專利名稱：一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)中使用的靜電繼電器，主要應(yīng)用于通信工程、信息處理、工業(yè)控制以及儀器儀表等系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
基于微機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的微機(jī)電式繼電器通過金屬電極的吸合與斷開實(shí)現(xiàn)電路的開關(guān)切換，具有尺寸小、質(zhì)量小、易于集成、寬帶寬、響應(yīng)快、功耗低、適于大批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，在通訊、宇航、自動(dòng)檢測(cè)儀器等系統(tǒng)中具有廣泛需求。近年來，很多單位和研究機(jī)構(gòu)致力于微繼電器結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)形式的研究，包括靜電型、熱驅(qū)動(dòng)型、電磁型、水銀滴型等。由于靜電驅(qū)動(dòng)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工藝兼容性好的優(yōu)點(diǎn)，其研究也最為廣泛。其中基于線彈性元件的靜電型微繼電器利用靜電吸合力使懸臂梁式的活動(dòng)電極彎曲，雙接觸電極與固定電極接觸完成開關(guān)動(dòng)作，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工藝容易實(shí)現(xiàn)。但是，由于采用線彈性元件，繼電器需要一直供能才能保持閉合狀態(tài)，存在接觸力小、能耗高和抗干擾能力弱的問題。熱機(jī)械型微繼電器采用熱致動(dòng)器，由水平接觸電極，加熱器、觸點(diǎn)和溫度補(bǔ)償結(jié)構(gòu)組成，結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，它依靠梁結(jié)構(gòu)的熱變形來使觸點(diǎn)接觸，電路閉合。由于采用熱驅(qū)動(dòng)變形，這就容易造成微系統(tǒng)中的散熱問題。并且體膨脹效應(yīng)固有的滯后性決定了它響應(yīng)速度低，成為阻礙其廣泛應(yīng)用的主要原因。水銀滴型微繼電器，依靠加熱產(chǎn)生的氣泡推動(dòng)水銀滴移動(dòng)實(shí)現(xiàn)電路連通，但由于采用熱驅(qū)動(dòng)仍然會(huì)產(chǎn)生散熱問題，并且水銀的密封與控制也會(huì)存在不少問題。電磁型微繼電器與傳統(tǒng)電磁繼電器原理基本相同，在雙穩(wěn)態(tài)微繼電器研制方面主要采用電磁型，但其結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜。US422390，“Electromagnetic device of the flat package tape”(扁平封裝電磁器件)采用兩個(gè)平放的永磁體實(shí)現(xiàn)雙穩(wěn)態(tài)驅(qū)動(dòng)。US64^887B1， "Miniaturized flat spool relay”(微小型扁平繞組繼電器)提出了一種微型化扁平繞組繼電器，利用雙環(huán)靜磁場(chǎng)和反對(duì)稱雙環(huán)電磁場(chǎng)實(shí)現(xiàn)雙穩(wěn)態(tài)電磁驅(qū)動(dòng)。中國(guó)發(fā)明專利 CN1452202, “雙穩(wěn)態(tài)電磁型微驅(qū)動(dòng)器及其制備方法”，該驅(qū)動(dòng)器利用平面螺線管線圈進(jìn)行電磁驅(qū)動(dòng)，采用扭轉(zhuǎn)梁作為動(dòng)片的傾轉(zhuǎn)軸。US7221817，“Beam switch structures and methods", “一種梁式開關(guān)結(jié)構(gòu)和制備方法”，采用屈曲雙穩(wěn)態(tài)梁結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)了一種雙穩(wěn)態(tài)開關(guān)裝置。中國(guó)專利CN101206973，“雙穩(wěn)態(tài)微機(jī)電繼電器”采用電磁基板和微球組合的形式提出了一種具有狀態(tài)保持功能的微型化繼電器。中國(guó)專利CN101197226A，“低閾值電壓靜電型微繼電器”，采用并聯(lián)梳齒級(jí)數(shù)和增加叉齒數(shù)目來降低微繼電器的閾值電壓，提出一種采用線彈性結(jié)構(gòu)的微繼電器。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的問題是解決現(xiàn)有的基于線彈性結(jié)構(gòu)的靜電微繼電器存在的不足，提供一種具有雙穩(wěn)態(tài)保持功能、短程驅(qū)動(dòng)、低能耗和大接觸力的雙穩(wěn)態(tài)微繼電器。該微繼電器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、大行程、響應(yīng)迅速、抗干擾能力強(qiáng)和接觸可靠的特點(diǎn)，適用于通訊、工業(yè)控制和儀器儀表等軍用和民用場(chǎng)合。本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，它主要包括可動(dòng)梳齒和固定梳齒、可動(dòng)觸點(diǎn)和固定觸點(diǎn)。它還包括雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁，所述可動(dòng)梳齒和可動(dòng)觸點(diǎn)采用構(gòu)件連接成一體，所述雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁采用二個(gè)柔性梁，一個(gè)左柔性梁的一端固定于左絕緣錨點(diǎn)上，另一端固定在構(gòu)件上，另一個(gè)右柔性梁的一端固定于右絕緣錨點(diǎn)上，另一端也固定在構(gòu)件上；在電壓激勵(lì)下，可動(dòng)梳齒帶動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁橫向運(yùn)動(dòng)，并發(fā)生快速翻轉(zhuǎn)到第二穩(wěn)態(tài)位置，可動(dòng)觸點(diǎn)與固定于下絕緣錨點(diǎn)上的左固定觸點(diǎn)和右固定觸點(diǎn)形成橋接，接通電路，在施加異向驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，繼電器迅速跳轉(zhuǎn)返回第一穩(wěn)態(tài)位置。當(dāng)所述構(gòu)件位于可動(dòng)梳齒的中心位置上時(shí)，所述雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁是使所述繼電器作橫向運(yùn)動(dòng)的對(duì)稱式V型機(jī)構(gòu)。所述雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁連接可動(dòng)梳齒和可動(dòng)觸點(diǎn)，通過左絕緣錨點(diǎn)和右絕緣錨點(diǎn)支撐形成懸空的可動(dòng)部分，并與基底之間形成電隔離。所述繼電器采用雙層結(jié)構(gòu)，其中雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁、可動(dòng)梳齒、固定梳齒、可動(dòng)觸點(diǎn)、 左固定觸點(diǎn)和右固定觸點(diǎn)為采用金屬導(dǎo)電材料的上層結(jié)構(gòu)；基底、左絕緣錨點(diǎn)、右絕緣錨點(diǎn)和下絕緣錨點(diǎn)為采用絕緣材料的下層結(jié)構(gòu)。所述雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁、可動(dòng)梳齒和固定梳齒通過雙層MEMS電鑄鎳的方法固定于帶有絕緣凸臺(tái)的基底上。所述絕緣凸臺(tái)采用SU-8膠光刻的辦法固定于氧化層上。上述的技術(shù)方案利用現(xiàn)有的微電鑄工藝制作大行程雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)，解決了雙穩(wěn)態(tài)柔性微繼電器實(shí)用化的主要技術(shù)問題。其制作過程工藝簡(jiǎn)單，便于大批量生產(chǎn)。其工作過程是雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)在行程范圍內(nèi)具有兩個(gè)穩(wěn)定狀態(tài)，在梳齒驅(qū)動(dòng)下雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)在兩個(gè)彈性勢(shì)能局部最小位置之間跳動(dòng)，當(dāng)柔性機(jī)構(gòu)的中心位置達(dá)到機(jī)構(gòu)彈性勢(shì)能局部最大位置后，機(jī)構(gòu)發(fā)生能量釋放，不需要靜電力作用，機(jī)構(gòu)能夠快速跳轉(zhuǎn)到第二穩(wěn)態(tài)位置，實(shí)現(xiàn)電路閉合和斷開，整個(gè)過程具有短程驅(qū)動(dòng)的特點(diǎn)。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下的優(yōu)點(diǎn)[1]本發(fā)明采用雙穩(wěn)態(tài)柔性梁機(jī)構(gòu)替代傳統(tǒng)的線彈性梁結(jié)構(gòu)作為繼電器彈性元件，依靠其雙穩(wěn)態(tài)特性來實(shí)現(xiàn)繼電器響應(yīng)迅速、重復(fù)性好，接觸力大，和低能耗的特點(diǎn)。[2]本發(fā)明為依靠雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁結(jié)構(gòu)替代電磁雙穩(wěn)態(tài)機(jī)構(gòu)，使繼電器具有工作行程大、抗干擾能力強(qiáng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易于MEMS加工的特點(diǎn)，提高繼電器在各種惡劣環(huán)境(雷雨及振動(dòng)干擾等)下的動(dòng)作準(zhǔn)確性，適用于多種民用和軍用場(chǎng)合。[3]雙穩(wěn)態(tài)靜電驅(qū)動(dòng)微繼電器，依靠雙穩(wěn)態(tài)機(jī)構(gòu)的穩(wěn)態(tài)保持無功耗和快速跳轉(zhuǎn)的特點(diǎn)，使繼電器在閉合和斷開狀態(tài)不需要輸入能量，具有明顯的短程驅(qū)動(dòng)和節(jié)能特點(diǎn)。該繼電器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、驅(qū)動(dòng)電壓低、大行程、低能耗、響應(yīng)迅速、切換準(zhǔn)確、接觸力大、接觸可靠和抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn)。由于本發(fā)明具有上述優(yōu)點(diǎn)，因此在通訊、工業(yè)控制、 儀器儀表以及消費(fèi)電子等領(lǐng)域具有廣泛的推廣應(yīng)用價(jià)值。
圖1是一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1中的A-A向剖視圖。圖3是繼電器第二穩(wěn)態(tài)位置。圖4是雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)能量示意圖。圖5是硅基底示意圖。圖6是氧化后的硅基底示意圖。圖7是具有絕緣凸臺(tái)的硅基底示意圖。圖8是濺射晶種層后的基底示意圖。圖9是第二次光刻后基底結(jié)構(gòu)示意圖。圖10是電鑄工藝后的結(jié)構(gòu)示意圖。圖11是第一次去膠后的繼電器結(jié)構(gòu)示意圖。圖12是微繼電器結(jié)構(gòu)示意圖。圖13是兩個(gè)雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1a、左柔性梁；lb、右柔性梁；2、可動(dòng)梳齒；3a、左絕緣錨點(diǎn)；3b、右絕緣錨點(diǎn)； 3c、下絕緣錨點(diǎn)；4、固定梳齒；5、可動(dòng)觸點(diǎn)；6a、左固定觸點(diǎn)；6b、右固定觸點(diǎn)；7、基底；7a、 硅氧化層；8、SU-8絕緣凸臺(tái)；8a、晶種層；9、光刻膠模型。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例一圖1、2示出了一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器。圖中，可動(dòng)梳齒2和可動(dòng)觸點(diǎn)5采用構(gòu)件加連接成一體，雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁采用二個(gè)柔性梁，一個(gè)左柔性梁Ia的一端固定于左絕緣錨點(diǎn)3a上，另一端固定在構(gòu)件加上，另一個(gè)右柔性梁Ib的一端固定于右絕緣錨點(diǎn)北上，另一端也固定在構(gòu)件加上。雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁的兩個(gè)穩(wěn)態(tài)位置分別使微繼電器處于閉合和斷開兩個(gè)狀態(tài)?？蓜?dòng)梳齒2和固定梳齒4數(shù)目相等且間隔排列，所產(chǎn)生的靜電力來驅(qū)動(dòng)繼電器動(dòng)作。在可動(dòng)觸點(diǎn)5的正下方為固定在下絕緣錨點(diǎn)3c上的左固定觸點(diǎn)6a和右固定觸點(diǎn)6b，左固定觸點(diǎn)6a和右固定觸點(diǎn)6b通過導(dǎo)線連入控制電路中。左絕緣錨點(diǎn)3a、右絕緣錨點(diǎn)北、下絕緣錨點(diǎn)3c、硅氧化層7a和基底7為絕緣材料，保證集成電路與微繼電器之間的電隔離。如圖3、4所示，當(dāng)施加電壓激勵(lì)后，可動(dòng)梳齒2推動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁橫向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)運(yùn)動(dòng)到一定位置后，雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁所存儲(chǔ)的彈性勢(shì)能達(dá)到最大值，然后在不需要電壓驅(qū)動(dòng)的情況下迅速跳轉(zhuǎn)到第二穩(wěn)態(tài)位置，具有短程驅(qū)動(dòng)的特點(diǎn)。如圖4所示，雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的能量示意圖中第二穩(wěn)態(tài)位置設(shè)置在彈性勢(shì)能未完全釋放的位置，依靠雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的彈性力增大可動(dòng)觸點(diǎn)5與左固定觸點(diǎn)6a和右固定觸點(diǎn)6b之間的接觸力，降低接觸電阻，使接觸可靠。另外，繼電器在斷開狀態(tài)下可動(dòng)觸點(diǎn)5與左固定觸點(diǎn)6a和右固定觸點(diǎn)6b之間的間距較大，使繼電器具有大行程和抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn)。微繼電器的工作狀態(tài)如圖1、3、4所示，圖1是為微繼電器的第一穩(wěn)態(tài)位置，繼電器保持?jǐn)嚅_狀態(tài)。在電壓激勵(lì)作用下，由可動(dòng)梳齒2和固定梳齒4所組成的驅(qū)動(dòng)部分為繼電器提供靜電力，推動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的中心位置橫向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)達(dá)到如圖4所示的機(jī)構(gòu)彈性勢(shì)能最大點(diǎn)后，彈性勢(shì)能釋放，機(jī)構(gòu)發(fā)生跳轉(zhuǎn)，可動(dòng)觸點(diǎn)5與左固定觸點(diǎn)6a和右固定觸點(diǎn)6b 接觸，導(dǎo)通電路。微繼電器處于第二穩(wěn)態(tài)位置，如圖3所示。根據(jù)圖4，機(jī)構(gòu)需要較小的能量輸入便可達(dá)到彈性勢(shì)能最大值，施加較小的反向驅(qū)動(dòng)電壓，梳齒電容提供反向作用力拉動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)中心位置脫離左固定觸點(diǎn)6a和右固定觸點(diǎn)6b，越過最大勢(shì)能位置后，機(jī)構(gòu)迅速跳轉(zhuǎn)到第一穩(wěn)態(tài)位置，即繼電器處于斷開狀態(tài)。如圖5-12所示，本發(fā)明采用硅表面加工技術(shù)和微電鑄工藝相結(jié)合的辦法實(shí)現(xiàn)器件研制，具有工藝流程簡(jiǎn)單、成本低的特點(diǎn)，并且提高了繼電器的可靠性。電鑄中采用的材料是鎳，鎳的柔韌性較好，增強(qiáng)了雙穩(wěn)態(tài)柔性梁的使用壽命和穩(wěn)定性。具體設(shè)計(jì)參數(shù)底層光刻膠犧牲層厚度10-20微米；電鑄鎳厚度20-30微米；濺射鈦晶種層的厚度500-800納米；濺射銅晶種層的厚度500-800納米；雙穩(wěn)態(tài)柔性梁的寬度為5-10微米，長(zhǎng)度為50-200 微米；整個(gè)V型梁繼電器的長(zhǎng)度為300-1000微米。具體制造工藝流程如下(1)清洗硅片，作為基底7，參考圖5;(2)高溫氧化，在基底上形成絕緣氧化層7a，參考圖6 ；(3)光刻顯影后形成絕緣凸臺(tái)8，如圖7所示；(4)通過濺射，在絕緣凸臺(tái)8和氧化層7a上形成晶種層8a，如圖8所示；(5) 通過第二次光刻、曝光顯影，在晶種層8a上形成需要電鑄的光刻膠模型9， 如圖9所示；(6)將基底放入電鑄液中電鑄，形成繼電器基本結(jié)構(gòu)，如圖10所示；(7)第一次去膠去膠后的繼電器結(jié)構(gòu)，如圖11所示；(8)結(jié)構(gòu)釋放，形成微繼電器器件，如圖12所示。實(shí)施例二圖13示出了具有兩個(gè)雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器結(jié)構(gòu)示意圖。在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，采用MEMS集成工藝將兩個(gè)雙穩(wěn)態(tài)微繼電器實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)控制。施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，上方的可動(dòng)梳齒2帶動(dòng)上方的可動(dòng)觸點(diǎn)5橫向運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)通上方的固定觸點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)上繼電器的導(dǎo)通。同時(shí)，下方的可動(dòng)梳齒2帶動(dòng)下方的可動(dòng)觸點(diǎn)5產(chǎn)生橫向運(yùn)動(dòng)，閉合下方的固定觸點(diǎn)， 實(shí)現(xiàn)下繼電器導(dǎo)通。上下兩繼電器的固定梳齒4施加同向電壓，只需改變上方的可動(dòng)梳齒 2和下方的可動(dòng)梳齒2的輸入電壓方向，即可實(shí)現(xiàn)上下繼電器的動(dòng)作控制。
權(quán)利要求1.一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，它主要包括可動(dòng)梳齒(2)和固定梳齒 (4)、可動(dòng)觸點(diǎn)(5)和固定觸點(diǎn)；其特征在于它還包括雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁，所述可動(dòng)梳齒(2) 和可動(dòng)觸點(diǎn)(5)采用構(gòu)件(2a)連接成一體，所述雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁采用二個(gè)柔性梁，一個(gè)左柔性梁(Ia)的一端固定于左絕緣錨點(diǎn)(3a)上，另一端固定在構(gòu)件(2a)上，另一個(gè)右柔性梁 (Ib)的一端固定于右絕緣錨點(diǎn)(3b)上，另一端也固定在構(gòu)件(2a)上；在電壓激勵(lì)下，可動(dòng)梳齒(2)帶動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁橫向運(yùn)動(dòng)，并發(fā)生快速翻轉(zhuǎn)到第二穩(wěn)態(tài)位置，可動(dòng)觸點(diǎn)(5)與固定于下絕緣錨點(diǎn)(3c)上的左固定觸點(diǎn)(6a)和右固定觸點(diǎn)(6b)形成橋接，接通電路，在施加異向驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，繼電器迅速跳轉(zhuǎn)返回第一穩(wěn)態(tài)位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，其特征在于當(dāng)所述構(gòu)件(2a)位于可動(dòng)梳齒(2)的中心位置上時(shí)，所述雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁是使所述繼電器作橫向運(yùn)動(dòng)的對(duì)稱式V型機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，其特征在于所述雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁連接可動(dòng)梳齒(2)和可動(dòng)觸點(diǎn)(5)，通過左絕緣錨點(diǎn)(3a)和右絕緣錨點(diǎn)(3b)支撐形成懸空的可動(dòng)部分，并與基底(7)之間形成電隔離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，其特征在于所述繼電器采用雙層結(jié)構(gòu)，其中雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁、可動(dòng)梳齒(2)、固定梳齒(4)、可動(dòng)觸點(diǎn)(5)、 左固定觸點(diǎn)(6a)和右固定觸點(diǎn)(6b)為采用金屬導(dǎo)電材料的上層結(jié)構(gòu)；基底(7)、左絕緣錨點(diǎn)(3a)、右絕緣錨點(diǎn)(3b)和下絕緣錨點(diǎn)(3c)為采用絕緣材料的下層結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，其特征在于所述雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁、可動(dòng)梳齒(2)和固定梳齒(4)通過雙層MEMS電鑄鎳的方法固定于帶有絕緣凸臺(tái)(8)的基底(7)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，其特征在于所述絕緣凸臺(tái)(8)采用SU-8膠光刻的辦法固定于氧化層(7a)上。
專利摘要一種基于雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)的靜電微繼電器，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)中使用的靜電繼電器。該靜電微繼電器的雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁采用二個(gè)柔性梁，一個(gè)左柔性梁的一端固定于左絕緣錨點(diǎn)上，另一端固定在構(gòu)件上，另一個(gè)右柔性梁的一端固定于右絕緣錨點(diǎn)上，另一端也固定在構(gòu)件上；在電壓激勵(lì)下，可動(dòng)梳齒帶動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)全柔性梁橫向運(yùn)動(dòng)，并發(fā)生快速翻轉(zhuǎn)到第二穩(wěn)態(tài)位置，可動(dòng)觸點(diǎn)與固定于下絕緣錨點(diǎn)上的左固定觸點(diǎn)和右固定觸點(diǎn)形成橋接，接通電路，在施加異向驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，繼電器迅速跳轉(zhuǎn)返回第一穩(wěn)態(tài)位置。該靜電微繼電器采用雙穩(wěn)態(tài)柔性機(jī)構(gòu)來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的線彈性結(jié)構(gòu)以提高響應(yīng)速度和穩(wěn)態(tài)保持能力，具有機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單、短程驅(qū)動(dòng)、能耗低和抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01H59/00GK201936819SQ20102064393
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2010年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月7日
發(fā)明者劉蓬勃, 唐禎安, 常穎, 胡平, 趙劍, 陳廣義, 韓小強(qiáng) 申請(qǐng)人:大連理工大學(xué)