專利名稱：用于濕制程設(shè)備中的輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
概括地說，本實用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域中一種用于濕制程設(shè)備中的輸送裝置；具體地說，本實用新型涉及一種用于濕制程設(shè)備中的活動滾輪式輸送裝置。
背景技術(shù)：
眾所周知，濕制程(Wet Process)是基板制作中的重要工序。在該工序中，將處理液(例如各種化學(xué)藥液或水)施加在基板表面上，從而實現(xiàn)鍍通孔、鍍金屬、顯影、刻蝕、鍍保護膜、表面改性或清洗等工藝流程。目前通常使用水平或接近水平的濕制程設(shè)備和工藝， 其濕制程設(shè)備向水平或接近水平經(jīng)過的基板、硅片或其它片狀件、板狀件表面施加處理液， 從而完成這些工件(例如板件)的濕制程處理。如圖1中所示，現(xiàn)有技術(shù)中用于制造太陽電池的水平濕制程設(shè)備1包括噴液裝置 2、處理槽3和處理液輸入裝置4。當(dāng)太陽電池片5經(jīng)滾輪軸上的滾輪傳送至濕制程設(shè)備1 時，處理液輸入裝置4向處理槽3輸入處理液，并由排液裝置(未圖示)從處理槽3中排出處理液并由噴液裝置2噴向工件表面。另外，有一些水平濕制程設(shè)備具有多個處理槽，并且這些處理槽彼此相連通。常規(guī)的太陽電池濕制程設(shè)備中的輸送裝置具有水平排列的多根上滾軸和下滾軸， 滾軸上裝有滾輪，上、下滾軸滾輪的相對轉(zhuǎn)動帶動夾在上、下滾輪之間的太陽電池片在上、 下滾輪之間輸送。驅(qū)動機構(gòu)則可以為單邊驅(qū)動或雙邊驅(qū)動。單邊傳動是指用一臺電機驅(qū)動主滾軸，主滾軸通過齒輪嚙合驅(qū)動從動滾軸，從而實現(xiàn)兩滾軸的相對轉(zhuǎn)動。雙邊傳動則是分別使用兩個電機驅(qū)動兩個滾軸來實現(xiàn)兩滾軸的相對轉(zhuǎn)動。在水平式太陽能電池濕制程設(shè)備上，太陽電池片需要沿水平或近似水平方向進出液體槽，并在液體中向前移動。因為太陽電池片比較輕薄，在僅有下層滾輪驅(qū)動時，遇到液體或氣流等不穩(wěn)定因素時，容易停止移動或偏離原有的前進方向，造成卡板或碎片。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種能夠平穩(wěn)可靠地傳送待輸送件的用于濕制程設(shè)備中的輸送裝置，確保待輸送件在輸送過程中不出現(xiàn)漂浮、偏移及損壞現(xiàn)象。本實用新型的一個方面提供了一種用于濕制程設(shè)備中的輸送裝置，所述輸送裝置包括上輸送裝置和下輸送裝置，所述上輸送裝置包括上滾軸、套設(shè)在所述上滾軸上并可沿垂直于上滾軸軸芯線方向自由移動的多個上滾輪、固定在所述上滾軸上用于定位多個上滾輪的多個定位裝置，從而在所述上滾軸運轉(zhuǎn)時所述定位裝置也一起運轉(zhuǎn)，并驅(qū)動所述上滾輪運轉(zhuǎn)。在這種輸送裝置中，所述定位裝置成對設(shè)置在每個上滾輪的兩端部，所述上滾輪間隙配合固定在所述定位裝置上。通過這樣設(shè)置的輸送裝置，活動滾輪的位置由定位裝置進行定位，使得能夠?qū)崿F(xiàn)雙邊驅(qū)動；并且其中，在自然狀態(tài)下單個活動的滾輪可以在一定范圍內(nèi)自由上下抖動，在設(shè)備運行時，活動滾輪在定位裝置和下輸送裝置或所輸送的工件作用下滾動。[0008]由于定位裝置設(shè)置在上滾輪兩端部，所述上滾輪與所述上滾軸實現(xiàn)了松配合，使得太陽電池片等工件在輸送過程中減少了抖動運行更加平穩(wěn)。并且，在工件水平(或接近水平)傳動的過程中，工件能夠受到一定的由上滾輪的重力產(chǎn)生的壓力，從而緊貼在下輸送裝置上。這樣，在下滾輪單邊驅(qū)動或上下滾輪雙邊驅(qū)動的情況下，均能確保不會出現(xiàn)工件停止前進或偏移的問題?？蛇x地，所述上滾輪的兩端部具有缺口，所述定位裝置端部具有與所述缺口間隙配合的凸起，所述缺口的寬度大于凸起的寬度。通過這種過盈間隙配合，使得上滾輪可在一定范圍內(nèi)沿垂直于上滾軸的軸芯線方向上下自由抖動?？蛇x地，在如上所述的輸送裝置中，所述定位裝置穿過所述上滾軸的軸心固定在上滾軸上。通過這樣設(shè)置的輸送裝置，所述定位裝置的定位非常穩(wěn)定，能夠有效地傳遞力矩，帶動上滾輪滾動?？蛇x地，在如上所述的輸送裝置中，所述定位裝置是定位銷。通過這樣設(shè)置的輸送裝置，定位銷的設(shè)計和制造更加簡便，有效地降低了設(shè)計和制造成本。結(jié)構(gòu)簡單、可靠性高且安裝較方便?？蛇x地，在如上所述的輸送裝置中，所述定位裝置固定套設(shè)在所述上滾軸的外壁上。通過這樣設(shè)置的輸送裝置，能夠在有效地傳遞力矩的同時方便了上滾輪和定位裝置的安裝，無需穿過上滾軸軸芯破壞軸芯結(jié)構(gòu)?？蛇x地，在如上所述的輸送裝置中，所述上滾輪呈圓筒形?；蛘呖蛇x地，在如上所述的輸送裝置中，所述上滾輪呈截兩端的圓錐形。通過這樣設(shè)置的輸送裝置，可以簡化所述上滾輪的設(shè)計和制造，有效地降低了設(shè)計和制造成本。

參照附圖，本實用新型的公開內(nèi)容將更加顯然。應(yīng)當(dāng)了解，這些附圖僅僅用于說明的目的，而并非意在限制本實用新型。圖中圖1示意性地示出了現(xiàn)有技術(shù)中的水平(或接近水平)濕制程設(shè)備；圖2示意性地示出了根據(jù)本實用新型第一實施方式的輸送裝置的上輸送裝置；圖3示意性地示出了根據(jù)本實用新型第一實施方式的輸送裝置的上輸送裝置中的上滾輪；圖4示意性地示出了根據(jù)本實用新型第一實施方式的輸送裝置的上輸送裝置中的定位裝置；圖5示意性地示出了根據(jù)本實用新型第二實施方式的輸送裝置的上輸送裝置；圖6示意性地示出了根據(jù)本實用新型第二實施方式的輸送裝置的上輸送裝置中的定位裝置。
具體實施方式
下面參照附圖詳細地說明本實用新型的具體實施方式
。附圖中相同的附圖標(biāo)記用于標(biāo)記功能類似的技術(shù)特征。應(yīng)當(dāng)了解，如下的說明僅是說明性、示例性的。下面僅根據(jù)本實用新型的若干實施方式進行了說明，應(yīng)當(dāng)了解，這些實施方式的其它一些等同方案也將落入在本實用新型的保護范圍內(nèi)。[0022]圖1示意性地示出了現(xiàn)有技術(shù)中的水平(或接近水平)濕制程設(shè)備1。從圖1中可以看出，現(xiàn)有技術(shù)濕制程設(shè)備中的輸送裝置包括上輸送裝置6和下輸送裝置7，并且上輸送裝置6包括上滾軸，上滾軸上進一步地裝有上滾輪。經(jīng)過驅(qū)動機構(gòu)(未圖示)對上下輸送裝置6、7進行單邊或雙邊驅(qū)動，即可實現(xiàn)工件5的輸送動作。本實用新型對上述現(xiàn)有技術(shù)的濕制程設(shè)備的輸送裝置進行了改進。所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以了解，本實用新型中的一些部件可以具有與現(xiàn)有技術(shù)相同的結(jié)構(gòu)和功能， 因而在此上下文中沒有再對其進行贅述。圖2示意性地示出了根據(jù)本實用新型第一實施方式的輸送裝置的上輸送裝置6。從圖2中可以看出，此實施方式中的上輸送裝置6由上滾軸 8、上滾輪9 (見圖幻以及定位裝置10 (見圖4)組成。圖3示意性地示出了根據(jù)本實用新型第一實施方式的輸送裝置的上輸送裝置中的上滾輪。其中，圖3a是上滾輪9的前視圖，圖北是上滾輪9的前視局部剖視圖，圖3c是上滾輪9的側(cè)視圖?？梢钥闯?，上滾輪9是中空的圓柱形滾輪，并且上滾輪9上具有與定位裝置10相間隙配合的特征。具體地說，上滾輪9的兩端部具有缺口 11，定位裝置10端部具有與所述缺口間隙配合的凸起12，并且缺口的寬度大于凸起的寬度以實現(xiàn)松配合，使得上滾輪可在一定范圍內(nèi)沿垂直于上滾軸的軸芯線方向上下自由抖動。圖4示意性地示出了根據(jù)本實用新型第一實施方式的輸送裝置的上輸送裝置中的定位裝置10。其中，圖如是定位裝置的前視圖，圖4b是定位裝置的側(cè)視圖?？梢钥闯?， 定位裝置10穿過所述上滾軸8的軸心固定在上滾軸8上。在這種簡單的配置中，定位裝置 10可以是定位銷，結(jié)構(gòu)簡單、安裝方便且可靠性高。其實定位裝置10并不必定是這種形狀， 例如，其還可以是棱柱狀的、筒狀的、截去兩端的圓錐狀的等。從這些圖中可以看出，上滾輪9套在上滾軸8上，上滾輪9的內(nèi)直徑可以大于所述上滾軸8的外直徑。這樣的設(shè)置使得上滾輪9至上滾軸8上的安裝非常方便，并且上滾輪 9在自然狀態(tài)下可以相對于上滾軸8上下自由晃動。定位裝置10可以穿過上滾軸8設(shè)置， 這樣，當(dāng)上滾軸8旋轉(zhuǎn)時，定位裝置10帶動上滾輪9旋轉(zhuǎn)，從而與下輸送裝置7 —起驅(qū)動工件5。定位裝置10可以是定位銷，這樣其結(jié)構(gòu)更加簡單，降低了設(shè)計和制造成本。圖2中所示出的上滾軸8上設(shè)置了多個匹配的上滾輪9和定位銷10，從而形成了多個輸送軌道，可以同時驅(qū)動多個待處理的工件5。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，這種圖示僅是示意性的，在此并沒有排除上滾軸8上只有一組上滾輪9和定位裝置10的方案。在其它實施方式中也可以設(shè)置成上滾軸8上只有一組上滾輪9和定位裝置10，從而形成單個的工件輸送軌道。為了實現(xiàn)工件的平穩(wěn)輸送，所述定位裝置成對設(shè)置在每個上滾輪的兩端部，所述上滾輪間隙配合固定在所述定位裝置上。通過這樣設(shè)置，在工件5水平(或接近水平)傳動的過程中能夠受到一定的由上滾輪的重力產(chǎn)生的壓力，從而緊貼在下輸送裝置7上。這樣， 在下滾輪單邊驅(qū)動或上下滾輪雙邊驅(qū)動的情況下，均能確保不會出現(xiàn)工件停止前進或偏移的問題。相對于位于上滾輪中間的定位裝置來說，定位裝置設(shè)置在上滾輪兩端部，使得太陽電池片等在輸送過程中減少了抖動及摩擦，運行更加平穩(wěn)。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以了解， 上滾輪的重量不能過重達到會壓碎待輸送的工件的程度。圖2及圖3中的上滾輪9和定位裝置10的結(jié)構(gòu)僅是示意性的。在改型的實施方式中，上滾輪9和定位裝置10的結(jié)構(gòu)可以進一步地簡化成簡單的圓筒形、斜圓筒形等，只要其能夠?qū)崿F(xiàn)活動地安裝在上滾軸上，并且依靠重力使所輸送的工件貼在下輸送裝置7上即可。圖5示意性地示出了根據(jù)本實用新型第二實施方式的輸送裝置的上輸送裝置6。 從圖5中可以看出，此實施方式中的上輸送裝置6也是由上滾軸8、上滾輪9以及定位裝置 10組成。其中的上滾輪例如可以與第一實施方式中的上滾輪相同，在此不再進行重復(fù)的詳細描述。與第一實施方式不同的是，定位裝置10固定套設(shè)在所述上滾軸8的外壁上，無需穿過上滾軸軸芯破壞軸芯結(jié)構(gòu)，能夠在有效地傳遞力矩的同時方便了上滾輪9和定位裝置 10的安裝。圖6示意性地示出了根據(jù)本實用新型第二實施方式的輸送裝置的上輸送裝置中的定位裝置。圖6a是定位裝置的前視圖，圖6b是定位裝置的側(cè)視剖視圖，圖6c是定位裝置的俯視剖視圖?？梢钥闯?，在本實施方式中的定位裝置10也是中空的，并且可以以相對于上滾軸8沿圓周方向固定地套裝在上滾軸8上。上滾輪9與定位裝置10上分別具有與彼此相配合的特征。這樣，當(dāng)上滾輪8旋轉(zhuǎn)時，定位裝置10帶動上滾輪9旋轉(zhuǎn)，從而下與輸送裝置7—起驅(qū)動工件5。應(yīng)當(dāng)了解，在其它的實施方式中，上滾輪及定位裝置的結(jié)構(gòu)、形狀或者其配合特征的結(jié)構(gòu)、形狀可以呈其它的形式，只要其能夠?qū)崿F(xiàn)上述功能即可。圖5中所示出的上滾輪8上設(shè)置了多個相互匹配的上滾輪9和定位裝置10，從而形成了多個輸送軌道，可以同時驅(qū)動多個待處理的工件5。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解， 這種圖示僅是示意性的，在此并沒有排除上滾軸8上只有一組上滾輪9和定位裝置10的方案。在其它實施方式中也可以設(shè)置成上滾軸8上只有一組上滾輪9和定位裝置10，從而形成單個的工件輸送軌道。為了實現(xiàn)工件的平穩(wěn)輸送，同樣定位裝置10成對設(shè)置在每個上滾輪9的兩端部， 上滾輪9間隙配合固定在所述定位裝置10上。通過這樣設(shè)置，在工件5水平(或接近水平)傳動的過程中能夠受到一定的由上滾輪的重力產(chǎn)生的壓力，從而緊貼在下輸送裝置7 上。這樣，在下滾輪單邊驅(qū)動或上下滾輪雙邊驅(qū)動的情況下，均能確保不會出現(xiàn)工件停止前進或偏移的問題。相對于位于上滾輪中間的定位裝置來說，定位裝置設(shè)置在上滾輪兩端部， 使得太陽電池片等在輸送過程中減少了抖動及摩擦，運行更加平穩(wěn)。所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以了解，上滾輪的重量不能過重達到會壓碎待輸送的工件的程度。圖5及圖6中的上滾輪9和定位裝置10的結(jié)構(gòu)僅是示意性的。在改型的實施方式中，上滾輪9和定位裝置10的結(jié)構(gòu)可以進一步地簡化成簡單的圓筒形、斜圓筒形等，只要其能夠?qū)崿F(xiàn)活動地安裝在上滾軸上，并且依靠重力使所輸送的工件貼在下輸送裝置7上即可。如上所述，在此參照附圖對本實用新型的具體實施方式
進行了詳細的說明。但是應(yīng)當(dāng)了解，在不背離根據(jù)本實用新型的精神和范圍的情況下，可對這些結(jié)構(gòu)進行改變。本申請并非意在使用說明書中的具體細節(jié)來構(gòu)成對本實用新型的保護范圍的限制，例如，前文中以太陽能電池片作為工件的示例進行了描述，但本實用新型用于輸送具有類似或等同功能的工件的輸送裝置也將落在本實用新型要求保護的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于濕制程設(shè)備中的輸送裝置，所述輸送裝置包括上輸送裝置和下輸送裝置， 所述上輸送裝置包括上滾軸、套設(shè)在所述上滾軸上并可沿垂直于上滾軸軸芯線方向自由移動的多個上滾輪、固定在所述上滾軸上用于定位多個上滾輪的多個定位裝置，其特征是，所述定位裝置成對設(shè)置在每個上滾輪的兩端部，所述上滾輪間隙配合固定在所述定位裝置上。
2.如權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征是，所述上滾輪的兩端部具有缺口，所述定位裝置端部具有與所述缺口間隙配合的凸起，所述缺口的寬度大于凸起的寬度。
3.如權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其特征是，所述定位裝置穿過所述上滾軸的軸心固定在上滾軸上。
4.如權(quán)利要求3所述的輸送裝置，其特征是，所述定位裝置是定位銷。
5.如權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其特征是，所述定位裝置固定套設(shè)在所述上滾軸的外壁上。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項所述的輸送裝置，其特征是，所述上滾輪呈圓筒形。
7.如權(quán)利要求1至5中任一項所述的輸送裝置，其特征是，所述上滾輪呈截兩端的圓錐形。
專利摘要本實用新型涉及一種用于濕制程設(shè)備中的輸送裝置。該輸送裝置包括上輸送裝置和下輸送裝置，上輸送裝置包括上滾軸、套設(shè)在所述上滾軸上并可沿垂直于上滾軸軸芯線方向自由移動的多個上滾輪、固定在所述上滾軸上用于定位多個上滾輪的多個定位裝置，所述定位裝置成對設(shè)置在每個上滾輪的兩端部，所述上滾輪間隙配合固定在所述定位裝置上。在工件水平(或接近水平)傳動的過程中，所被輸送的工件能夠受到一定的由上滾輪的重力產(chǎn)生的壓力，從而緊貼在下輸送裝置上實現(xiàn)平穩(wěn)輸送。這樣，在下滾輪單邊驅(qū)動或上下滾輪雙邊驅(qū)動的情況下，均能確保不會出現(xiàn)工件停止前進或偏移的問題。
文檔編號H01L21/677GK201966189SQ20102020030
公開日2011年9月7日 申請日期2010年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月24日
發(fā)明者施利君, 賀瑞勇, 黃勇 申請人:庫特勒自動化系統(tǒng)(蘇州)有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司