專利名稱：定容式精準自動補液裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種太陽能硅片清洗設備，尤其涉及全自動清洗設備中的補液裝置。
背景技術：
在太陽能電池片的生產(chǎn)過程中，硅片的清洗工序是十分重要的工序，清洗質(zhì)量直 接影響到太陽能電池片的光電轉(zhuǎn)換性能。硅片在清洗設備中，由于硅片與清洗液之間要 發(fā)生化學反應，清洗液中的相關化學成份將被消耗，若不及時補充將直影響硅片的清洗效 果。為了提高硅片清洗工藝的穩(wěn)定性，在清洗一定次數(shù)后必須向清洗液中補充相應的化學 藥液。普通清洗機都采用人工添加方法進行補液，人工添加都存在補液量不準確的缺陷，補 液精度人為因素影響很大。為了克服人工補液存在的缺陷，在先進的硅片清洗機中都設置 了集中補液系統(tǒng)，所述集中補液系統(tǒng)由機械式補液泵定時向清洗槽中補充液體，在清洗設 備運轉(zhuǎn)過程中，根據(jù)單位時間內(nèi)液清洗消耗的多少，確定相應流量的機械式補液泵，控制系 統(tǒng)每隔預定時間間隔就向清洗槽中補一次液，這種補液系統(tǒng)雖然能實現(xiàn)對清洗槽的自動補 液，但由于機械補液量的補液精度不高，且以每清洗十次確定為補液間隔，這樣清洗液的化 學濃度波動性很大，硅片的清洗質(zhì)量波動也比較大，要想進一步提高硅片的清洗質(zhì)量，必須 及時補液，減小清洗液化學濃度波動值，因此，申請人設計了一種定壓式自動補液裝置，其 補液原理是在定壓、流量相同條件下，通過控制補液時間來精確控制補液量，當清洗槽每 清洗一批硅片后補液裝置就適時向清洗槽中補液，這就是人們所述的微量精補裝置，有了 這種微量補液裝置，清洗槽中清洗液的化學濃度的變化波動值就能得到有效控制，從而提 高了硅片的清洗質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有硅片清洗機中補液裝置存在的不足，本發(fā)明提供了一種硅片清洗設 備的定容式精準自動補液裝置，它采用定容補液方式，在每清洗一次硅片后能對清洗槽及 時進行定容精準補液，確保每批硅片清洗后清洗槽中的清洗液得到精準的補充，這樣就能 比較精確地控制清洗液的濃度，從而保證硅片的清洗質(zhì)量。本發(fā)明所采用的技術方案是所述一種定容式精準自動補液裝置，其特征是它包括儲液罐、機械補液泵、定徑 罐、上液位傳感器、下液位傳感器、浮球、U形浮球桿、定容傳感器、標尺、電磁換向閥、清洗槽 和控制系統(tǒng)，儲液罐設置在全自動硅片清洗機旁，儲液罐中存放待補充溶液，在儲液罐頂部 設有加液開口，供操作人員向其中加注溶液，機械補液泵設置在定徑罐和儲液罐之間，在定 徑罐的側(cè)壁上設有上液位傳感器和下液位傳感器，在定徑罐底部引出的補液管經(jīng)電磁換向 閥通入清洗槽，浮球放置在定徑罐內(nèi)，U形浮球桿的內(nèi)桿穿過定徑罐的上蓋并旋固在浮球 上，U形浮球桿的外桿沿定徑罐的外壁向下延伸，在外桿上設有定容傳感器，在對應于定容 傳感器的側(cè)面設有標尺，上液位傳感器、下液位傳感器、定容傳感器和電磁換向閥都與控制 系統(tǒng)電連接。
由于將儲液罐中的待加補溶液經(jīng)機械補液泵先輸入定徑罐中，在定徑罐的側(cè)壁上 依次設有上液位傳感器和下液位傳感器，機械補液泵的開關由上液位傳感器和下液位傳感 器控制，確保定徑罐內(nèi)液位處于預定高度范圍之內(nèi)，通過定徑罐的直徑和浮球的下移距離 可以獲知浮球下降單位尺寸所放出的液體容積，再根據(jù)清洗槽每次定量清洗硅片所消耗的 溶液量，經(jīng)計算就得出每次補液浮球應該下降的距離，該距離由定容傳感器控制，當清洗槽 每次清洗一次后及時控制電磁換向閥開通補液，當定容傳感器下移預定距離后，定容傳感 器向控制系統(tǒng)發(fā)出信號，立即關閉電磁換向閥，這樣清洗槽就能得到精確地補液，使清洗槽 中的溶液濃度保持穩(wěn)定，從根本上保證硅片清洗質(zhì)量。同時降低了機械泵開停頻率，減少了 對機械泵的損傷，大大提高了全自動清洗機的使用效率。


圖1為本發(fā)明結構示意圖；圖中1-儲液罐；2-機械補液泵；3-定徑罐；31-上蓋；4-上液位傳感器；5_下液 位傳感器；6-浮球；7-U形浮球桿；71-內(nèi)桿；72-外桿；8-定容傳感器；9-標尺；10-電磁換 向閥；11-清洗槽；12-控制系統(tǒng)；13-輸液管；14-補液管。
具體實施例方式根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明的
具體實施例方式所述一種定容式精準自動補液裝置，如圖1所示，它包括儲液罐1、機械補液泵2、 定徑罐3、上液位傳感器4、下液位傳感器5、浮球6、U形浮球桿7、定容傳感器8、標尺9、電 磁換向閥10、清洗槽11和控制系統(tǒng)12，儲液罐1設置在全自動硅片清洗機旁，儲液罐1中 存放待補充溶液，在儲液罐1頂部設有加液開口，供操作人員向其中加注溶液，機械補液泵 2設置在儲液罐1和定徑罐3之間，在定徑罐3的側(cè)壁上設有上液位傳感器4和下液位傳 感器5，在定徑罐3底部引出的補液管14經(jīng)電磁換向閥10通入清洗槽11，浮球6放置在定 徑罐3內(nèi)，U形浮球桿7的內(nèi)桿71穿過定徑罐3的上蓋31并旋固在浮球6上，U形浮球桿 7的外桿72沿定徑罐3的外壁向下延伸，在外桿72上設有定容傳感器8，在對應于定容傳 感器8的側(cè)面設有標尺9，上液位傳感器4、下液位傳感器5、定容傳感器8和電磁換向閥10 都與控制系統(tǒng)12電連接。本發(fā)明的具體使用方法如下由控制系統(tǒng)12啟動機械補液泵2將儲液罐1中的添補液經(jīng)輸液管13輸入定徑罐 3中，當液體高度達到上液位傳感器4時，便向控制系統(tǒng)12發(fā)出信號自動關閉機械補液泵2 停止抽液，清洗機開始清洗硅片，當硅片清洗完后，由控制系統(tǒng)12使電磁換向閥10得電開 通，此時定徑罐3中的溶液經(jīng)過補液管14通向清洗槽11中，當固定在U形浮球桿7的外桿 72上的定容傳感器8下移預定高度時，控制系統(tǒng)12收到定容傳感器8發(fā)來的信號，立即關 閉電磁換向閥10，此時清洗槽11溶液得到了精確補充，清洗機轉(zhuǎn)入下一批硅片的清洗，如 此往復。
權利要求
1. 一種定容式精準自動補液裝置，其特征是它包括儲液罐(1)、機械補液泵O)、定徑 罐(3)、上液位傳感器(4)、下液位傳感器( 、浮球(6)、U形浮球桿(7)、定容傳感器(8)、 標尺(9)、電磁換向閥(10)、清洗槽(11)和控制系統(tǒng)(12)，儲液罐(1)設置在全自動硅片清 洗機旁，儲液罐(1)中存放待補充溶液，在儲液罐(1)頂部設有加液開口，供操作人員向其 中加注溶液，機械補液泵( 設置在儲液罐(1)和定徑罐C3)之間，在定徑罐C3)的側(cè)壁上 設有上液位傳感器(4)和下液位傳感器(5)，在定徑罐C3)底部引出的補液管(14)經(jīng)電磁 換向閥(10)通入清洗槽(11)，浮球(6)放置在定徑罐(3)內(nèi)，U形浮球桿(7)的內(nèi)桿(71) 穿過定徑罐(3)的上蓋(31)并旋固在浮球(6)上，U形浮球桿(7)的外桿(7 沿定徑罐 (3)的外壁向下延伸，在外桿(7 上設有定容傳感器(8)，在對應于定容傳感器(8)的側(cè)面 設有標尺(9)，上液位傳感器(4)、下液位傳感器( 、定容傳感器(8)和電磁換向閥(10)都 與控制系統(tǒng)(12)電連接。
全文摘要
一種定容式精準自動補液裝置，包括儲液罐、機械補液泵、定徑罐、上液位傳感器、下液位傳感器、浮球、U形浮球桿、定容傳感器、標尺、電磁換向閥、清洗槽和控制系統(tǒng)，在定徑罐的內(nèi)側(cè)壁上設有上液位傳感器和下液位傳感器，通過定徑罐的直徑和浮球的下移距離可以獲知一次補液的容積，浮球下降的距離由定容傳感器控制，補液時電磁換向閥開通，當定容傳感器下移預定距離后，定容傳感器向控制系統(tǒng)發(fā)出信號，立即關閉電磁換向閥，這樣清洗槽就能得到精確地補液，使清洗槽中的溶液濃度保持穩(wěn)定，從根本上保證硅片清洗質(zhì)量。
文檔編號H01L31/18GK102148285SQ201010610270
公開日2011年8月10日 申請日期2010年12月29日 優(yōu)先權日2010年12月29日
發(fā)明者劉志剛 申請人:常州億晶光電科技有限公司