或 KTA 或 CBO 或 CLBO 或 PPMgOLN 或 KN 或 LiI0
9.一種固體激光器，包括能夠輸出泵浦光的泵浦源，其特征在于，還包括權(quán)利要求1 8任一所述的激光諧振腔，所述泵浦源輸出的泵浦光直接入射到所述諧振腔的入射面。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的固體激光器，其特征在于，還設(shè)置有對所述泵浦光進(jìn)行耦合的光學(xué)耦合元件，泵浦源、光學(xué)耦合元件、激光諧振腔依次排列在一條直線上，所述泵浦源輸出的泵浦光經(jīng)過光學(xué)耦合元件的整形和聚焦后入射到所述諧振腔的入射面。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的固體激光器，其特征在于，所述泵浦源為半導(dǎo)體激光器，所述光學(xué)耦合元件為耦合鏡。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的固體激光器，其特征在于，所述泵浦源為矩陣模式排列的多個半導(dǎo)體激光器，所述光學(xué)耦合元件為與半導(dǎo)體激光器輸出光路對應(yīng)的多個自聚焦透^Ml O
13.—種激光諧振腔的制造方法，包括(a)選用大尺寸的匹配的輸入部件材料、輸出部件材料以及連接體材料；(b)通過所述連接體材料將所述輸入部件材料和輸出部件材料連接固定，得到諧振腔胚胎；(c)對所述諧振腔胚胎進(jìn)行切割。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光諧振腔的制造方法，其特征在于，步驟(c)中，對所述諧振腔胚胎進(jìn)行切割根據(jù)輸入部件或輸出部件材料的高度方向所需尺寸沿著與所述高度方向垂直的平面進(jìn)行。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光諧振腔的制造方法，其特征在于，所述連接體材料通過光學(xué)膠將所述輸入部件材料和輸出部件材料連接固定。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光諧振腔的制造方法，其特征在于，在步驟(a)和(b)之間對輸入部件和輸出部件的通光面進(jìn)行相應(yīng)波段的鍍膜。
17.根據(jù)權(quán)利要求13或16所述的激光諧振腔的制造方法，其特征在于，在步驟(b)中調(diào)整輸入部件的入射面和輸出部件的出射面的平行度，使其小于等于15秒。
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光諧振腔的制造方法，其特征在于，當(dāng)在步驟(b)之前未對輸入部件和輸出部件的通光面進(jìn)行相應(yīng)波段的鍍膜時，在步驟(b)中連接固定后調(diào)節(jié)輸入部件的入射面和輸出部件的出射面平行度小于等于15秒，然后對其進(jìn)行相應(yīng)波段的鍍膜。
19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的激光諧振腔的制造方法，其特征在于，所述輸入部件為激光晶體，所述輸出部件為輸出鏡或者非線性晶體。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種激光諧振腔，包括輸入部件、輸出部件和連接體，所述輸入部件的入射面和輸出部件的出射面互相平行并構(gòu)成使激光振蕩的諧振腔，所述輸入部件和輸出部件的通光面分別鍍制有相應(yīng)波段的膜層，所述連接體通過光學(xué)膠將輸入部件和輸出部件連接固定。所述的激光諧振腔的腔鏡平行度高，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，便于批量化生產(chǎn)，可降低生產(chǎn)成本；同時，本發(fā)明還公開了一種采用所述激光諧振腔的固體激光器，此外，本發(fā)明還公開了一種所述激光諧振腔的制造方法。
文檔編號H01S3/16GK102237630SQ20101025972
公開日2011年11月9日 申請日期2010年8月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月28日
發(fā)明者張瑛, 畢勇, 鮑光 申請人:北京中視中科光電技術(shù)有限公司