專利名稱：具整合混合閥的安瓿的制作方法
具整合混合閥的安瓿交互參照的相關(guān)申請(qǐng)案本申請(qǐng)案主張美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)案61/172，662的優(yōu)先權(quán)，該案于2009年4月M提出申請(qǐng)，其全文在此并入作為參考。背景許多用于半導(dǎo)體工業(yè)中的化學(xué)物質(zhì)藉由載氣供給進(jìn)入反應(yīng)器腔室。在一般方法中，當(dāng)載氣通過(guò)含有化學(xué)物質(zhì)的安瓿(ampoule)貯槽(reservoir)時(shí)，該載氣搭載一種或更多化學(xué)物質(zhì)。視輸送方法而定，該安瓿可安裝于前驅(qū)物分配系統(tǒng)(PDS)包殼中。為了安全使用、操作、更換安瓿，一般需要手動(dòng)閥及自動(dòng)閥聯(lián)合運(yùn)作。閥的聯(lián)合運(yùn)作用于各種目的，諸如隔離、導(dǎo)流、泵清洗及輸送。傳統(tǒng)的安瓿貯槽組件包括與進(jìn)入通口 (port)及排出通口流體連通的罐。手動(dòng)的閉鎖(lock-out)標(biāo)示(tag-out)閥以及氣動(dòng)閥在罐及進(jìn)入通口之間串聯(lián)式連接。同樣，手動(dòng)的閉鎖標(biāo)示閥以及氣動(dòng)閥在罐及排出通口之間串聯(lián)式連接。閉鎖標(biāo)示閥提供安全的方式以防止流體從罐逃逸。氣動(dòng)閥提供對(duì)以下項(xiàng)的流體連通的自動(dòng)化控制(1)進(jìn)入進(jìn)入通口的載氣，以及( 離開排出通口的載氣與前驅(qū)物的組合物。然而，傳統(tǒng)貯槽組件會(huì)遭逢許多功能性的缺陷。舉例而言，在半導(dǎo)體制造中所用的某些化學(xué)物質(zhì)必須維持在明確界定的溫度及壓力范圍內(nèi)，以減少這些化學(xué)物質(zhì)的凝結(jié)與/ 或分解。傳統(tǒng)上具有手動(dòng)閥及氣動(dòng)閥串聯(lián)連接的貯槽配置造成曲折的流體通道以及異常的 (odd)實(shí)體形狀，這兩項(xiàng)問(wèn)題會(huì)干擾化學(xué)物質(zhì)維持于所需求的溫度范圍內(nèi)。此外，傳統(tǒng)的貯槽組件占有可觀量的空間，且具有較不佳的操作及/或置換特性。因此，需要一種系統(tǒng)可將化學(xué)物質(zhì)維持于明確界定的溫度及壓力范圍內(nèi)并且同時(shí)能占用較少空間。附圖簡(jiǎn)單說(shuō)明可參考說(shuō)明書的其余部份及以下所呈現(xiàn)的附圖而進(jìn)一步了解本發(fā)明的本質(zhì)及優(yōu)點(diǎn)。這些附圖并入以下的詳細(xì)說(shuō)明書部份。

圖1是如本發(fā)明的實(shí)施例所描述的貯槽組件的透視圖。圖2是如本發(fā)明的實(shí)施例所描述的貯槽組件的另一透視圖。圖3是如本發(fā)明的實(shí)施例所描述的貯槽組件的分解透視圖。圖4是如本發(fā)明的實(shí)施例所描述的前驅(qū)物分配系統(tǒng)包殼的透視圖，該透視圖顯示出四個(gè)所安裝的貯槽組件。在附圖中，類似的部件及/或特征結(jié)構(gòu)可具有相同的參考符號(hào)。再者，相同類型的各部件可藉由在參考符號(hào)后接破折號(hào)及可區(qū)別這些類似部件的第二符號(hào)而區(qū)別。倘若在說(shuō)明書中僅使用第一參考符號(hào)，則無(wú)論第二參考符號(hào)為何，該描述皆可應(yīng)用至具有相同第一參考符號(hào)的類似部件的任一個(gè)。

發(fā)明內(nèi)容所公開的實(shí)施例是關(guān)于改善的貯槽組件，該貯槽組件具有許多勝于可相比較的傳統(tǒng)組件的優(yōu)點(diǎn)，諸如需要較少空間、較佳的操作及/或置換特性，以及較佳的熱特性。藉由提供更緊湊的貯槽組件，所公開的實(shí)施例改善了必須維持在明確界定的溫度及壓力范圍內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)的儲(chǔ)存。根據(jù)一實(shí)施例，貯槽組件包括罐，該罐具有包圍罐中的內(nèi)部空間的至少一個(gè)側(cè)壁、 頂部以及底部。該貯槽組件進(jìn)一步包括與該內(nèi)部空間流體連通的進(jìn)入通口，以及與該內(nèi)部空間流體連通的排出通口。該貯槽組件還包括進(jìn)入閥，以控制進(jìn)入通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該貯槽組件還包括排出閥，以控制排出通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該進(jìn)入閥或該排出閥中的至少一個(gè)包含雙功能混合閥。另一實(shí)施例中，分配系統(tǒng)包括貯槽組件、進(jìn)入流體線路以及排出流體線路。該貯槽組件包括罐，該罐包括包圍罐中空間的至少一個(gè)側(cè)壁、頂部以及底部。該貯槽組件包括進(jìn)入通口、排出通口以及注入通口，每一通口皆與該內(nèi)部空間流體連通。該進(jìn)入通口及排出通口經(jīng)裝配以分別與該進(jìn)入流體線路及該排出流體線路耦接。貯槽組件包括進(jìn)入閥，以控制進(jìn)入通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該貯槽組件包括排出閥，以控制排出通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該貯槽組件包括注入閥，以控制注入通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該進(jìn)入閥、該排出閥及該注入閥以可拆卸的方式與該罐耦接，且這些閥中的每一個(gè)包括雙功能混合閥。為更完整了解本發(fā)明的本質(zhì)與優(yōu)點(diǎn)，可參考隨后的詳細(xì)說(shuō)明書內(nèi)容以及附圖。本發(fā)明的其他方面、宗旨及優(yōu)點(diǎn)可由這些附圖及隨后的詳細(xì)說(shuō)明書內(nèi)容而變得清楚明了。應(yīng)了解到，詳細(xì)的說(shuō)明書內(nèi)容及特定范例(在指明各實(shí)施例時(shí))僅旨在說(shuō)明，而不欲必要性地限制所公開的本發(fā)明的范疇。實(shí)施方式根據(jù)此述的實(shí)施例及各種方面，提供改善的貯槽組件。此類貯槽組件在與前驅(qū)物分配系統(tǒng)(PDQ及/或半導(dǎo)體制造程序相連使用時(shí)特別地有優(yōu)勢(shì)。盡管實(shí)施例是參考半導(dǎo)體制造程序中所用的前驅(qū)物傳遞系統(tǒng)中的應(yīng)用所描述，然而，應(yīng)了解到本發(fā)明的領(lǐng)域不必限制于這些應(yīng)用上。貯槽組件可包括一個(gè)或多個(gè)手動(dòng)閉鎖標(biāo)示閥，該手動(dòng)閉鎖標(biāo)示閥與一個(gè)或多個(gè)氣動(dòng)閥串聯(lián)式連接以控制貯槽罐及進(jìn)入通口之間的流體連通。同樣，貯槽組件可包括一個(gè)或多個(gè)手動(dòng)閉鎖標(biāo)示閥，該手動(dòng)閉鎖標(biāo)示閥與一個(gè)或多個(gè)氣動(dòng)閥串聯(lián)式連接以控制罐及排出通口之間的流體連通。閉鎖標(biāo)示閥提供安全的方式以防止流體從罐逃逸。氣動(dòng)閥提供以下項(xiàng)的流體連通的自動(dòng)化控制(1)進(jìn)入進(jìn)入通口的載氣，以及( 離開排出通口的載氣與前驅(qū)物的組合物。貯槽組件可用于儲(chǔ)存刺激性及/或敏感性的化學(xué)物質(zhì)，諸如用于半導(dǎo)體制造制程中的化學(xué)物質(zhì)。某些用于半導(dǎo)體制造中的化學(xué)物質(zhì)必須維持于明確界定的溫度及壓力范圍內(nèi)，以減少化學(xué)物質(zhì)的凝結(jié)及/或分解。所公開的實(shí)施例提供串聯(lián)式連接的手動(dòng)及氣動(dòng)閥的替代性選擇，串聯(lián)式連接的手動(dòng)及氣動(dòng)閥造成曲折的流體通道以及異常的實(shí)體形狀，這兩個(gè)問(wèn)題會(huì)干擾化學(xué)物質(zhì)維持于所需求的溫度范圍內(nèi)。所公開的實(shí)施例提供較傳統(tǒng)貯槽組件占有較少空間的貯槽組件。所公開的實(shí)施例還提供相較于傳統(tǒng)貯槽組件具有較改善的操作及/或置換特性的貯槽組件。參考這些附圖(特別參考圖1)，根據(jù)實(shí)施例的貯槽組件大體上由參考標(biāo)記10所標(biāo)示。貯槽組件10包括具有圓柱狀側(cè)壁14、底部(圖中未示)及頂部16的罐12。該罐經(jīng)配置以容納諸如用于半導(dǎo)體制造中所用的前驅(qū)物化學(xué)物質(zhì)的流體或氣體。貯槽組件10包括進(jìn)入通口 18、排出通口 20、注入通口 22(與所安裝的注入通口塞對(duì)一并顯示)、液位感測(cè)器 (level sensor)組件沈以及柄組件觀。介于進(jìn)入通口 18以及罐12之間的流體連通是由雙功能混合進(jìn)入閥30控制。該雙功能混合進(jìn)入閥30包括氣動(dòng)式閥部份32以及手動(dòng)閉鎖標(biāo)示模組34。雙功能混合閥可購(gòu)得，例如，購(gòu)自Fujikin of America, Inc的雙功能混合閥。 雖所例示的雙功能混合閥使用氣動(dòng)式閥，也可使用其他類型的閥，例如電子式閥。介于排出通口 20以及罐之間的流體連通是由雙功能混合排出閥36所控制。介于注入通口 22及罐 12之間的流體連通可由雙功能混合注入閥38所控制，該雙功能混合注入閥38提供使用期間自動(dòng)式再注入該罐的能力。液位感測(cè)器組件沈監(jiān)控罐12內(nèi)流體的液位。柄(handle) 組件28包括兩個(gè)握持表面40、42，這些表面環(huán)繞兩個(gè)水平定向的插座(receptacle) 44、46。 這些插座44、46可用于接收舉升構(gòu)件(圖中未示)，該舉升構(gòu)件可用于移動(dòng)貯槽組件(例如，當(dāng)將該貯槽組件安裝進(jìn)入前驅(qū)物分配系統(tǒng)(PDQ時(shí)或移出PDS時(shí))。柄組件觀可被設(shè)置成能夠附接罐12或脫離罐12。柄組件也可被設(shè)置成提供貯槽組件部份(諸如易受碰撞損傷的部件)的遮罩。圖2顯示由不同方向所視的圖1的貯槽組件10。貯槽組件10進(jìn)一步包括與罐12 耦接的進(jìn)入閥介面構(gòu)件48。該雙功能混合進(jìn)入閥30與進(jìn)入閥介面構(gòu)件48耦接。該進(jìn)入閥介面構(gòu)件48包括內(nèi)部流體通道，該內(nèi)部流體通道用以在進(jìn)入通口 18以及進(jìn)入閥30之間連通流體，以及在進(jìn)入閥30與罐12之間連通流體。貯槽組件10進(jìn)一步包括排出閥介面構(gòu)件 50以及注入閥介面構(gòu)件52，該構(gòu)件50和52被配置成類似于進(jìn)入閥介面構(gòu)件48。貯槽組件10 (如圖1及圖2 二者所示)具有提供許多功能性優(yōu)點(diǎn)的配置。舉例而言，罐外部的部件配置于緊鄰罐頂部處(例如，離罐頂部6英寸內(nèi))。此緊湊的配置使得貯槽組件相較于上述傳統(tǒng)貯槽組件具有減少的外部流體通道，因而減少了必須被加熱(例如藉由加熱毯)以維持貯槽組件的內(nèi)容物在需求的溫度范圍內(nèi)的罐外部區(qū)域。貯槽組件10 的配置亦具有在水平及平行方向上的進(jìn)入通口 18及排出通口 20。如將于下參考圖4更詳細(xì)描述的內(nèi)容，這樣的進(jìn)入通口及排出通口的方向使貯槽組件可以水平式安裝至PDS且以水平式從PDS移出。柄插座提供在安裝及移出貯槽組件期間使用舉升設(shè)備的能力。圖3是貯槽組件10的分解透視圖。圖3顯示了柄組件28，該柄組件28可使用四個(gè)柄附接螺栓M與罐12耦接。兩個(gè)柄附接螺栓M嚙合罐頂部中的螺紋栓孔，而兩個(gè)柄附接螺栓嚙合位于進(jìn)入閥介面構(gòu)件48及排出閥介面構(gòu)件50的頂部中的螺紋栓孔。柄組件包括雕刻(sculpted)區(qū)域56，以為注入通口 22提供間隙。雙功能混合閥30顯示為移離 (displaced from)進(jìn)入閥介面構(gòu)件48。進(jìn)入閥30與進(jìn)入閥介面構(gòu)件藉由四個(gè)進(jìn)入閥附接螺栓58 (在該視線上無(wú)法見到其中一個(gè)螺栓58)的方式耦接。進(jìn)入閥墊片60可配置在進(jìn)入閥及進(jìn)入閥介面構(gòu)件之間。類似的布置可用于注入閥38以及排出閥36。液位感測(cè)器組件沈顯示為移離該罐。圖4是PDS包殼100的透視圖，顯示四個(gè)所安裝的貯槽組件(10_1、10_2、10_3、 10-4)、四個(gè)支撐構(gòu)件(102-1、102-2、102-3、102-4)以及一組質(zhì)量流量(mass flow)控制器 104。四個(gè)貯槽組件(10-1至10-4)裝設(shè)進(jìn)至PDS包殼100。兩個(gè)貯槽組件(10_3及10_4) 裝設(shè)在上排而兩個(gè)貯槽組件(10-1及10- 裝設(shè)在下排。上排及下排的貯槽組件(10-1至10-4)在PDS包殼100中垂直定位于彼此頂部。貯槽組件(10-1至10_4)各由兩個(gè)支撐構(gòu)件所支撐。下排貯槽組件(10-1及10-2)由支撐構(gòu)件(102-1及102- 支撐，而上排貯槽組件(10-3及10-4)由支撐構(gòu)件(102-3及102-4)支撐。貯槽組件的進(jìn)入通口及排出通口分別連接至PDS包殼100的進(jìn)入供給線路以及排出供給線路。進(jìn)入供給線路以及排出供給線路可被配置成水平定向并且平行，以有助于方便耦接貯槽組件的進(jìn)入通口及排出通口。 可通過(guò)PDS包殼前端加載或卸載貯槽組件。加載及卸載期間，可使用舉升機(jī)構(gòu)藉由柄組件 (28-1,28-2,28-3,28-4)舉升/移動(dòng)貯槽組件?？蓪①A槽組件加載至支撐構(gòu)件上并且滑動(dòng)到位，以致位于PDS包殼100上的進(jìn)入供給線路與排出供給線路可連接至貯槽組件(10-1 至10-4)的進(jìn)入通口與排出通口。在一實(shí)施例中，支撐構(gòu)件(102-1至102-4)為可調(diào)整的， 以致在貯槽組件(10-1至10-4)放置于支撐構(gòu)件(102-1至102-4)上之后，貯槽組件可經(jīng)調(diào)動(dòng)以將貯槽組件的進(jìn)入通口及排出通口對(duì)準(zhǔn)進(jìn)入供給線路與排出供給線路。一旦貯槽組件(10-1至10-4)的進(jìn)入通口及排出通口對(duì)準(zhǔn)進(jìn)入供給線路與排出供給線路，使用者可以使用氣體線路配接件(諸如0環(huán)配接件、金屬墊片面板等)將他們連接。由于罐外部的部件配置于緊鄰罐頂部處(例如，離罐頂部6英寸內(nèi))，與無(wú)此配置的情況相比，有更多的貯槽組件可垂直加載進(jìn)入PDS包殼100。此外，參考圖1及圖2所描述的減少的外部路徑還容許在PDS包殼100內(nèi)更為容易地調(diào)動(dòng)貯槽組件(10-1至10-4)。 一組質(zhì)量流量控制器104耦接至貯槽組件(10-1至10-4)的排出口且用于調(diào)節(jié)從貯槽組件 10至基材處理設(shè)備(圖中未示)的材料流量。可藉由將貯槽組件(10-1至10-4)橫跨支撐構(gòu)件(102-1至102_4)地滑動(dòng)而調(diào)動(dòng)貯槽組件(10-1至10-4)。在另一實(shí)施例中，支撐構(gòu)件(102-1至102-4)可制做成可調(diào)整的，以致在貯槽組件(10-1至10-4)加載于頂部時(shí)支撐構(gòu)件可移動(dòng)?？山逵赏苿?dòng)支撐構(gòu)件 (102-1至102-4)或藉由某些更精細(xì)的方式(諸如可引發(fā)支撐構(gòu)件102-1至102-4運(yùn)動(dòng)的步進(jìn)馬達(dá)或手動(dòng)曲拐裝置)而移動(dòng)支撐構(gòu)件(102-1至102-4)。支撐構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)可在所有三個(gè)方向上(即x、y、或ζ方向)。根據(jù)一實(shí)施例，提供貯槽組件，其包括罐，該罐具有將罐中的內(nèi)部空間包圍的至少一個(gè)側(cè)壁、頂部以及底部。該貯槽組件包括與該內(nèi)部空間流體連通的進(jìn)入通口，以及與該內(nèi)部空間流體連通的排出通口。該貯槽組件包括進(jìn)入閥，以控制進(jìn)入通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該貯槽組件亦包括排出閥，以控制排出通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該進(jìn)入閥或該排出閥中的至少一個(gè)包含雙功能混合閥。貯槽組件可含有許多選擇。舉例而言，罐可經(jīng)配置以含有前驅(qū)物氣體。進(jìn)入閥及排出閥可包括雙功能混合閥。貯槽組件可進(jìn)一步包括進(jìn)入耦接件(inlet coupling)以使進(jìn)入通口耦接實(shí)質(zhì)上水平的進(jìn)入供給線路，而且所述貯槽組件包括一排出耦接件以使排出通口耦接實(shí)質(zhì)上水平的排出供給線路，其中該進(jìn)入供給線路及排出供給線路實(shí)質(zhì)上平行。進(jìn)入通口及排出通口通過(guò)該罐頂部與內(nèi)部空間流體連通，且進(jìn)入閥及排出閥的每一個(gè)可配置于偏離頂部上方6英寸處的水平面下方。貯槽組件可包括一柄組件，該柄組件以可拆卸方式耦接該罐。柄組件可包括第一握持表面以及第二握持表面。柄組件可包括至少一個(gè)實(shí)質(zhì)上水平的插座以接收舉升構(gòu)件。該第一及/或第二握持表面可環(huán)繞實(shí)質(zhì)上水平的，用以接收舉升構(gòu)件的插座。貯槽組件可包括與罐耦接的進(jìn)入閥介面構(gòu)件，且進(jìn)入閥可以可拆卸方式與進(jìn)入閥介面構(gòu)件耦接。貯槽組件可包括與罐耦接的排出閥介面構(gòu)件，且排出閥可以可拆卸方式與排出閥介面構(gòu)件耦接。進(jìn)入閥介面構(gòu)件可包括第一進(jìn)入通道以使內(nèi)部空間及進(jìn)入閥之間流體連通，并且所述進(jìn)入閥介面構(gòu)件可包括第二進(jìn)入通道以使進(jìn)入閥及進(jìn)入通口之間流體連通。排出閥介面構(gòu)件可包括第一排出通道以使內(nèi)部空間及排出閥之間流體連通， 并且所述排出閥介面構(gòu)件可包括第二排出通道以使排出閥及排出通口之間流體連通。進(jìn)入閥及/或排出閥可包括氣動(dòng)式致動(dòng)閥以及閉鎖標(biāo)示模組。貯槽組件可包括與內(nèi)部空間流體連通的注入通口，并且可包括用于控制注入通口與內(nèi)部空間流體連通的注入閥。注入閥可包括雙功能混合閥。貯槽組件可包括與罐耦接的注入閥介面構(gòu)件，且注入閥可以可拆卸方式與注入閥介面構(gòu)件耦接。注入閥介面構(gòu)件可包括第一注入通道以使內(nèi)部空間及注入閥之間流體連通，并且所述注入閥介面構(gòu)件可包括第二注入通道以使注入閥及注入通口之間流體連通。根據(jù)另一實(shí)施例，提供一種分配系統(tǒng)，其中該分配系統(tǒng)包括進(jìn)入流體線路、排出流體線路以及貯槽組件。該進(jìn)入流體線路提供材料(例如載氣)至貯槽組件。該排出流體線路從該貯槽組件移除材料(例如載氣及化學(xué)物質(zhì))。該貯槽組件包括罐，該罐具有包圍罐中的空間的至少一個(gè)側(cè)壁、頂部以及底部。該貯槽組件包括進(jìn)入通口、排出通口以及注入通口，每一者皆與該內(nèi)部空間流體連通。該進(jìn)入通口及排出通口經(jīng)裝配以分別與該進(jìn)入流體線路及該排出流體線路耦接。貯槽組件包括進(jìn)入閥，以控制進(jìn)入通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該貯槽組件包括排出閥，以控制排出通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該貯槽組件包括注入閥，以控制注入通口及內(nèi)部空間之間的流體連通。該進(jìn)入閥、該排出閥及該注入閥以可拆卸的方式與該罐耦接，且這些閥的每一者包括雙功能混合閥。分配系統(tǒng)可含有許多選擇。舉例而言，貯槽組件可包括柄組件，該柄組件包括第一握持表面以及第二握持表面。該第一及第二握持表面每一者可環(huán)繞實(shí)質(zhì)上水平的，用于接收舉升構(gòu)件的插座。柄組件可以可拆卸方式附接至該罐。進(jìn)入閥、排出閥及/或注入閥可包括氣動(dòng)式致動(dòng)閥且可包括閉鎖標(biāo)示模組。貯槽組件可包括進(jìn)入耦接件以將進(jìn)入通口耦接進(jìn)入流體線路，且所述貯槽組件可包括排出耦接件以將排出通口耦接排出流體線路。進(jìn)入耦接件及排出耦接件經(jīng)配置以致在貯槽組件耦接至分配系統(tǒng)期間不需要貯槽組件實(shí)質(zhì)垂直移動(dòng)。該罐可經(jīng)配置以含有前驅(qū)物氣體。應(yīng)了解到此述的范例及實(shí)施例為闡明的目的，而本發(fā)明不限于這些范例及實(shí)施例?？上虮绢I(lǐng)域技術(shù)人員建議各種按照所公開的范例及實(shí)施例的修改或改變，并且這些修改或改變被包含于本申請(qǐng)的精神與范圍中、以及附加的權(quán)利要求的范疇內(nèi)。許多不同的組合是可能的，而此類組合應(yīng)視為本發(fā)明的一部分。
權(quán)利要求
1.一種貯槽組件，包含罐，所述罐包含包圍罐中的內(nèi)部空間的至少一個(gè)側(cè)壁、頂部以及底部； 進(jìn)入通口，所述進(jìn)入通口與所述內(nèi)部空間流體連通； 進(jìn)入閥，所述進(jìn)入閥控制所述進(jìn)入通口和所述內(nèi)部空間之間的流體流量； 排出通口，所述排出通口與所述內(nèi)部空間流體連通；以及排出閥，所述排出閥控制所述排出通口和所述內(nèi)部空間之間的流體流量，其中所述進(jìn)入閥或所述排出閥中的至少一個(gè)包含雙功能混合閥。
2.如權(quán)利要求1所述的貯槽組件，其中所述罐含有前驅(qū)物氣體。
3.如權(quán)利要求1所述的貯槽組件，其中所述進(jìn)入閥及所述排出閥中的每一個(gè)包含雙功能混合閥。
4.如權(quán)利要求3所述的貯槽組件，進(jìn)一步包含進(jìn)入耦接件，所述進(jìn)入耦接件使所述進(jìn)入通口耦接至實(shí)質(zhì)上水平的進(jìn)入供給線路；以及排出耦接件，所述排出耦接件使所述排出通口耦接至實(shí)質(zhì)上水平的排出供給線路。
5.如權(quán)利要求4所述的貯槽組件，其中所述進(jìn)入供給線路及所述排出供給線路實(shí)質(zhì)上平行。
6.如權(quán)利要求3所述的貯槽組件，其中所述進(jìn)入通口及所述排出通口中的每一個(gè)通過(guò)所述罐的所述頂部與所述內(nèi)部空間流體連通，且其中所述進(jìn)入閥及所述排出閥中的每一個(gè)被配置于偏離所述頂部上方6英寸處的水平面下方。
7.如權(quán)利要求3所述的貯槽組件，進(jìn)一步包含柄組件，所述柄組件以可拆卸方式耦接所述罐，所述柄組件包括第一握持表面以及第二握持表面。
8.如權(quán)利要求7所述的貯槽組件，其中所述柄組件包括至少一個(gè)實(shí)質(zhì)上水平的，用于接收舉升構(gòu)件的插座。
9.如權(quán)利要求8所述的貯槽組件，其中所述第一及所述第二握持表面的每一個(gè)環(huán)繞實(shí)質(zhì)上水平的，用于接收舉升構(gòu)件的插座。
10.如權(quán)利要求3所述的貯槽組件，進(jìn)一步包含進(jìn)入閥介面構(gòu)件，所述進(jìn)入閥介面構(gòu)件與所述罐耦接，所述進(jìn)入閥以可拆卸方式與所述進(jìn)入閥介面構(gòu)件耦接；以及排出閥介面構(gòu)件，所述排出閥介面構(gòu)件與所述罐耦接，所述排出閥以可拆卸方式與所述排出閥介面構(gòu)件耦接。
11.如權(quán)利要求10所述的貯槽組件，其中所述進(jìn)入閥介面構(gòu)件包括在所述內(nèi)部空間及所述進(jìn)入閥之間的第一進(jìn)入通道以及在所述進(jìn)入閥及所述進(jìn)入通口之間的第二進(jìn)入通道； 且其中所述排出閥介面構(gòu)件包括在所述內(nèi)部空間及所述排出閥之間的第一排出通道以及在所述排出閥及所述排出通口之間的第二排出通道。
12.如權(quán)利要求3所述的貯槽組件，其中所述進(jìn)入閥及所述排出閥中的每一個(gè)包含氣動(dòng)式致動(dòng)閥以及閉鎖標(biāo)示模組。
13.如權(quán)利要求3所述的貯槽組件，進(jìn)一步包含注入通口，所述注入通口與所述內(nèi)部空間流體連通；以及注入閥，所述注入閥控制介于所述注入通口與所述內(nèi)部空間之間的流體流量，其中所述注入閥包含雙功能混合閥。
14.如權(quán)利要求13所述的貯槽組件，進(jìn)一步包含注入閥介面構(gòu)件，所述注入閥介面構(gòu)件與所述罐耦接，所述注入閥以可拆卸方式與所述注入閥介面構(gòu)件耦接。
15.如權(quán)利要求14所述的貯槽組件，其中所述注入閥介面構(gòu)件包括在所述內(nèi)部空間及所述注入閥之間的第一注入通道以及在所述注入閥及所述注入通口之間的第二注入通道。
16.一種分配系統(tǒng)，包含進(jìn)入流體線路，所述進(jìn)入流體線路提供材料至貯槽組件； 排出流體線路，所述排出流體線路從所述貯槽組件移除材料； 其中所述貯槽組件進(jìn)一步包含罐，所述罐包含包圍罐中的內(nèi)部空間的至少一個(gè)側(cè)壁、頂部以及底部； 進(jìn)入通口、排出通口以及注入通口，這些通口皆與所述內(nèi)部空間流體連通，所述進(jìn)入通口及所述排出通口各自與所述進(jìn)入流體線路及所述排出流體線路耦接；進(jìn)入閥，所述進(jìn)入閥控制所述進(jìn)入通口及所述內(nèi)部空間之間的流體流量； 排出閥，所述排出閥控制所述排出通口及所述內(nèi)部空間之間的流體流量；以及注入閥，所述注入閥控制所述注入通口及所述內(nèi)部空間之間的流體流量， 其中所述進(jìn)入閥、所述排出閥及所述注入閥中的每一個(gè)以可拆卸方式耦接所述罐并且包含雙功能混合閥。
17.如權(quán)利要求16所述的分配系統(tǒng)，其中所述貯槽組件進(jìn)一步包含柄組件，所述柄組件包括第一握持表面以及第二握持表面，其中所述第一及第二握持表面中的每一個(gè)環(huán)繞實(shí)質(zhì)上水平的，用以接收舉升構(gòu)件的插座。
18.如權(quán)利要求17所述的分配系統(tǒng)，其中所述柄組件以可拆卸方式耦接所述罐。
19.如權(quán)利要求16所述的分配系統(tǒng)，其中所述進(jìn)入閥、所述排出閥及所述注入閥中的每一個(gè)包含氣動(dòng)式致動(dòng)閥及閉鎖標(biāo)示模組。
20.如權(quán)利要求16所述的分配系統(tǒng)，其中所述貯槽組件進(jìn)一步包含 進(jìn)入耦接件，所述進(jìn)入耦接件將所述進(jìn)入通口耦接所述進(jìn)入流體線路；以及排出耦接件，所述排出耦接件將所述排出通口耦接所述排出流體線路，其中所述進(jìn)入耦接件及所述排出耦接件經(jīng)裝配以在所述貯槽組件耦接至所述分配系統(tǒng)期間不需要所述貯槽組件的實(shí)質(zhì)垂直移動(dòng)。
21.如權(quán)利要求16所述的分配系統(tǒng)，其中所述罐含有前驅(qū)物氣體。
全文摘要
具有化學(xué)輸送系統(tǒng)(諸如前驅(qū)物分配系統(tǒng))的半導(dǎo)體制造工具使用貯槽組件作為分配系統(tǒng)的部件。一種貯槽組件包括罐，其包含包圍罐中內(nèi)部空間的至少一個(gè)側(cè)壁、頂部以及底部；進(jìn)入通口及排出通口，該進(jìn)入通口和排除通口與該內(nèi)部空間流體連通；進(jìn)入閥，其用于控制該進(jìn)入通口及該內(nèi)部空間之間的流體連通；以及排出閥，其用于控制該排出通口及該內(nèi)部空間之間的流體連通，其中該進(jìn)入閥或該排出閥中的至少一個(gè)包含雙功能混合閥。
文檔編號(hào)H01L21/02GK102414783SQ201080018345
公開日2012年4月11日 申請(qǐng)日期2010年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月24日
發(fā)明者K·S·格里芬 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料公司