專利名稱：一種可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于二氧化碳激光器的諧振腔中的密封腔的密封技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及 一種可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡。
背景技術(shù)：
二氧化碳激光器的諧振腔是由全反鏡和輸出鏡組成的，多段折反的中間還會有反 射鏡，這些鏡片都在密封腔內(nèi)用，又俗稱腔內(nèi)鏡。中小功率的二氧化碳激光器全反鏡一般是 鍍金玻璃鏡。但玻璃基板全反鏡導熱性能差，所以對功率高的二氧化碳激光器常用金屬反 射鏡，如用銅鏡或鉬鏡或拋光的無氧鏡，不銹鋼基板上鍍金，鍍介質(zhì)膜的反射鏡。輸出鏡通常采用能透10. 6 μ m波長的材料作基底，在上面鍍制多層膜，控制一定 的透射率或反射率，以達到最佳耦合輸出。常用的材料有氯化鉀，氯化鈉，鍺，砷化鎵，硒化 鋅，碲化鎘等材料。以往的腔內(nèi)鏡只靠密封圈保證密封和鏡片的可調(diào)(調(diào)節(jié)是為了使尾鏡和輸出鏡 絕對的平行同心，這樣才能保證高功率)。只靠密封圈的微小的變形量調(diào)節(jié)使兩鏡平行同心 是不夠的，調(diào)的過多了密封又不能保證了。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡，解決常用腔內(nèi)鏡在調(diào)節(jié)過程中 密封的問題。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡，包括尾鏡和輸出鏡，尾鏡和輸出鏡絕對平行并且同心，尾 鏡和輸出鏡之間通過焊接波紋管連接，并且在尾鏡內(nèi)圈的連接端設(shè)置有密封圈。本實用新型的有益效果是，焊接波紋管(焊接波紋管本身是經(jīng)過真空檢漏的)實 現(xiàn)調(diào)節(jié)功能，波紋管是可以伸縮，可以彎曲的，可以大范圍的調(diào)節(jié)鏡片，保證兩鏡平行同心， 提高輸出功率。密封圈只起到密封作用，而且是靜止的，因此密封的可靠性大大提高了，密 封好了，氣體的純度有了保證，氣壓能保持穩(wěn)定，這樣功率才能有保證。輸出鏡和尾鏡的平行同心是激光光束質(zhì)量的最根本保證。經(jīng)過我們的改進，加的 焊接波紋管的長度從25mm-40_之間可調(diào)節(jié)，波紋管的彎曲變形可以使端面(即鏡片安裝 面)處在15度的角度之內(nèi)的任意角度，這兩種長度和角度的大調(diào)節(jié)量絕對可以滿足鏡片之 間的平行和同心的調(diào)節(jié)。同時也為后面的大功率的激光器打了基礎(chǔ)，大功率激光器就是在 現(xiàn)有的基礎(chǔ)上將放電管的數(shù)量增加，因此腔長也增加，這樣只有大的調(diào)節(jié)量才能滿足鏡片 平行同心的要求。
下面根據(jù)附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。圖1是本實用新型實施例所述的可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡的立體圖；圖2是本實用新型實施例所述的可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡的另一角度立體圖。圖中[0016]1、尾鏡；2、輸出鏡；3、焊接波紋管；4、密封圈。
具體實施方式
如圖1-2所示，可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡，包括尾鏡1和輸出鏡2，尾鏡1和輸出鏡2絕對 平行并且同心，尾鏡1和輸出鏡2之間通過焊接波紋管3連接，并且在尾鏡1內(nèi)圈的連接 端設(shè)置有密封圈4。本實用新型的有益效果是，焊接波紋管(焊接波紋管本身是經(jīng)過真空檢漏的)實 現(xiàn)調(diào)節(jié)功能，波紋管是可以伸縮，可以彎曲的，可以大范圍的調(diào)節(jié)鏡片，保證兩鏡平行同心， 提高輸出功率。密封圈只起到密封作用，而且是靜止的，因此密封的可靠性大大提高了，密 封好了，氣體的純度有了保證，氣壓能保持穩(wěn)定，這樣功率才能有保證。輸出鏡和尾鏡的平行同心是激光光束質(zhì)量的最根本保證。經(jīng)過我們的改進，加的 焊接波紋管的長度從25mm-40_之間可調(diào)節(jié)，波紋管的彎曲變形可以使端面(即鏡片安裝 面)處在15度的角度之內(nèi)的任意角度，這兩種長度和角度的大調(diào)節(jié)量絕對可以滿足鏡片之 間的平行和同心的調(diào)節(jié)。同時也為后面的大功率的激光器打了基礎(chǔ)，大功率激光器就是在 現(xiàn)有的基礎(chǔ)上將放電管的數(shù)量增加，因此腔長也增加，這樣只有大的調(diào)節(jié)量才能滿足鏡片 平行同心的要求。以上所述實施例，只是本實用新型眾多實施例中較為優(yōu)選的一部分，本領(lǐng)域技術(shù) 人員在本專利基礎(chǔ)上所做的簡單修改或替換，均應包括在本專利的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡，包括尾鏡和輸出鏡，尾鏡和輸出鏡必須保持絕對平行并且 同心，其特征在于，尾鏡和輸出鏡之間通過焊接波紋管連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔內(nèi)鏡，其特征在于，在尾鏡內(nèi)圈的連接端設(shè)置有密封圈。
專利摘要本實用新型公開一種可調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)鏡，包括尾鏡和輸出鏡，尾鏡和輸出鏡之間通過焊接波紋管連接，并且在尾鏡內(nèi)圈的連接端設(shè)置有密封圈。本實用新型的有益效果是由焊接波紋管(焊接波紋管本身是經(jīng)過真空檢漏的)實現(xiàn)調(diào)節(jié)功能，波紋管是可以伸縮，可以彎曲的，可大范圍的調(diào)節(jié)鏡片，保證兩鏡平行同心，提高輸出功率。密封圈只起密封作用，并且是固定不動的，因此密封的可靠性大大提高；密封效果好了，氣體的純度就有了保證，氣壓能保持穩(wěn)定，這樣功率才能有保證。
文檔編號H01S3/086GK201838886SQ201020219748
公開日2011年5月18日 申請日期2010年6月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月9日
發(fā)明者黃新營 申請人:北京開天科技有限公司