專利名稱：制造圖像感測器的方法與其圖像感測器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造一圖像感測器的方法與其圖像感測器，尤其涉及一種制造一 圖像感測器的方法與包含具有不同高度的微透鏡的一圖像感測器，用來改善量子效率以及 避免干擾。
背景技術(shù)：
請(qǐng)參考圖1與圖2，圖1所繪示的為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一種圖像感測器100的 俯視示意圖，圖2所繪示的為圖1的圖像感測器100的兩個(gè)剖面示意圖。如圖1與圖2所 示，圖像感測器100包含有一像素陣列102、一彩色濾光片陣列110以及多個(gè)微透鏡120。 彩色濾光片陣列110形成于像素陣列102上，且微透鏡120形成于彩色濾光片110上，換句 話說，每一微透鏡120形成于像素陣列102中一相對(duì)應(yīng)的像素。所有微透鏡120均具有相 同高度h，然而，由于所有微透鏡120的高度相同，會(huì)使得圖像感測器100具有干擾(cross talk)的問題，并且造成圖像感測器100的量子效率(quantum efficiency)不佳。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的之一在于提供一種制造一圖像感測器的方法與其圖像感 測器，尤其涉及一種制造一圖像感測器的方法與包含具有不同高度的微透鏡的一圖像感測 器，用來改善量子效率以及避免干擾，以解決上述的問題。依據(jù)本發(fā)明的申請(qǐng)專利范圍，其公開一種制造一圖像感測器的方法，該方法包含 有提供一光罩；利用該光罩在一像素陣列上的一彩色濾光片陣列的一第一組彩色濾光片 上的一第一位置形成具有一第一高度的一第一組微透鏡；將該光罩從該第一位置移到一第 二位置，其中該第一、第二位置的間距等于該像素陣列的一像素的寬度；以及利用該光罩在 該彩色濾光片陣列的一第二組彩色濾光片上的該第二位置形成具有一第二高度的一第二 組微透鏡，該第二高度不同于該第一高度。依據(jù)本發(fā)明的申請(qǐng)專利范圍，其公開一種圖像感測器，包含有一像素陣列、一彩 色濾光片陣列、一第一組微透鏡以及一第二組微透鏡。該彩色濾光片陣列設(shè)置于該像素陣 列上，并包含有一第一組彩色濾光片與一第二組彩色濾光片；該第一組微透鏡設(shè)置于該第 一組彩色濾光片上，并具有一第一高度；該第二組微透鏡設(shè)置于該第二組彩色濾光片上，并 具有不同于該第一高度的一第二高度。綜上所述，由于本發(fā)明的圖像感測器包含具有不同高度的微透鏡，因此本發(fā)明的 制造圖像感測器的方法與其圖像感測器可以改善量子效率以及避免干擾。


圖1所繪示的為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一種圖像感測器的俯視示意圖。圖2所繪示的為圖1的圖像感測器的兩個(gè)剖面示意圖。圖3所繪示的為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一種圖像感測器的俯視示意圖。
圖4所繪示的為圖3的圖像感測器的兩個(gè)剖面示意圖。圖5所繪示的為利用具有一棋盤圖案之一光罩在一第一位置形成一第一組微透
^Mi ο圖6所繪示的為利用該光罩在一第二位置形成一第二組微透鏡。圖7所繪示的為依據(jù)上述實(shí)施例來概述本發(fā)明的制造一圖像感測器的方法的流 程示意圖。主要元件符號(hào)說明100、300 圖像感測器102、302:像素陣列110、310 彩色濾光片陣列120:微透鏡320:第一組微透鏡330 第二組微透鏡；340:第一組彩色濾光片350 第二組彩色濾光片h 高度hi 第一高度h2 第二高度
具體實(shí)施例方式在本說明書以及所附的權(quán)利要求書當(dāng)中使用了某些詞匯來指稱特定的元件，而本 領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可理解，硬件制造商可能會(huì)用不同的名詞來稱呼同一個(gè)元件，本說明書及 所附的權(quán)利要求書并不以名稱的差異來作為區(qū)分元件的方式，而是以元件在功能上的差異 來作為區(qū)分的準(zhǔn)則，在通篇說明書及所附的權(quán)利要求書當(dāng)中所提及的「包含有」為一開放式 的用語，故應(yīng)解釋成「包含有但不限定于」。請(qǐng)參考圖3與圖4，圖3所繪示的為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一種圖像感測器300 的俯視示意圖，圖4所繪示的為圖3的圖像感測器300的兩個(gè)剖面示意圖，其中圖像感測 器300可為一 CMOS圖像感測器。如圖3與圖4所示，圖像感測器300包含有一像素陣列 302、一彩色濾光片陣列310、一第一組微透鏡320以及一第二組微透鏡330。設(shè)置于像素陣 列302上的彩色濾光片陣列310包含有一第一組彩色濾光片340與一第二組彩色濾光片 350，設(shè)置于第一組彩色濾光片340上的第一組微透鏡320具有一第一高度hl，設(shè)置于第二 組彩色濾光片350上的第二組微透鏡330具有一第二高度h2，并且第二高度h2大于第一高 度hi。在一實(shí)施例中，第一組彩色濾光片340包含有多個(gè)綠色彩色濾光片，第二組彩色 濾光片350包含有多個(gè)紅色彩色濾光片以及多個(gè)藍(lán)色彩色濾光片；在另一實(shí)施例中，第二 組彩色濾光片350包含有多個(gè)綠色彩色濾光片，第一組彩色濾光片340包含有多個(gè)紅色彩 色濾光片以及多個(gè)藍(lán)色彩色濾光片。此外，第一組彩色濾光片340與第二組彩色濾光片350排列成一棋盤圖案。如圖 5所示，第一組微透鏡320可以先經(jīng)由利用具有該棋盤圖案之一光罩在一第一位置形成，接著，將該光罩從該第一位置移到一第二位置，其中該第一、第二位置的間距等于像素陣列 302的一像素的寬度，然后再利用該光罩在該第二位置形成第二組微透鏡330，如圖6所示。請(qǐng)參考圖7，圖7所繪示的為依據(jù)上述實(shí)施例來概述本發(fā)明的制造一圖像感測器 的方法的流程示意圖。假如大體上可以得到相同的結(jié)果，則流程中的步驟不一定需要照?qǐng)D 7所示的順序來執(zhí)行，也不一定需要是連續(xù)的，也就是說，這些步驟之間可以插入其他的步 驟。本發(fā)明的方法包含有下列步驟步驟710 提供具有一棋盤圖案的一光罩。步驟720 利用該光罩在一像素陣列上的一彩色濾光片陣列的一第一組彩色濾光
片上的一第一位置形成具有一第一高度的一第一組微透鏡。步驟730 將該光罩從該第一位置移到一第二位置，其中該第一、第二位置的間距 等于該像素陣列的一像素的寬度。步驟740 利用該光罩在該彩色濾光片陣列的一第二組彩色濾光片上的該第二位 置形成具有一第二高度的一第二組微透鏡，該第二高度不同于該第一高度。綜上所述，由于本發(fā)明的圖像感測器包含具有不同高度的微透鏡，因此本發(fā)明的 制造圖像感測器的方法與其圖像感測器可以改善量子效率以及避免干擾。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求書所做的均等變化與修 飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種制造一圖像感測器的方法，包含有提供一光罩；利用該光罩在一像素陣列上的一彩色濾光片陣列的一第一組彩色濾光片上的一第一 位置形成具有一第一高度的一第一組微透鏡；將該光罩從該第一位置移到一第二位置，其中該第一、第二位置的間距等于該像素陣 列的一像素的寬度；以及利用該光罩在該彩色濾光片陣列的一第二組彩色濾光片上的該第二位置形成具有一 第二高度的一第二組微透鏡，該第二高度不同于該第一高度。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中提供該光罩的步驟包含有提供具有一棋盤圖案的該光罩。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中該第一組彩色濾光片包含有多個(gè)綠色彩色濾光片， 該第二組彩色濾光片包含有多個(gè)紅色彩色濾光片以及多個(gè)藍(lán)色彩色濾光片，并且該第二高 度大于該第一高度。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中該第一組彩色濾光片包含有多個(gè)綠色彩色濾光片， 該第二組彩色濾光片包含有多個(gè)紅色彩色濾光片以及多個(gè)藍(lán)色彩色濾光片，并且該第一高 度大于該第二高度。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中該圖像感測器為一CMOS圖像感測器。
6.一種圖像感測器，包含有一像素陣列；一彩色濾光片陣列，設(shè)置于該像素陣列上，包含有一第一組彩色濾光片與一第二組彩 色濾光片；一第一組微透鏡，設(shè)置于該第一組彩色濾光片上，具有一第一高度；以及一第二組微透鏡，設(shè)置于該第二組彩色濾光片上，具有不同于該第一高度的一第二高度。
7.如權(quán)利要求6所述的圖像感測器，其中該第一組彩色濾光片與該第二組彩色濾光片 排列成一棋盤圖案。
8.如權(quán)利要求6所述的圖像感測器，其中該第一組彩色濾光片包含有多個(gè)綠色彩色濾 光片，該第二組彩色濾光片包含有多個(gè)紅色彩色濾光片以及多個(gè)藍(lán)色彩色濾光片，并且該 第二高度大于該第一高度。
9.如權(quán)利要求6所述的圖像感測器，其中該第一組彩色濾光片包含有多個(gè)綠色彩色濾 光片，該第二組彩色濾光片包含有多個(gè)紅色彩色濾光片以及多個(gè)藍(lán)色彩色濾光片，并且該 第一高度大于該第二高度。
10.如權(quán)利要求1所述的圖像感測器，其中該圖像感測器為一CMOS圖像感測器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種制造一圖像感測器的方法與其圖像感測器，該方法包含有提供一光罩；利用該光罩在一像素陣列上的一彩色濾光片陣列的一第一組彩色濾光片上的一第一位置形成具有一第一高度的一第一組微透鏡；將該光罩從該第一位置移到一第二位置，其中該第一、第二位置的間距等于該像素陣列的一像素的寬度；以及利用該光罩在該彩色濾光片陣列的一第二組彩色濾光片上的該第二位置形成具有一第二高度的一第二組微透鏡，該第二高度不同于該第一高度。
文檔編號(hào)H01L27/146GK102142446SQ20101027332
公開日2011年8月3日 申請(qǐng)日期2010年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月1日
發(fā)明者劉漢康, 洪少敏, 陳柏男, 黃芳銘 申請(qǐng)人:奇景光電股份有限公司, 英屬蓋曼群島恒景科技股份有限公司