專利名稱：真空傳輸制程設(shè)備及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空制程技術(shù)，特別是涉及一種真空傳輸制程設(shè)備以及相應(yīng)的真空傳輸制程方法。
背景技術(shù)：
新能源是二十一世紀(jì)世界經(jīng)濟(jì)發(fā)展中最具決定力的五大技術(shù)領(lǐng)域之一，太陽(yáng)能便是一種清潔、高效、永不衰竭的新能源。在新世紀(jì)中，各國(guó)政府都將太陽(yáng)能資源利用作為國(guó)家可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的重要內(nèi)容，光伏發(fā)電具有安全可靠、無(wú)噪聲、無(wú)污染、制約少、故障率低、維護(hù)簡(jiǎn)便等諸多優(yōu)點(diǎn)。近幾年來(lái)，國(guó)際光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展，太陽(yáng)能晶片供不應(yīng)求，于是提高太陽(yáng)能晶片的光電轉(zhuǎn)化效率和太陽(yáng)能晶片的生產(chǎn)能力已經(jīng)成為一個(gè)重要的課題。由于太陽(yáng)能晶片的許多制程都需要在真空條件下完成，所以如何減少太陽(yáng)能晶片進(jìn)出真空的時(shí)間，以及有效利用太陽(yáng)能晶片在真空中的制程時(shí)間對(duì)提高太陽(yáng)能晶片制造設(shè)備的生產(chǎn)效率而言至關(guān)重要?，F(xiàn)有的許多太陽(yáng)能晶片制造方法都具有較高的生產(chǎn)效率，例如美國(guó)專利20080038908所提到的方法，但是基于該方法的設(shè)計(jì)原理，其生產(chǎn)效率仍然會(huì)受到一些天然的限制，諸如，當(dāng)不同批次的工件進(jìn)出真空環(huán)境時(shí)，或是在真空環(huán)境中從已加工工件切換至下批次待加工工件時(shí)，對(duì)工件的加工制程都不得不發(fā)生中斷，在該中斷時(shí)間段內(nèi)，整個(gè)設(shè)備完全處于無(wú)效運(yùn)行狀態(tài)，即浪費(fèi)了加工資源，又浪費(fèi)了加工時(shí)間。由此可以看出，該專利所公開(kāi)的該生產(chǎn)設(shè)備自然不可能實(shí)現(xiàn)最佳的生產(chǎn)效率。而除了該專利所公開(kāi)的該設(shè)備及方法以外，在現(xiàn)有的各種其它真空制程方法中也未見(jiàn)能夠獲得最佳生產(chǎn)效率的模式。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的真空制程方法生產(chǎn)效率較低的缺陷，提供一種生產(chǎn)效率極高的真空傳輸制程設(shè)備以及相應(yīng)的真空傳輸制程方法。本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題的一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，該真空制程腔中設(shè)有一用于利用一加工介質(zhì)對(duì)工件進(jìn)行加工的加工裝置，其特點(diǎn)在于，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)，并均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；至少兩個(gè)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)的傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)均可以沿著進(jìn)件腔、該真空制程腔、出件腔的路線往復(fù)移動(dòng)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面不同、但該加工介質(zhì)的傳輸路徑穿過(guò)所有傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面；一第一機(jī)械手臂， 用于從大氣環(huán)境向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件；一第二機(jī)械手臂，用于從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；其中，該加工介質(zhì)能夠穿過(guò)各傳輸平臺(tái)、但無(wú)法穿過(guò)工件，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔。
較佳地，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同高度處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔。本發(fā)明的另一技術(shù)方案為一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，該真空制程腔中設(shè)有一用于利用一加工介質(zhì)對(duì)工件進(jìn)行加工的加工裝置，其特點(diǎn)在于，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)，并均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；至少兩個(gè)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)的傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)均可以沿著進(jìn)件腔、該真空制程腔、出件腔、大氣環(huán)境的環(huán)形路線單方向移動(dòng)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面不同、但該加工介質(zhì)的傳輸路徑穿過(guò)所有傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面；一第一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件以及從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；其中，該加工介質(zhì)能夠穿過(guò)各傳輸平臺(tái)、但無(wú)法穿過(guò)工件，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔。較佳地，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同高度處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。較佳地，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同高度處接受該加工介質(zhì)的加工。本發(fā)明的又一技術(shù)方案為一種利用上述真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特點(diǎn)在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。較佳地，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同高度處接受該加工介質(zhì)的加工。本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于在本發(fā)明中，各傳輸平臺(tái)能夠依次連續(xù)地承載著工件穿過(guò)加工介質(zhì)的作用范圍，不但同一個(gè)傳輸平臺(tái)上的各工件能夠連續(xù)地接受該加工介質(zhì)的加工，對(duì)于相繼動(dòng)作的傳輸平臺(tái)而言，當(dāng)前一傳輸平臺(tái)上的最后一個(gè)工件即將移出該加工介質(zhì)的作用范圍從而完成加工時(shí)，后一傳輸平臺(tái)上的第一個(gè)工件同時(shí)也即將移進(jìn)該加工介質(zhì)的作用范圍開(kāi)始接受加工，因此當(dāng)傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)，相繼動(dòng)作的傳輸平臺(tái)上的各工件同樣能夠連續(xù)地接受該加工介質(zhì)的加工。由此可見(jiàn)，本發(fā)明能夠保證整個(gè)加工過(guò)程的連續(xù)有效進(jìn)行，從而實(shí)現(xiàn)極高的生產(chǎn)效率。


圖1為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的第一實(shí)施例的第一運(yùn)行狀態(tài)側(cè)視圖。圖2為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的第一實(shí)施例的第二運(yùn)行狀態(tài)側(cè)視圖。圖3為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的第一實(shí)施例的第三運(yùn)行狀態(tài)側(cè)視圖。圖4為本發(fā)明的該真空傳輸制程設(shè)備的第二實(shí)施例的運(yùn)行狀態(tài)俯視圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。實(shí)施例1如圖1-3所示，本實(shí)施例的該真空傳輸制程設(shè)備首先包括有一真空制程腔1，該真空制程腔1中設(shè)有一加工裝置2，該加工裝置2利用一加工介質(zhì)3對(duì)工件進(jìn)行加工，該加工裝置2較佳地以非接觸方式對(duì)工件進(jìn)行加工，即例如以離子束或等離子體加工工件，此時(shí)該加工介質(zhì)3相應(yīng)地為離子束或等離子體，該加工裝置2也可以為對(duì)工件進(jìn)行熱處理或退
火處理的裝置等等。該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔1 一側(cè)的進(jìn)件腔4，以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔1另一側(cè)的出件腔5，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)。該些進(jìn)件腔及出件腔均可以選用體積相較于該真空制程腔1較小的真空盒。每個(gè)進(jìn)件腔及出件腔在與該真空制程腔1相連的一側(cè)均具有一密封閥門(mén)(下文中稱為真空側(cè)閥門(mén))，而在遠(yuǎn)離該真空制程腔1的另一側(cè)均同樣具有另一密封閥門(mén)(下文中稱為大氣側(cè)閥門(mén))，該些進(jìn)件腔及出件腔均可以快速地在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換，從而使得工件能夠通過(guò)它們?cè)谠撜婵罩瞥糖?與大氣環(huán)境之間快速傳遞，而不對(duì)該真空制程腔1的真空狀態(tài)產(chǎn)生影響。該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)傳輸平臺(tái)6，各傳輸平臺(tái)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)，并且可以沿著進(jìn)件腔-該真空制程腔-出件腔的線性路線往復(fù)移動(dòng)，即在不同的步驟中，一傳輸平臺(tái)可能位于相應(yīng)的進(jìn)件腔中或相應(yīng)的出件腔中，也可能處于從該進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向該出件腔的過(guò)程中，也可能處于從該出件腔經(jīng)該真空制程腔移回該進(jìn)件腔的過(guò)程中。該真空傳輸制程設(shè)備還包括一位于各進(jìn)件腔的大氣側(cè)的第一機(jī)械手臂7，用于從大氣環(huán)境中的待加工工件堆放區(qū)向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載待加工工件；以及一位于各出件腔的大氣側(cè)的第二機(jī)械手臂8，用于從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境中的已加工工件堆放區(qū)卸載已加工工件。在本發(fā)明中，各傳輸平臺(tái)為中空結(jié)構(gòu)，當(dāng)其上未承載工件時(shí)，該加工介質(zhì)3將能夠穿過(guò)該傳輸平臺(tái)，而當(dāng)其上承載有工件時(shí)，則該加工介質(zhì)3將被工件阻擋、并對(duì)工件實(shí)施加工。在本發(fā)明中，特別地，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面各不相同，但是確保該加工介質(zhì)3的傳輸路徑將穿過(guò)所有傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面。圖1-3所示便為各傳輸平臺(tái)以及該加工裝置 2的其中一種設(shè)置方式的側(cè)視圖，在該設(shè)置方式中采用了三對(duì)進(jìn)件腔及出件腔(即進(jìn)件腔 4a.4b.4c以及出件腔fe、5b、5c)以及三個(gè)相應(yīng)的傳輸平臺(tái)(即傳輸平臺(tái)6a、6b、6c)，一方面，該加工裝置2生成的該加工介質(zhì)3向下方傳輸，另一方面，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔相互疊設(shè)，即僅僅設(shè)置高度不同，從而各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面也僅僅高度不同；但是確保該加工介質(zhì)3的傳輸路徑對(duì)準(zhǔn)傳輸平臺(tái)6a的移動(dòng)平面。由此，當(dāng)傳輸平臺(tái)6a上承載有工件時(shí)，該加工介質(zhì)3便將對(duì)傳輸平臺(tái)6a上的工件實(shí)施加工；當(dāng)傳輸平臺(tái)6a上未承載工件，而傳輸平臺(tái) 6b上承載有工件時(shí)，該加工介質(zhì)3便將穿過(guò)傳輸平臺(tái)6a對(duì)傳輸平臺(tái)6b上的工件實(shí)施加工； 依此類推。在本發(fā)明的該真空傳輸制程方法中，特別地，已經(jīng)完成工件裝載的各傳輸平臺(tái)從相應(yīng)的進(jìn)件腔移向相應(yīng)的出件腔的過(guò)程是依次連續(xù)地進(jìn)行的。所謂的依次連續(xù)進(jìn)行意味著當(dāng)一個(gè)已經(jīng)完成工件裝載的傳輸平臺(tái)開(kāi)始承載著工件從進(jìn)件腔移向出件腔時(shí)，其上的各工件將連續(xù)地穿過(guò)該加工介質(zhì)3的作用范圍完成加工，稍晚一些，另一個(gè)同樣完成工件裝載的傳輸平臺(tái)也將承載著工件從進(jìn)件腔開(kāi)始移向出件腔，但是該后一個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面與該前一個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面不同，并且該后一個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)進(jìn)度緊隨在該前一個(gè)傳輸平臺(tái)的移動(dòng)進(jìn)度之后，從而當(dāng)該前一個(gè)傳輸平臺(tái)上的最后一個(gè)工件即將移出該加工介質(zhì)3的作用范圍完成加工時(shí)，該后一個(gè)傳輸平臺(tái)上的第一個(gè)工件便即將移進(jìn)該加工介質(zhì)3的作用范圍開(kāi)始接受加工，這樣一來(lái)在傳輸平臺(tái)發(fā)生切換時(shí)，仍然能夠確保各傳輸平臺(tái)上的各工件能夠連續(xù)地接受該加工介質(zhì)3的加工。而在該前一個(gè)傳輸平臺(tái)以及該后一個(gè)傳輸平臺(tái)先后從進(jìn)件腔移向出件腔的過(guò)程中，其余的各傳輸平臺(tái)的狀態(tài)為1)處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或者2)位于相應(yīng)的進(jìn)件腔中，并且該進(jìn)件腔正處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂7從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或者3)位于相應(yīng)的出件腔中，并且該出件腔正處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂8從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。以下將以圖1-3的設(shè)置方式為例，對(duì)本發(fā)明的該真空傳輸制程方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。步驟100，將進(jìn)件腔如、413、如的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將待加工工件堆放區(qū)中的待加工工件裝載至該些進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)6a、6b、6c上(在本例中工件即為晶片)；同時(shí)，出件腔fe、5b、5c的真空側(cè)閥門(mén)以及大氣側(cè)閥門(mén)均關(guān)閉，然后開(kāi)始抽真空。步驟101，將進(jìn)件腔如、413、如的大氣側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，然后開(kāi)始抽真空；同時(shí)，出件腔 fe、5b、5c抽氣至真空狀態(tài)，然后將該些出件腔的真空側(cè)閥門(mén)打開(kāi)。
步驟102，進(jìn)件腔^、4b、k抽氣至真空狀態(tài)，然后將該些進(jìn)件腔的真空側(cè)閥門(mén)打開(kāi)；同時(shí)，將該加工裝置2調(diào)整至預(yù)備加工狀態(tài)。步驟103，如圖1所示，傳輸平臺(tái)6a承載著進(jìn)件腔如中的工件向出件腔fe移動(dòng)， 在該移動(dòng)過(guò)程中，該些工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái) 6a送入出件腔。步驟104，緊隨著傳輸平臺(tái)6a的移動(dòng)進(jìn)度，傳輸平臺(tái)6b承載著進(jìn)件腔4b中的工件向出件腔恥移動(dòng)，當(dāng)該加工介質(zhì)3完成對(duì)傳輸平臺(tái)6a上的最后一個(gè)工件的加工之后，便開(kāi)始加工傳輸平臺(tái)6b上的第一個(gè)工件。步驟105，傳輸平臺(tái)6a承載著完成加工的工件完全進(jìn)入出件腔fe，將出件腔fe的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并充氣至大氣狀態(tài)，然后將出件腔fe的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第二機(jī)械手臂8將傳輸平臺(tái)6a上的工件卸載至已加工工件堆放區(qū)；同時(shí)，如圖2所示，傳輸平臺(tái)6b 上的工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái)6b送入出件腔5b。步驟106，將出件腔fe的大氣側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，抽氣至真空狀態(tài)，然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)，接著傳輸平臺(tái)6a移回進(jìn)件腔如，將進(jìn)件腔如的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并且充氣至大氣狀態(tài)， 然后將進(jìn)件腔如的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將待加工工件堆放區(qū)中的工件裝載至傳輸平臺(tái)6a ；同時(shí)，緊隨著傳輸平臺(tái)6b的移動(dòng)進(jìn)度，傳輸平臺(tái)6c承載著進(jìn)件腔如中的工件向出件腔5c移動(dòng)，當(dāng)該加工介質(zhì)3完成對(duì)傳輸平臺(tái)6b上的最后一個(gè)工件的加工之后，便開(kāi)始對(duì)傳輸平臺(tái)6c上的第一個(gè)工件進(jìn)行加工。步驟107，進(jìn)件腔如完成工件裝載后，關(guān)閉其大氣側(cè)閥門(mén)，并且抽氣至真空狀態(tài)， 然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)，傳輸平臺(tái)6b承載著完成加工的工件完全進(jìn)入出件腔恥，將出件腔恥的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并充氣至大氣狀態(tài)，然后將出件腔恥的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第二機(jī)械手臂8將傳輸平臺(tái)6b上的工件卸載至已加工工件堆放區(qū)；同時(shí)，如圖3所示，傳輸平臺(tái)6c上的工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái)6c送入出件腔5c。步驟108，將出件腔恥的大氣側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，抽氣至真空狀態(tài)，然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)，接著傳輸平臺(tái)6b移回進(jìn)件腔4b，將進(jìn)件腔4b的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并且充氣至大氣狀態(tài)， 然后將進(jìn)件腔4b的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將待加工工件堆放區(qū)中的工件裝載至傳輸平臺(tái)6b ；同時(shí)，緊隨著傳輸平臺(tái)6c的移動(dòng)進(jìn)度，傳輸平臺(tái)6a承載著進(jìn)件腔如中的工件向出件腔fe移動(dòng)，當(dāng)該加工介質(zhì)3完成對(duì)傳輸平臺(tái)6c上的最后一個(gè)工件的加工之后，便開(kāi)始對(duì)傳輸平臺(tái)6a上的第一個(gè)工件進(jìn)行加工。步驟109，進(jìn)件腔4b完成工件裝載后，關(guān)閉其大氣側(cè)閥門(mén)，并且抽氣至真空狀態(tài)， 然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)，傳輸平臺(tái)6c承載著完成加工的工件完全進(jìn)入出件腔5c，將出件腔5c的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并充氣至大氣狀態(tài)，然后將出件腔5c的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第二機(jī)械手臂8將傳輸平臺(tái)6c上的工件卸載至已加工工件堆放區(qū)；同時(shí)，如圖1所示，傳輸平臺(tái)6a上的工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái)6a送入出件腔如。步驟110，將出件腔5c的大氣側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，抽氣至真空狀態(tài)，然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)，接著傳輸平臺(tái)6c移回進(jìn)件腔如，將進(jìn)件腔如的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并且充氣至大氣狀態(tài)， 然后將進(jìn)件腔4c的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將待加工工件堆放區(qū)中的工件裝載至傳輸平臺(tái)6c ；同時(shí)，緊隨著傳輸平臺(tái)6a的移動(dòng)進(jìn)度，傳輸平臺(tái)6b承載著進(jìn)件腔4b中的工件向出件腔恥移動(dòng)，當(dāng)該加工介質(zhì)3完成對(duì)傳輸平臺(tái)6a上的最后一個(gè)工件的加工之后，便開(kāi)始對(duì)傳輸平臺(tái)6b上的第一個(gè)工件進(jìn)行加工。步驟111，進(jìn)件腔如完成工件裝載后，關(guān)閉其大氣側(cè)閥門(mén)，并且抽氣至真空狀態(tài)， 然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)，傳輸平臺(tái)6a承載著完成加工的工件完全進(jìn)入出件腔fe，將出件腔fe的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并充氣至大氣狀態(tài)，然后將出件腔如的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第二機(jī)械手臂8將傳輸平臺(tái)6a上的工件卸載至已加工工件堆放區(qū)；同時(shí)，如圖2所示，傳輸平臺(tái)6b上的工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái)6b送入出件腔恥。步驟112，重復(fù)執(zhí)行步驟106 步驟111，直至完成對(duì)全部工件的加工。實(shí)施例2本實(shí)施例的該真空傳輸制程設(shè)備與實(shí)施例1的真空傳輸制程設(shè)備之間的區(qū)別僅在于在實(shí)施例1中，進(jìn)件腔4-真空制程腔1-出件腔5形成線性路線，傳輸平臺(tái)6沿著該線性路線往復(fù)移動(dòng)；而在實(shí)施例2中，如圖4所示，進(jìn)件腔4- >真空制程腔1- >出件腔5- > 大氣環(huán)境形成環(huán)形路線，傳輸平臺(tái)6沿著圖4中箭頭所示的方向沿著該環(huán)形路線單方向移動(dòng)；另外，由于此時(shí)針對(duì)各進(jìn)件腔及出件腔的工件裝載以及工件卸載動(dòng)作均可以在大氣環(huán)境中的同一個(gè)區(qū)域中執(zhí)行，因此相應(yīng)地，在實(shí)施例2中無(wú)需再設(shè)置兩個(gè)機(jī)械手臂，而是僅需設(shè)置一個(gè)第一機(jī)械手臂7即可，此時(shí)該第一機(jī)械手臂7既負(fù)責(zé)從大氣環(huán)境中的待加工工件堆放區(qū)向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件，也負(fù)責(zé)從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境中的已加工工件堆放區(qū)卸載工件。這樣一來(lái)，相對(duì)于實(shí)施例1，本實(shí)施例中的該真空傳輸制程設(shè)備結(jié)構(gòu)更加緊湊，運(yùn)轉(zhuǎn)步驟也更加緊湊，因此可以進(jìn)一步地節(jié)省空間和成本，提高加工效率。以下，仍以圖1-3所示的設(shè)置方式為例，對(duì)該實(shí)施例中的該真空傳輸制程方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。步驟200，將進(jìn)件腔如、413、如的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將待加工工件堆放區(qū)中的待加工工件裝載至該些進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)6a、6b、6c上(在本例中工件即為晶片)；同時(shí)，出件腔fe、5b、5c的真空側(cè)閥門(mén)以及大氣側(cè)閥門(mén)均關(guān)閉，然后開(kāi)始抽真空。步驟201，將進(jìn)件腔如、413、如的大氣側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，然后開(kāi)始抽真空；同時(shí)，出件腔 fe、5b、5c抽氣至真空狀態(tài)，然后將該些出件腔的真空側(cè)閥門(mén)打開(kāi)。步驟202，進(jìn)件腔^、4b、k抽氣至真空狀態(tài)，然后將該些進(jìn)件腔的真空側(cè)閥門(mén)打開(kāi)；同時(shí)，將該加工裝置2調(diào)整至預(yù)備加工狀態(tài)。步驟203，如圖1所示，傳輸平臺(tái)6a承載著進(jìn)件腔如中的工件向出件腔fe移動(dòng)， 在該移動(dòng)過(guò)程中，該些工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái) 6a送入出件腔fe。步驟204，緊隨著傳輸平臺(tái)6a的移動(dòng)進(jìn)度，傳輸平臺(tái)6b承載著進(jìn)件腔4b中的工件向出件腔恥移動(dòng)，當(dāng)該加工介質(zhì)3完成對(duì)傳輸平臺(tái)6a上的最后一個(gè)工件的加工之后，便開(kāi)始加工傳輸平臺(tái)6b上的第一個(gè)工件，并且在傳輸平臺(tái)6a完全移出進(jìn)件腔如之后，關(guān)閉進(jìn)件腔如的真空側(cè)閥門(mén)，并且充氣至大氣狀態(tài)，然后打開(kāi)進(jìn)件腔如的大氣側(cè)閥門(mén)。步驟205，傳輸平臺(tái)6a承載著完成加工的工件完全進(jìn)入出件腔fe，將出件腔如的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并充氣至大氣狀態(tài)，然后將出件腔fe的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將傳輸平臺(tái)6a上的工件卸載至已加工工件堆放區(qū)；同時(shí)，如圖2所示，傳輸平臺(tái)6b 上的工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái)6b送入出件腔5b。步驟206，傳輸平臺(tái)6a經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔4a，利用第一機(jī)械手臂7將待加工工件堆放區(qū)中的工件裝載至傳輸平臺(tái)6a;同時(shí)，出件腔fe的大氣側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，開(kāi)始抽真空； 同時(shí)，緊隨著傳輸平臺(tái)6b的移動(dòng)進(jìn)度，傳輸平臺(tái)6c承載著進(jìn)件腔如中的工件向出件腔5c 移動(dòng)，當(dāng)該加工介質(zhì)3完成對(duì)傳輸平臺(tái)6b上的最后一個(gè)工件的加工之后，便開(kāi)始對(duì)傳輸平臺(tái)6c上的第一個(gè)工件進(jìn)行加工，并且在傳輸平臺(tái)6b完全移出進(jìn)件腔4b之后，關(guān)閉進(jìn)件腔 4b的真空側(cè)閥門(mén)，并且充氣至大氣狀態(tài)，然后打開(kāi)進(jìn)件腔4b的大氣側(cè)閥門(mén)。步驟207，進(jìn)件腔如完成工件裝載后，關(guān)閉其大氣側(cè)閥門(mén)，并且抽氣至真空狀態(tài)， 然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)，出件腔如已經(jīng)抽氣至真空狀態(tài)，打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)， 傳輸平臺(tái)6b承載著完成加工的工件完全進(jìn)入出件腔恥，將出件腔恥的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并充氣至大氣狀態(tài)，然后將出件腔恥的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將傳輸平臺(tái)6b 上的工件卸載至已加工工件堆放區(qū)；同時(shí)，如圖3所示，傳輸平臺(tái)6c上的工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái)6c送入出件腔5c。步驟208，傳輸平臺(tái)6b經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔4b，利用第一機(jī)械手臂7將待加工工件堆放區(qū)中的工件裝載至傳輸平臺(tái)6b ；同時(shí)，出件腔恥的大氣側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，開(kāi)始抽真空； 同時(shí)，緊隨著傳輸平臺(tái)6c的移動(dòng)進(jìn)度，傳輸平臺(tái)6a承載著進(jìn)件腔如中的工件向出件腔fe 移動(dòng)，當(dāng)該加工介質(zhì)3完成對(duì)傳輸平臺(tái)6c上的最后一個(gè)工件的加工之后，便開(kāi)始對(duì)傳輸平臺(tái)6a上的第一個(gè)工件進(jìn)行加工，并且在傳輸平臺(tái)6c完全移出進(jìn)件腔如之后，關(guān)閉進(jìn)件腔 4c的真空側(cè)閥門(mén)，并且充氣至大氣狀態(tài)，然后打開(kāi)進(jìn)件腔如的大氣側(cè)閥門(mén)。步驟209，進(jìn)件腔4b完成工件裝載后，關(guān)閉其大氣側(cè)閥門(mén)，并且抽氣至真空狀態(tài)， 然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)，出件腔恥已經(jīng)抽氣至真空狀態(tài)，打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)， 傳輸平臺(tái)6c承載著完成加工的工件完全進(jìn)入出件腔5c，將出件腔5c的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并充氣至大氣狀態(tài)，然后將出件腔5c的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將傳輸平臺(tái)6c 上的工件卸載至已加工工件堆放區(qū)；同時(shí)，如圖1所示，傳輸平臺(tái)6a上的工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái)6a送入出件腔fe。步驟210，傳輸平臺(tái)6c經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔4c，利用第一機(jī)械手臂7將待加工工件堆放區(qū)中的工件裝載至傳輸平臺(tái)6c ；同時(shí)，出件腔5c的大氣側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，開(kāi)始抽真空； 同時(shí)，緊隨著傳輸平臺(tái)6a的移動(dòng)進(jìn)度，傳輸平臺(tái)6b承載著進(jìn)件腔4b中的工件向出件腔恥移動(dòng)，當(dāng)該加工介質(zhì)3完成對(duì)傳輸平臺(tái)6a上的最后一個(gè)工件的加工之后，便開(kāi)始對(duì)傳輸平臺(tái)6b上的第一個(gè)工件進(jìn)行加工，并且在傳輸平臺(tái)6a完全移出進(jìn)件腔如之后，關(guān)閉進(jìn)件腔 4a的真空側(cè)閥門(mén)，并且充氣至大氣狀態(tài)，然后打開(kāi)進(jìn)件腔如的大氣側(cè)閥門(mén)。步驟211，進(jìn)件腔如完成工件裝載后，關(guān)閉其大氣側(cè)閥門(mén)，并且抽氣至真空狀態(tài)， 然后打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)，出件腔5c已經(jīng)抽氣至真空狀態(tài)，打開(kāi)其真空側(cè)閥門(mén)；同時(shí)， 傳輸平臺(tái)6a承載著完成加工的工件完全進(jìn)入出件腔fe，將出件腔如的真空側(cè)閥門(mén)關(guān)閉，并充氣至大氣狀態(tài)，然后將出件腔fe的大氣側(cè)閥門(mén)打開(kāi)，利用第一機(jī)械手臂7將傳輸平臺(tái)6a 上的工件卸載至已加工工件堆放區(qū)；同時(shí)，如圖2所示，傳輸平臺(tái)6b上的工件連續(xù)地受到該加工介質(zhì)3的加工，并在完成加工后由傳輸平臺(tái)6b送入出件腔恥。
步驟212，重復(fù)執(zhí)行步驟206 步驟211，直至完成對(duì)全部工件的加工。以上僅以設(shè)置三對(duì)進(jìn)件腔及出件腔以及三個(gè)相應(yīng)的傳輸平臺(tái)的情況為例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，進(jìn)件腔、出件腔以及傳輸平臺(tái)的數(shù)量應(yīng)當(dāng)根據(jù)加工介質(zhì)對(duì)每個(gè)工件的加工速度、傳輸平臺(tái)每批次承載的工件數(shù)量、傳輸平臺(tái)的移動(dòng)速度、機(jī)械手臂的工作速度等諸多因素綜合選定，從而最終確保在對(duì)同一個(gè)傳輸平臺(tái)上的工件進(jìn)行加工的過(guò)程中，以及在傳輸平臺(tái)發(fā)生切換的過(guò)程中，該真空傳輸制程設(shè)備始終能夠保證各工件的加工制程連續(xù)進(jìn)行。由此可見(jiàn)，本發(fā)明能夠保證整個(gè)加工過(guò)程的連續(xù)有效進(jìn)行，從而實(shí)現(xiàn)極高的生產(chǎn)效率。雖然以上描述了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，這些僅是舉例說(shuō)明，本發(fā)明的保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書(shū)限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本發(fā)明的原理和實(shí)質(zhì)的前提下，可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或修改，但這些變更和修改均落入本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，該真空制程腔中設(shè)有一用于利用一加工介質(zhì)對(duì)工件進(jìn)行加工的加工裝置，其特征在于，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)，并均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；至少兩個(gè)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)的傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)均可以沿著進(jìn)件腔、該真空制程腔、出件腔的路線往復(fù)移動(dòng)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面不同、但該加工介質(zhì)的傳輸路徑穿過(guò)所有傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面；一第一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件； 一第二機(jī)械手臂，用于從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件； 其中，該加工介質(zhì)能夠穿過(guò)各傳輸平臺(tái)、但無(wú)法穿過(guò)工件，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔。
2.如權(quán)利要求1所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同高度處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔。
3.一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括一真空制程腔，該真空制程腔中設(shè)有一用于利用一加工介質(zhì)對(duì)工件進(jìn)行加工的加工裝置，其特征在于，該真空傳輸制程設(shè)備還包括至少兩個(gè)連接于該真空制程腔一側(cè)的進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)連接于該真空制程腔另一側(cè)的出件腔，各進(jìn)件腔與各出件腔一一對(duì)應(yīng)，并均可以在大氣狀態(tài)與真空狀態(tài)之間切換；至少兩個(gè)與各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔一一對(duì)應(yīng)的傳輸平臺(tái)，各傳輸平臺(tái)均可以沿著進(jìn)件腔、該真空制程腔、出件腔、大氣環(huán)境的環(huán)形路線單方向移動(dòng)，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面不同、 但該加工介質(zhì)的傳輸路徑穿過(guò)所有傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面；一第一機(jī)械手臂，用于從大氣環(huán)境向位于進(jìn)件腔中的傳輸平臺(tái)裝載工件以及從位于出件腔中的傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件；其中，該加工介質(zhì)能夠穿過(guò)各傳輸平臺(tái)、但無(wú)法穿過(guò)工件，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔。
4.如權(quán)利要求3所述的真空傳輸制程設(shè)備，其特征在于，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同高度處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔。
5.一種利用權(quán)利要求1所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第二機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。
6.如權(quán)利要求5所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同高度處接受該加工介質(zhì)的加工。
7.一種利用權(quán)利要求3所述的真空傳輸制程設(shè)備實(shí)現(xiàn)的真空傳輸制程方法，其特征在于，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工；除了正處于從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔的過(guò)程中的傳輸平臺(tái)之外，其余各傳輸平臺(tái)或是處于從出件腔經(jīng)大氣環(huán)境移回進(jìn)件腔的過(guò)程中；或是位于進(jìn)件腔中，且該進(jìn)件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從大氣環(huán)境向位于該進(jìn)件腔中的該傳輸平臺(tái)裝載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)；或是位于出件腔中，且該出件腔處于充氣至大氣狀態(tài)、該第一機(jī)械手臂從位于該出件腔中的該傳輸平臺(tái)向大氣環(huán)境卸載工件、抽氣至真空狀態(tài)的過(guò)程中或過(guò)程結(jié)束后的等待狀態(tài)。
8.如權(quán)利要求7所述的真空傳輸制程方法，其特征在于，各對(duì)進(jìn)件腔及出件腔的設(shè)置高度不同，各傳輸平臺(tái)的移動(dòng)平面的高度不同，各傳輸平臺(tái)在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同高度處接受該加工介質(zhì)的加工。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空傳輸制程設(shè)備，其包括至少兩個(gè)進(jìn)件腔以及至少兩個(gè)出件腔；至少兩個(gè)傳輸平臺(tái)；一第一機(jī)械手臂；一第二機(jī)械手臂；其中，該加工介質(zhì)能夠穿過(guò)各傳輸平臺(tái)、但無(wú)法穿過(guò)工件，各傳輸平臺(tái)用于在裝載工件后依次連續(xù)地從進(jìn)件腔經(jīng)該真空制程腔移向出件腔，使各工件連續(xù)地在不同平面處接受該加工介質(zhì)的加工，然后在卸載工件后從出件腔經(jīng)該真空制程腔移回進(jìn)件腔。本發(fā)明還公開(kāi)了另一種真空傳輸制程設(shè)備以及兩種真空傳輸制程方法。本發(fā)明能夠保證整個(gè)加工過(guò)程的連續(xù)有效進(jìn)行，從而實(shí)現(xiàn)極高的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102403249SQ20101027473
公開(kāi)日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2010年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月7日
發(fā)明者錢(qián)鋒, 陳炯 申請(qǐng)人:上海凱世通半導(dǎo)體有限公司