專利名稱：固體攝像裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及多端口型且電荷倍增型的固體攝像裝置。
背景技術(shù)：
固體攝像裝置中，存在如日本特開2007-1M675號公報及日本專利3862850號說明書中所記載的多端口型且電荷倍增型的固體攝像裝置。這樣的固體攝像裝置具備攝像區(qū)域、及多個單元。攝像區(qū)域包含多個像素列。多個單元分別具有輸出寄存器，其傳輸來自多個像素列中一個以上的對應(yīng)的像素列的電荷；倍增寄存器，其接收由該輸出寄存器傳輸?shù)碾姾啥山?jīng)倍增的電荷；及放大器，其生成基于來自倍增寄存器的經(jīng)倍增的電荷的信號。專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-1M675號公報專利文獻(xiàn)2 日本專利3862850號說明書

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題對于多端口型且電荷倍增型的固體攝像裝置，所期望的是減小所有單元的倍增寄存器的增益的偏差。然而，由于制造偏差等種種原因，通常難以抑制單元間的增益的偏差。本發(fā)明的目的在于提供一種固體攝像裝置，其為將基于來自攝像區(qū)域的電荷的信號從多個單元輸出的多端口型且電荷倍增型的固體攝像裝置，其可減少單元間的增益的偏差。解決問題的技術(shù)手段本發(fā)明的固體攝像裝置，為多端口型的固體攝像裝置，其具備攝像區(qū)域、及多個單元。攝像區(qū)域具有多個像素列。多個單元生成基于來自攝像區(qū)域的電荷的信號。多個單元分別具有輸出寄存器、多個倍增寄存器、及放大器。輸出寄存器傳輸來自多個像素列中一個以上的對應(yīng)的像素列的電荷。多個倍增寄存器并聯(lián)設(shè)置，且接收來自輸出寄存器的電荷而個別地生成經(jīng)倍增的電荷。放大器生成基于來自多個倍增寄存器的經(jīng)倍增的電荷的信號。根據(jù)該固體攝像裝置，由于構(gòu)成多端口的多個單元分別具有并聯(lián)設(shè)置的多個倍增寄存器，因此即使多個倍增寄存器間的增益存在偏差，各單元的增益被平均化。其結(jié)果，可減少單元間的增益的偏差。發(fā)明的效果如以上說明，根據(jù)本發(fā)明可提供一種固體攝像裝置，其為將基于來自攝像區(qū)域的電荷的信號從多個單元輸出的多端口型且電荷倍增型的固體攝像裝置，其可減少單元間的增益的偏差。


圖1為表示一實施方式的固體攝像裝置的圖。
具體實施例方式以下參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式。圖1為顯示一實施方式的固體攝像裝置的圖。圖1所示的固體攝像裝置10具備攝像區(qū)域12、及多個單元14。攝像區(qū)域12為感應(yīng)入射的光而產(chǎn)生電荷的區(qū)域。具體而言，攝像區(qū)域12包含以二維排列的多個像素，各像素包含光電二極管。本實施方式的固體攝像裝置10除了攝像區(qū)域12的外還具備電荷存儲區(qū)域16。電荷存儲區(qū)域16為將由攝像區(qū)域12生成的電荷在傳輸至后述的輸出寄存器前，暫時存儲的部分。這樣的具有電荷存儲區(qū)域16的固體攝像裝置10，稱為幀傳輸(frame transfeiOCXD 影像傳感器。然而，本發(fā)明的固體攝像裝置也可為隔行(interlineK⑶影像傳感器、或全幀傳輸(full frame transfer)CCD影像傳感器。攝像區(qū)域12具有多個區(qū)域12a 12d。多個區(qū)域12a 12d在水平方向并列，且各區(qū)域包含多個像素列。由多個區(qū)域12a 12d所生成的電荷輸出至對應(yīng)的單元14。另外，固體攝像裝置10的攝像區(qū)域12包含四個區(qū)域。即，具有4個端口的固體攝像裝置，但本發(fā)明的固體攝像裝置的端口數(shù)并非限定于四個。多個單元14分別具有輸出寄存器18、多個倍增寄存器20、及放大器22。本實施方式中，多個單元14分別進(jìn)而包含轉(zhuǎn)角寄存器M。輸出寄存器18為接收由攝像區(qū)域12的對應(yīng)的區(qū)域生成、且朝垂直方向傳輸?shù)碾姾?，并將該電荷在水平方向傳輸?shù)膫鬏敿拇嫫?。轉(zhuǎn)角寄存器M與輸出寄存器18相同，為傳輸電荷的傳輸寄存器。轉(zhuǎn)角寄存器M設(shè)于輸出寄存器18與倍增寄存器20之間。轉(zhuǎn)角寄存器M將由輸出寄存器18所傳輸?shù)碾姾蓚鬏斨帘对黾拇嫫?0。多個倍增寄存器20為通過碰撞電離效應(yīng)將電荷倍增，且傳輸經(jīng)倍增的電荷的寄存器。本實施方式中，雖然各單元具有三個倍增寄存器，但本發(fā)明的固體攝像裝置中各單元只要具有兩個以上的倍增寄存器即可。固體攝像裝置10中，多個倍增寄存器20并聯(lián)設(shè)置于輸出寄存器18與放大器22 之間。該多個倍增寄存器20經(jīng)由轉(zhuǎn)角寄存器M接收由輸出寄存器18傳輸?shù)碾姾?，且將倍增的電荷輸出至放大?2。放大器22接收由多個倍增寄存器20所倍增的電荷，進(jìn)行電荷電壓轉(zhuǎn)換，并生成對應(yīng)于所接收的電荷量的信號。作為放大器22，可使用浮動擴(kuò)散放大器。根據(jù)以上說明的固體攝像裝置10，基于由并聯(lián)設(shè)置的多個倍增寄存器20所倍增的電荷的信號，從放大器22輸出。因此，即使多個倍增寄存器20各自的增益存在偏差，各單元14的增益也被平均化。其結(jié)果，多個單元14間的增益的偏差被減少。故可使由固體攝像裝置10所獲得的圖像成為高質(zhì)量。符號說明10固體攝像裝置12攝像區(qū)域14 單元16電荷存儲區(qū)域
18輸出寄存器
20倍增寄存器
22放大器
24轉(zhuǎn)角寄存器
權(quán)利要求
1. 一種固體攝像裝置，其特征在于， 是多端口型的固體攝像裝置， 具備攝像區(qū)域，具有多個像素列；及多個單元，生成基于來自所述攝像區(qū)域的電荷的信號，所述多個單元分別具有輸出寄存器，傳輸來自所述多個像素列中一個以上的對應(yīng)的像素列的電荷； 多個倍增寄存器，其并聯(lián)設(shè)置，且接收來自所述輸出寄存器的電荷而個別地生成經(jīng)倍增的電荷；以及放大器，生成基于來自所述多個倍增寄存器的經(jīng)倍增的電荷的信號。
全文摘要
本發(fā)明的一個實施方式的固體攝像裝置，為多端口型的固體攝像裝置，其具備攝像區(qū)域、及多個單元。攝像區(qū)域具有多個像素列。多個單元生成基于來自攝像區(qū)域的電荷的信號。多個單元分別具有輸出寄存器、多個倍增寄存器、及放大器。輸出寄存器傳輸來自多個像素列中一個以上的對應(yīng)的像素列的電荷。多個倍增寄存器并聯(lián)設(shè)置，且接收來自輸出寄存器的電荷而個別地生成倍增的電荷。放大器生成基于來自多個倍增寄存器的經(jīng)倍增的電荷的信號。
文檔編號H01L27/148GK102246508SQ201080003562
公開日2011年11月16日 申請日期2010年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月30日
發(fā)明者前田堅太郎, 村松雅治, 米田康人, 鈴木久則, 高木慎一郎 申請人:浜松光子學(xué)株式會社