專利名稱：防塵薄膜組件框架及防塵薄膜組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在制造LSI、超LSI等的半導(dǎo)體裝置、印刷基板或液晶顯示板等產(chǎn) 品時(shí)作為防塵器使用的光刻用防塵薄膜組件所使用的防塵薄膜組件框架，以及使用該框架 的防塵薄膜組件。
背景技術(shù)：
在LSI、超LSI等半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示板等產(chǎn)品的制造過程中，會(huì)用光照射半 導(dǎo)體晶圓或液晶用原板以制作圖案，如果此時(shí)所使用的曝光原版有灰塵附著的話，由于該 灰塵會(huì)吸收光，使光反射，除了會(huì)讓轉(zhuǎn)印的圖案變形、使邊緣變粗糙之外，還會(huì)使基底污黑， 并損壞尺寸、品質(zhì)、外觀等。另外，在本發(fā)明中，“曝光原版”是指光掩模等的光刻用掩模(簡 稱“掩?！?以及初縮掩模的總稱。因此，這些操作通常是在無塵室內(nèi)進(jìn)行，然而即使如此，想要經(jīng)常保持曝光原版干 凈仍是相當(dāng)困難。于是，采用以下方法在曝光原版表面貼合作為防塵器使用且對曝光用光 線的透光性良好的防塵薄膜組件。此時(shí)，異物并非直接附著于曝光原版表面上，而是附著于 防塵薄膜組件上，故只要在光刻時(shí)將焦點(diǎn)對準(zhǔn)曝光原版的圖案，防塵薄膜組件上的異物就 不會(huì)對轉(zhuǎn)印造成影響。一般而言，防塵薄膜組件，是將由具備良好透光性的硝化纖維素、醋酸纖維素或者 氟樹脂等物質(zhì)所構(gòu)成的透明防塵薄膜，貼附或接合于由鋁、不銹鋼或聚乙烯等物質(zhì)所構(gòu)成 的防塵薄膜組件框架的上端面。然后，在防塵薄膜組件框架的下端設(shè)置用來裝設(shè)到光掩模 上而由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯酯樹脂、丙烯酸樹脂或硅氧樹脂等物質(zhì)所構(gòu)成的粘著層，以 及以保護(hù)粘著層為目的的脫模層(隔離部)。防塵薄膜組件，是以包圍曝光原版表面上所形成的圖案區(qū)域的方式設(shè)置。防塵薄 膜組件，是用來防止異物附著于曝光原版上而設(shè)置的構(gòu)件，故能夠隔離該圖案區(qū)域與防塵 薄膜組件外部，使防塵薄膜組件外部的灰塵不會(huì)附著到圖案表面上。如上所述，一般而言防塵薄膜是很薄的樹脂，如果想要張?jiān)O(shè)在防塵薄膜組件框架 上而無松弛的部分，則必須在受到適當(dāng)大小的張力的狀態(tài)下接合于防塵薄膜組件框架上。因此，一般所使用的角型防塵薄膜組件，在貼合防塵薄膜后，防塵薄膜組件框架會(huì) 因?yàn)榉缐m薄膜的張力而向內(nèi)側(cè)產(chǎn)生若干彎曲。這個(gè)現(xiàn)象，對于在例如印刷基板或液晶顯示 板的制造過程中所使用的大型防塵薄膜組件、防塵薄膜組件框架邊長較大者，或?yàn)榱藴p少 防塵薄膜組件貼合后曝光原版的彎曲而采用了剛性較低的框架的防塵薄膜組件中，更為顯-frh-者O另一方面，對于光掩模等曝光原版而言，為了降低成本必須盡可能確保曝光區(qū)域 的范圍大小。因此，若不盡量減少防塵薄膜組件框架向內(nèi)側(cè)的彎曲程度的話，會(huì)造成可利用 的曝光區(qū)域減少這個(gè)問題。當(dāng)然，采用擴(kuò)大防塵薄膜組件框架的剖面積等提高剛性的方法，的確能夠解決相 關(guān)問題。但是，實(shí)際上，防塵薄膜組件框架的內(nèi)側(cè)存在如上所述的曝光區(qū)域減少的問題，而對外側(cè)而言也必須確保在固定或搬運(yùn)光掩模時(shí)的操作間隙。因此，一般而言，防塵薄膜組件 框架的各邊會(huì)因?yàn)檫@些限制而被限定成直線形狀。另外，也有使用剛性更高的材質(zhì)來作為防塵薄膜組件框架的材質(zhì)的方法，例如當(dāng) 使用碳纖維復(fù)合材料(CFRP)或鈦金屬時(shí)，可使彎曲量比一般使用鋁合金者更小。但是，這 些基本材料價(jià)格昂貴而且加工性很差，會(huì)大幅增加成本，在現(xiàn)實(shí)中難以采用。對于這個(gè)問題，專利文獻(xiàn)1揭示一種防塵薄膜組件框架，其在框體的至少一對的 邊上，在中央部設(shè)置外側(cè)凸出的圓弧形狀部，并在其兩側(cè)設(shè)置外側(cè)凹入的圓弧形狀部，更在 其外側(cè)設(shè)置直線形狀部。另外，專利文獻(xiàn)2揭示一種防塵薄膜組件，包含防塵薄膜O)，其從防塵薄膜(2) 的厚度方向觀察面積在1，OOOcm2以上；以及框架(1)，防塵薄膜( 伴隨著拉伸應(yīng)力張?jiān)O(shè) 于其上，其特征為該框架(1)包含從該防塵薄膜O)的厚度方向觀察，在單一方向上彼 此相對的相對較短的一對外周圍邊；以及從該防塵薄膜O)的厚度方向觀察，在與該單一 方向垂直的另一方向上，彼此相對的相對較長的一對外周圍邊；在將該防塵薄膜O)張?jiān)O(shè) 于該框架(1)上之前，該相對較長的一對外周圍邊的至少其中一方的外周圍邊，預(yù)先以向 外側(cè)凸出的方式彎曲，將作為該相對較長的外周圍邊的兩端部的第一點(diǎn)以及第二點(diǎn)以直線 連結(jié)所形成的假想直線，與位于該第一點(diǎn)以及該第二地點(diǎn)之間且位于該相對較長的外周圍 邊上的第三地點(diǎn)之間的關(guān)系為將該防塵薄膜O)以伴隨著拉伸應(yīng)力的方式張?jiān)O(shè)于該框架 (1)上，使該第三地點(diǎn)橫切該假想直線而該相對較長的外周圍邊變形并凹入比該假想直線 更靠內(nèi)側(cè)的位置。[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利第似86194號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)2]日本專利第40M239號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題上述專利文獻(xiàn)1所揭示的方法，的確是能夠?qū)⒎缐m薄膜組件框架的形狀在防塵薄 膜張?jiān)O(shè)后仍控制在適當(dāng)形狀的優(yōu)良方法，但存在以下所述的問題。S卩，防塵薄膜組件框架的凹凸形狀必須配合所張?jiān)O(shè)的防塵薄膜的張力分布形狀而 設(shè)計(jì)。然而，以量產(chǎn)方式生產(chǎn)的防塵薄膜的張力不可能經(jīng)常保持一定，仍會(huì)產(chǎn)生些許差異。 因此，當(dāng)薄膜張力比設(shè)計(jì)值更大時(shí)，防塵薄膜組件框架向內(nèi)側(cè)的彎曲量會(huì)變大，相反的當(dāng)較 小時(shí)，則原本設(shè)計(jì)好的向外側(cè)的突出量會(huì)有剩余。通常，考慮防塵薄膜所造成的彎曲或防塵 薄膜組件的貼合誤差等因素，防塵薄膜組件的內(nèi)寸公差會(huì)相對于掩模等的曝光原版的圖案 部設(shè)定保持若干剩余，由于向外側(cè)的彎曲不可能排除機(jī)械性變形，故本來就不會(huì)考慮進(jìn)去。 因此，當(dāng)防塵薄膜組件框架向外側(cè)變形時(shí)，在防塵薄膜組件貼合裝置或曝光機(jī)內(nèi)進(jìn)行處理 時(shí)可能會(huì)產(chǎn)生互相干涉等的問題。另外，若利用上述專利文獻(xiàn)2所揭示的方法，則雖然薄膜張力朝較弱方向分散，而 向外側(cè)的突出量有剩余的可能性較小。然而，由于原本就將邊的兩端部設(shè)成以圓弧方式連 接的形狀，故無論突出量多小兩端部也都會(huì)留下圓弧形狀，嚴(yán)格來說仍不算是沒有突出的形狀。如上所述，希望能夠得到一種即使防塵薄膜張?jiān)O(shè)前的形狀不是向外側(cè)突出的形 狀，防塵薄膜張?jiān)O(shè)后彎曲量也很少的防塵薄膜組件框架。本發(fā)明所要解決的問題在于提供一種不會(huì)因?yàn)榉缐m薄膜的張力差異而產(chǎn)生不良 情況，且防塵薄膜張力所造成的彎曲很小的防塵薄膜組件框架，以及使用該防塵薄膜組件 框架的防塵薄膜組件。用于解決問題的方案本發(fā)明的上述問題，可利用以下的手段(1)以及(4)解決。較佳實(shí)施方案O)以 及(3)也一并列出。(1) 一種防塵薄膜組件框架，其特征為在框體彼此相對的至少一對的邊上，在邊 外側(cè)面的一部分設(shè)置從兩端部朝邊中點(diǎn)方向延伸的非貫通凹部，(2)如(1)所記載的防塵薄膜組件框架，其僅在一對長邊上設(shè)置該凹部，(3)如(1)所記載的防塵薄膜組件框架，其在所有的邊上設(shè)置該凹部，(4) 一種防塵薄膜組件，其在(1) C3)任一項(xiàng)記載的防塵薄膜組件框架上張?jiān)O(shè)防 塵薄膜。發(fā)明的效果若利用本發(fā)明，則即使防塵薄膜組件框架的各邊的中央部的形狀為直線狀，通過 在框體彼此相對的至少一對的邊上在邊外側(cè)面的部分位置上設(shè)置多個(gè)從兩端部朝邊中點(diǎn) 方向延伸的非貫通凹部的作用，也能夠控制防塵薄膜張力所造成的防塵薄膜組件框架的彎 曲形狀。由此，比起沒有凹部而呈通常剖面形狀的防塵薄膜組件框架而言，若利用本發(fā)明便 能夠減少在防塵薄膜組件框架的邊中央部產(chǎn)生的最大彎曲量。結(jié)果，若利用本發(fā)明，則即使 防塵薄膜張?jiān)O(shè)前的形狀不是朝外側(cè)突出的形狀，也能夠得到防塵薄膜張力所導(dǎo)致的彎曲量 很小的防塵薄膜組件。


圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施方案的防塵薄膜組件的基本構(gòu)造的示意性剖面圖。圖2是表示本發(fā)明一實(shí)施方案的防塵薄膜組件框架的示意圖。圖3是表示在本發(fā)明的防塵薄膜組件框架上張?jiān)O(shè)防塵薄膜之后的彎曲形狀的示 意俯視圖。圖4是表示在一般矩形剖面的已知的防塵薄膜組件框架上張?jiān)O(shè)防塵薄膜后的彎 曲形狀的示意俯視圖。圖5是表示在張?jiān)O(shè)于防塵薄膜組件框架上之前的防塵薄膜的示意俯視圖。圖6是表示本發(fā)明另一實(shí)施方案的防塵薄膜組件框架的示意概略圖。圖7是表示在防塵薄膜組件框架上張?jiān)O(shè)防塵薄膜所制得的防塵薄膜組件的最大 彎曲量的評價(jià)方法的示意概略圖。附圖標(biāo)記說明1防塵薄膜2接合層4粘著層
5曝光原版6氣壓調(diào)整用孔(通氣口)7除塵用過濾器10防塵薄膜組件11防塵薄膜組件框架12 凹部21本發(fā)明的防塵薄膜組件框架22已知的防塵薄膜組件框架31暫用框架32防塵薄膜33防塵薄膜的張力(長邊中央)34防塵薄膜的張力(短邊中央)35防塵薄膜的張力(角落部)41防塵薄膜組件框架42 凹部43 凹部51防塵薄膜組件52 定盤53測隙規(guī)L 邊長1 長度A-A剖面線H 厚度D 寬度h 寬度d 深度da彎曲量db彎曲量
具體實(shí)施例方式以下，說明本發(fā)明的最佳實(shí)施方案，然而本發(fā)明并非以此為限。另外，本發(fā)明對用 于液晶制造用途且一邊長度超過500mm的大型防塵薄膜組件而言特別有效果，然而應(yīng)用在 用于半導(dǎo)體用途且一邊在150mm左右的小型防塵薄膜組件也很有效，故其用途并無特別限定。首先，用圖1說明使用本發(fā)明的防塵薄膜組件框架所構(gòu)成的防塵薄膜組件的基本 構(gòu)造。圖1是表示使用本發(fā)明的防塵薄膜組件框架所構(gòu)成的防塵薄膜組件的基本構(gòu)造 的示意性剖面圖。如圖1所示的，防塵薄膜組件10在本發(fā)明的防塵薄膜組件框架11的上端面隔著防塵薄膜貼合用接合層2張?jiān)O(shè)防塵薄膜1，此時(shí)，用來將防塵薄膜組件10粘著于曝光原版 (掩模基板或是初縮掩模)5上的粘著層4設(shè)置在防塵薄膜組件框架11的下端面，該粘著層 4的下端面以可剝離的方式貼合著墊片(未圖示)。另外，在防塵薄膜組件框架11上設(shè)置 氣壓調(diào)整用孔(通氣口)6，也可更進(jìn)一步設(shè)置以除去微粒作為目的的除塵用過濾器7。以下，用圖2 圖5說明本發(fā)明的防塵薄膜組件框架11的基本實(shí)施方案。圖2是表示本實(shí)施方案的防塵薄膜組件框架的示意圖。圖2(a)是表示本實(shí)施方案 的防塵薄膜組件框架的示意俯視圖，圖2(b)是從長邊側(cè)觀察圖2(a)所示的防塵薄膜組件 框架的側(cè)視圖，圖2 (c)是從短邊側(cè)觀察圖2 (a)所示的防塵薄膜組件框架的側(cè)視圖，圖2 (d) 是圖2(b)中的A-A線段的剖面放大圖。如圖2所示的，防塵薄膜組件框架11的整體形狀是大致為矩形的框體。在張?jiān)O(shè)防 塵薄膜前，防塵薄膜組件框架11并無向外側(cè)突出的形狀，其長邊以及短邊的框架部分均為 幾乎直線狀。另外，防塵薄膜組件框架11的各角落部在外側(cè)以及內(nèi)側(cè)均呈R狀。該防塵薄 膜組件框架11的大小與通常的防塵薄膜組件例如半導(dǎo)體光刻用防塵薄膜組件、大型液晶 顯示板制造光刻步驟用防塵薄膜組件等組件相同。另外，防塵薄膜組件框架11的各角落部無須外側(cè)以及內(nèi)側(cè)均為R狀，也可其中一 側(cè)為R狀，但仍宜兩側(cè)均為R狀。另外，防塵薄膜組件框架11的剖面形狀是例如大致為矩形形狀，然而本發(fā)明除了 一般的矩形剖面的框架之外，也同樣可應(yīng)用于具有高低差的形狀或傾斜面的梯形剖面等其 他剖面形狀的防塵薄膜組件框架，其效果與矩形形狀剖面相同。另外，也可對矩形形狀的基 本形狀的4個(gè)角，實(shí)施斜面倒角等的倒角加工。另外，防塵薄膜組件框架11的基材，可使用以往所使用的已知材料，除了尼龍、聚 縮醛、聚醚醚酮、聚酰亞胺等的工程塑膠之外，也可使用構(gòu)造用鐵鋼、工具鋼、不銹鋼、鎂合 金等的構(gòu)造用金屬，其中更宜使用鋁合金。在防塵薄膜組件框架11彼此相對的兩個(gè)長邊上，在長邊外側(cè)面的部分位置上設(shè) 置了從兩端部向長邊中間點(diǎn)延伸的非貫通凹部12。凹部12的剖面形狀可為矩形、梯形、三 角形或這些形狀的組合，然而從加工性、洗凈性的觀點(diǎn)來看，宜像本實(shí)施方案這樣底部設(shè)成 半圓形。另外，凹部12的外周圍方向的終端部，也可使用加工刀具，使其形成各種形狀，然 而如果從洗凈性的觀點(diǎn)來看，仍宜形成圓弧狀。另外，凹部12，如本實(shí)施方案所示的，也可包 含防塵薄膜組件框架11的角落部的R形形狀部分，也可回避設(shè)置角落部的R形形狀部分， 使其不包含該形狀。另外，比起邊內(nèi)側(cè)面而言，凹部12宜更設(shè)置在邊外側(cè)面上。凹部12距離防塵薄膜組件框架11的長邊的兩端的距離，宜設(shè)置成從長邊的邊長 L的約1/4處到外側(cè)端部附近，更宜設(shè)置成從長邊的邊長L的約1/5處到外側(cè)端部附近，最 好設(shè)置成從長邊的邊長L的約1/10處到外側(cè)端部附近。在該等范圍內(nèi)設(shè)置凹部12，便可發(fā) 揮所期望的效果。另外，就凹部12的長度1與防塵薄膜組件框架11的長邊的邊長L的關(guān)系而言，1/ L的值宜設(shè)定在0. 03 0. 25的范圍內(nèi)，更宜設(shè)定在0. 05 0. 1的范圍內(nèi)。另外，凹部12的寬度h宜設(shè)定為防塵薄膜組件框架11的厚度H的20 50%。另 外，凹部12的深度d可利用防塵薄膜組件框架11的彎曲形狀作適當(dāng)調(diào)整，但宜設(shè)定在防塵薄膜組件框架11的寬度D的20 50%以下，而且，宜設(shè)定在5mm以下。將凹部12的寬度 h以及深度d設(shè)定在該等范圍內(nèi)，以防止防塵薄膜組件框架11的高度方向的剛性降低太多， 避免在操作或貼合防塵薄膜組件時(shí)防塵薄膜組件框架11變形。另外，也可在設(shè)置凹部12的兩端部以外的位置設(shè)置額外的凹部，設(shè)置數(shù)量、位置、 剖面形狀、長度等，可在確認(rèn)過防塵薄膜張?jiān)O(shè)后的最后的彎曲形狀之后再適當(dāng)調(diào)整[參照 后述的圖6(a)]。在防塵薄膜組件框架11彼此相對的一對長邊上，在長邊外側(cè)面的部分位置上設(shè) 置從兩端部向長邊中間點(diǎn)延伸的非貫通凹部12。通過該凹部12，便能夠控制防塵薄膜張?jiān)O(shè) 后的防塵薄膜組件框架11的彎曲形狀。另外，凹部12雖是為了控制防塵薄膜張?jiān)O(shè)后的防 塵薄膜組件框架11的彎曲形狀這個(gè)目的而設(shè)置的，然而也可對其插入用來操作防塵薄膜 組件的工具等。因此，對于凹部12的剖面形狀或位置而言，除了考慮到防塵薄膜組件框架 11的彎曲形狀之外，更宜考慮到這些工具，再作出通盤的決定。圖3以及圖4分別是防塵薄膜張?jiān)O(shè)后防塵薄膜組件框架的彎曲形狀的示意俯視 圖。若對防塵薄膜組件框架張?jiān)O(shè)防塵薄膜，則如圖3以及圖4所示的，防塵薄膜組件 框架會(huì)因?yàn)榉缐m薄膜的張力而向內(nèi)側(cè)彎曲。在此，圖3是表示本發(fā)明的防塵薄膜組件框架 21(圖2所示的防塵薄膜組件框架11)在防塵薄膜張?jiān)O(shè)后的彎曲形狀。另一方面，圖4是 表示一般矩形剖面的已知防塵薄膜組件框架22在防塵薄膜張?jiān)O(shè)后的彎曲形狀。另外，圖4 所示的已知防塵薄膜組件框架22，本身的形狀與圖2所示的本發(fā)明的防塵薄膜組件框架21 相同，與本發(fā)明的防塵薄膜組件框架21不同之處在于并未設(shè)置凹部，剖面形狀是一般的矩 形剖面。在圖4所示的剖面形狀為一般矩形剖面的已知形狀，防塵薄膜組件框架的彎曲形 狀為圓弧狀，各邊中央部位的彎曲程度為最大，其值設(shè)為db。相對于此，在圖3所示的設(shè)置 有凹部的本發(fā)明的方案中，就防塵薄膜組件框架的彎曲形狀而言，各邊中央部位的彎曲程 度為最大，此點(diǎn)相同，其值設(shè)為da，但與其說是圓弧狀，不如說是直線狀，長邊整體形成梯形 的彎曲形狀。如此利用本發(fā)明，便可讓最大彎曲量減少。圖5是表示張?jiān)O(shè)到防塵薄膜組件框架上之前的防塵薄膜的概略俯視圖。一般而 言，防塵薄膜是成膜于玻璃基板上，在利用加熱機(jī)構(gòu)除去溶劑之后，接合于暫用框架31上， 將其剝離。此時(shí)，防塵薄膜32上會(huì)產(chǎn)生因?yàn)楸∧げ牧吓c成膜基板的熱膨張系數(shù)不同所造成 的張力33、34、35。因此，暫用框架31會(huì)被該張力33、34、35往中心方向拉，暫用框架31的 各邊的中央部位附近會(huì)產(chǎn)生彎曲。此時(shí)，各邊的中央部位的張力33、34會(huì)形成對應(yīng)所產(chǎn)生 的彎曲量而減少的狀態(tài)。另一方面，由于暫用框架31的角落部位的附近區(qū)域的剛性比邊長 的中央部位的剛性更高，故彎曲量較少，結(jié)果，其附近的張力35仍維持在比較高的狀態(tài)。若將張力產(chǎn)生高低差異的防塵薄膜張?jiān)O(shè)于本發(fā)明的防塵薄膜組件框架上，則防塵 薄膜張力較高的角落附近的部位，會(huì)與防塵薄膜組件框架設(shè)有凹部的而剛性較低的部位組 合。因此，該部位的彎曲量，會(huì)比通常矩形剖面的框架更大。然而，該部分大幅彎曲可減少 施加于本發(fā)明的防塵薄膜組件框架的所有邊上的張力。另外，邊中央附近張力較低的部位， 反而由剛性較高的部位承受，所以邊中央附近的彎曲形狀會(huì)變成接近直線狀，結(jié)果便能夠 降低最大彎曲量。如此利用本發(fā)明，便能夠制得防塵薄膜張力所導(dǎo)致的彎曲較小的防塵薄膜組件。另外，如上所述，所述凹部的配置除了各邊的兩端部之外，也可因應(yīng)需要，增設(shè)于 其他位置上。然而，若是沿著整個(gè)邊長連續(xù)設(shè)置的話，只會(huì)單純的讓該邊整體的剛性降低。 因此，凹部的追加配置，宜考慮防塵薄膜組件框架的剛性。在本發(fā)明中，不要沿著整個(gè)邊長 連續(xù)設(shè)置，而是在部分位置上設(shè)置凹部，便能夠防止防塵薄膜組件框架整體剛性降低。用圖6說明一邊回避整體剛性降低一邊在其他位置增設(shè)凹部的另一實(shí)施方案。圖6是本發(fā)明的防塵薄膜組件框架的另一個(gè)實(shí)施方案的示意俯視圖。圖6(a)是 本實(shí)施方案的防塵薄膜組件框架的示意俯視圖，圖6(b)是從長邊側(cè)觀察圖6(a)所示的防 塵薄膜組件框架的概略側(cè)視圖，圖6(c)是從短邊側(cè)觀察圖6(a)所示的防塵薄膜組件框架 的概略側(cè)視圖。如圖6所示的，在防塵薄膜組件框架41彼此相對的兩個(gè)長邊上，與圖2所示的方 案相同，在長邊外側(cè)面的部分位置上設(shè)置從兩端部向長邊中間點(diǎn)延伸的非貫通凹部42。另外，圖6所示的實(shí)施方案，在防塵薄膜組件框架41彼此相對的兩個(gè)短邊上，在短 邊外側(cè)面的部分位置上，也設(shè)置從兩端部向短邊中間點(diǎn)延伸的非貫通凹部43。如此，也可在防塵薄膜組件框架的所有邊，即短邊與長邊雙方，在外側(cè)面上的部分 位置上設(shè)置凹部。此時(shí)，凹部并非沿著整個(gè)邊上連續(xù)設(shè)置，而是在短邊與長邊雙方的部分位 置上設(shè)置，故能夠避免上述整體剛性降低的問題。另外，上述是針對在防塵薄膜組件框架彼此相對的一對長邊的兩端部，或是彼此 相對的一對長邊的兩端部以及彼此相對的一對短邊的兩端部的附近設(shè)置凹部的情況進(jìn)行 說明，然而只要至少在彼此相對的2邊的兩端部和/或其附近設(shè)置凹部即可。S卩，只要在防 塵薄膜組件框架彼此相對的至少一對邊上，在邊外側(cè)面的部分位置上設(shè)置從兩端部朝邊中 點(diǎn)方向延伸的非貫通凹部即可。[實(shí)施例]以下根據(jù)實(shí)施例對本發(fā)明作具體的例示說明，然而本發(fā)明并非以此為限。(實(shí)施例)利用機(jī)械加工制作出如圖2所示的形狀的鋁合金制防塵薄膜組件框架11。 該防塵薄膜組件框架11的形狀，是各角落部的外寸為1068mmX15^mm，同部內(nèi)寸為 1031mmX 1490mm的長方形，厚度H為6. 2mm,各角落部的大小在內(nèi)側(cè)為R2，外側(cè)為R6。在此， 在長邊的兩端部上，如圖2(a) 圖2(d)所示的，沿著長度1 = 65mm設(shè)置寬度h = 2.4mm、 深度d = 4. Omm且最深部的半徑為1. 2mm的凹部12。將該防塵薄膜組件框架11洗凈、待其干燥后，在一方端面上涂布硅氧粘著劑作為 防塵薄膜接合劑，在另一方端面上涂布信越化學(xué)工業(yè)(股)公司制的硅氧粘著劑(商品名 KR3700)作為掩模粘著劑，然后加熱使其固化。然后，將旭硝子(股)公司制的氟系聚合物(商品名Cytop)以狹縫與旋轉(zhuǎn)式涂 布法在寬度1620mmX長度1780mmX厚度17mm的長方形石英基板上成膜，然后與形狀跟基 板外形相同的框體接合，將其剝離，接著將所得到的厚度約6μπι的防塵薄膜貼合于該防塵 薄膜組件框架11上。然后，將防塵薄膜組件框架11周圍不要的薄膜用切割器切斷除去，便 完成防塵薄膜組件。如圖7所示的，將完成的防塵薄膜組件51立在鑄鐵制的定盤52上，利用測隙規(guī)539測量長邊中央的彎曲量，得到2. Omm0另外，從側(cè)邊觀察彎曲形狀，發(fā)現(xiàn)完全沒有從框架直線 形狀突出的部分。(比較例)制作外形形狀與上述實(shí)施例完全相同，但角落部附近沒有凹部12的防塵薄膜組 件框架，并完成防塵薄膜組件。以與上述同樣的方式測量所完成的防塵薄膜組件的長邊的 彎曲量，發(fā)現(xiàn)在長邊中央部的彎曲量為3. 4mm，數(shù)值比上述實(shí)施例更大。
權(quán)利要求
1.一種防塵薄膜組件框架，其特征為在框體彼此相對的至少一對的邊上，在邊外側(cè) 面的一部分設(shè)置從兩端部朝邊中點(diǎn)方向延伸的非貫通凹部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防塵薄膜組件框架，其中，僅在一對長邊上設(shè)置該凹部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防塵薄膜組件框架，其中，在所有的邊上設(shè)置該凹部。
4.一種防塵薄膜組件，其特征為在根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)的防塵薄膜組件框 架上張?jiān)O(shè)防塵薄膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種防塵薄膜組件框架及防塵薄膜組件，所述防塵薄膜組件框架不會(huì)因?yàn)榉缐m薄膜的張力差異而產(chǎn)生不良情況且防塵薄膜張力所造成的彎曲較小，所述防塵薄膜組件使用該防塵薄膜組件框架。根據(jù)本發(fā)明，在框體彼此相對的至少一對的邊上，在邊外側(cè)面的部分位置上設(shè)置從兩端部朝邊中點(diǎn)方向延伸的非貫通凹部的防塵薄膜組件框架，以及在該防塵薄膜組件框架上張?jiān)O(shè)防塵薄膜的防塵薄膜組件，其中更宜僅在一對長邊上設(shè)置該凹部，或者是在所有的邊上設(shè)置該凹部。
文檔編號(hào)H01L21/027GK102053483SQ20101029054
公開日2011年5月11日 申請日期2010年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月30日
發(fā)明者關(guān)原一敏 申請人:信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社