專利名稱：氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關及其安裝結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種開關及其安裝結構。
背景技術：
目前，在半導體生產(chǎn)領域內(nèi)，很多生產(chǎn)設備、化學品供應的閥箱和供氣管道均設有 許多氣動閥。一旦供氣線路發(fā)生故障，工作人員會著手進行檢修。通常向各控制氣動閥的 控制信號，然后到現(xiàn)場查看各氣動閥是否如期打開或關閉。但是，采用這種方法，不但耗費 大量人工和時間，而且由于檢修效率低，會嚴重影響檢修時間，給生產(chǎn)造成重大損失。因此，如何提供一種可以將現(xiàn)場氣動閥的狀態(tài)及時反饋給工作人員的氣動閥狀態(tài) 監(jiān)測開關是本領域亟待解決的一個技術問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關，可以將現(xiàn)場氣動閥的狀態(tài) 及時反饋給工作人員，另外，還提供了這種氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，將該氣動閥狀 態(tài)監(jiān)測開關調(diào)整到氣動閥上方的合適位置，保證氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關正常工作。為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案一種氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關，包括盒體、連桿、第一導線、第二導線以及平行設置于 所述盒體內(nèi)部的上簧片和下簧片，所述上簧片和下簧片分別經(jīng)第一導線和第二導線引到盒 體外部，所述上簧片和下簧片分別設有相對的上觸點和下觸點，所述連桿的上端連接于所 述下簧片的對應下觸點處，下端經(jīng)設于盒體底部的通孔向外伸出，所述連桿帶動下簧片的 下觸點接觸或遠離所述上觸點。進一步，所述氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關還包括拉簧，所述拉簧的一端連接于盒體的底 部，另一端連接于所述下簧片。進一步，所述上觸點和下觸點設于所述上簧片和下簧片的一側，所述上簧片和下 簧片的另一側通過絕緣體連接。進一步，所述上觸點和下觸點在遠離時最大間距是0. 1-2毫米。本實用新型還公開了一種如上所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，包括一設 置在所述氣動閥上方的第一安裝板，所述盒體位于所述第一安裝板的下方，所述盒體和所 述第一安裝板可滑動式連接，所述氣動閥的頂部設有閥口動作鈕，所述連桿的下端位于所 述閥口動作鈕的上方，所述閥口動作鈕在氣動閥打開時經(jīng)連桿及下簧片帶動下觸點接觸上 觸點。進一步，所述氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構還包括一與所述第一安裝板相垂直 的第二安裝板，所述第一安裝板可滑動式連接于所述第二安裝板。進一步，所述第二安裝板開有第二長條形滑道，所述第一安裝板經(jīng)第二螺栓組件 安裝于所述第二安裝板的第二長條形滑道。進一步，所述第一安裝板的一端固設有連接板，所述連接板與所述第一安裝板垂直，所述連接板經(jīng)第二螺栓組件安裝于所述第二安裝板的第二長條形滑道。進一步，所述第一安裝板開有第一長條形滑道，所述盒體經(jīng)第一螺栓組件安裝于 所述第一安裝板的第一長條形滑道。進一步，所述氣動閥安裝在設備上，所述氣動閥和設備之間設有具有第三長條形 滑道的第三安裝板，經(jīng)一第三螺栓組件和第三安裝板將氣動閥和設備固定連接。本實用新型的有益效果如下本實用新型氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關及其安裝結構，結構簡單、使用方便。當氣動閥打 開時，其頂部的閥口動作閥會向上運動，從而推動連桿運動，進而連桿推動下簧片，使得下 簧片的下觸點與上簧片的上觸點接觸，從而將第一導線和第二導線導發(fā)信號到監(jiān)測設備， 工作人員可以及時知道氣動閥是否打開，從而及時對發(fā)生故障的氣動閥進行檢修，提高了 檢修效率，保障生產(chǎn)順利進行。另外，本實用新型的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，通過 采用可滑動式連接方式，可以將該氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關調(diào)整到氣動閥上方的合適位置，保 證氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關正常工作。

本實用新型的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關及安裝結構由以下的實施例及附圖給出。圖1是本實用新型的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的結構示意圖；圖2是氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關及其安裝結構和氣動閥使用時的結構示意圖；圖3是氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關和氣動閥使用時的立體示意圖；圖4是第一安裝板的結構示意圖；圖5是第二安裝板的結構示意圖；圖6是第三安裝板的結構示意圖；圖中，1-氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關、11-盒體、12-連桿、13-第一導線、14-第二導線、 15-上簧片、151-上觸點、16-下簧片、161-下觸點、17-拉簧、18-絕緣體、2-氣動閥、21-閥 口動作鈕、3-第一安裝板、31-第一長條形滑道、32-連接板、4-第二安裝板、41-第二長條形 滑道、5-第三安裝板、51-第三長條形滑道、6-第一螺栓組件、7-第二螺栓組件、8-第三螺栓 組件、9-設備。
具體實施方式
以下將對本實用新型的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選 實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型 的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對 本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關系統(tǒng)或有關商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和 耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規(guī)工作。[0029]為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實 施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參見圖1，圖1所示是本實用新型的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的結構示意圖。這種氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關1，包括盒體11、連桿12、第一導線13、第二導線14以及 水平方向平行設置于所述盒體11內(nèi)部的上簧片15和下簧片16，所述上簧片15和下簧片 16分別經(jīng)第一導線13和第二導線14引到盒體11外部，所述上簧片15和下簧片16分別設 有相對的上觸點151和下觸點161，所述連桿12的上端連接于所述下簧片16的對應下觸點 161處，下端經(jīng)設于盒體底部的通孔向外伸出，所述連桿12帶動下簧片16的下觸點161接 觸或遠離所述上觸點151。所述氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關1還包括拉簧17，所述拉簧17的一端連接于盒體的底 部，另一端連接于所述下簧片16，通過拉簧17可以將下簧片16設置于盒體11內(nèi)，由于拉簧 17有一定的彈性，所以下簧片16可以相對盒體11的底部運動。所述上觸點151和下觸點161設于所述上簧片15和下簧片16的一側，所述上簧 片15和下簧片16的另一側通過絕緣體18連接。通過絕緣體18將上簧片15設置在下簧 片16的上方。優(yōu)選，所述上觸點151和下觸點161遠離時最大間距小于或等于氣動閥2的頂部 的閥口動作鈕21的動作距離。優(yōu)選，所述上觸點151和下觸點161在遠離時最大間距是 0. 1-2毫米。進一步，優(yōu)選，所述上觸點151和下觸點161在遠離時最大間距是0. 2-1. 5毫 米。請參閱圖1-6，圖1所示是本實用新型的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關1的結構示意圖；圖 2所示是氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關及其安裝結構和氣動閥使用時的結構示意圖；圖3所示是氣 動閥狀態(tài)監(jiān)測開關和氣動閥使用時的立體示意圖；圖4所示是第一安裝板的結構示意圖； 圖5所示是第二安裝板的結構示意圖；圖6是第三安裝板的結構示意圖。上述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關1通過如下安裝結構安裝于氣動閥2的上方。所述安 裝結構包括一設置在所述氣動閥2上方的第一安裝板3，所述盒體11位于所述第一安裝板 3的下方，所述盒體11和所述第一安裝板3可滑動式連接，所述氣動閥2的頂部設有閥口 動作鈕21，所述連桿12的下端位于所述閥口動作鈕21的上方，所述閥口動作鈕21在氣動 閥2打開時推動所述連桿12向上運動，也就是說，所述閥口動作鈕21在氣動閥21打開時 經(jīng)連桿12及下簧片16帶動下觸點161接觸上觸點151。由于所述盒體11和所述第一安 裝板3可滑動式連接，因此可以調(diào)整盒體11，使得連桿12對準所述氣動閥2的閥口動作鈕 21。上述盒體11和所述第一安裝板3可滑動式連接的具體結構是所述第一安裝板3開有 第一長條形滑道31，所述盒體11經(jīng)第一螺栓組件6安裝于所述第一安裝板3的第一長條形 滑道31，從而實現(xiàn)所述盒體11與所述第一安裝板可滑動式連接，因而可以方便地調(diào)整盒體 11使得連桿12對準閥口動作鈕21。所述安裝結構還包括一與所述第一安裝板3相垂直的第二安裝板4，所述第一安 裝板3可滑動式連接于所述第二安裝板4。所述第二安裝板4開有第二長條形滑道41，所 述第一安裝板3經(jīng)第二螺栓組件7安裝于所述第二安裝板4的第二長條形滑道41。本實 施例中，所述第一安裝板3通過與其固連的連接板32與所述第二安裝板4可滑動式固定連接。具體如下所述第一安裝板3的一端固設有連接板32，所述連接板32與所述第一安裝 板3垂直，所述連接板32經(jīng)第二螺栓組件7安裝于所述第二安裝板4的第二長條形滑道41， 從而實現(xiàn)第一安裝板3相對第二安裝板7可滑動式連接，從而，可以調(diào)整第一安裝板3的高 度，進而，調(diào)整氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關1和氣動閥2之間的距離。另外，本實施例中，所述第二 安裝板4與用于固定氣動閥的固定板5固定連接。另外，所述氣動閥2安裝在設備9上，所述氣動閥2和設備9之間設有具有第三長 條形滑道51的第三安裝板5，經(jīng)一第三螺栓組件8和第三安裝板5將氣動閥2和設備9固 定連接。通過設置第三安裝板5，用以調(diào)整所述氣動閥2和設備之間的位置關系。本實用新型氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關及其安裝結構，結構簡單、使用方便。當氣動閥打 開時，其頂部的閥口動作閥會向上運動，從而推動連桿運動，進而連桿推動下簧片，使得下 簧片的下觸點與上簧片的上觸點接觸，從而將第一導線和第二導線導發(fā)信號到監(jiān)測設備， 工作人員可以及時知道氣動閥是否打開，從而及時對發(fā)生故障的氣動閥進行檢修，提高了 檢修效率，保障生產(chǎn)順利進行。另外，本實用新型的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，通過 采用可滑動式連接方式，可以將該氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關調(diào)整到氣動閥上方的合適位置，可 以適用不同大小的氣動閥，保證氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關正常監(jiān)測氣動閥的啟閉情況。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及 其等同技術的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權利要求1.一種氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關，其特征在于，包括盒體、連桿、第一導線、第二導線以及平 行設置于所述盒體內(nèi)部的上簧片和下簧片，所述上簧片和下簧片分別經(jīng)第一導線和第二導 線引到盒體外部，所述上簧片和下簧片分別設有相對的上觸點和下觸點，所述連桿的上端 連接于所述下簧片的對應下觸點處，下端經(jīng)設于盒體底部的通孔向外伸出，所述連桿帶動 下簧片的下觸點接觸或遠離所述上觸點。
2.如權利要求1所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關，其特征在于，所述氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關 還包括拉簧，所述拉簧的一端連接于盒體的底部，另一端連接于所述下簧片。
3.如權利要求1所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關，其特征在于，所述上觸點和下觸點設于 所述上簧片和下簧片的一側，所述上簧片和下簧片的另一側通過絕緣體連接。
4.如權利要求1所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關，其特征在于，所述上觸點和下觸點在遠 離時最大間距是0. 1-2毫米。
5.一種如權利要求1所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，其特征在于，包括一設 置在所述氣動閥上方的第一安裝板，所述盒體位于所述第一安裝板的下方，所述盒體和所 述第一安裝板可滑動式連接，所述氣動閥的頂部設有閥口動作鈕，所述連桿的下端位于所 述閥口動作鈕的上方，所述閥口動作鈕在氣動閥打開時經(jīng)連桿及下簧片帶動下觸點接觸上 觸點。
6.如權利要求5所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，其特征在于，還包括一與所 述第一安裝板相垂直的第二安裝板，所述第一安裝板可滑動式連接于所述第二安裝板。
7.如權利要求6所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，其特征在于，所述第二安裝 板開有第二長條形滑道，所述第一安裝板經(jīng)第二螺栓組件安裝于所述第二安裝板的第二長 條形滑道。
8.如權利要求6所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，其特征在于，所述第一安裝 板的一端固設有連接板，所述連接板與所述第一安裝板垂直，所述連接板經(jīng)第二螺栓組件 安裝于所述第二安裝板的第二長條形滑道。
9.如權利要求5所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，其特征在于，所述第一安裝 板開有第一長條形滑道，所述盒體經(jīng)第一螺栓組件安裝于所述第一安裝板的第一長條形滑 道。
10.如權利要求5所述的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，其特征在于，所述氣動閥安 裝在設備上，所述氣動閥和設備之間設有具有第三長條形滑道的第三安裝板，經(jīng)一第三螺 栓組件和第三安裝板將氣動閥和設備固定連接。
專利摘要本實用新型公開了一種能將氣動閥狀態(tài)及時反饋給工作人員的氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關，其包括盒體、連桿、第一導線、第二導線以及平行設置于盒體內(nèi)部的上簧片和下簧片，上簧片和下簧片分別經(jīng)第一導線和第二導線引到盒體外，上簧片和下簧片分別設有相對的上觸點和下觸點，連桿的上端連接于下簧片的對應下觸點處，下端經(jīng)設于盒體底部的通孔向外伸出，連桿帶動下簧片的下觸點接觸或遠離上觸點。還公開了一種上述氣動閥狀態(tài)監(jiān)測開關的安裝結構，包括一設置在氣動閥上方的第一安裝板，盒體和第一安裝板可滑動式連接，氣動閥的頂部設有閥口動作鈕，連桿的下端位于閥口動作鈕的上方，所述閥口動作鈕在氣動閥打開時經(jīng)連桿及下簧片帶動下觸點接觸上觸點。
文檔編號H01H3/16GK201858425SQ20102056483
公開日2011年6月8日 申請日期2010年10月16日 優(yōu)先權日2010年10月16日
發(fā)明者朱飚 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司