專利名稱：機(jī)器人示教裝置及機(jī)器人示教方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)運(yùn)送用機(jī)器人示教動(dòng)作的機(jī)器人示教方法及機(jī)器人示教裝置， 詳細(xì)而言涉及一種在短時(shí)間內(nèi)準(zhǔn)確地進(jìn)行機(jī)器人的示教的技術(shù)。本申請(qǐng)基于2009年06月30日在日本提出申請(qǐng)的特愿2009-155723號(hào)要求優(yōu)先權(quán)，并且在此援引其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
用于基板運(yùn)送的運(yùn)送用機(jī)器人等工業(yè)用機(jī)器人通過規(guī)定的動(dòng)作程序來(lái)驅(qū)動(dòng)。在該動(dòng)作程序的生成時(shí)，被稱為示教人的技術(shù)人員實(shí)際使機(jī)器人的可動(dòng)部例如機(jī)械臂、機(jī)械手等按照所希望的動(dòng)作運(yùn)動(dòng)(示教)。例如，對(duì)于在多室型真空裝置中運(yùn)送基板的機(jī)器人，示教機(jī)械手至停止位置的行程、機(jī)械手在停止位置的角度及高度。然后，通過將機(jī)器人的可動(dòng)部的行程或角度數(shù)值化并輸出的編碼器，檢測(cè)機(jī)械手至停止位置的行程、機(jī)械手在停止位置的角度及高度，并將其結(jié)果記錄于控制器中。然后， 基于所記錄的數(shù)據(jù)生成機(jī)器人的動(dòng)作程序。在機(jī)器人動(dòng)作時(shí)，基于所生成的動(dòng)作程序使可動(dòng)部運(yùn)動(dòng)。以往，在示教使例如晶圓等圓盤狀的基板在多個(gè)交接地點(diǎn)之間移動(dòng)的運(yùn)送用機(jī)器人時(shí)，在用于支撐基板的機(jī)械手上載置模擬基板，并且利用機(jī)械手上所形成的開口等，用銷等在各交接地點(diǎn)上固定圓盤狀的夾具。然后，在該夾具中央設(shè)置孔等標(biāo)志，并通過對(duì)標(biāo)志照射激光等方法檢測(cè)標(biāo)志，以示教機(jī)械手在各交接地點(diǎn)的停止位置，例如交接位置(例如專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1 特開2009-00似64號(hào)公報(bào)然而，用激光調(diào)整示教所使用的夾具的設(shè)置位置的方法需要激光光源和用于檢測(cè)激光的部件(裝置)，具有示教所需設(shè)備的成本增加的問題。此外，需要調(diào)整激光的投光位置，還具有在實(shí)際進(jìn)行示教之前的安裝花費(fèi)時(shí)間的問題。進(jìn)一步，由于是基于設(shè)置在機(jī)械手上的標(biāo)志，例如孔或突起的位置來(lái)確定基板的中心軸，因此具有示教所使用的夾具的設(shè)置位置的定位精度下降的問題。例如，在難以設(shè)置表示載置于機(jī)械手上的基板位置的中心的孔或突起等的定位標(biāo)志時(shí)，需要對(duì)機(jī)械手形成多個(gè)標(biāo)志，并以這多個(gè)標(biāo)志為基準(zhǔn)設(shè)置具有中心標(biāo)志的夾具。因此，具有示教所使用的夾具的設(shè)置位置的定位精度下降的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的是提供一種機(jī)器人示教方法及機(jī)器人示教裝置，該方法及裝置用簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，在短時(shí)間內(nèi)以高精度示教用于運(yùn)送大致圓盤狀運(yùn)送物的運(yùn)送用機(jī)器人。為了解決上述問題，提供如下的機(jī)器人的示教方法及機(jī)器人的示教裝置。本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人的示教方法，所述機(jī)器人用機(jī)械手支撐運(yùn)送物，并在兩處以上的交接地點(diǎn)之間進(jìn)行運(yùn)送，所述示教方法具備夾具配置工序，將定位夾具配置在所述交接地點(diǎn)，并使所述定位夾具與載置于所述交接地點(diǎn)時(shí)的所述運(yùn)送物同一中心軸；以及示教工序，在各所述交接地點(diǎn)，使所述機(jī)械手運(yùn)動(dòng)至所述機(jī)械手的抵接部與所述定位夾具相抵接的位置，并對(duì)控制器示教所述機(jī)械手的位置。(2)所述抵接部可利用在所述定位夾具的中心軸與當(dāng)被所述機(jī)械手支撐時(shí)的所述運(yùn)送物的中心軸重疊的位置上與所述定位夾具的周面相抵接的表面。(3)將所述定位夾具配置在所述交接地點(diǎn)時(shí)，可利用將所述定位夾具引導(dǎo)至所述定位夾具的中心軸與所述運(yùn)送物的中心軸重疊的位置的標(biāo)志。(4)可將所述交接地點(diǎn)設(shè)為在多個(gè)機(jī)器人之間授受所述運(yùn)送物的地點(diǎn)。(5)所述機(jī)器人可由伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)。(6)所述機(jī)器人可通過同心雙軸電動(dòng)機(jī)進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。(7)本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人的示教裝置具備機(jī)器人，由具有抵接面的機(jī)械手支撐運(yùn)送物，并在兩處以上的交接地點(diǎn)之間運(yùn)送所述運(yùn)送物；編碼器，與所述機(jī)器人連接，以獲得有關(guān)所述機(jī)器人的信息；控制器，基于由所述編碼器獲得的信息，計(jì)算所述機(jī)械手的位置，以生成機(jī)器人的示教數(shù)據(jù)；以及定位夾具，以當(dāng)?shù)纸佑谒鰴C(jī)械手的所述抵接面時(shí)，與載置于所述交接地點(diǎn)時(shí)的所述運(yùn)送物同一中心軸的方式配置在所述轉(zhuǎn)移地點(diǎn)ο(8)所述機(jī)器人可為真空運(yùn)送機(jī)器人。(9)所述定位夾具的周面的至少一部分可具有曲面形狀，所述機(jī)械手的所述抵接面可至少在三處與所述定位夾具的周面相抵接。(10)所述機(jī)械手的所述抵接面可為與所述定位夾具中相抵接的周面具有相同曲率的曲面。(11)可在所述定位夾具的一面上形成突部，在所述交接地點(diǎn)的一面上形成與所述突部結(jié)合的凹部。(12)可在所述定位夾具的一個(gè)面上形成突出的周壁面，在所述定位夾具的另一個(gè)面上形成具有與所述機(jī)械手的所述抵接面相抵接的周面的突出部，在將所述定位夾具配置在所述交接地點(diǎn)的狀態(tài)下，所述交接地點(diǎn)收納于由所述周壁面形成的凹部?jī)?nèi)。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法及機(jī)器人示教裝置，能夠生成可準(zhǔn)確無(wú)誤地運(yùn)送運(yùn)送物的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)程序。另外，在進(jìn)行上述示教時(shí)，即使不采用如以往那樣使用激光配置在表示機(jī)械手的停止位置的標(biāo)志交接位置等花費(fèi)工夫和時(shí)間的方法，僅通過將定位夾具配置在交接地點(diǎn)上，能夠容易地將定位夾具設(shè)置在交接地點(diǎn)的中心。


圖1是表示運(yùn)送用機(jī)器人的第一結(jié)構(gòu)例的俯視圖。圖2A是表示運(yùn)送用機(jī)器人的動(dòng)作的側(cè)視圖。圖2B是表示運(yùn)送用機(jī)器人的動(dòng)作的俯視圖。圖2C是表示運(yùn)送用機(jī)器人的動(dòng)作的俯視圖。圖3是表示構(gòu)成機(jī)器人的機(jī)械手的放大俯視圖。
圖4是表示將定位夾具配置在交接地點(diǎn)的狀態(tài)的剖視圖。圖5A是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的示意圖。圖5B是沿圖5A的中心線的剖視圖。圖5C是表示同一個(gè)實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的說明圖。圖5D是表示同一個(gè)實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的說明圖。圖6是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。圖7是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。圖8A是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。圖8B是圖8A的剖視圖。圖9A是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。圖9B是圖9A的剖視圖。圖10是表示本發(fā)明的第六實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的結(jié)構(gòu)例的剖視圖。圖11是表示能夠適用本發(fā)明的機(jī)器人示教方法的機(jī)器人的第二結(jié)構(gòu)例的俯視圖。圖12是表示能夠適用本發(fā)明的機(jī)器人示教方法的機(jī)器人的第三結(jié)構(gòu)例的俯視圖。
具體實(shí)施例方式下面，基于

本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的運(yùn)送用機(jī)器人示教方法及機(jī)器人示教裝置。另外，這些實(shí)施方式是為了更好地理解發(fā)明宗旨而舉例說明的內(nèi)容，若沒有特別的指定，并非用來(lái)限制本發(fā)明。此外，在以下說明中采用的附圖中，為了便于理解本發(fā)明的特征，為了方便有時(shí)放大顯示了作為主要部分的部分，各結(jié)構(gòu)要素的尺寸比例等并不一定與實(shí)際相同。圖1是具備進(jìn)行示教的運(yùn)送用機(jī)器人的真空裝置的第一結(jié)構(gòu)例的俯視圖。多室型的真空裝置10具有運(yùn)送室11，在該運(yùn)送室11的內(nèi)部配置有運(yùn)送用機(jī)器人 20。該運(yùn)送用機(jī)器人20例如運(yùn)送在真空裝置10內(nèi)進(jìn)行處理的大致圓盤狀的基板15。在運(yùn)送室11的周圍連接有送入室12、送出室13以及多個(gè)處理室14a、14b、14C、 14D。通過運(yùn)送用機(jī)器人20，能夠使作為運(yùn)送物的基板15在各室11 13、Ha 14d之間移動(dòng)。圖2A是運(yùn)送用機(jī)器人20的側(cè)視圖。圖2B及圖2C是從運(yùn)送室11的天花板側(cè)俯瞰的俯視圖。運(yùn)送用機(jī)器人20具有旋轉(zhuǎn)軸30、第一主動(dòng)臂21a、第二主動(dòng)臂21b、第一從動(dòng)臂22a、第二從動(dòng)臂22b、機(jī)械手23以及上下移動(dòng)裝置M。旋轉(zhuǎn)軸30具備外筒30a、配置在該外筒30a的內(nèi)部的內(nèi)筒30b。外筒30a和內(nèi)筒 30b連接于同心雙軸電動(dòng)機(jī)25，并能夠以同一旋轉(zhuǎn)軸線P為中心獨(dú)立地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，如圖2C所示，在該同心雙軸電動(dòng)機(jī)25上連接有將在后面敘述的編碼器26。編碼器沈在示教機(jī)器人時(shí)，檢測(cè)主動(dòng)臂21a、21b和從動(dòng)臂22a、22b的動(dòng)作，例如這些臂的行程和角度。
上下移動(dòng)裝置M使主動(dòng)臂21a、21b、從動(dòng)臂22a、22b、機(jī)械手23等可動(dòng)部沿高度方向h(圖2A)上下移動(dòng)。在第一主動(dòng)臂21a和第二主動(dòng)臂21b中的一個(gè)固定于外筒30a上，另一個(gè)固定于內(nèi)筒30b上。在本實(shí)施方式中，第一主動(dòng)臂21a固定于外筒30a上，第二主動(dòng)臂21b固定于內(nèi)筒30b上。第一從動(dòng)臂2 和第二從動(dòng)臂22b分別能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于第一主動(dòng)臂21a和第二主動(dòng)臂21b的前端部分。在本實(shí)施方式中，第一從動(dòng)臂22a能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于第一主動(dòng)臂21a的前端部分，第二從動(dòng)臂22b能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于第二主動(dòng)臂21b的前端部分。旋轉(zhuǎn)軸30鉛直配置，以使旋轉(zhuǎn)軸線P鉛直，第一主動(dòng)臂21a和第二主動(dòng)臂21b、第一從動(dòng)臂2 和第二從動(dòng)臂22b水平配置。因此，第一主動(dòng)臂21a和第二主動(dòng)臂21b、第一從動(dòng)臂2 和第二從動(dòng)臂22b能夠在水平面內(nèi)移動(dòng)。第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸線Qa和第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸線Qb分別是第一從動(dòng)臂2 和第二從動(dòng)臂22b相對(duì)于第一主動(dòng)臂21a和第二主動(dòng)臂21b的轉(zhuǎn)動(dòng)中心。第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸線Qa與旋轉(zhuǎn)軸線P之間的距離和第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸線Qb與旋轉(zhuǎn)軸線P之間的距離相等。通過如上結(jié)構(gòu)，用于支撐基板15的機(jī)械手23能夠以旋轉(zhuǎn)軸線P為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 并且能夠沿圖2B所示的方向k(機(jī)械手的水平移動(dòng)方向)水平移動(dòng)。S卩，如圖2B及圖2C 中的方向k所示，機(jī)械手23能夠向遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)軸線P的方向水平移動(dòng)，或者向接近旋轉(zhuǎn)軸線 P的方向水平移動(dòng)。此外，機(jī)械手23通過上下移動(dòng)裝置24，能夠沿與水平方向正交的高度方向h上下移動(dòng)。即，機(jī)械手23能夠在規(guī)定的范圍內(nèi)，沿CTZ三維方向自由移動(dòng)。由此，能夠使運(yùn)送物即基板15在各室11 13、1 14之間(參照?qǐng)D1)自由移動(dòng)。圖3是表示用于支撐基板15的第一例的機(jī)械手23的放大俯視圖。在機(jī)械手23上形成有用于載置基板15的叉子27和以與基板15的周面相同的曲率形成且在支撐基板15時(shí)與基板15的周緣相抵接的支撐端觀。在本實(shí)施方式中，該支撐端觀的形狀可與所支撐的基板15的形狀對(duì)應(yīng)形成。而且，在叉子27的中央附近形成有抵接部四。該抵接部四可以構(gòu)成與例如在后述的機(jī)器人示教時(shí)使用的大致圓柱形的定位夾具41的周面相同的曲率的表面。在本實(shí)施方式中，該抵接部四的形狀可與定位夾具41的周面形狀對(duì)應(yīng)形成。圖4是表示將定位夾具41配置在交接地點(diǎn)的狀態(tài)的側(cè)面剖視圖，表示在機(jī)器人示教時(shí)使用的定位夾具41的一例。在進(jìn)行示教時(shí)使用的定位夾具41例如設(shè)置在授受運(yùn)送物即基板15的多個(gè)交接地點(diǎn)(下稱臺(tái)架)上。定位夾具41由例如呈圓柱形的部件構(gòu)成，且在一面(底面)的中心T形成有定位突起(標(biāo)志)42。而且，在機(jī)器人示教時(shí)預(yù)先將定位夾具41設(shè)置在臺(tái)架51時(shí)，以對(duì)于形成在臺(tái)架51 的中心即載置基板的區(qū)域的中心S的凹部(標(biāo)志)52插入定位突起(標(biāo)志)42的方式設(shè)置定位夾具41。由此，能夠以使定位夾具41的中心T與臺(tái)架51的中心S相一致的方式，容易地將定位夾具41設(shè)置在臺(tái)架51上。接下來(lái)，說明使用如上所述結(jié)構(gòu)的運(yùn)送用機(jī)器人的機(jī)器人示教方法。在使用運(yùn)送用機(jī)器人時(shí)，需要將機(jī)械手23準(zhǔn)確地引導(dǎo)至基板15在真空裝置10的各室11 13、Ha 14D中的交接位置(載置位置)。例如，基板15在交接位置的設(shè)置容許誤差為士 Imm以下，優(yōu)選為士0. 2mm以下。對(duì)于這樣的設(shè)置容許誤差，在通過機(jī)械手23經(jīng)由中間室交接基板15時(shí)，若機(jī)械手23和基板15在未預(yù)期的地方接觸，并產(chǎn)生塵埃是不期望的。例如，若產(chǎn)生士 1. 5mm以上的偏移，基板15的側(cè)面有可能與機(jī)械手23的周緣部接觸。另一方面，當(dāng)機(jī)械手23的停止位置精度為士0. 15mm時(shí)，設(shè)置容許誤差優(yōu)選為士0. 2mm以下。另一方面，在中間室以外載置基板15時(shí)，若基板15，例如對(duì)于300mm的圓盤狀基板，靜電吸盤的直徑為四4讓的情況下，若該圓盤狀的基板偏移3mm以上，則由于臺(tái)架51的靜電吸盤表面被暴露，甚至靜電吸盤上也被進(jìn)行成膜或蝕刻等處理。當(dāng)不容許膜在基板15 的側(cè)面或背面蔓延形成時(shí)，要求設(shè)置容許誤差例如抑制在士0. 5mm以下的范圍內(nèi)。為此，在運(yùn)送用機(jī)器人的運(yùn)轉(zhuǎn)之前，首先最先由被稱作示教人的操作者以所希望的動(dòng)作實(shí)際使機(jī)械手23運(yùn)動(dòng)，并通過由編碼器沈檢測(cè)該運(yùn)動(dòng)，以生成動(dòng)作程序(機(jī)器人示教)。即，在該編碼器26所獲得的信息的基礎(chǔ)上，例如通過控制器算出機(jī)械手的位置，以生成機(jī)器人的示教數(shù)據(jù)。圖5A、圖5C、圖5D是階段性地圖示第一實(shí)施方式所涉及的機(jī)器人示教方法的示意圖。如圖5A所示，在進(jìn)行運(yùn)送用機(jī)器人的示教時(shí)，首先在通過運(yùn)送用機(jī)器人進(jìn)行基板的授受的所有臺(tái)架(交接地點(diǎn))51、51...上設(shè)置大致圓柱形的定位夾具41 (夾具配置工序)。在設(shè)置定位夾具41時(shí)，如圖5B所示，以對(duì)于形成在臺(tái)架51的中心即載置基板的區(qū)域中心S的凹部52插入定位突起(標(biāo)志)42的方式設(shè)置定位夾具41。由此，能夠以使定位夾具41的中心T和臺(tái)架51的中心S相一致的方式容易地將定位夾具41設(shè)置在臺(tái)架51上。接下來(lái)，在將編碼器26 (參照?qǐng)D2C)設(shè)為記錄狀態(tài)后，使機(jī)械手23實(shí)際朝向臺(tái)架 51運(yùn)動(dòng)(參照?qǐng)D5C)。然后，以由機(jī)械手23的叉子27夾住配置在臺(tái)架51上的定位夾具41的方式插入機(jī)械手23。然后，使機(jī)械手移動(dòng)直至定位夾具41的周面41a與機(jī)械手23的抵接部四抵接的位置，并將在該抵接狀態(tài)下的位置記錄為機(jī)械手23在該臺(tái)架51上的停止位置(交接位置)(示教工序)。此時(shí)，定位夾具41的中心軸T配置為與在臺(tái)架51上載置基板15時(shí)的基板1同一中心軸。而后，使機(jī)械手23運(yùn)動(dòng)至抵接部四和定位夾具41的周面41a相抵接的位置，并記錄作為機(jī)械手23在該臺(tái)架51上的停止位置，從而能夠?qū)⒒?5準(zhǔn)確無(wú)誤地運(yùn)送至臺(tái)架 51的中心。其中，所述抵接部四由與在機(jī)械手23支撐基板15時(shí)的基板15的中心軸W同軸的彎曲面構(gòu)成。S卩，定位夾具的中心軸配置為與將運(yùn)送物載置在交接地點(diǎn)上時(shí)的運(yùn)送物同一中心軸。而且，通過使機(jī)械手運(yùn)動(dòng)至抵接部和定位夾具的周面相抵接的位置，并記錄為機(jī)械手的交接位置，從而能夠生成能夠?qū)⑦\(yùn)送物準(zhǔn)確無(wú)誤地運(yùn)送至交接地點(diǎn)中心的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)程序。其中，抵接部由與在機(jī)械手支撐運(yùn)送物時(shí)的中心軸同軸的表面構(gòu)成。另外，在進(jìn)行這種示教時(shí)，即使不采用如以往那樣使用激光表示將表示機(jī)械手23 的停止位置的標(biāo)志配置在交接位置上等花費(fèi)時(shí)間和工夫的方法，僅通過使形成于定位夾具 41上的定位突起42配合在形成于臺(tái)架51的中心的凹部52中，也能夠容易地將定位夾具 41設(shè)置在臺(tái)架51的中心。
然后，同樣地向多個(gè)臺(tái)架(交接地點(diǎn))51、51...，以所希望的動(dòng)作使機(jī)械手23運(yùn)動(dòng)，并將在各個(gè)臺(tái)架51上機(jī)械手23的抵接部四和定位夾具41的周面41a相抵接的位置記錄作為機(jī)械手23的停止位置，從而能夠容易地在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行運(yùn)送用機(jī)器人20的示教。而且，與定位夾具41抵接的抵接部四的抵接面無(wú)需必須為與定位夾具41的周面 41a相同曲率的彎曲面。例如，如圖6所示，可以相對(duì)于設(shè)置在臺(tái)架(交接地點(diǎn))上的大致圓柱形的定位夾具41的周面41a，以至少三點(diǎn)Fl F3抵接的方式形成機(jī)械手71的抵接部 72。此外，定位夾具41無(wú)需必須為圓柱形。例如，如圖7所示，也可以將定位夾具75的形狀形成為兩側(cè)面為平坦面75a，且在插入于機(jī)械手76的方向上的前后面為曲面75b。由此，在將定位夾具75插入于機(jī)械手76時(shí)的偏移變少，并且在示教時(shí)向定位夾具75的插入也變得容易。定位夾具在臺(tái)架上的設(shè)置方法并不限定于上述的突起和凹部的配合。例如，如圖 8A至圖8B所示，作為定位夾具81的形狀，也可以由抵接(配合)于構(gòu)成機(jī)器人的機(jī)械手 83的上部體81a和與臺(tái)架82配合的下部體81b構(gòu)成。這種結(jié)構(gòu)在示教時(shí)將定位夾具81配置在臺(tái)架82上的時(shí)候，僅通過使臺(tái)架82被下部體81b覆蓋，便能夠?qū)⒍ㄎ粖A具81準(zhǔn)確地配置在臺(tái)架82的中心。此外，由于無(wú)需在臺(tái)架 82上設(shè)置孔(開口)等，因此即使對(duì)于以往的臺(tái)架等，難以重新形成開口的運(yùn)送用機(jī)器人， 也能夠適用本發(fā)明的機(jī)器人示教方法。此外，例如如圖9A及圖9B所示，也可以將定位夾具101的形狀形成為具有切除圓形的一部分的平坦面101a，且該平坦面IOla之間的寬度小于機(jī)械手103的寬度。由此，能夠減少將定位夾具101插入于機(jī)械手103時(shí)的摩擦，且能夠防止由于夾具的磨損所引起的定位精度的下降。此外，如圖10所示，也可以是在臺(tái)架85的周圍設(shè)置有用于引導(dǎo)定位夾具86的標(biāo)志87，并對(duì)于臺(tái)架85配置定位夾具86，使得定位夾具86與該標(biāo)志87配合的結(jié)構(gòu)。在設(shè)置定位夾具時(shí)，為了從多個(gè)不同的角度使機(jī)械手抵接并進(jìn)行示教，優(yōu)選使用例如螺絲等固定裝置固定定位夾具。由此，能夠防止由于定位夾具與設(shè)置位置的松動(dòng)，根據(jù)按壓機(jī)械手時(shí)的按壓方向，所記錄的位置發(fā)生偏移的現(xiàn)象。進(jìn)一步，還優(yōu)選將定位夾具形成為其具有在機(jī)械手抵靠于定位夾具時(shí)，定位夾具的頂部和機(jī)械手的上表面之間的位置相一致的高度。由此，即使在交接位置的高度上沒有富余的情況下，也能夠適用本發(fā)明。能夠適用本發(fā)明的實(shí)施方式所的機(jī)器人示教方法的機(jī)器人并不限定于圖1所示結(jié)構(gòu)的機(jī)器人。例如，如圖11所示，還能夠適用于具有以一個(gè)可動(dòng)軸91為中心對(duì)稱配置的兩個(gè)機(jī)械手92a、92b的運(yùn)送用機(jī)器人90的示教。此外，例如，如圖12所示，還能夠適用于具有在兩個(gè)真空裝置95、96與設(shè)置在其間的交接室97各自之間運(yùn)送運(yùn)送物(基板)的兩個(gè)機(jī)械手98a、98b的運(yùn)送用機(jī)器人99的示教。雖然在以上說明中，將大致圓盤狀的基板作為運(yùn)送物來(lái)進(jìn)行說明，但并不僅僅限定于此，也能夠運(yùn)送四邊形的基板。產(chǎn)業(yè)上的可應(yīng)用性
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的機(jī)器人示教方法，能夠準(zhǔn)確無(wú)誤地運(yùn)送運(yùn)送物。符號(hào)說明10運(yùn)送用機(jī)器人(機(jī)器人)15基板(運(yùn)送物)23機(jī)械手四抵接部41定位夾具51臺(tái)架(交接地點(diǎn))
權(quán)利要求
1.一種機(jī)器人的示教方法，所述機(jī)器人用機(jī)械手支撐運(yùn)送物，并在兩處以上的交接地點(diǎn)之間進(jìn)行運(yùn)送，所述示教方法具備夾具配置工序，將定位夾具配置在所述交接地點(diǎn)，使所述定位夾具與載置于所述交接地點(diǎn)時(shí)的所述運(yùn)送物同一中心軸；以及示教工序，在各所述交接地點(diǎn)，使所述機(jī)械手運(yùn)動(dòng)至所述機(jī)械手的抵接部與所述定位夾具相抵接的位置，并對(duì)控制器示教所述機(jī)械手的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)器人的示教方法，其特征在于，所述抵接部利用在所述定位夾具的中心軸與當(dāng)被所述機(jī)械手支撐時(shí)的所述運(yùn)送物的中心軸重疊的位置上與所述定位夾具的周面相抵接的表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機(jī)器人的示教方法，其特征在于，將所述定位夾具配置在所述交接地點(diǎn)時(shí)，利用將所述定位夾具引導(dǎo)至所述定位夾具的中心軸與所述運(yùn)送物的中心軸重疊的位置的標(biāo)志。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的機(jī)器人的示教方法，其特征在于，將所述交接地點(diǎn)設(shè)為在多個(gè)機(jī)器人之間授受所述運(yùn)送物的地點(diǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的機(jī)器人的示教方法，其特征在于，所述機(jī)器人由伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的機(jī)器人的示教方法，其特征在于，所述機(jī)器人通過同心雙軸電動(dòng)機(jī)進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)及旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
7.一種機(jī)器人的示教裝置，其特征在于，具備機(jī)器人，由具有抵接面的機(jī)械手支撐運(yùn)送物，并在兩處以上的交接地點(diǎn)之間運(yùn)送所述運(yùn)送物；編碼器，與所述機(jī)器人連接，以獲得有關(guān)所述機(jī)器人的信息；控制器，基于由所述編碼器獲得的信息，計(jì)算所述機(jī)械手的位置，以生成機(jī)器人的示教數(shù)據(jù)；以及定位夾具，以當(dāng)?shù)纸佑谒鰴C(jī)械手的所述抵接面時(shí)，與載置于所述交接地點(diǎn)時(shí)的所述運(yùn)送物同一中心軸的方式配置在所述轉(zhuǎn)移地點(diǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的機(jī)器人的示教裝置，其特征在于，所述機(jī)器人是真空運(yùn)送機(jī)器人。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的機(jī)器人的示教裝置，其特征在于，所述定位夾具的周面的至少一部分具有曲面形狀，所述機(jī)械手的所述抵接面在至少三處與所述定位夾具的周面相抵接。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中的任一項(xiàng)所述的機(jī)器人的示教裝置，其特征在于，所述機(jī)械手的所述抵接面為與所述定位夾具中相抵接的周面具有相同曲率的曲面。
11.根據(jù)權(quán)利要求7至11中的任一項(xiàng)所述的機(jī)器人的示教裝置，其特征在于，在所述定位夾具的一面上形成有突部，在所述交接地點(diǎn)的一面上形成有與所述突部結(jié)合的凹部。
12.根據(jù)權(quán)利要求7至11中的任一項(xiàng)所述的機(jī)器人的示教裝置，其特征在于，在所述定位夾具的一個(gè)面上形成有突出的周壁面，在所述定位夾具的另一個(gè)面上形成有具有與所述機(jī)械手的所述抵接面相抵接的周面的突出部，在將所述定位夾具配置在所述交接地點(diǎn)的狀態(tài)下，所述交接地點(diǎn)收納于由所述周壁面形成的凹部?jī)?nèi)。
全文摘要
一種機(jī)器人的示教方法，所述機(jī)器人用機(jī)械手支撐運(yùn)送物，并在兩處以上的交接地點(diǎn)之間進(jìn)行運(yùn)送，所述示教方法具備夾具配置工序，將定位夾具配置在所述交接地點(diǎn)，并使所述定位夾具與配置在所述交接地點(diǎn)時(shí)的所述運(yùn)送物同一中心軸；以及示教工序，在各所述交接地點(diǎn)，使所述機(jī)械手運(yùn)動(dòng)至所述機(jī)械手的抵接部與所述定位夾具相抵接的位置，并對(duì)控制器示教所述機(jī)械手的位置。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102448682SQ20108002421
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2010年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者藤井佳詞 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛發(fā)科