專利名稱：往復(fù)升降裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種升降裝置，尤其涉及一種往復(fù)升降裝置。
背景技術(shù)：
0LED，即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又稱為有機(jī)電激光 顯示(Organic Electroluminesence Display，0ELD)。因?yàn)榫邆漭p薄、省電等特性，因此在 數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場(chǎng)潛力，目前世界上對(duì)OLED的應(yīng) 用都聚焦在平板顯示器上，因?yàn)镺LED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-IXD相提并論的技術(shù)，OLED 是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成 和紙張一樣的厚度。OLED顯示屏幕與傳統(tǒng)的TFT-IXD顯示屏幕不同，無(wú)需背光燈，采用非常薄的有機(jī) 材料涂層和玻璃基板，當(dāng)有電流通過(guò)時(shí)，這些有機(jī)材料就會(huì)發(fā)光。而且OLED顯示屏幕可以 做得更輕更薄，可視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省電能，因此，隨著技術(shù)水平的不斷提高， OLED顯示技術(shù)已經(jīng)逐漸被廣大生產(chǎn)廠商所認(rèn)可。但是，OLED顯示技術(shù)發(fā)展至今可以說(shuō)還不是十分成熟，其制造的OLED器件尚存 在一些缺點(diǎn)，目前最突出的缺陷就是OLED器件的使用壽命較短，從而在很大程度上限制了 OLED器件的產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程，而影響到OLED器件的壽命主要取決兩方面，一方面是所選用的 有機(jī)材料的性能及壽命，另一方面是OLED器件的封裝方法、封裝設(shè)備及應(yīng)用效果。這是由 于OLED器件中的有機(jī)材料是不穩(wěn)定的，當(dāng)OLED器件封裝不好，并隨著OLED器件的有機(jī)發(fā) 光面板使用時(shí)間增加時(shí)，空氣中和封裝材料中的濕氣、水分及氧氣等物質(zhì)便進(jìn)入到OLED器 件內(nèi)部，使得有機(jī)材料與濕氣、水分及氧氣等發(fā)生反應(yīng)，從而導(dǎo)致發(fā)光層與電極層分離、有 機(jī)材料分解，以及電極氧化等一系列問題，從而增加了不發(fā)光區(qū)域，降低了發(fā)光層的亮度和 均勻性，因此降低了 OLED器件的使用壽命。同樣，在真空的腔體上對(duì)OLED器件進(jìn)行封裝時(shí) 也存在有機(jī)材料與濕氣、水分及氧氣等物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)的問題，因此，在OLED器件封裝之前 及封裝時(shí)，將真空的腔體內(nèi)的濕氣、水分及氧氣等物質(zhì)排除變得十分必要。而在真空的腔體內(nèi)對(duì)OLED器件進(jìn)行封裝的工藝中，需要涉及到眾多種類的裝置， 而升降裝置就是諸多種類裝置中的一種，其主要用于封裝前對(duì)加熱板與工件之間的距離進(jìn) 行控制以達(dá)到將封裝膠中的濕氣、水分及氧氣等物質(zhì)除掉目的，而除去濕氣、水分及氧氣等 物質(zhì)的效果取決于加熱板與工件之間的距離是否能維持在精準(zhǔn)的范圍。而目前現(xiàn)有的升降 裝置一般只能對(duì)加熱板與工件進(jìn)行之間距離進(jìn)行粗略的控制，不能對(duì)加熱板與工件之間的 距離進(jìn)行精準(zhǔn)的微調(diào)；或者雖然能對(duì)加熱板與工件之間進(jìn)行微調(diào)，但存在微調(diào)效果不好、結(jié) 構(gòu)復(fù)雜且制造成本偏高的問題。同時(shí)，現(xiàn)有升降裝置的伸入真空腔體內(nèi)用于承載工件上下 傳送的升降桿與腔體之間的密封是靠設(shè)置于升降桿與腔體之間的橡膠密封圈來(lái)密封的，橡 膠密封圈對(duì)升降桿與腔體的密封是靠橡膠密封圈的外側(cè)與腔體緊密接觸和橡膠密封圈的 內(nèi)側(cè)與升降桿緊密接觸來(lái)實(shí)現(xiàn)的，這使得橡膠密封圈極易磨損，從而增加了升降裝置的維 修時(shí)間。
因此，急需要一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低且能精準(zhǔn)微調(diào)并更耐用的往復(fù)升降裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低且能精準(zhǔn)微調(diào)并更耐用的的往復(fù) 升降裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種往復(fù)升降裝置，適應(yīng)于安裝在具有真空腔的 腔體上，其中，所述往復(fù)升降裝置包括支撐板、安裝板、驅(qū)動(dòng)器、調(diào)節(jié)件及若干一一對(duì)應(yīng)的升 降桿和波紋管，所述支撐板位于所述腔體外且與所述腔體的底板平行，所述安裝板位于所 述支撐板下方并與所述腔體的底板固定連接，所述升降桿的下端均固定在所述支撐板上， 所述升降桿的上端均呈密封的伸入所述真空腔內(nèi)并形成承載工件的支撐面，所述調(diào)節(jié)件的 上端與所述支撐板呈旋轉(zhuǎn)的卡合連接，所述調(diào)節(jié)件的下端與所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸呈套接的 螺紋連接，所述驅(qū)動(dòng)器安裝在所述安裝板上，所述波紋管套接在位于所述腔體外的升降桿 外且上端與所述腔體密封連接，下端與所述支撐板密封連接，所述驅(qū)動(dòng)器通過(guò)所述調(diào)節(jié)件 驅(qū)動(dòng)所述支撐板做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。較佳地，所述往復(fù)升降裝置還包括設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸與所述調(diào)節(jié)件之間 的鎖定件。通過(guò)上述的鎖定件，能對(duì)調(diào)節(jié)件進(jìn)行鎖定，防止調(diào)節(jié)件的意外的轉(zhuǎn)動(dòng)而影響到本 發(fā)明的往復(fù)升降裝置在豎直方向的微調(diào)的效果。具體地，如下所述調(diào)節(jié)件的下端開設(shè)有調(diào)節(jié)件內(nèi)螺紋，所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸設(shè)置有與所述調(diào)節(jié) 件內(nèi)螺紋相配合的輸出軸外螺紋，所述鎖定件呈嚙合的套設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸上并與 所述調(diào)節(jié)件抵觸。通過(guò)調(diào)節(jié)件內(nèi)螺紋與輸出軸外螺紋的配合，進(jìn)一步地提高調(diào)節(jié)件與驅(qū)動(dòng) 器之間的微調(diào)精度，因而提高了本發(fā)明的往復(fù)升降裝置的微調(diào)精度。所述調(diào)節(jié)件的下端開設(shè)有調(diào)節(jié)件外螺紋，所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸設(shè)置有與所述調(diào)節(jié) 件外螺紋相配合的輸出軸內(nèi)螺紋，所述鎖定件呈嚙合的套設(shè)于所述調(diào)節(jié)件上并與所述驅(qū)動(dòng) 器的輸出軸抵觸。通過(guò)調(diào)節(jié)件外螺紋與輸出軸內(nèi)螺紋的配合，進(jìn)一步地提升調(diào)節(jié)件與驅(qū)動(dòng) 器之間的微調(diào)精度，因而提高了本發(fā)明的往復(fù)升降裝置的微調(diào)精度。較佳地，所述調(diào)節(jié)件的上端設(shè)置有弧形的凸頭，所述支撐板對(duì)應(yīng)的安裝有固定卡 座，所述固定卡座開設(shè)有供所述凸頭容置并卡合的卡合槽。通過(guò)弧形的凸頭與卡合槽的 配合，一方面使得支撐板與凸頭呈點(diǎn)、線或小面積接觸，從而使得調(diào)節(jié)件更易在支撐板上旋 轉(zhuǎn)，因而使得操作人員更易對(duì)本發(fā)明的往復(fù)升降裝置的操作。較佳地，所述往復(fù)升降裝置還包括若干個(gè)導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件以所述驅(qū)動(dòng)器 的輸出軸為中心呈對(duì)稱的設(shè)置，所述導(dǎo)向組件包括相互配合滑動(dòng)的導(dǎo)向套及導(dǎo)向桿，所述 導(dǎo)向套安裝在所述支撐板上，所述導(dǎo)向桿的上端固定在所述腔體的底板上，所述導(dǎo)向桿的 下端穿過(guò)所述導(dǎo)向套并與所述驅(qū)動(dòng)器固定。通過(guò)上述的導(dǎo)向組件以驅(qū)動(dòng)器的輸出軸為中心 呈對(duì)稱的設(shè)置，使得支撐板受力更平衡；通過(guò)由上述的導(dǎo)向套及導(dǎo)向桿組成的導(dǎo)向組件，使 得本發(fā)明的升降桿能更平穩(wěn)、更可靠的移動(dòng)，從而進(jìn)一步為提高OLED器件的封裝質(zhì)量提供 優(yōu)異的條件。較佳地，所述升降桿的上端還設(shè)置有緩沖墊或者鍍膜層，使得升降桿與腔體內(nèi)需 要封裝的器件中的工件之間具有柔性，從而更好的保護(hù)需要封裝的器件中的工件。較佳地，所述升降桿的上端均位于同一平面中，使得升降桿更可靠的托起工件。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明的調(diào)節(jié)件的上端與支撐板呈旋轉(zhuǎn)的卡合連接，調(diào)節(jié) 件的下端與驅(qū)動(dòng)器的輸出軸呈套接的螺紋連接，一方面使得本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)器通過(guò)調(diào)節(jié)件驅(qū) 使升降桿托起腔體內(nèi)需要封裝的OLED器件中的工件朝加熱板粗移一定距離后，再對(duì)加熱 板與工件之間距離進(jìn)行精準(zhǔn)的調(diào)節(jié)，使得工件與加熱板維持在一個(gè)較佳的距離范圍內(nèi)以達(dá) 到除去濕氣、水分及氧氣等物質(zhì)的目的，從而為提高OLED器件的封裝質(zhì)量以延長(zhǎng)OLED器件 的壽命提供優(yōu)異的條件；另一方面使得本發(fā)明的往復(fù)升降裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。同 時(shí)，由于本發(fā)明的波紋管對(duì)升降桿與腔體的配合處的密封是借助波紋管分別與腔體的底板 和支撐板的密封實(shí)現(xiàn)的，而位于腔體外的升降桿被套接于波紋管內(nèi)，故克服了現(xiàn)有的升降 桿與橡膠密封圈的緊密接觸而加速橡膠密封圈的磨損而增加了維修時(shí)間和成本等問題，因 此，本發(fā)明的波紋管使得本發(fā)明的往復(fù)升降裝置更耐用。


圖1是本發(fā)明往復(fù)升降裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1中A部分的放大圖。圖3是本發(fā)明往復(fù)升降裝置對(duì)工件進(jìn)行升起的狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式為了詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖作進(jìn)
一步說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖1和圖2，本發(fā)明的往復(fù)升降裝置1用于安裝在具有真空腔的腔體2上， 該腔體2用于為OLED器件的封裝提供真空的環(huán)境并供工件3上下移動(dòng)提供空間，且腔體2 并與外界固定。本發(fā)明的往復(fù)升降裝置1包括支撐板11、安裝板19、驅(qū)動(dòng)器12、調(diào)節(jié)件14 及若干一一對(duì)應(yīng)的升降桿13和波紋管16，在本實(shí)施例中，升降桿13和波紋管16均選擇為 五根，它們的數(shù)量是本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)實(shí)際需要而選擇的，故在此不對(duì)它們的數(shù)量進(jìn)行 限制。而所述支撐板11位于所述腔體2外且與所述腔體2的底板21平行，所述安裝板19 位于所述支撐板11下方并與所述腔體2的底板21固定連接，所述升降桿13的下端均固定 在所述支撐板11上(該固定方式是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，故不詳述)，所述升降桿 13的上端均呈密封的伸入所述真空腔(圖中未示)內(nèi)并形成承載工件3的支撐面，所述調(diào) 節(jié)件14的上端與所述支撐板11呈旋轉(zhuǎn)的卡合連接，所述調(diào)節(jié)件14的下端與所述驅(qū)動(dòng)器12 的輸出軸1 呈套接的螺紋連接，所述驅(qū)動(dòng)器12安裝在所述安裝板19上，所述波紋管16套 接在位于所述腔體2外的升降桿13外，且所述波紋管16的上端與所述腔體2密封連接，所 述波紋管16的下端與所述支撐板11密封連接，所述驅(qū)動(dòng)器12通過(guò)所述調(diào)節(jié)件14驅(qū)動(dòng)所 述支撐板11做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。其中，為了能對(duì)調(diào)節(jié)件14進(jìn)行鎖定，防止調(diào)節(jié)件14的意外 的轉(zhuǎn)動(dòng)而影響到本發(fā)明的往復(fù)升降裝置1的微調(diào)的效果，故在驅(qū)動(dòng)器12的輸出軸1 與調(diào) 節(jié)件14之間設(shè)置有鎖定件15 ；為了更好的保護(hù)封裝的OLED器件質(zhì)量，防止升降桿13劃傷 OLED器件中的工件3的表面，故在升降桿13的上端還設(shè)置有緩沖墊18或者鍍膜層，該緩沖 墊18或鍍膜層的硬度小于OLED器件中的工件的硬度；為了使得驅(qū)動(dòng)器12的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的同 時(shí)，并能提供沿直線移動(dòng)的動(dòng)力，故上述提到的驅(qū)動(dòng)器12選擇為氣缸；為了使得升降件13 更平穩(wěn)、可靠地托起OLED器件中的工件3，故使升降件13的上端均位于同一水平面內(nèi)。更具體地，如下請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D1和圖2，上述提到的調(diào)節(jié)件14的下端開設(shè)有調(diào)節(jié)件內(nèi)螺紋(圖中未 標(biāo)注)，驅(qū)動(dòng)器12的輸出軸1 設(shè)置有與調(diào)節(jié)件內(nèi)螺紋相配合的輸出軸外螺紋(圖中未標(biāo) 注)，上述提到的鎖定件15呈嚙合的套設(shè)于驅(qū)動(dòng)器12的輸出軸1 上并與調(diào)節(jié)件14抵觸。 當(dāng)然，也可以在調(diào)節(jié)件14上設(shè)置有調(diào)節(jié)件外螺紋，在驅(qū)動(dòng)器12的輸出軸1 上開設(shè)輸出軸 內(nèi)螺紋，而鎖定件15呈嚙合的套設(shè)于調(diào)節(jié)件14上并與驅(qū)動(dòng)器12的輸出軸1 抵觸，即能 實(shí)現(xiàn)鎖定件15對(duì)調(diào)節(jié)件14的鎖定作用。其中，通過(guò)調(diào)節(jié)件內(nèi)螺紋與輸出軸外螺紋的配合、 或者調(diào)節(jié)件外螺紋與輸出軸內(nèi)螺紋的配合，進(jìn)一步地提高調(diào)節(jié)件14與驅(qū)動(dòng)器12之間的微 調(diào)精度，因而提高了本發(fā)明的往復(fù)升降裝置1的微調(diào)精度。同時(shí)，上述提到的調(diào)節(jié)件14的 上端設(shè)置有弧形的凸頭141，支撐板11對(duì)應(yīng)的安裝有固定卡座110，所述固定卡座110開設(shè) 有供所述凸頭141容置并卡合的卡合槽1100以實(shí)現(xiàn)支撐板11與調(diào)節(jié)件14的可旋轉(zhuǎn)式卡 合的目的，當(dāng)然，直接將卡合槽1100開設(shè)在支撐板11上也能實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)件14與支撐板11的 可旋轉(zhuǎn)式的卡合方式，因此，通過(guò)弧形的凸頭141與卡合槽1100的配合，一方面使得支撐板 11與凸頭141呈點(diǎn)、線或小面積接觸，從而使得調(diào)節(jié)件14更易在支撐板11上旋轉(zhuǎn)，因而更 方便操作人員對(duì)本發(fā)明的往復(fù)升降裝置1的操作。請(qǐng)參閱圖1和圖3，本發(fā)明的往復(fù)升降裝置1還包括若干個(gè)導(dǎo)向組件17，在本實(shí)施 例中，該導(dǎo)向組件17選擇為四個(gè)，該導(dǎo)向組件17以驅(qū)動(dòng)器12的輸出軸12a為中心呈對(duì)稱 的設(shè)置以使得支撐板11受力更平衡，且該導(dǎo)向組件17包括相互配合滑動(dòng)的導(dǎo)向套171及 導(dǎo)向桿172，該導(dǎo)向套171安裝在上述提到的支撐板11上，該導(dǎo)向桿172的上端固定在腔體 2的底板21上，該導(dǎo)向桿172的下端穿過(guò)導(dǎo)向套171并與安裝板19固定。其中，通過(guò)由上 述的導(dǎo)向套171及導(dǎo)向桿172組成的導(dǎo)向組件17，使得本發(fā)明的升降桿13能更平穩(wěn)、更可 靠的沿豎直方向移動(dòng)，從而進(jìn)一步為提高OLED器件的封裝質(zhì)量提供優(yōu)異的條件。結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明往復(fù)升降裝置1的工作原理作詳細(xì)的描述工作時(shí)，由于驅(qū)動(dòng) 器12通過(guò)固定板19和導(dǎo)向桿172固定在腔體2的底板21上，故使得驅(qū)動(dòng)器12與腔體2 之間的距離固定不變，當(dāng)驅(qū)動(dòng)器12的輸出軸1 往靠近腔體2的底板21處伸出時(shí)，驅(qū)動(dòng)調(diào) 節(jié)件14推動(dòng)支撐板11沿豎直方向向上移動(dòng)，由于升降桿13固定在支撐板11上，故使得升 降桿13跟隨支撐板11做同步的向上移動(dòng)，托起腔體2內(nèi)的工件3往加熱板(圖中未示) 處作快速移動(dòng)，從而完成工件3與加熱板之間的距離的粗調(diào)節(jié)。當(dāng)工件3與加熱板之間的 距離太大而需要往加熱板靠近，或者工件3與加熱板之間的距離太小而需要往遠(yuǎn)離加熱板 方向移動(dòng)以維持合適的距離范圍時(shí)，停止驅(qū)動(dòng)器12的作動(dòng)并旋轉(zhuǎn)鎖定件15，使其往脫離與 調(diào)節(jié)件14抵觸的方向移動(dòng)一定距離時(shí)；接著，再旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)件14，使調(diào)節(jié)件14在驅(qū)動(dòng)器12 的輸出軸1 上移動(dòng)，移動(dòng)的調(diào)節(jié)件14通過(guò)凸頭141和固定卡座110帶動(dòng)支撐板11跟隨 調(diào)節(jié)件14的移動(dòng)而做同步的精準(zhǔn)移動(dòng)，從而改變了承載于升降桿13上的工件3與加熱板 之間的距離。當(dāng)工件3與加熱板之間距離達(dá)到所需要的范圍時(shí)，旋轉(zhuǎn)鎖定件15，使其與調(diào) 節(jié)件14抵觸而實(shí)現(xiàn)對(duì)調(diào)節(jié)件14鎖定，對(duì)調(diào)節(jié)件14進(jìn)行鎖定后，加熱板便對(duì)工件3上的濕 氣、水分及氧氣等物質(zhì)進(jìn)行清除，清除了濕氣、水分及氧氣等物質(zhì)的工件3便被輸送到下一 步工序中，而此時(shí)的驅(qū)動(dòng)器12再次工作，使其輸出軸1 往遠(yuǎn)離腔體2的底板21的方向收 縮，從而帶動(dòng)調(diào)節(jié)件14、支撐板11及升降桿13做同步協(xié)調(diào)的復(fù)位，從而為下一個(gè)工件3的 輸送做好準(zhǔn)備。其中，調(diào)節(jié)件14對(duì)工件3與加熱板之間的精調(diào)范圍介于0. 01毫米與10毫米之間。本發(fā)明的調(diào)節(jié)件14的上端與支撐板11呈旋轉(zhuǎn)的卡合連接，調(diào)節(jié)件14的下端與驅(qū) 動(dòng)器12的輸出軸1 呈套接的螺紋連接，一方面使得本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)器12通過(guò)調(diào)節(jié)件14驅(qū) 使升降桿13托起腔體2內(nèi)需要封裝的OLED器件中的工件3朝加熱板粗移一定距離后，再 對(duì)加熱板與工件3之間距離進(jìn)行精準(zhǔn)的調(diào)節(jié)，使得工件3與加熱板維持在一個(gè)較佳的距離 范圍內(nèi)以達(dá)到除去濕氣、水分及氧氣等物質(zhì)的目的，從而為提高OLED器件的封裝質(zhì)量以延 長(zhǎng)OLED器件的壽命提供優(yōu)異的條件；另一方面使得本發(fā)明的往復(fù)升降裝置1的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單， 成本較低。同時(shí)，由于本發(fā)明的波紋管16對(duì)升降桿13與腔體2的配合處的密封是借助波 紋管16分別與腔體2的底板21和支撐板11的密封實(shí)現(xiàn)的，而位于腔體2外的升降桿13 被套接于波紋管16內(nèi)，故克服了現(xiàn)有的升降桿與橡膠密封圈的緊密接觸而加速橡膠密封 圈的磨損而增加了維修時(shí)間和成本等問題，因此，本發(fā)明的波紋管16使得本發(fā)明的往復(fù)升 降裝置1更耐用。以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范 圍，因此依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬于本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種往復(fù)升降裝置，適應(yīng)于安裝在具有真空腔的腔體上，其特征在于，所述往復(fù)升降 裝置包括支撐板、安裝板、驅(qū)動(dòng)器、調(diào)節(jié)件及若干一一對(duì)應(yīng)的升降桿和波紋管，所述支撐板 位于所述腔體外且與所述腔體的底板平行，所述安裝板位于所述支撐板下方并與所述腔體 的底板固定連接，所述升降桿的下端均固定在所述支撐板上，所述升降桿的上端均呈密封 的伸入所述真空腔內(nèi)并形成承載工件的支撐面，所述調(diào)節(jié)件的上端與所述支撐板呈旋轉(zhuǎn)的 卡合連接，所述調(diào)節(jié)件的下端與所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸呈套接的螺紋連接，所述驅(qū)動(dòng)器安裝 在所述安裝板上，所述波紋管套接在位于所述腔體外的升降桿外且上端與所述腔體密封連 接，下端與所述支撐板密封連接，所述驅(qū)動(dòng)器通過(guò)所述調(diào)節(jié)件驅(qū)動(dòng)所述支撐板做直線往復(fù) 運(yùn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的往復(fù)升降裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)器的輸出 軸與所述調(diào)節(jié)件之間的鎖定件。
3.如權(quán)利要求2所述的往復(fù)升降裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件的下端開設(shè)有調(diào)節(jié)件 內(nèi)螺紋，所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸設(shè)置有與所述調(diào)節(jié)件內(nèi)螺紋相配合的輸出軸外螺紋，所述鎖 定件呈嚙合的套設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸上并與所述調(diào)節(jié)件抵觸。
4.如權(quán)利要求2所述的往復(fù)升降裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件的下端開設(shè)有調(diào)節(jié)件 外螺紋，所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸設(shè)置有與所述調(diào)節(jié)件外螺紋相配合的輸出軸內(nèi)螺紋，所述鎖 定件呈嚙合的套設(shè)于所述調(diào)節(jié)件上并與所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸抵觸。
5.如權(quán)利要求1所述的往復(fù)升降裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件的上端設(shè)置有弧形的 凸頭，所述支撐板對(duì)應(yīng)的安裝有固定卡座，所述固定卡座開設(shè)有供所述凸頭容置并卡合的 卡合槽。
6.如權(quán)利要求1所述的往復(fù)升降裝置，其特征在于，還包括若干個(gè)導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向 組件以所述驅(qū)動(dòng)器的輸出軸為中心呈對(duì)稱的設(shè)置，所述導(dǎo)向組件包括相互配合滑動(dòng)的導(dǎo) 向 套及導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向套安裝在所述支撐板上，所述導(dǎo)向桿的上端固定在所述腔體的底板 上，所述導(dǎo)向桿的下端穿過(guò)所述導(dǎo)向套并與所述安裝板固定。
7.如權(quán)利要求1所述的往復(fù)升降裝置，其特征在于，所述升降桿的上端還設(shè)置有緩沖 墊或者鍍膜層。
8.如權(quán)利要求1所述的往復(fù)升降裝置，其特征在于，所述升降桿的上端均位于同一平 面中。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種安裝在具有真空腔的腔體上的往復(fù)升降裝置，包括支撐板、安裝板、驅(qū)動(dòng)器、調(diào)節(jié)件及若干一一對(duì)應(yīng)的升降桿和波紋管。支撐板位于腔體外且與腔體的底板平行，安裝板位于支撐板下方并與腔體的底板固定連接。升降桿下端均固定在支撐板上，上端均呈密封的伸入真空腔內(nèi)并形成承載工件的支撐面。調(diào)節(jié)件的上端與支撐板呈旋轉(zhuǎn)的卡合連接，下端與驅(qū)動(dòng)器的輸出軸呈套接的螺紋連接，驅(qū)動(dòng)器安裝在安裝板上。波紋管套接在位于腔體外的升降桿外且上端與述腔體密封連接，下端與所述支撐板密封連接，驅(qū)動(dòng)器通過(guò)調(diào)節(jié)件驅(qū)動(dòng)支撐板做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。由于調(diào)節(jié)件及波紋管，使得本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低且能精準(zhǔn)微調(diào)的同時(shí)，還具有更長(zhǎng)使用壽命。
文檔編號(hào)H01L51/56GK102120552SQ20101056839
公開日2011年7月13日 申請(qǐng)日期2010年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月1日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗鋒, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司