專利名稱：一種圖像傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及圖像傳感器領(lǐng)域，尤其涉及半導體中的圖像傳感器及其形成方 法。
背景技術(shù)：
圖像傳感器根據(jù)元件不同分為電荷耦合元件(CCD，Charge CoupledDevice)圖像 傳感器和金屬氧化物半導體元件(CMOS, ComplementaryMetal-Oxide Semiconductor)圖像 傳感器。圖1為現(xiàn)有技術(shù)的圖像傳感器的截面結(jié)構(gòu)示意圖，參閱圖1，現(xiàn)有技術(shù)的圖像傳感 器包括位于襯底表面(未示出)的多個感光單元101，多個感光單元形成感光單元陣列， 位于感光單元101表面的介質(zhì)層102以及位于介質(zhì)層內(nèi)的金屬層103，位于介質(zhì)層102表面 的第二平坦層104，位于第二平坦層104表面的彩色濾光片105，位于彩色濾光片105表面 的第一平坦層106，以及位于第一平坦層106表面的微透鏡107。該現(xiàn)有的圖像傳感器的形成方法是，提供包含多個感光單元的襯底；在所述襯底 表面形成包含金屬層103的介質(zhì)層102 ；對所形成的介質(zhì)層進行平坦化處理；接著，在經(jīng)過 平坦化處理的表面上形成第二平坦層104 ；在第二平坦層104表面形成彩色濾光片105 ；在 彩色濾光片105表面形成第一平坦層106 ；在第一平坦層106表面的形成微透鏡107。其 中，彩色濾光片105和位于襯底表面的多個感光單元101之間的距離范圍是1 3微米。但是，現(xiàn)有的圖像傳感器所得到的圖像的均勻性較差，其應用范圍受到了一定的 限制。
實用新型內(nèi)容本實用新型所解決的問題是提供一種彩色濾光片和感光單元之間的距離小，所得 到的圖像的均勻性較高的圖像傳感器。相應地，本實用新型還提供形成所述圖像傳感器的 圖像傳感器形成方法。為解決上述問題，本實用新型提供一種圖像傳感器，包含位于襯底表面的多個感 光單元，還包含位于感光單元表面的介質(zhì)層，位于介質(zhì)層內(nèi)和介質(zhì)層表面的金屬層，位于 介質(zhì)層表面的金屬層包括至少兩個金屬焊墊；覆蓋所述介質(zhì)層和金屬層的過渡層，所述過 渡層厚度小于金屬焊墊的厚度，表面有凹槽；位于所述過渡層表面的彩色濾光片，所述彩色 濾光片表面與所述過渡層相鄰的表面有朝向所述過渡層的凸起；位于所述彩色濾光片表面 的平坦層；以及位于所述平坦層表面的多個微透鏡，所述微透鏡朝向所述平坦層的表面為 平面，背向所述平坦層的表面為凸面。相應地，本實用新型還提供一種圖像傳感器形成方法，包含以下步驟提供包含多個感光單元的襯底，該多個感光單元排列成陣列。在所述感光單元表面形成介質(zhì)層。在所述介質(zhì)層內(nèi)和表面形成金屬層，位于介質(zhì)層表面的金屬層包括至少兩個金屬焊墊。在所述金屬層表面和介質(zhì)層暴露的表面形成過渡層，所述過渡層厚度小于金屬焊 墊的厚度，表面有凹槽。在所述過渡層表面形成彩色濾光片，所述彩色濾光片與所述過渡層相鄰的表面有 朝向所述過渡層的凸起。在所述彩色濾光片表面形成平坦層。在所述平坦層表面形成微透鏡。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型所提供的圖像傳感器的彩色濾光片與感光單元之間 的距離減小，從而有效減小了入射光在圖像傳感器內(nèi)的傳播距離，從而減小了入射光在圖 像傳感器內(nèi)的內(nèi)傳播時由于光的散射而引起的入射光的損失而造成的暗角，提高了圖像的 均勻性。此外，本實用新型所提供的圖像傳感器的形成方法中，在形成介質(zhì)層內(nèi)的金屬層 后，在所暴露的介質(zhì)層和金屬層表面形成較薄的過渡層，在過渡層表面形成彩色濾光片，與 現(xiàn)有技術(shù)相比，節(jié)約了工藝成本，提高了工藝效率。
圖1是現(xiàn)有的圖像傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型所提供的圖像傳感器的實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型所提供的圖像傳感器形成方法的示意性流程圖；圖4至圖9是本實用新型所提供的圖像傳感器形成方法的實施例的示意圖。
具體實施方式
由背景技術(shù)可知，現(xiàn)有圖像傳感器所得到的圖像的均勻性較差。本實用新型的發(fā) 明人經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有圖像傳感器所得到的圖像的均勻性較差是因為彩色濾光片和位于 襯底表面的多個感光單元之間的距離比較大，入射光線經(jīng)過很長的路徑才能由彩色濾光片 進入感光單元，光傳播的過程中產(chǎn)生光的散射造成光損，從而更容易在感光單元四周出現(xiàn) 入射光的損失而造成暗角，使得圖像的均勻性較差。本實用新型的發(fā)明人由此得出，減小彩 色濾光片與感光單元之間的距離是減小光的損失，提高圖像均勻性的一種有效辦法。本實 用新型的發(fā)明人經(jīng)過研究發(fā)明一種彩色濾光片與感光單元之間的距離較小，所得到的圖像 的均勻性高的圖像傳感器。本實用新型所提供的圖像傳感器可以為CXD圖像傳感器或CMOS圖像傳感器。需 要說明的是本實用新型提供的圖像傳感器主要涉及對彩色濾光片和感光單元之間的結(jié)構(gòu) 以及形成方法的改進，對圖像傳感器的其他方面為本領(lǐng)域的公知常識，在本實用新型的具 體實施方式中不做詳細介紹，僅對彩色濾光片和感光單元之間的結(jié)構(gòu)以及形成方法做詳細 介紹。本實用新型所提供的圖像傳感器的彩色濾光片與感光單元之間的距離小于現(xiàn)有 圖像傳感器的彩色濾光片與感光單元之間的距離，從而有效減小了入射光在彩色濾光片與 感光單元之間的介質(zhì)層內(nèi)的傳播距離，進一步減小了入射光在彩色濾光片與感光單元之間 的介質(zhì)層內(nèi)傳播時，由于光的散射引起的入射光的損失而造成的暗角，提高了圖像的均勻
4性。本實用新型提供的圖像傳感器包含位于襯底表面的多個感光單元，還包含位于 感光單元表面的介質(zhì)層，位于介質(zhì)層內(nèi)和介質(zhì)層表面的金屬層，位于介質(zhì)層表面的金屬層 包括至少兩個金屬焊墊；覆蓋所述介質(zhì)層和金屬層的過渡層，所述過渡層厚度小于金屬焊 墊的厚度，表面有凹槽；位于所述過渡層表面的彩色濾光片，所述彩色濾光片與所述過渡層 相鄰的表面有朝向所述過渡層的凸起；位于所述彩色濾光片表面的平坦層；以及位于所述 平坦層表面的多個微透鏡，所述微透鏡朝向所述平坦層的表面為平面，背向所述平坦層的 表面為凸面。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型所提供圖像傳感器做進一步描述。在下面闡述了許多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型，但是本實用新型能夠以 很多不同于在此描述的其它方式來實現(xiàn)，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的 情況下作類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的事實方式的限制。其次，本實用新型利用示意圖進行詳細描述，在詳述本實用新型的實施例時，為了 便于說明，標識器件結(jié)構(gòu)的剖面圖不會依一般比例作局部放大，而且所示示意圖只是實例， 因此不應限制本實用新型的保護范圍。此外，在實際制作中應該包含長度、寬度及深度的三 維空間尺寸。圖2為本實用新型的圖像傳感器的實施例的截面結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖2，本實用新 型的圖像傳感器包括位于襯底(未示出)表面的多個感光單元201。所述襯底可以為絕緣體上硅襯底(S0I襯底)、石英襯底、陶瓷襯底、玻璃襯底，而 且襯底上還有用于圖像傳感器的其他器件(圖中未示)。所述感光單元201包括多個光敏元件，例如CCD照相機像素、色彩光傳感器、光電 發(fā)射元件。例如感光二極管。位于感光單元表面的介質(zhì)層202，位于介質(zhì)層202內(nèi)和介質(zhì)層202表面的金屬層 203，位于介質(zhì)層202表面的金屬層203包括至少兩個金屬焊墊。所述介質(zhì)層202由透明材料形成，光可以穿過該介質(zhì)層202，所述介質(zhì)層202可以
是單層結(jié)構(gòu)也可以是多層結(jié)構(gòu)。所述金屬層203可以是多層結(jié)構(gòu)，在本實用新型的一個實施例中，所述金屬層203 是3層結(jié)構(gòu)，金屬層203可以電連接至外部光檢測部件(未示出)，每層金屬層具有一定的 布局，不會屏蔽入射到光電二極管的光。所述金屬層的材料可以是任何導電金屬，在本實用 新型的一個實施例中，所選擇的材料是金屬鋁。覆蓋所述介質(zhì)層和金屬層的過渡層，所述過渡層厚度小于金屬焊墊的厚度，表面 有凹槽。所述凹槽位于介質(zhì)層表面相鄰的金屬焊墊之間。所述過渡層204可以是單層結(jié) 構(gòu)也可以是多層堆疊結(jié)構(gòu)。在本實用新型的一個實施例中，所述過渡層204是雙層結(jié)構(gòu)， 包括依次位于介質(zhì)層202和金屬層203表面的緩沖層和保護層。直接在介質(zhì)層202和金 屬層203表面形成保護層應力比較大，所述緩沖層用于減小保護層與金屬層203及介質(zhì)層 202之間的應力。所述緩沖層的材料可以選擇電解質(zhì)材料，在本實用新型的一個實施例中， 所述緩沖層的材料是二氧化硅。所述保護層致密性好，用于防止水汽通過緩沖層進入介質(zhì) 層202，從而影響器件性能，所述保護層的材料一般選擇氮化硅。所述過渡層204的整體厚度為1000 3000埃，所述過渡層厚度小于金屬焊墊的厚度，可以根據(jù)實際需要進行優(yōu)化。 在本實用新型的一個實施例中，所述過渡層204的厚度為1000埃。此外，利用刻蝕工藝形成具有預期布局的金屬層203之后，介質(zhì)層202的表面低于 金屬層203的表面，所以在形成過渡層204之后，所述過渡層204的表面不是平整的，所述 過渡層204的表面有形狀為倒梯形的凹槽，所述凹槽的深度大約是4000 6000埃，與位于 介質(zhì)層202表面的金屬層203的高度相同，位置位于介質(zhì)層表面相鄰的金屬焊墊之間。需要說明的是，請參考圖1，在現(xiàn)有技術(shù)中，在形成金屬層103之后，為了實現(xiàn)表面 的平坦化，會在金屬層103表面繼續(xù)生長一層覆蓋金屬層103的介質(zhì)層，所述介質(zhì)層的材料 一般是二氧化硅，并對介質(zhì)層進行平坦化處理。為了進一步形成光滑界面，并對圖像傳感器 進行保護，會在介質(zhì)層表面再形成一層平坦層104，所述平坦層104的厚度不低于3000埃， 材料選擇的是有機材料。在所述平坦層104表面形成彩色濾光片105。還需要說明的是，本領(lǐng)域技術(shù)人員通常認為，彩色濾光片105的上下界面必須保 存水平，否則會引起光傳輸中的損失，但是本實用新型的發(fā)明人經(jīng)過創(chuàng)造性研究發(fā)現(xiàn)，，由 于光線經(jīng)過微透鏡后被匯聚，所以平坦層204平面的凹槽不會引起額外的光損，即彩色濾 光片105下的凹槽界面并不會或者過多地引起額外的光損；并且，本實用新型的發(fā)明人經(jīng) 過反復的實驗證明，本實用新型所提供的圖像傳感器中，通過減小彩色濾光片205與感光 單元201之間的距離而減小的光損的優(yōu)勢要遠遠大于過渡層204與彩色濾光片205之間的 界面引起的光損。此外，可以通過調(diào)節(jié)微透鏡207的位置，使得入射光可以全部進入感光單元。綜上，本實用新型所提供的圖像傳感器有效減少光在彩色濾光片205與感光單元 201之間傳播造成的光損。位于所述過渡層204表面的彩色濾光片205，所述彩色濾光片205與所述過渡層 204相鄰的表面有朝向所述過渡層204的凸起。因為所述彩色濾光片205是在過渡層204的表面有凹槽的表面形成的，所以彩色 濾光片205與所述過渡層204相鄰的表面有朝向所述過渡層204的凸起，所述凸起與所述 凹槽位置相對應。所述彩色濾光片205可以選用現(xiàn)有技術(shù)所提供的彩色濾光片。在本方面的一個實 施例中，用于形成彩色濾光片205的材料是染色的光致刻蝕劑。在與每個感光單元202正 對的位置形成一個濾光片，每個濾光片分別通過不同的顏色的光，例如紅色、綠色和藍色。所述彩色濾光片205不包括凸起的部分的高度為3000 10000埃。位于彩色濾光片205表面的平坦層206。所述平坦層206用于實現(xiàn)微透鏡207朝向平坦層206的表面的平坦化。位于平坦層206表面的多個微透鏡207。所述微透鏡207為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知。所述微透鏡朝向所述平坦層的表面為 平面，背向所述平坦層的表面為凸面，每一個微透鏡與對應的感光單元中心對準。用于形 成微透鏡207的材料可以是氧化物，也可以是有機物。用于形成微透鏡的材料的折射率在 1. 4 1. 6之間。優(yōu)選地，在微透鏡207表面有具有低折射率的有機薄膜，使得反射減弱，從而提高 光線的透過率。所述低折射率材料的折射率在1. 1 1. 4之間。[0051]綜上，本實用新型所提供的圖像傳感器通過減小彩色濾光片與感光單元之間的距 離有效減小了入射光在彩色濾光片與感光單元之間的介質(zhì)層內(nèi)傳播時，由于光的散射引起 的入射光的損失而造成的暗角，提高了圖像的均勻性。此外，本實用新型還提供一種圖像傳感器形成方法，圖3為本實用新型所提供的 圖像傳感器形成方法的示意性流程圖，本實用新型所提供的圖像傳感器形成方法包含以下 步驟步驟S101，提供包含多個感光單元的襯底，該多個感光單元排列成陣列。步驟S102，在所述感光單元表面形成介質(zhì)層。步驟S103，在所述介質(zhì)層內(nèi)和表面形成金屬層，位于介質(zhì)層表面的金屬層包括至 少兩個金屬焊墊。步驟S104，在所述金屬層表面和介質(zhì)層暴露的表面形成過渡層，所述過渡層厚度 小于金屬焊墊的厚度，表面有凹槽。步驟S105，在所述過渡層表面形成彩色濾光片，所述彩色濾光片與所述過渡層 204相鄰的表面有朝向所述過渡層的凸起。步驟S106，在所述彩色濾光片表面形成平坦層。步驟S107，在所述平坦層表面形成微透鏡。本實用新型提供的圖像傳感器形成方法在位于介質(zhì)層表面的金屬層表面形成一 層較薄的過渡層，在過渡層表面直接形成彩色濾光片，所述過渡層的厚度為1000 3000埃?，F(xiàn)有圖像傳感器形成方法是在金屬層表面形成較厚的介質(zhì)層和厚度不低于3000 埃的第二平坦層104，在第二平坦層104表面形成彩色濾光片。利用本實用新型所提供的圖像傳感器形成方法形成的圖像傳感器的彩色濾光片 與感光單元之間的距離下降，從而減小了入射光在圖像傳感器內(nèi)傳播時由于光的散射引起 的入射光的損失而造成的暗角，提高了圖像的均勻性。參考圖4，提供包含多個感光單元201的襯底(未示出)，該多個感光單元排列成 陣列。襯底的材料為任何可以支持感光單元201形成的材料，例如可以為絕緣體上硅襯 底(SOI襯底)、石英襯底、陶瓷襯底、玻璃襯底，而且襯底上還形成有用于圖像傳感器的其 他器件(圖中未示)。感光單元201包括多個光敏元件，例如CCD照相機像素、色彩光傳感器、光電發(fā)射 元件例如感光二極管。在所述感光單元201表面形成介質(zhì)層。所述介質(zhì)層202由透明材料形成，光可以穿過該介質(zhì)層202，所述介質(zhì)層202可以
是單層結(jié)構(gòu)也可以是多層結(jié)構(gòu)。參考圖5，在所述介質(zhì)層內(nèi)和表面形成金屬層，位于介質(zhì)層表面的金屬層包括至少 兩個金屬焊墊。所述金屬層203的形成方法可以采用本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的金屬互連技術(shù)形 成。在本實用新型的一個實施例中，所述金屬層203是三層結(jié)構(gòu)，所述金屬層203的材料選 擇的是金屬鋁，在本實用新型的其他實施例中還可以選擇金屬銅或者其它金屬。所述金屬
7層203的厚度可調(diào)控。如圖5所示。在介質(zhì)層202表面形成金屬層203后，得到如圖5所 示的界面。參考圖6，在所述金屬層203表面和介質(zhì)層202暴露的表面形成過渡層204，所述 過渡層厚度小于金屬焊墊的厚度，表面有凹槽。過渡層204表面的凹槽208位于相鄰金屬焊墊之間。所述過渡層204是單層結(jié)構(gòu)或者是多層堆疊結(jié)構(gòu)。在本實用新型的一個實施例 中，所述過渡層204是雙層結(jié)構(gòu)，包括依次位于介質(zhì)層202和金屬層203表面的緩沖層和保 護層。直接在介質(zhì)層202和金屬層203表面形成保護層應力比較大，所述緩沖層用于減 小保護層和金屬層203及介質(zhì)層202之間的應力。所述緩沖層的材料可以選擇電解質(zhì)材料， 在本實用新型的一個實施例中，所述緩沖層的材料選擇的是二氧化硅。所述保護層致密性 好，用于防止水汽通過緩沖層進入介質(zhì)層202，從而影響器件性能，所述保護層的材料一般 選擇氮化硅。所述過渡層204的整體厚度為1000 3000埃，所述過渡層厚度小于金屬焊 墊的厚度，可以根據(jù)實際需要進行優(yōu)化。在本實用新型的一個實施例中，所述過渡層204的 整體厚度為1000埃。需要說明的是，請參考圖1，在現(xiàn)有技術(shù)中，在形成金屬層103之后，為了實現(xiàn)表面 的平坦化，會在金屬層103表面繼續(xù)生長一層覆蓋金屬層103的介質(zhì)層，所述介質(zhì)層的材料 一般是二氧化硅，并對介質(zhì)層進行平坦化處理。為了進一步形成光滑界面，并對圖像傳感器 形成保護，會在介質(zhì)層表面再形成一層平坦層104，所述平坦層104的厚度不低于3000埃， 材料選擇的是有機材料。在所述平坦層104表面形成彩色濾光片105。還需要說明的是，本領(lǐng)域技術(shù)人員通常認為，彩色濾光片105的上下界面必須保 存水平，否則會引起光傳輸中的損失，但是本實用新型的發(fā)明人經(jīng)過創(chuàng)造性研究發(fā)現(xiàn)，，由 于光線經(jīng)過微透鏡后被匯聚，所以平坦層204平面的凹槽不會引起額外的光損，即彩色濾 光片105下的凹槽界面并不會或者過多地引起額外的光損；并且，本實用新型的發(fā)明人經(jīng) 過反復的實驗證明，本實用新型所提供的圖像傳感器中，通過減小彩色濾光片205與感光 單元201之間的距離而減小的光損的優(yōu)勢要遠遠大于過渡層204與彩色濾光片205之間的 界面引起的光損。此外，可以通過調(diào)節(jié)微透鏡的位置，使得入射光可以全部進入感光單元。綜上，本實用新型所提供的圖像傳感器有效減少光在彩色濾光片205與感光單元 201之間傳播所引起的光損。參考圖7，在所述過渡層204表面形成彩色濾光片205，所述彩 色濾光片205與所述過渡層204相鄰的表面有朝向所述過渡層204的凸起。所述彩色濾光片205與所述過渡層204相鄰的表面的凸起的位置與所述述過渡層 204表面的凹槽的位置相對應。形成所述彩色濾光片205的方法可以采用現(xiàn)有的彩色濾光片形成方法。在本實用 新型的一個實施例中，用于形成彩色濾光片205的材料是染色的光致刻蝕劑?？稍谂c每個 感光單元202正對的位置形成一個濾光片，以從入射光分離顏色。每個濾色鏡分別通過不 同的顏色，例如紅色、綠色和藍色。在本實用新型所提供的圖像傳感器形成方法中，形成位于介質(zhì)層202表面的金屬 層203之后，直接在介質(zhì)層202表面的金屬層203表面形成厚度為1000 3000埃的過渡層204，在過渡層204表面形成彩色濾光片205。而其他部分與現(xiàn)有圖像傳感器相同。所以 本實用新型所提供的圖像傳感器彩色濾光片與感光單元之間的距離小于現(xiàn)有圖像傳感器 的彩色濾光片與感光單元之間的距離，從而有效減小了入射光在彩色濾光片與感光單元之 間的介質(zhì)層內(nèi)的傳播距離，進一步減小了入射光在彩色濾光片與感光單元之間的介質(zhì)層內(nèi) 傳播時，由于光的散射引起的入射光的損失而造成的暗角，提高了圖像的均勻性。所述彩色濾光片205的厚度為3000 10000埃。參考圖8，在所述彩色濾光片205表面形成平坦層206。所述平坦層206用于實現(xiàn)微透鏡207朝向彩色濾光片205的表面的平坦化。如圖9所示，在平坦層206表面形成微透鏡207。所述微透鏡207為本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知。所述微透鏡207朝向過渡層204的表 面為平面，背向過渡層204的表面為凸面，每一個微透鏡與對應的感光單元201中心對準。 用于形成微透鏡207的材料可以是氧化物，也可以是有機物。用于形成微透鏡207的材料 的折射率在1.4 1.6之間。具體形成微透鏡207的步驟包括，在平坦層206表面沉積用于微透鏡的材料；隨 后，用于形成微透鏡的材料層通過曝光和顯影被圖案化；接著，通過回流工藝得到背向過渡 層204的表面為凸面的微透鏡，并且可以通過控制回流工藝的溫度控制所述凸面的曲率半徑。優(yōu)選地，在微透鏡207表面形成具有低折射率的有機薄膜，使得反射減弱，從而提 高光線的透過率。所述低折射率材料的折射率在1. 1 1. 4之間。綜上，本實用新型所提供的圖像傳感器形成方法，通過減小彩色濾光片與感光單 元之間的距離，有效減小了入射光在彩色濾光片與感光單元之間的介質(zhì)層內(nèi)傳播時，由于 光的散射引起的入射光的損失而造成的暗角，提高了圖像的均勻性。雖然本實用新型以較佳實施例披露如上，但是本實用新型并非限定于此。任何本 領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，均可作各種變更和修改而不脫離本實 用新型的保護范圍，因此本實用新型的保護范圍以權(quán)力要求所限定的范圍為準。
權(quán)利要求1.一種圖像傳感器，包含位于襯底表面的多個感光單元，其特征在于，還包含位于感光單元表面的介質(zhì)層，位于介質(zhì)層內(nèi)和介質(zhì)層表面的金屬層，位于介質(zhì)層表面 的金屬層包括至少兩個金屬焊墊；覆蓋所述介質(zhì)層和金屬層的過渡層，所述過渡層厚度小于金屬焊墊的厚度，表面有凹槽；位于所述過渡層表面的彩色濾光片，所述彩色濾光片與所述過渡層相鄰的表面有朝向 所述過渡層的凸起；位于所述彩色濾光片表面的平坦層；以及位于所述平坦層表面的多個微透鏡，所述微透鏡朝向所述平坦層的表面為平面， 背向所述平坦層的表面為凸面。
2.依據(jù)權(quán)利要求1的圖像傳感器，其特征在于，所述過渡層表面的凹槽位于介質(zhì)層表 面相鄰的金屬焊墊之間。
3.依據(jù)權(quán)利要求1的圖像傳感器，其特征在于，所述過渡層表面的凹槽的深度為 4000 6000 埃。
4.依據(jù)權(quán)利要求1的圖像傳感器，其特征在于，所述過渡層的厚度為1000 3000埃。
5.依據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一項的圖像傳感器，其特征在于，所述過渡層是雙層結(jié)構(gòu)。
6.依據(jù)權(quán)利要求5的圖像傳感器，其特征在于，所述過渡層包含依次位于金屬層和暴 露的介質(zhì)層表面的緩沖層和保護層。
7.依據(jù)權(quán)利要求1的圖像傳感器，其特征在于，所述彩色濾光片表面的凸起的位置與 所述過渡層表面的凹槽的位置相對應。
8.依據(jù)權(quán)利要求1或7的圖像傳感器，其特征在于，所述過渡層表面的凹槽的深度為 4000 6000 埃。
9.依據(jù)權(quán)利要求6的圖像傳感器，其特征在于，所述緩沖層的材料為二氧化硅。
10.依據(jù)權(quán)利要求6的圖像傳感器，其特征在于，所述保護層的材料為氮化硅。
11.依據(jù)權(quán)利要求1的圖像傳感器，其特征在于，還包括位于微透鏡表面的低折射率 的有機薄膜。
12.依據(jù)權(quán)利要求11的圖像傳感器，其特征在于，所述低折射率的有機薄膜的折射率 為 1. 1 1. 4。
專利摘要一種圖像傳感器，包含位于襯底表面的多個感光單元，還包含位于感光單元表面的介質(zhì)層以及位于介質(zhì)層內(nèi)和介質(zhì)層表面的金屬層；覆蓋所述介質(zhì)層和金屬層的過渡層，所述過渡層厚度小于金屬焊墊的厚度，表面有凹槽；位于所述過渡層表面的彩色濾光片，所述彩色濾光片與所述過渡層相鄰的表面有朝向所述過渡層的凸起；位于所述彩色濾光片表面的平坦層；以及位于所述平坦層表面的多個微透鏡，所述微透鏡朝向所述平坦層的表面為平面，背向所述平坦層的表面為凸面。本實用新型所提供的圖像傳感器可以減小入射光在圖像傳感器中的傳播距離，從而減小由于光的散射造成光損，提高圖像的均勻性。
文檔編號H01L27/146GK201877429SQ20102057558
公開日2011年6月22日 申請日期2010年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月18日
發(fā)明者霍介光 申請人:格科微電子(上海)有限公司