專利名稱：快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備，尤其涉及一種快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工 具。
背景技術(shù)：
快速熱處理(Rapid thermal processing，RTP)是 將晶片快速加熱到設(shè)定溫度，進(jìn) 行短時(shí)間快速熱處理的方法，熱處理時(shí)間通常小于1 2分鐘。過(guò)去幾年間，RTP已逐漸成 為先進(jìn)半導(dǎo)體制造必不可少的一項(xiàng)工藝，用于氧化、退火、金屬硅化物的形成和快速熱化學(xué) 沉積。在快速熱處理機(jī)臺(tái)使用過(guò)程中，為延長(zhǎng)快速熱處理機(jī)臺(tái)壽命，保證快速熱處理機(jī) 臺(tái)高效工作，要對(duì)快速熱處理機(jī)臺(tái)進(jìn)行定期清洗和保養(yǎng)。每次進(jìn)行月保養(yǎng)的時(shí)候，都要對(duì)快速熱處理機(jī)臺(tái)的腔室內(nèi)部的滾珠進(jìn)行清洗，當(dāng) 季保養(yǎng)的時(shí)候是需要對(duì)滾珠進(jìn)行檢查、更換。對(duì)滾珠進(jìn)行清洗是重要的組成部分，清洗的干 凈與否對(duì)下次的使用壽命起到至關(guān)重要的作用。滾珠在旋轉(zhuǎn)過(guò)程根據(jù)作用分為兩種，一種起到潤(rùn)滑作用，一種起到支撐作用，采用 不同顏色區(qū)分。現(xiàn)有技術(shù)中的清洗方法是人工將所有的滾珠從腔室內(nèi)部取下，將滾珠放在 容器中，用專用擦布對(duì)每一個(gè)滾珠進(jìn)行清洗并更換壞掉的滾珠，再手動(dòng)將不同的顏色的滾 珠按照序列擺回到面板上，由于位置的原因，在擺放的過(guò)程中，要對(duì)不同顏色的滾珠進(jìn)行分 別擺放，在擺放過(guò)程中，由于滾珠比較小、擺放的空間比較狹小，人的手指在擺放過(guò)程中很 容易觸碰到其他已經(jīng)擺放好的滾珠，使其掉落，這會(huì)導(dǎo)致以前的工作失效，從而效率降低。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，使 不容易拆卸與安裝的滾珠可以同時(shí)拆卸、清洗和安裝，方便操作，提高工作效率。為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，包括裝 卸圓環(huán)，所述裝卸圓環(huán)包括若干小塊和若干彈簧，相鄰小塊之間通過(guò)彈簧連接，每個(gè)小塊底 面設(shè)有第一圓弧形凹槽和第二圓弧形凹槽，每個(gè)小塊的第一圓弧形凹槽與相鄰小塊的第二 圓弧形凹槽相匹配構(gòu)成一個(gè)裝卸凹槽，每個(gè)所述裝卸凹槽與所述快速熱處理機(jī)臺(tái)的一個(gè)滾 珠相匹配。進(jìn)一步的，所述小塊的材料為耐腐蝕材料。優(yōu)選的，所述小塊的材料為塑料。較佳的，所述彈簧為耐腐蝕材料。進(jìn)一步的，所述快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具還包括調(diào)節(jié)裝置，所述調(diào)節(jié)裝置 包括彈性條和調(diào)節(jié)桿，所述彈性條緊貼在所述裝卸圓環(huán)內(nèi)圈，所述調(diào)節(jié)桿連接所述彈性條 的兩端。較佳的，所述調(diào)節(jié)裝置為耐腐蝕材料。[0013]較佳的，所述調(diào)節(jié)桿為調(diào)節(jié)螺絲。綜上所述，本實(shí)用新型中所述快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，包括若干小塊和彈簧，所述小塊之間通過(guò)彈簧連接，所述裝卸工具的底面形成有若干半球形凹槽，所述半球 形凹槽與所述快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的數(shù)量相同，位置對(duì)應(yīng)，同時(shí)所述半球形凹槽可調(diào)節(jié)松 緊，可將滾珠從所述快速熱處理機(jī)臺(tái)中夾起，使不容易拆卸與安裝的滾珠可以同時(shí)拆卸、清 洗和安裝，方便操作，提高工作效率。

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例中快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具的俯視圖。圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中所述裝卸工具的仰視圖。圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例中所述裝卸工具的俯視局部放大的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中小塊側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說(shuō)明書附圖，對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi) 容作進(jìn)一步說(shuō)明。當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知 的一般替換也涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)例時(shí)，為了 便于說(shuō)明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。本實(shí)用新型的核心思想是提供一種快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，所述裝卸 工具上設(shè)置有裝卸凹槽，所述裝卸凹槽與所述快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠相匹配，所述裝卸凹槽 松緊可調(diào)，夾緊時(shí)可將滾珠全部夾起，從而使不容易拆卸與安裝的滾珠可以同時(shí)拆卸、清洗 和安裝，方便操作，提高工作效率。結(jié)合上述核心思想，本實(shí)用新型提供一種快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，包括 若干小塊和若干彈簧，相鄰小塊之間通過(guò)彈簧連接，每個(gè)小塊底面設(shè)有第一圓弧形凹槽和 第二圓弧形凹槽，每個(gè)小塊的第一圓弧形凹槽與相鄰小塊的第二圓弧形凹槽相匹配構(gòu)成一 個(gè)裝卸凹槽，每個(gè)所述裝卸凹槽與所述快速熱處理機(jī)臺(tái)的一個(gè)滾珠相匹配。圖1為本實(shí)用 新型一實(shí)施例中快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具的俯視圖。請(qǐng)結(jié)合圖1，所述快速熱處理機(jī) 臺(tái)滾珠的裝卸工具包括裝卸圓環(huán)10，所述裝卸圓環(huán)包括若干小塊101和彈簧102，較佳的， 本實(shí)施例中所述小塊101的大小、形狀均相同，所述小塊101與相鄰所述小塊101通過(guò)所述 彈簧連接，所述小塊與所述彈簧共同形成圓環(huán)形結(jié)構(gòu)。圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中所述裝卸工具的仰視圖。參考圖2，所述小塊101的 底面設(shè)有第一圓弧形凹槽和第二圓弧形凹槽，每個(gè)小塊101的第一圓弧形凹槽與相鄰小塊 101的第二圓弧形凹槽相匹配構(gòu)成一個(gè)裝卸凹槽，每個(gè)所述裝卸凹槽與所述快速熱處理機(jī) 臺(tái)的一個(gè)滾珠相匹配。圖3為本實(shí)用新型中所述裝卸工具的俯視局部放大的結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖3，所述 小塊101與相鄰所述小塊101的側(cè)面通過(guò)所述彈簧102連接，所述小塊101兩兩相靠，所述 小塊101與所述彈簧102共同形成圓環(huán)形結(jié)構(gòu)。圖4為本實(shí)用新型一實(shí)施例中小塊側(cè)面的結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖4并結(jié)合圖3，分別以所述小塊101的底面的兩對(duì)邊為直徑，形成第一圓弧型凹槽和第二圓弧形凹槽，所述第 一圓弧型凹槽和第二圓弧形凹槽的位于所述小塊底邊相對(duì)的兩側(cè)，每個(gè)小塊101的第一圓 弧形凹槽與相鄰小塊101的第二圓弧形凹槽相匹配構(gòu)成一個(gè)裝卸凹槽，較佳的，所述第一 圓弧槽與所述第二圓弧槽形狀相同，所述裝卸圓弧槽為半球形凹槽，所述裝卸凹槽的直徑 等于或略小于滾珠的直徑。在所述彈簧102的收縮力作用下，所述裝卸凹槽可夾緊所述滾 珠。所述裝卸凹槽與所述快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的數(shù)量相同，位置對(duì)應(yīng)。例如，所述快速熱 處理機(jī)臺(tái)中有60個(gè)滾珠，所述滾珠相靠形成圓環(huán)形，則所述裝卸凹槽與所述滾珠的數(shù)量相 同，也為60個(gè)，所述裝卸凹槽的位置與所述滾珠的位置一一對(duì)應(yīng)，即每個(gè)所述裝卸凹槽均 對(duì)應(yīng)罩在一個(gè)所述滾珠之上。 進(jìn)一步的，所述小塊101的材料為耐腐蝕材料，其中較佳的，所述小塊101的材料 為塑料，從快速熱處理機(jī)臺(tái)中取出所述滾珠后，對(duì)所述滾珠進(jìn)行清洗是在所述裝卸工具上 進(jìn)行的，在清洗過(guò)程中清洗液具有一定的腐蝕性，所以采用塑料材料具有較佳的耐腐蝕效 果，同時(shí)塑料材料為常見材料，易于生產(chǎn)加工。進(jìn)一步的，快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具還包括調(diào)節(jié)裝置30，所述調(diào)節(jié)裝置包 括彈性條301和調(diào)節(jié)桿302，所述彈性條301緊貼在所述裝卸圓環(huán)10內(nèi)圈，所述調(diào)節(jié)桿302 連接所述彈性條301的兩端。所述彈性條301彎成圓形，由于具有向外的張力，撐在所述裝 卸圓環(huán)10的內(nèi)圈，所述彈性條301具有向外的張力，調(diào)節(jié)所述彈性條301的張力，就可以調(diào) 節(jié)所述小塊101之間的距離，進(jìn)一步的調(diào)節(jié)所述裝卸凹槽的松緊；所述彈性條301的兩端部 通過(guò)所述調(diào)節(jié)桿302調(diào)節(jié)、固定，所述調(diào)節(jié)桿302可以調(diào)節(jié)所述彈性條301，當(dāng)所述調(diào)節(jié)桿 302收緊時(shí)，所述彈性條301收縮，所述彈簧102隨之收縮，所述小塊101之間的距離縮小， 進(jìn)一步將所述裝卸凹槽收緊。進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)裝置30為耐腐蝕材料。從快速熱處理機(jī)臺(tái)中取出所述滾珠 后，對(duì)所述滾珠進(jìn)行清洗是在所述裝卸工具上進(jìn)行的，在清洗過(guò)程中清洗液具有一定的腐 蝕性，腐蝕液部分會(huì)流到所述調(diào)節(jié)裝置上，所以采用耐腐蝕材料，例如塑料等，具有較佳的 耐腐蝕效果，使所述拆卸工具可長(zhǎng)時(shí)間使用。較佳的，所述調(diào)節(jié)桿302為調(diào)節(jié)螺絲。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中所述彈性條301的 兩端部均呈“L”型，彎曲所述彈性條301時(shí)，所述彈性條301呈圓形，所述彈性條301兩端 的尾部相對(duì)，所述彈性條兩端的尾部上均設(shè)有螺紋口，所述調(diào)節(jié)螺絲可以旋入所述螺紋口， 旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺絲即可調(diào)節(jié)兩端的尾部的距離，進(jìn)而調(diào)節(jié)所述彈性條301的松緊。本實(shí)用新型一實(shí)施例中所述裝卸工具的使用原理為，調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿302，使所述 彈性條301兩端尾部的距離變大，在所述彈性條301張力的作用下所述彈簧102伸長(zhǎng)，使所 述小塊101之間的距離增加，則所述裝卸凹槽放松，此時(shí)所述滾珠可放入所述裝卸凹槽，或 從所述裝卸凹槽中取出；當(dāng)手動(dòng)調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿302，使所述彈性條301兩端尾部的距離變 小，所述彈簧102隨之收縮，使所述小塊101之間的距離減小，所述裝卸凹槽收緊，此時(shí)可夾 緊所述滾珠不掉落。本實(shí)用新型一實(shí)施例中所述裝卸工具的使用過(guò)程為，調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿302，使所述 裝卸凹槽放松，將每個(gè)所述裝卸凹槽對(duì)準(zhǔn)快速熱處理機(jī)臺(tái)上的所述滾珠；對(duì)準(zhǔn)后手動(dòng)調(diào)節(jié) 所述調(diào)節(jié)桿302，使所述裝卸凹槽夾緊所述滾珠；確保夾緊所述滾珠后提起所述裝卸工具， 將所述滾珠從快速熱處理機(jī)臺(tái)中全部取下；接著將所述裝卸工具翻轉(zhuǎn)，再次手動(dòng)調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿302，所述裝卸凹槽慢慢松動(dòng)，不將所述滾珠從裝卸工具中取下，直接在所述滾珠上 滴擦拭液后用潔凈布擦拭；當(dāng)清洗完畢后，手動(dòng)調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿302，使所述裝卸凹槽夾緊 所述滾珠，將所述裝卸工具翻轉(zhuǎn)，將所述滾珠放回到所述快速熱處理機(jī)臺(tái)，將所述滾珠對(duì)準(zhǔn) 位置后手動(dòng)調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿302，使所述裝卸凹槽放松所述滾珠，將所述滾珠放回到所述快 速熱處理機(jī)臺(tái)上的位置。綜上所述，本實(shí)用新型中所述快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，包括若干小塊101 和彈簧102，所述小塊101之間通過(guò)彈簧102連接，所述裝卸工具的底面形成有若干裝卸凹 槽，所述裝卸凹槽與所述快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的數(shù)量相同，位置對(duì)應(yīng)，同時(shí)所述裝卸凹槽可 調(diào)節(jié)松緊，可將滾珠從所述快速熱處理機(jī)臺(tái)中夾起，使不容易拆卸與安裝的滾珠可以同時(shí) 拆卸、清洗和安裝，方便操作，提高工作效率。本實(shí)用新型中所述裝卸工具采用的材料為工藝常見材料，方便取材，成本較低，便 于制作。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更 動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，其特征在于，包括裝卸圓環(huán)，所述裝卸圓環(huán)包括若干小塊和若干彈簧，相鄰小塊之間通過(guò)彈簧連接，每個(gè)小塊底面設(shè)有第一圓弧形凹槽和第二圓弧形凹槽，每個(gè)小塊的第一圓弧形凹槽與相鄰小塊的第二圓弧形凹槽相匹配構(gòu)成一個(gè)裝卸凹槽，每個(gè)所述裝卸凹槽與所述快速熱處理機(jī)臺(tái)的一個(gè)滾珠相匹配。
2.如權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，其特征在于，所述小塊的材 料為耐腐蝕材料。
3.如權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，其特征在于，所述小塊的材 料為塑料。
4.如權(quán)利要求1所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，其特征在于，還包括調(diào)節(jié)裝 置，所述調(diào)節(jié)裝置包括彈性條和調(diào)節(jié)桿，所述彈性條緊貼在所述裝卸圓環(huán)內(nèi)圈，所述調(diào)節(jié)桿 連接所述彈性條的兩端。
5.如權(quán)利要求4所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置 為耐腐蝕材料。
6.如權(quán)利要求4所述的快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，其特征在于，所述調(diào)節(jié)桿為 調(diào)節(jié)螺絲。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具，包括裝卸圓環(huán)，所述裝卸圓環(huán)包括若干小塊和若干彈簧，相鄰小塊之間通過(guò)彈簧連接，每個(gè)小塊底面設(shè)有第一圓弧形凹槽和第二圓弧形凹槽，每個(gè)小塊的第一圓弧形凹槽與相鄰小塊的第二圓弧形凹槽相匹配構(gòu)成一個(gè)裝卸凹槽，每個(gè)所述裝卸凹槽與所述快速熱處理機(jī)臺(tái)的一個(gè)滾珠相匹配。本實(shí)用新型中所述快速熱處理機(jī)臺(tái)滾珠的裝卸工具可將所述滾珠從所述快速熱處理機(jī)臺(tái)中夾起，使不容易拆卸與安裝的滾珠可以同時(shí)拆卸、清洗和安裝，方便操作，提高工作效率。
文檔編號(hào)H01L21/324GK201773824SQ20102026133
公開日2011年3月23日 申請(qǐng)日期2010年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月16日
發(fā)明者許鹖 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司