專利名稱：硅片料籃傳輸線的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片料籃傳輸線。
背景技術(shù)：
在硅片生產(chǎn)過程中，需要對硅片進(jìn)行清洗，清洗好的硅片才能應(yīng)用到相應(yīng)的設(shè)備 中。載片盒和花籃等運(yùn)載硅片物料的器具都可以稱之為料籃。其中，載片盒用于承載 待洗硅片的工件，花籃用于承載載片盒進(jìn)入水槽進(jìn)行清洗操作的工件。在料籃中裝入待洗 的硅片，一起放入全自動槽式硅片清洗機(jī)，嚴(yán)格按照設(shè)定的清洗工藝將線切割后的硅片徹 底清洗干凈。現(xiàn)有的硅片清洗工序里，清洗機(jī)之間一般會有狹窄的過道，硅片插片區(qū)和硅片包 片區(qū)附近總是有很多手推小車，它的作用就是滿載包片區(qū)騰空的載片盒和空花籃再由人力 推運(yùn)到插片區(qū)再次使用，然后再把空的手推車推到包片區(qū)待裝。因此，在硅片包片區(qū)和硅片 插片區(qū)必須同時放置空車和滿車頻繁的進(jìn)行裝載、推運(yùn)和騰空的循環(huán)操作，以實(shí)現(xiàn)空籃再 利用。導(dǎo)致大量空間被小車侵占，現(xiàn)場顯得尤為混亂，大量閑置在小車內(nèi)的空花籃和空載片 盒不能被高效的再利用，物流循環(huán)十分緩慢，以及人力資源的浪費(fèi)和包片區(qū)清潔環(huán)境的被 破壞。這種手推小車需要人力進(jìn)行反復(fù)推運(yùn)操作，物流效率低下，大量占用生產(chǎn)空間、惡 化工作環(huán)境。如前所述，通常清洗完成后硅片包片環(huán)節(jié)產(chǎn)生一定量的空載片盒和花籃以后， 插片環(huán)節(jié)才會派人來將小車推走，再將騰空的小車推回包片環(huán)節(jié)，物流循環(huán)耗時長，浪費(fèi)生 產(chǎn)空間和人力，降低生產(chǎn)效率。同時，根據(jù)統(tǒng)計(jì)發(fā)現(xiàn)，每臺清洗線至少有一半的載片盒閑置在小車?yán)锏却\(yùn)至插 片區(qū)循環(huán)使用，載片盒的利用率很低。而且需要購置大量的花籃和載片盒，以滿足生產(chǎn)需 要。而且載片盒造價高、硬度大，在大量堆放、小車推運(yùn)的過程中容易造成磕碰變形或破損， 造成經(jīng)濟(jì)損失。另外，硅片包片區(qū)對環(huán)境衛(wèi)生要求較高，硅片預(yù)清洗和插片區(qū)的環(huán)境較差， 難以達(dá)到要求，在兩個區(qū)域之間的人員流動和手推小區(qū)的進(jìn)出不可避免地會把插片區(qū)的污 垢和粉塵帶到硅片包片區(qū)，從而直接影響硅片清洗的質(zhì)量。因此，如何提高料籃的利用效率，減小硅片的清洗成本，提高硅片的清洗質(zhì)量，是 本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片料籃傳輸線，用于傳輸硅片料籃，該硅片料籃 傳輸線能有效提高料籃的利用效率，減小硅片清洗成本，并提高硅片的清洗質(zhì)量。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃 的輸送帶和用于控制所述輸送帶運(yùn)行或停止的控制裝置，所述輸送帶前進(jìn)方向與清洗所述 硅片的清洗機(jī)的送料方向相反。[0010]優(yōu)選地，還包括與所述輸送帶的表面垂直的護(hù)欄。優(yōu)選地，所述輸送帶的寬度與所述料籃的寬度相等。優(yōu)選地，所述輸送帶的長度略大于所述清洗機(jī)的長度。優(yōu)選地，所述輸送帶由聚四氟乙烯材料形成的長條輸送帶。優(yōu)選地，所述控制裝置包括檢測所述料籃是否送入或離開所述輸送帶的檢測部 件，和接收所述檢測部件的檢測信號，并控制所述輸送帶運(yùn)行或停止的控制部件。優(yōu)選地，所述檢測部件包括設(shè)于所述輸送帶進(jìn)料口的第一檢測部件。優(yōu)選地，所述檢測部件包括沿所述輸送帶的前進(jìn)方向依次設(shè)置的第二檢測部件和 第三檢測部件，所述第三檢測部件靠近所述輸送帶的出料口。優(yōu)選地，所述檢測部件具體為光電傳感器。本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃的輸送帶，和控制 所述輸送帶運(yùn)行或停止的控制裝置，其中，輸送帶的前進(jìn)方向與清洗硅片的清洗機(jī)的送料 方向相反。這樣，操作工人可以在插片區(qū)在空料籃中裝滿待洗的硅片，并送入清洗機(jī)，經(jīng)清 洗后進(jìn)入包片區(qū)，負(fù)責(zé)包片的工人取出硅片，將清空后的料籃放在本實(shí)用新型所提供的硅 片料籃傳輸線上，由于硅片料籃傳輸線與清洗機(jī)的送料方向相反，所以，硅片料籃傳輸線可 以將空的料籃直接送回插片區(qū)，使料籃可以高效的循環(huán)使用。硅片料籃傳輸線代替?zhèn)鹘y(tǒng)的手推車后，通過控制裝置控制空料籃返回插片區(qū)，既 可以減少推手推車的人力，節(jié)約人力資源；又可以避免手推車占用空間，使硅片清洗車間更 美觀，空間利用效率更高；還可以有效避免工人在插片區(qū)和包片區(qū)之間流動，減少插片區(qū)的 污垢和粉塵進(jìn)入包片區(qū)，提高包片區(qū)的清潔度和硅片的清洗質(zhì)量。同時，利用硅片料籃傳輸 線還可以減小硅片運(yùn)送過程中受人為因素的影響，減少料籃變形和破損的可能，減少不必 要的經(jīng)濟(jì)損失。而且，料籃的循環(huán)利用效率提高后，可以減少購買料籃的數(shù)量，可以進(jìn)一步 節(jié)省企業(yè)開支。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線還包括與所述輸 送帶的表面垂直的護(hù)欄，以避免料籃在傳輸過程中從輸送帶上滑落，提高料籃傳輸?shù)目煽?性，減小經(jīng)濟(jì)損失。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述控制裝置包括檢測部件和控制部件，所述檢測 部件用于檢測所述料籃是否送入或離開所述輸送帶，所述控制部件用于接收所述檢測部件 的檢測信號，并控制所述輸送帶運(yùn)行或停止。當(dāng)檢測部件檢測到料籃送入輸送帶的信號時， 控制部件控制輸送帶運(yùn)行，將料籃送至插片區(qū)；當(dāng)檢測部件持續(xù)檢測不到料籃送入輸送帶 時，表明輸送帶上料籃較少，控制部件可以控制輸送帶停止運(yùn)行，以免傳輸線空轉(zhuǎn)，浪費(fèi)資 源；當(dāng)檢測部件檢測到料籃離開輸送帶時，輸送帶運(yùn)行；當(dāng)檢測部件持續(xù)檢測不到料籃離 開輸送帶時，表明輸送帶上料籃較多，控制部件也可以控制輸送帶停止運(yùn)行，防止料籃在輸 送帶上堆積太多，減少輸送帶的磨損。

圖1為本實(shí)用新型所提供硅片料籃傳輸線一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示硅片料籃傳輸線的部分結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1所示硅片料籃傳輸線的局部俯視4[0025]圖4為圖1所示硅片料籃傳輸線的左視圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心是提供一種硅片料籃傳輸線，用于傳輸硅片料籃，該硅片料籃 傳輸線能有效提高料籃的利用效率，減小硅片清洗成本，并提高硅片的清洗質(zhì)量。本文所涉及的上、下、前、后等方位詞，是以硅片料籃傳輸線處于工作狀態(tài)為基準(zhǔn) 來定義的，與傳輸線的運(yùn)行方向相同為前，與傳輸線運(yùn)行方向相反為后。應(yīng)當(dāng)理解，本文中 所采用的方位詞不應(yīng)當(dāng)限制本專利的保護(hù)范圍。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施 方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。請參考圖1，圖1為本實(shí)用新型所提供硅片料籃傳輸線一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu) 示意圖；圖2為圖1所示硅片料籃傳輸線的部分結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1所示硅片料籃傳輸 線的局部俯視圖；圖4為圖1所示硅片料籃傳輸線的左視圖。圖中的箭頭方向均表示輸送 帶的前進(jìn)方向。本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃的輸送帶1，和控制 輸送帶運(yùn)行或停止的控制裝置，其中，輸送帶1的前進(jìn)方向與清洗硅片的清洗機(jī)的送料方 向相反。這樣，操作工人可以在插片區(qū)在空料籃2中裝滿待洗的硅片，并送入清洗機(jī)，經(jīng)清 洗后進(jìn)入包片區(qū)，負(fù)責(zé)包片的工人取出硅片，將清空后的料籃2放在本實(shí)用新型所提供的 硅片料籃傳輸線上，由于硅片料籃傳輸線與清洗機(jī)的送料方向相反，所以，硅片料籃傳輸線 可以將空的料籃2直接送回插片區(qū)，使料籃2可以高效的循環(huán)使用。硅片料籃傳輸線代替?zhèn)鹘y(tǒng)的手推車后，通過控制裝置控制空料籃2返回插片區(qū)， 既可以減少推手推車的人力，節(jié)約人力資源；又可以避免手推車占用空間，使硅片清洗車間 更美觀，空間利用效率更高；還可以有效避免工人在插片區(qū)和包片區(qū)之間流動，減少插片區(qū) 的污垢和粉塵進(jìn)入包片區(qū)，提高包片區(qū)的清潔度和硅片的清洗質(zhì)量。同時，利用硅片料籃傳 輸線還可以減小硅片運(yùn)送過程中受人為因素的影響，減少料籃2變形和破損的可能，減少 不必要的經(jīng)濟(jì)損失。而且，料籃2的循環(huán)利用效率提高后，可以減少購買料籃2的數(shù)量，可 以進(jìn)一步節(jié)省企業(yè)開支。在一種具體的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線可以具有與輸送 帶1的表面垂直的護(hù)欄3，以避免料籃2在傳輸過程中從輸送帶1上滑落，提高料籃2傳輸 的可靠性，減少經(jīng)濟(jì)損失。進(jìn)一步地，輸送帶1的寬度可以料籃2的寬度相等，使輸送帶1恰好可以放置料籃 2，從而有效避免料籃2在輸送帶1上竄動，減少料籃2與其它部件的碰撞，從而減少料籃2 變形和損壞的可能，延長料籃2的使用壽命。同時，輸送帶1的長度可以略大于清洗機(jī)的長度，使經(jīng)輸送帶1傳送的料籃2可以 比清洗機(jī)輸送的距離更遠(yuǎn)，更方便插片工人和包片工人操作，輸送效率更高。具體地，輸送帶1可以由聚四氟乙烯材料形成，聚四氟乙烯具有摩擦系數(shù)小、耐磨 性好的特點(diǎn)，利用聚四氟乙烯制作輸送帶1可以減少料籃2和輸送帶1的磨損，使輸送帶1 的使用壽命更長。顯然，輸送帶1可以利用其它材料制作。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，控制裝置包括檢測部件4和控制部件，檢測部件4用于檢測料籃2是否送入或離開輸送帶1，控制部件用于接收檢測部件4的檢測信號，并根據(jù)檢 測信號控制輸送1帶運(yùn)行或停止。當(dāng)檢測部件4檢測到料籃2送入輸送帶1的信號時，控 制部件控制輸送帶1運(yùn)行，將料籃2送至插片區(qū)；當(dāng)檢測部件4持續(xù)檢測不到料籃2送入輸 送帶1時，表明輸送帶1上料籃2較少，控制部件可以控制輸送帶1停止運(yùn)行，以免傳輸線 空轉(zhuǎn)，浪費(fèi)資源；當(dāng)檢測部件4檢測到料籃2離開輸送帶1時，輸送帶1運(yùn)行；當(dāng)檢測部件4 持續(xù)檢測不到料籃2離開輸送帶1時，表明輸送帶1上料籃2較多，控制部件也可以控制輸 送帶1停止運(yùn)行，防止料籃2在輸送帶1上堆積太多，減少輸送帶1的磨損。另外，本實(shí)用新型中可以采用0. 75KW三相異步電動機(jī)為輸送帶1提供動力，還可 以配合使用機(jī)械變速箱來方便調(diào)節(jié)傳輸帶運(yùn)轉(zhuǎn)速度。輸送帶1的動力部分和變速方法在本 領(lǐng)域中有多種實(shí)現(xiàn)方式，在此不再贅述。以下以光電傳感器為例，對檢測部件進(jìn)行說明。應(yīng)當(dāng)理解，本實(shí)用新型所提供的硅 片料籃傳輸線中，其檢測部件包括但不限于光電傳感器。具體地，檢測部件4可以包括設(shè)于輸送帶1進(jìn)料口的第一檢測部件41，該第一檢 測部件41持續(xù)檢測不到信號的時間大于預(yù)定時間時，控制部件控制輸送帶1停止。即第一 檢測部件41如果在預(yù)定時間內(nèi)都檢測不到有料籃2送上輸送帶1時，控制部件就可以控制 輸送帶1停止。例如，第一光電傳感器持續(xù)5分鐘沒有感應(yīng)到料籃2，則表明輸送帶1上持 續(xù)5分鐘都沒有料籃2送入，此時控制部件可以使輸送帶1停止運(yùn)行，以節(jié)約電力，同時也 減少設(shè)備磨損。這樣的狀態(tài)可以理解為硅片料籃傳輸線處于省電模式。而當(dāng)進(jìn)料口處的第 一光電傳感器感應(yīng)到料籃2時，則控制部件會及時啟動輸送帶1，省電模式結(jié)束，進(jìn)入傳輸 線的工作模式。進(jìn)一步地，檢測部件4還可以包括沿輸送帶1的前進(jìn)方向依次設(shè)置的第二檢測部 件42和第三檢測部件43，第三檢測部件43靠近輸送帶1的出料口 ；第二檢測部件42和第 三檢測部件43均持續(xù)檢測到料籃2信號的時間大于預(yù)定時間時，控制部件控制輸送帶1停 止。即可以沿著輸送帶1的運(yùn)行方向依次設(shè)置三個光電傳感器，且第三光電傳感器靠近出 料口，第二光電傳感器位于第一光電傳感器和第三光電傳感器中間。當(dāng)?shù)诙怆妭鞲衅骱?第三光電傳感器均持續(xù)檢測到料籃2信號，且持續(xù)預(yù)定時間后，例如持續(xù)20秒，第二光電傳 感器和第三光電傳感器都持續(xù)檢測到料籃2存在，此時料籃2堆積在輸送帶1上，操作工人 沒有及時將其轉(zhuǎn)移，這種模式可以理解為傳輸線的堆棧模式?？刂撇考部梢钥刂戚斔蛶?1停止，以減少料籃2與輸送帶1之間的磨損。更優(yōu)的，可以設(shè)置警鈴、燈泡等輔助設(shè)備，當(dāng)硅片料籃傳輸線處于堆棧模式時，警 鈴、燈泡等輔助設(shè)備接通，利用聲音、燈光提示操作人員及時卸載料籃2。料籃2被取走后， 堆棧模式結(jié)束，警鈴、燈泡等輔助設(shè)備斷開，傳輸線再次回到工作模式。顯然，上述的第一檢測部件與第二檢測部件、第三檢測部件可以獨(dú)立存在，也可以 同時存在，當(dāng)同時存在時傳輸線的可靠性更好，工作效率更高。以上對本實(shí)用新型所提供的硅片料籃傳輸線進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體 個例對本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本 實(shí)用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離 本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也 落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種硅片料籃傳輸線，其特征在于，包括用于承載硅片料籃(2)的輸送帶(1)和用于控制所述輸送帶(1)運(yùn)行或停止的控制裝置，所述輸送帶(1)前進(jìn)方向與清洗所述硅片的清洗機(jī)的送料方向相反。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，還包括與所述輸送帶(1)的表 面垂直的護(hù)欄(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)的寬度與所述 料籃(2)的寬度相等。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)的長度略大于 所述清洗機(jī)的長度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述輸送帶(1)由聚四氟乙烯 材料形成的長條輸送帶。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述控制裝置包 括檢測所述料籃(2)是否送入或離開所述輸送帶(1)的檢測部件(4)，和接收所述檢測部件 ⑷的檢測信號，并控制所述輸送帶⑴運(yùn)行或停止的控制部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測部件(4)包括設(shè)于所 述輸送帶(1)進(jìn)料口的第一檢測部件(41)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測部件(4)包括沿所述 輸送帶(1)的前進(jìn)方向依次設(shè)置的第二檢測部件(42)和第三檢測部件(43)，所述第三檢測 部件(43)靠近所述輸送帶(1)的出料口。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片料籃傳輸線，其特征在于，所述檢測部件(4)具體為光電 傳感器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅片料籃傳輸線，包括用于承載硅片料籃(2)的輸送帶(1)和用于控制所述輸送帶(1)運(yùn)行或停止的控制裝置，所述輸送帶(1)前進(jìn)方向與清洗所述硅片的清洗機(jī)的送料方向相反。硅片料籃傳輸線可以將空的料籃直接送回插片區(qū)，使料籃可以高效的循環(huán)使用。這樣既可以減少推手推車的人力，節(jié)約人力資源；又可以使硅片清洗車間更美觀，空間利用效率更高；還可以減少插片區(qū)的污垢和粉塵進(jìn)入包片區(qū)，提高包片區(qū)的清潔度和硅片的清洗質(zhì)量。同時，還可以減少料籃變形和破損的可能，減少購買料籃的數(shù)量，減少不必要的經(jīng)濟(jì)損失，節(jié)省企業(yè)開支。
文檔編號H01L21/677GK201699001SQ20102024950
公開日2011年1月5日 申請日期2010年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月30日
發(fā)明者田歡, 黃永杰 申請人:英利能源(中國)有限公司